JPH04225450A - 通信制御方法 - Google Patents
通信制御方法Info
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- JPH04225450A JPH04225450A JP2408040A JP40804090A JPH04225450A JP H04225450 A JPH04225450 A JP H04225450A JP 2408040 A JP2408040 A JP 2408040A JP 40804090 A JP40804090 A JP 40804090A JP H04225450 A JPH04225450 A JP H04225450A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 208000033748 Device issues Diseases 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- Small-Scale Networks (AREA)
- Communication Control (AREA)
- Computer And Data Communications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
等において自動化を行う場合における通信制御システム
及び通信制御方法の改良に関するものである。半導体装
置の製造工程等の製造工程において自動化を行う場合に
、ホストコンピュータからの通信によって各種の製造装
置を制御することが必要となり、この通信のプロトコル
としてＳＥＣＳ及びＳＥＣＳ−２が用いられているが、
各種の製造装置でのＳＥＣＳ−２に対する解釈が統一さ
れていない場合に、各種の製造装置間の通信に支障が生
じている。
等において自動化を行う場合における通信制御システム
及び通信制御方法の改良に関するものである。半導体装
置の製造工程等の製造工程において自動化を行う場合に
、ホストコンピュータからの通信によって各種の製造装
置を制御することが必要となり、この通信のプロトコル
としてＳＥＣＳ及びＳＥＣＳ−２が用いられているが、
各種の製造装置でのＳＥＣＳ−２に対する解釈が統一さ
れていない場合に、各種の製造装置間の通信に支障が生
じている。
【０００２】以上のような状況から各種の製造装置のプ
ロトコルに対する解釈が統一されていない場合に、各種
の製造装置間の通信を円滑に行うことが可能な通信制御
システム及び通信制御方法が要望されている。
ロトコルに対する解釈が統一されていない場合に、各種
の製造装置間の通信を円滑に行うことが可能な通信制御
システム及び通信制御方法が要望されている。
【０００３】
【従来の技術】従来の各種の製造装置間の通信を、半導
体装置のウエーハプロセスの場合について図２により詳
細に説明する。従来の通信制御システムにおいては、装
置（Ｂ） １５は前工程の装置（Ａ） １４からのウエ
ーハ搬送のための通信を受けたり、ホストコンピュータ
１１から処理条件の指示通信を受けたり、ホストコンピ
ュータ１１へ処理結果を発信したり、次工程の装置（Ｃ
） １６へウエーハ搬送のための通信を発信したりする
という複数の装置やホストコンピュータとの非同期的な
複数の通信を行わなければならないので、装置の通信の
負担が大きくなっている。
体装置のウエーハプロセスの場合について図２により詳
細に説明する。従来の通信制御システムにおいては、装
置（Ｂ） １５は前工程の装置（Ａ） １４からのウエ
ーハ搬送のための通信を受けたり、ホストコンピュータ
１１から処理条件の指示通信を受けたり、ホストコンピ
ュータ１１へ処理結果を発信したり、次工程の装置（Ｃ
） １６へウエーハ搬送のための通信を発信したりする
という複数の装置やホストコンピュータとの非同期的な
複数の通信を行わなければならないので、装置の通信の
負担が大きくなっている。
【０００４】また各種の製造装置におけるＳＥＣＳ−２
に対する解釈が統一されていないため、他の装置と直接
通信を行うと良好な状態で通信を行うことができないこ
とがある。更に従来の技術においては、大多数の各種の
製造装置は通信機能部分のソフトウェアを読み出し専用
メモリＩＣ（以下、ＲＯＭと略称する）で有しており、
ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの時間が必
要になることが多い。
に対する解釈が統一されていないため、他の装置と直接
通信を行うと良好な状態で通信を行うことができないこ
とがある。更に従来の技術においては、大多数の各種の
製造装置は通信機能部分のソフトウェアを読み出し専用
メモリＩＣ（以下、ＲＯＭと略称する）で有しており、
ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの時間が必
要になることが多い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の各
種の製造装置間の通信においては、複数の装置やホスト
コンピュータとの非同期的な複数の通信を行わなければ
ならないので、装置の通信の負担が大きくなり、また各
種の製造装置におけるＳＥＣＳ−２に対する解釈が統一
されていないため、他の装置と直接通信を行うと良好な
状態で通信を行うことができないことがあるという問題
点があり、通信機能部分のソフトウェアをＲＯＭで有し
ており、ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの
時間が必要になることが多いという問題点がある。
種の製造装置間の通信においては、複数の装置やホスト
コンピュータとの非同期的な複数の通信を行わなければ
ならないので、装置の通信の負担が大きくなり、また各
種の製造装置におけるＳＥＣＳ−２に対する解釈が統一
されていないため、他の装置と直接通信を行うと良好な
状態で通信を行うことができないことがあるという問題
点があり、通信機能部分のソフトウェアをＲＯＭで有し
ており、ソフトウェアの内容を変更する場合には多くの
時間が必要になることが多いという問題点がある。
【０００６】本発明は以上のような状況からプロトコル
の不整合部分を整合させることが可能となる通信制御装
置を設けることにより、他の装置との通信中に他の装置
からの通信割り込みが起きた場合に、この通信割り込み
が起こらないよう先入先出し（以下、ＦＩＦＯと略称す
る）可能なバッファを具備し、このバッファに割り込ん
できた通信内容を蓄積することにより通信の順序を変え
ないようにし、通信割り込みを防止することが可能とな
る通信制御システム及び通信制御方法の提供を目的とし
たものである。
の不整合部分を整合させることが可能となる通信制御装
置を設けることにより、他の装置との通信中に他の装置
からの通信割り込みが起きた場合に、この通信割り込み
が起こらないよう先入先出し（以下、ＦＩＦＯと略称す
る）可能なバッファを具備し、このバッファに割り込ん
できた通信内容を蓄積することにより通信の順序を変え
ないようにし、通信割り込みを防止することが可能とな
る通信制御システム及び通信制御方法の提供を目的とし
たものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の通信制御方法は
、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の装
置と、この各種の装置を通信によって制御するホストコ
ンピュータとからなる通信制御システムの、このホスト
コンピュータと前記各種の装置との間にバッファを設け
た通信制御装置を介在させた通信制御システムにおいて
、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の装
置をホストコンピュータからの通信によって制御する場
合に、この各種の装置の内の一つの装置（Ｂ） から他
の装置（Ｃ） に向けて一次メッセージが出され、この
装置（Ｂ） から前記装置（Ｃ） に向けてこの一次メ
ッセージへの応答として二次メッセージが出される間に
、この装置（Ｂ） に向けてこの装置（Ｃ） 以外の他
の装置から別の一次メッセージが出された場合に、この
別の一次メッセージをこの通信制御装置のバッファに蓄
積し、この一次メッセージへの応答として出されたこの
二次メッセージがこの装置（Ｂ） から装置（Ｃ） に
向けて送信された後、このバッファに蓄積されているこ
の別の一次メッセージをこの装置（Ｂ） に送信するよ
うに構成する。
、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の装
置と、この各種の装置を通信によって制御するホストコ
ンピュータとからなる通信制御システムの、このホスト
コンピュータと前記各種の装置との間にバッファを設け
た通信制御装置を介在させた通信制御システムにおいて
、プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の装
置をホストコンピュータからの通信によって制御する場
合に、この各種の装置の内の一つの装置（Ｂ） から他
の装置（Ｃ） に向けて一次メッセージが出され、この
装置（Ｂ） から前記装置（Ｃ） に向けてこの一次メ
ッセージへの応答として二次メッセージが出される間に
、この装置（Ｂ） に向けてこの装置（Ｃ） 以外の他
の装置から別の一次メッセージが出された場合に、この
別の一次メッセージをこの通信制御装置のバッファに蓄
積し、この一次メッセージへの応答として出されたこの
二次メッセージがこの装置（Ｂ） から装置（Ｃ） に
向けて送信された後、このバッファに蓄積されているこ
の別の一次メッセージをこの装置（Ｂ） に送信するよ
うに構成する。
【０００８】
【作用】即ち本発明においては、ホストコンピュータと
各種の製造装置の間に通信制御装置を設けているので、
他の装置へ一次メッセージを出して、その応答としての
二次メッセージをこの他の装置から受け取るまでの間に
、別の装置から別の一次メッセージがこの他の装置に出
された場合に、この別の一次メッセージを通信制御装置
を構成するバッファに蓄積し、上記の二次メッセージが
この他の装置から出された後に、上記のバッファに蓄積
された別の一次メッセージをこの他の装置に発信するこ
とができるので、通信の順序を変えることなく通信割り
込みを防止することが可能となる。
各種の製造装置の間に通信制御装置を設けているので、
他の装置へ一次メッセージを出して、その応答としての
二次メッセージをこの他の装置から受け取るまでの間に
、別の装置から別の一次メッセージがこの他の装置に出
された場合に、この別の一次メッセージを通信制御装置
を構成するバッファに蓄積し、上記の二次メッセージが
この他の装置から出された後に、上記のバッファに蓄積
された別の一次メッセージをこの他の装置に発信するこ
とができるので、通信の順序を変えることなく通信割り
込みを防止することが可能となる。
【０００９】
【実施例】以下図１により本発明の一実施例の通信制御
システム及び通信制御方法を半導体装置の製造工程の場
合について詳細に説明する。本発明による一実施例にお
いては、図１に示すようにホストコンピュータ１と各種
の製造装置、例えば装置（Ａ） ４，装置（Ｂ） ５，
装置（Ｃ） ６の間に通信制御装置２が介在して設けら
れており、この通信制御装置２はコンピュータ２ａ及び
通電時のみ記憶保持可能なＩＣ（以下、ＲＡＭと略称す
る）等を用いるバッファ２ｂから構成されており、ソフ
トウェア３により作動するようになっている。
システム及び通信制御方法を半導体装置の製造工程の場
合について詳細に説明する。本発明による一実施例にお
いては、図１に示すようにホストコンピュータ１と各種
の製造装置、例えば装置（Ａ） ４，装置（Ｂ） ５，
装置（Ｃ） ６の間に通信制御装置２が介在して設けら
れており、この通信制御装置２はコンピュータ２ａ及び
通電時のみ記憶保持可能なＩＣ（以下、ＲＡＭと略称す
る）等を用いるバッファ２ｂから構成されており、ソフ
トウェア３により作動するようになっている。
【００１０】本発明においては各種の製造装置間では直
接通信を行わないで、この通信制御装置２を介して通信
するようになっている。まず装置（Ｃ） ６から装置（
Ｂ） ５への一次メッセージを通信制御装置２が受け取
ると、通信制御装置２はこの一次メッセージが返答を要
するものかどうかをチェックし、返答を要するものなら
ばこの一次メッセージの送信元の装置のデバイスＩＤ（
装置番号），ストリーム，ファンクションを記憶した後
、この一次メッセージを装置（Ｂ） ５へ送信する。返
答を要しないものならばそのまま装置（Ｂ） ５へ送信
する。
接通信を行わないで、この通信制御装置２を介して通信
するようになっている。まず装置（Ｃ） ６から装置（
Ｂ） ５への一次メッセージを通信制御装置２が受け取
ると、通信制御装置２はこの一次メッセージが返答を要
するものかどうかをチェックし、返答を要するものなら
ばこの一次メッセージの送信元の装置のデバイスＩＤ（
装置番号），ストリーム，ファンクションを記憶した後
、この一次メッセージを装置（Ｂ） ５へ送信する。返
答を要しないものならばそのまま装置（Ｂ） ５へ送信
する。
【００１１】先に装置（Ｂ） ５へ送信した一次メッセ
ージに対する二次メッセージが装置（Ｂ） ５から通信
制御装置２に返送されるまでの間に、装置（Ｂ） ５に
対する他の装置（Ａ） ４から別の一次メッセージの送
信があった場合には、通信制御装置２はＦＩＦＯのバッ
ファ２ｂにこの一次メッセージを蓄積し、先に装置（Ｂ
） ５へ送った一次メッセージに対する返答が装置（Ｂ
） ５から通信制御装置２に送信された時点で通信制御
装置２はバッファ２ｂから上記の別の一次メッセージを
取り出して装置（Ｂ） ５に送信する。なおこのバッフ
ァ２ｂに蓄積した装置（Ａ） ４から装置（Ｂ） ５へ
の別の一次メッセージが返答を要するものならば、この
別の一次メッセージを上記の場合と同様に記憶して装置
（Ｂ） ５へ送信し、この別の一次メッセージに対する
返答メッセージが返送されるまでの間にまた別の装置、
例えば装置（Ｃ） ６から装置（Ｂ） ５へのメッセー
ジが送信されてきた場合には、このメッセージをＦＩＦ
Ｏのバッファ２ｂに蓄積しておく。
ージに対する二次メッセージが装置（Ｂ） ５から通信
制御装置２に返送されるまでの間に、装置（Ｂ） ５に
対する他の装置（Ａ） ４から別の一次メッセージの送
信があった場合には、通信制御装置２はＦＩＦＯのバッ
ファ２ｂにこの一次メッセージを蓄積し、先に装置（Ｂ
） ５へ送った一次メッセージに対する返答が装置（Ｂ
） ５から通信制御装置２に送信された時点で通信制御
装置２はバッファ２ｂから上記の別の一次メッセージを
取り出して装置（Ｂ） ５に送信する。なおこのバッフ
ァ２ｂに蓄積した装置（Ａ） ４から装置（Ｂ） ５へ
の別の一次メッセージが返答を要するものならば、この
別の一次メッセージを上記の場合と同様に記憶して装置
（Ｂ） ５へ送信し、この別の一次メッセージに対する
返答メッセージが返送されるまでの間にまた別の装置、
例えば装置（Ｃ） ６から装置（Ｂ） ５へのメッセー
ジが送信されてきた場合には、このメッセージをＦＩＦ
Ｏのバッファ２ｂに蓄積しておく。
【００１２】このように返送を要する一次メッセージを
送信した後二次メッセージが返送されるまでの間に、別
の一次メッセージが通信制御装置２に送信されてきた場
合にはこの別の一次メッセージをバッファ２ｂに蓄積し
ておき、二次メッセージが返送されて来た後にこの別の
一次メッセージを送信できるので、ＦＩＦＯのバッファ
２ｂを用いることにより通信の順序が入れ替わることな
く正常に通信の遣り取りを行うことが可能となる。また
、各種の製造装置間の通信は二次メッセージが返送され
るまで保留されるが、通信制御装置２と各種の製造装置
との通信は完了しないで継続しているので、ＳＥＣＳ−
２のキャラクタ間タイムアウトやプロトコルタイムアウ
トは発生しない。
送信した後二次メッセージが返送されるまでの間に、別
の一次メッセージが通信制御装置２に送信されてきた場
合にはこの別の一次メッセージをバッファ２ｂに蓄積し
ておき、二次メッセージが返送されて来た後にこの別の
一次メッセージを送信できるので、ＦＩＦＯのバッファ
２ｂを用いることにより通信の順序が入れ替わることな
く正常に通信の遣り取りを行うことが可能となる。また
、各種の製造装置間の通信は二次メッセージが返送され
るまで保留されるが、通信制御装置２と各種の製造装置
との通信は完了しないで継続しているので、ＳＥＣＳ−
２のキャラクタ間タイムアウトやプロトコルタイムアウ
トは発生しない。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、極めて簡単な構成の通信制御装置をホストコン
ピュータと各種の製造装置との間に設けることにより、
プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の製造
装置間の通信を円滑に行うことが可能となる利点があり
、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる通
信制御システム及び通信制御方法の提供が可能である。
よれば、極めて簡単な構成の通信制御装置をホストコン
ピュータと各種の製造装置との間に設けることにより、
プロトコルに対する解釈が統一されていない各種の製造
装置間の通信を円滑に行うことが可能となる利点があり
、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる通
信制御システム及び通信制御方法の提供が可能である。
【図１】 本発明による一実施例の通信制御システム
の構成を示す図、
の構成を示す図、
【図２】 従来の通信制御システムの構成を示す図、
Claims (1)
- 【請求項１】 プロトコルに対する解釈が統一されて
いない各種の装置と、該各種の装置を通信によって制御
するホストコンピュータ（１） とからなる通信制御シ
ステムの、前記ホストコンピュータ（１） と前記各種
の装置との間にバッファ（２ｂ）を設けた通信制御装置
（２） を介在させた通信制御システムにおいて、プロ
トコルに対する解釈が統一されていない各種の装置をホ
ストコンピュータ（１） からの通信によって制御する
場合に、前記各種の装置の内の一つの装置（Ｃ） から
他の装置（Ｂ） に向けて一次メッセージが出され、該
装置（Ｂ） から前記装置（Ｃ） に向けて前記一次メ
ッセージへの応答として二次メッセージが出される間に
、前記装置（Ｂ） に向けて前記装置（Ｃ） 以外の他
の装置から別の一次メッセージが出された場合に、該別
の一次メッセージを前記通信制御装置（２） のバッフ
ァ（２ｂ）に蓄積し、前記一次メッセージへの応答とし
て出された前記二次メッセージが前記装置（Ｂ） から
前記装置（Ｃ） に向けて送信された後、前記バッファ
（２ｂ）に蓄積されている前記別の一次メッセージを前
記装置（Ｂ） に送信することを特徴とする通信制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40804090A JP3172196B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 通信制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40804090A JP3172196B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 通信制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225450A true JPH04225450A (ja) | 1992-08-14 |
| JP3172196B2 JP3172196B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=18517548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40804090A Expired - Fee Related JP3172196B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 通信制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3172196B2 (ja) |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP40804090A patent/JP3172196B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3172196B2 (ja) | 2001-06-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010213 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |