JP3172196B2 - 通信制御方法 - Google Patents
通信制御方法Info
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- JP3172196B2 JP3172196B2 JP40804090A JP40804090A JP3172196B2 JP 3172196 B2 JP3172196 B2 JP 3172196B2 JP 40804090 A JP40804090 A JP 40804090A JP 40804090 A JP40804090 A JP 40804090A JP 3172196 B2 JP3172196 B2 JP 3172196B2
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- Japan
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- communication
- communication control
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
等において自動化を行う場合における通信制御システム
及び通信制御方法の改良に関するものである。半導体装
置の製造工程等の製造工程において自動化を行う場合
に、ホストコンピュータからの通信によって各種の製造
装置を制御することが必要となり、この通信のプロトコ
ルとしてＳＥＣＳ及びＳＥＣＳ−２が用いられている
が、各種の製造装置でのＳＥＣＳ−２に対する解釈が統
一されていない場合に、各種の製造装置間の通信に支障
が生じている。
等において自動化を行う場合における通信制御システム
及び通信制御方法の改良に関するものである。半導体装
置の製造工程等の製造工程において自動化を行う場合
に、ホストコンピュータからの通信によって各種の製造
装置を制御することが必要となり、この通信のプロトコ
ルとしてＳＥＣＳ及びＳＥＣＳ−２が用いられている
が、各種の製造装置でのＳＥＣＳ−２に対する解釈が統
一されていない場合に、各種の製造装置間の通信に支障
が生じている。
【０００２】以上のような状況から各種の製造装置のプ
ロトコルに対する解釈が統一されていない場合に、各種
の製造装置間の通信を円滑に行うことが可能な通信制御
システム及び通信制御方法が要望されている。
ロトコルに対する解釈が統一されていない場合に、各種
の製造装置間の通信を円滑に行うことが可能な通信制御
システム及び通信制御方法が要望されている。
【０００３】
【従来の技術】従来の各種の製造装置間の通信を、半導
体装置のウエーハプロセスの場合について図２により詳
細に説明する。従来の通信制御システムにおいては、装
置(B) 15は前工程の装置(A) 14からのウエーハ搬送のた
めの通信を受けたり、ホストコンピュータ11から処理条
件の指示通信を受けたり、ホストコンピュータ11へ処理
結果を発信したり、次工程の装置(C) 16へウエーハ搬送
のための通信を発信したりするという複数の装置やホス
トコンピュータとの非同期的な複数の通信を行わなけれ
ばならないので、装置の通信の負担が大きくなってい
る。
体装置のウエーハプロセスの場合について図２により詳
細に説明する。従来の通信制御システムにおいては、装
置(B) 15は前工程の装置(A) 14からのウエーハ搬送のた
めの通信を受けたり、ホストコンピュータ11から処理条
件の指示通信を受けたり、ホストコンピュータ11へ処理
結果を発信したり、次工程の装置(C) 16へウエーハ搬送
のための通信を発信したりするという複数の装置やホス
トコンピュータとの非同期的な複数の通信を行わなけれ
ばならないので、装置の通信の負担が大きくなってい
る。
【０００４】また各種の製造装置におけるＳＥＣＳ−２
に対する解釈が統一されていないため、他の装置と直接
通信を行うと良好な状態で通信を行うことができないこ
とがある。更に従来の技術においては、大多数の各種の
製造装置は通信機能部分のソフトウェアを読み出し専用
メモリＩＣ（以下、ＲＯＭと略称する）で有しており、
ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの時間が必
要になることが多い。
に対する解釈が統一されていないため、他の装置と直接
通信を行うと良好な状態で通信を行うことができないこ
とがある。更に従来の技術においては、大多数の各種の
製造装置は通信機能部分のソフトウェアを読み出し専用
メモリＩＣ（以下、ＲＯＭと略称する）で有しており、
ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの時間が必
要になることが多い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の各
種の製造装置間の通信においては、複数の装置やホスト
コンピュータとの非同期的な複数の通信を行わなければ
ならないので、装置の通信の負担が大きくなり、また各
種の製造装置におけるＳＥＣＳ−２に対する解釈が統一
されていないため、他の装置と直接通信を行うと良好な
状態で通信を行うことができないことがあるという問題
点があり、通信機能部分のソフトウェアをＲＯＭで有し
ており、ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの
時間が必要になることが多いという問題点がある。
種の製造装置間の通信においては、複数の装置やホスト
コンピュータとの非同期的な複数の通信を行わなければ
ならないので、装置の通信の負担が大きくなり、また各
種の製造装置におけるＳＥＣＳ−２に対する解釈が統一
されていないため、他の装置と直接通信を行うと良好な
状態で通信を行うことができないことがあるという問題
点があり、通信機能部分のソフトウェアをＲＯＭで有し
ており、ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの
時間が必要になることが多いという問題点がある。
【０００６】本発明は以上のような状況からプロトコル
の不整合部分を整合させることが可能となる通信制御装
置を設けることにより、他の装置との通信中に他の装置
からの通信割り込みが起きた場合に、この通信割り込み
が起こらないよう先入先出し（以下、ＦＩＦＯと略称す
る）可能なバッファを具備し、このバッファに割り込ん
できた通信内容を蓄積することにより通信の順序を変え
ないようにし、通信割り込みを防止することが可能とな
る通信制御システム及び通信制御方法の提供を目的とし
たものである。
の不整合部分を整合させることが可能となる通信制御装
置を設けることにより、他の装置との通信中に他の装置
からの通信割り込みが起きた場合に、この通信割り込み
が起こらないよう先入先出し（以下、ＦＩＦＯと略称す
る）可能なバッファを具備し、このバッファに割り込ん
できた通信内容を蓄積することにより通信の順序を変え
ないようにし、通信割り込みを防止することが可能とな
る通信制御システム及び通信制御方法の提供を目的とし
たものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の通信制御方法
は、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の
装置と、この各種の装置を通信によって制御するホスト
コンピュータとからなる通信制御システムの、このホス
トコンピュータと前記各種の装置との間にバッファを設
けた通信制御装置を介在させた通信制御システムにおい
て、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の
装置をホストコンピュータからの通信によって制御する
場合に、この各種の装置の内の一つの装置(B) から他の
装置(C) に向けて一次メッセージが出され、この装置
(B) から前記装置(C) に向けてこの一次メッセージへの
応答として二次メッセージが出される間に、この装置
(B) に向けてこの装置(C) 以外の他の装置から別の一次
メッセージが出された場合に、この別の一次メッセージ
をこの通信制御装置のバッファに蓄積し、この一次メッ
セージへの応答として出されたこの二次メッセージがこ
の装置(B) から装置(C) に向けて送信された後、このバ
ッファに蓄積されているこの別の一次メッセージをこの
装置(B) に送信するように構成する。
は、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の
装置と、この各種の装置を通信によって制御するホスト
コンピュータとからなる通信制御システムの、このホス
トコンピュータと前記各種の装置との間にバッファを設
けた通信制御装置を介在させた通信制御システムにおい
て、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の
装置をホストコンピュータからの通信によって制御する
場合に、この各種の装置の内の一つの装置(B) から他の
装置(C) に向けて一次メッセージが出され、この装置
(B) から前記装置(C) に向けてこの一次メッセージへの
応答として二次メッセージが出される間に、この装置
(B) に向けてこの装置(C) 以外の他の装置から別の一次
メッセージが出された場合に、この別の一次メッセージ
をこの通信制御装置のバッファに蓄積し、この一次メッ
セージへの応答として出されたこの二次メッセージがこ
の装置(B) から装置(C) に向けて送信された後、このバ
ッファに蓄積されているこの別の一次メッセージをこの
装置(B) に送信するように構成する。
【０００８】
【作用】即ち本発明においては、ホストコンピュータと
各種の製造装置の間に通信制御装置を設けているので、
他の装置へ一次メッセージを出して、その応答としての
二次メッセージをこの他の装置から受け取るまでの間
に、別の装置から別の一次メッセージがこの他の装置に
出された場合に、この別の一次メッセージを通信制御装
置を構成するバッファに蓄積し、上記の二次メッセージ
がこの他の装置から出された後に、上記のバッファに蓄
積された別の一次メッセージをこの他の装置に発信する
ことができるので、通信の順序を変えることなく通信割
り込みを防止することが可能となる。
各種の製造装置の間に通信制御装置を設けているので、
他の装置へ一次メッセージを出して、その応答としての
二次メッセージをこの他の装置から受け取るまでの間
に、別の装置から別の一次メッセージがこの他の装置に
出された場合に、この別の一次メッセージを通信制御装
置を構成するバッファに蓄積し、上記の二次メッセージ
がこの他の装置から出された後に、上記のバッファに蓄
積された別の一次メッセージをこの他の装置に発信する
ことができるので、通信の順序を変えることなく通信割
り込みを防止することが可能となる。
【０００９】
【実施例】以下図１により本発明の一実施例の通信制御
システム及び通信制御方法を半導体装置の製造工程の場
合について詳細に説明する。本発明による一実施例にお
いては、図１に示すようにホストコンピュータ１と各種
の製造装置、例えば装置(A) ４，装置(B) ５，装置(C)
６の間に通信制御装置２が介在して設けられており、こ
の通信制御装置２はコンピュータ2a及び通電時のみ記憶
保持可能なＩＣ（以下、ＲＡＭと略称する）等を用いる
バッファ2bから構成されており、ソフトウェア３により
作動するようになっている。
システム及び通信制御方法を半導体装置の製造工程の場
合について詳細に説明する。本発明による一実施例にお
いては、図１に示すようにホストコンピュータ１と各種
の製造装置、例えば装置(A) ４，装置(B) ５，装置(C)
６の間に通信制御装置２が介在して設けられており、こ
の通信制御装置２はコンピュータ2a及び通電時のみ記憶
保持可能なＩＣ（以下、ＲＡＭと略称する）等を用いる
バッファ2bから構成されており、ソフトウェア３により
作動するようになっている。
【００１０】本発明においては各種の製造装置間では直
接通信を行わないで、この通信制御装置２を介して通信
するようになっている。まず装置(C) ６から装置(B) ５
への一次メッセージを通信制御装置２が受け取ると、通
信制御装置２はこの一次メッセージが返答を要するもの
かどうかをチェックし、返答を要するものならばこの一
次メッセージの送信元の装置のデバイスＩＤ（装置番
号），ストリーム，ファンクションを記憶した後、この
一次メッセージを装置(B) ５へ送信する。返答を要しな
いものならばそのまま装置(B) ５へ送信する。
接通信を行わないで、この通信制御装置２を介して通信
するようになっている。まず装置(C) ６から装置(B) ５
への一次メッセージを通信制御装置２が受け取ると、通
信制御装置２はこの一次メッセージが返答を要するもの
かどうかをチェックし、返答を要するものならばこの一
次メッセージの送信元の装置のデバイスＩＤ（装置番
号），ストリーム，ファンクションを記憶した後、この
一次メッセージを装置(B) ５へ送信する。返答を要しな
いものならばそのまま装置(B) ５へ送信する。
【００１１】先に装置(B) ５へ送信した一次メッセージ
に対する二次メッセージが装置(B) ５から通信制御装置
２に返送されるまでの間に、装置(B) ５に対する他の装
置(A) ４から別の一次メッセージの送信があった場合に
は、通信制御装置２はＦＩＦＯのバッファ2bにこの一次
メッセージを蓄積し、先に装置(B) ５へ送った一次メッ
セージに対する返答が装置(B) ５から通信制御装置２に
送信された時点で通信制御装置２はバッファ2bから上記
の別の一次メッセージを取り出して装置(B) ５に送信す
る。なおこのバッファ2bに蓄積した装置(A) ４から装置
(B) ５への別の一次メッセージが返答を要するものなら
ば、この別の一次メッセージを上記の場合と同様に記憶
して装置(B) ５へ送信し、この別の一次メッセージに対
する返答メッセージが返送されるまでの間にまた別の装
置、例えば装置(C) ６から装置(B) ５へのメッセージが
送信されてきた場合には、このメッセージをＦＩＦＯの
バッファ2bに蓄積しておく。
に対する二次メッセージが装置(B) ５から通信制御装置
２に返送されるまでの間に、装置(B) ５に対する他の装
置(A) ４から別の一次メッセージの送信があった場合に
は、通信制御装置２はＦＩＦＯのバッファ2bにこの一次
メッセージを蓄積し、先に装置(B) ５へ送った一次メッ
セージに対する返答が装置(B) ５から通信制御装置２に
送信された時点で通信制御装置２はバッファ2bから上記
の別の一次メッセージを取り出して装置(B) ５に送信す
る。なおこのバッファ2bに蓄積した装置(A) ４から装置
(B) ５への別の一次メッセージが返答を要するものなら
ば、この別の一次メッセージを上記の場合と同様に記憶
して装置(B) ５へ送信し、この別の一次メッセージに対
する返答メッセージが返送されるまでの間にまた別の装
置、例えば装置(C) ６から装置(B) ５へのメッセージが
送信されてきた場合には、このメッセージをＦＩＦＯの
バッファ2bに蓄積しておく。
【００１２】このように返送を要する一次メッセージを
送信した後二次メッセージが返送されるまでの間に、別
の一次メッセージが通信制御装置２に送信されてきた場
合にはこの別の一次メッセージをバッファ2bに蓄積して
おき、二次メッセージが返送されて来た後にこの別の一
次メッセージを送信できるので、ＦＩＦＯのバッファ2b
を用いることにより通信の順序が入れ替わることなく正
常に通信の遣り取りを行うことが可能となる。また、各
種の製造装置間の通信は二次メッセージが返送されるま
で保留されるが、通信制御装置２と各種の製造装置との
通信は完了しないで継続しているので、ＳＥＣＳ−２の
キャラクタ間タイムアウトやプロトコルタイムアウトは
発生しない。
送信した後二次メッセージが返送されるまでの間に、別
の一次メッセージが通信制御装置２に送信されてきた場
合にはこの別の一次メッセージをバッファ2bに蓄積して
おき、二次メッセージが返送されて来た後にこの別の一
次メッセージを送信できるので、ＦＩＦＯのバッファ2b
を用いることにより通信の順序が入れ替わることなく正
常に通信の遣り取りを行うことが可能となる。また、各
種の製造装置間の通信は二次メッセージが返送されるま
で保留されるが、通信制御装置２と各種の製造装置との
通信は完了しないで継続しているので、ＳＥＣＳ−２の
キャラクタ間タイムアウトやプロトコルタイムアウトは
発生しない。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、極めて簡単な構成の通信制御装置をホストコン
ピュータと各種の製造装置との間に設けることにより、
プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の製造
装置間の通信を円滑に行うことが可能となる利点があ
り、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる
通信制御システム及び通信制御方法の提供が可能であ
る。
よれば、極めて簡単な構成の通信制御装置をホストコン
ピュータと各種の製造装置との間に設けることにより、
プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の製造
装置間の通信を円滑に行うことが可能となる利点があ
り、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる
通信制御システム及び通信制御方法の提供が可能であ
る。
【図１】 本発明による一実施例の通信制御システムの
構成を示す図、
構成を示す図、
【図２】 従来の通信制御システムの構成を示す図、
１はホストコンピュータ、２は通信制御装置、2aはコン
ピュータ、2bはバッファ、３はソフトウェア、４は装置
(A) 、５は装置(B) 、６は装置(C) 、
ピュータ、2bはバッファ、３はソフトウェア、４は装置
(A) 、５は装置(B) 、６は装置(C) 、
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−41839（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−90840（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−198944（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−215343（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04L 29/06 G06F 13/00 353 H04L 12/44
Claims (1)
- 【請求項１】 プロトコルに対する解釈が統一されてい
ない各種の装置と、該各種の装置を通信によって制御す
るホストコンピュータ(1) とからなる通信制御システム
の、前記ホストコンピュータ(1) と前記各種の装置との
間にバッファ(2b)を設けた通信制御装置(2) を介在させ
た通信制御システムにおいて、プロトコルに対する解釈
が統一されていない各種の装置をホストコンピュータ
(1) からの通信によって制御する場合に、前記各種の装
置の内の一つの装置(C) から他の装置(B) に向けて一次
メッセージが出され、該装置(B) から前記装置(C) に向
けて前記一次メッセージへの応答として二次メッセージ
が出される間に、前記装置(B) に向けて前記装置(C) 以
外の他の装置から別の一次メッセージが出された場合
に、該別の一次メッセージを前記通信制御装置(2) のバ
ッファ(2b)に蓄積し、前記一次メッセージへの応答とし
て出された前記二次メッセージが前記装置(B) から前記
装置(C) に向けて送信された後、前記バッファ(2b)に蓄
積されている前記別の一次メッセージを前記装置(B) に
送信することを特徴とする通信制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40804090A JP3172196B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 通信制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40804090A JP3172196B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 通信制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225450A JPH04225450A (ja) | 1992-08-14 |
| JP3172196B2 true JP3172196B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=18517548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40804090A Expired - Fee Related JP3172196B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 通信制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3172196B2 (ja) |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP40804090A patent/JP3172196B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04225450A (ja) | 1992-08-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010213 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |