JP3169788B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP3169788B2 JP05327695A JP5327695A JP3169788B2 JP 3169788 B2 JP3169788 B2 JP 3169788B2 JP 05327695 A JP05327695 A JP 05327695A JP 5327695 A JP5327695 A JP 5327695A JP 3169788 B2 JP3169788 B2 JP 3169788B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特にそのデジット線対の読み出し時の電位差の制御に関
する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体記憶装置のうち高速SRA
M(スタティック・ランダム・アクセス・メモリ)の動
作速度と集積度に対する要求は益々高まりつつあり、よ
り高い集積度と、より速い動作速度とが同時に要求され
るに至っている。この要求に応えるべく種々の高速化回
路が半導体記憶装置に用いられている。
【0003】高速化回路の一例として、読み出し時のデ
ジット線対の電位差を小さくしてメモリセルによるデジ
ット線対の電位の反転時間を小さくすることにより、動
作速度の向上を計る手法がある。
【0004】特に、Bi−CMOSプロセスを用いた高
速SRAMでは、電流増幅度の大きなバイポーラトラン
ジスタをセンスアンプ素子として用いることが可能であ
るため上記手法が有効である。
【0005】図7は、従来の半導体記憶装置のデジット
線対と、デジット線対に接続されるセンスアンプの回路
を示す図である。図中DL、DLBはデジット線対であ
り、TL01、TL04はデジット線対DL、DLBの
フローティング防止用負荷トランジスタである。TL0
2、TL03は読み出し時のデジット線対の間の電位差
を制御するための負荷トランジスタであり、負荷トラン
ジスタTL02、TL03のゲートは共に書込み・読出
し切替え信号の1つであるWE1に接続されている。R
1はデジット線対の寄生抵抗を示している。
【0006】TS01、TS02はデジット線対選択ト
ランジスタで、ゲートは共にカラムアドレスデコード信
号であるYJに共通接続されており、選択されたデジッ
ト線対をバイポーラトランジスタTB01、TB02、
TB03、TB04から構成されたセンスアンプに接続
する。
【0007】また、TS03、TS04は同様にデジッ
ト線対選択トランジスタであり、ゲートは共にカラムア
ドレスデコード信号であるYJBに共通接続され、選択
されたデジット線対を書き込みデータバスラインに接続
する。
【0008】CE1、CE2は、2つの負荷素子と4つ
のトランジスタから成るスタティック型メモリセルであ
る。メモリセルCE1は負荷トランジスタTL01、T
L02、TL03、TL04の最近端に位置し、ワード
線W0によって選択され、メモリセルCE2はデジット
線対選択トランジスタTS01、TS02の最近端に位
置し、ワード線Wmaxによって選択される。なお、図
7では簡単のため、メモリセルとして負荷トランジスタ
側端部のメモリセルCE1と選択トランジスタ側端のメ
モリセルCE2の二つだけを示している。
【0009】図8は、図7に示す半導体記憶装置の読み
出し動作の際の信号波形を示す図である。なお、図8で
は、図7に示すメモリセルCE1の内部節点N11が高
(high)レベル、内部節点N12が低(low)レ
ベルとされ、またメモリセルCE2の内部節点N21が
低レベル、内部節点N22が高レベルにある時の信号波
形を示している。
【0010】図8において、DL1はデジット線DLの
デジット線対選択トランジスタTS01側端の電位波形
(図7のデジット線DL1の電位に対応)を示し、DL
B1はデジット線DLBのデジット線対選択トランジス
タTS02側端の電位波形(図7のデジット線DLB1
の電位に対応)を示している。また、VDL1はメモリ
セルCE2選択時のデジット線対DL1、DLB1間の
電位差を示し、VDL2はメモリセルCE1選択時のデ
ジット線対DL1、DLB1間の電位差を示している。
【0011】次に図7と図8を参照して、従来の半導体
記憶装置の動作を説明する。
【0012】半導体記憶装置が書き込み動作を行なう場
合、選択されたデジット線対はデジット線対選択トラン
ジスタTS03、TS04を介して書き込みデータバス
ラインに接続され、負荷トランジスタTL02、TL0
3はオフ状態となり、デジット線対DL、DLBの振幅
をクランプしない。
【0013】半導体記憶装置が読み出し動作を行なう場
合において、ワード線Wmaxが高レベルでメモリセル
CE2を選択した際、デジット線DLのデジット線対選
択トランジスタTS01側端の電位DL1は、並列形態
に接続された負荷トランジスタTL01、TL02のオ
ン抵抗とデジット線DLの寄生抵抗R1との直列抵抗を
メモリセルCE2の活性化電流が流れるときに生じる電
圧降下分だけ電源電圧より低くなる。
【0014】デジット線DLBのデジット線対選択トラ
ンジスタTS02側端の電位DLB1は、メモリセルC
E2の内部節点N22がHighレベルであるため、デ
ジット線DLBに活性化電流が流れず電圧降下が起こら
ないため電源電圧のままとされる。
【0015】従って、メモリセルCE2選択時のデジッ
ト線対の電位差VDL1は、負荷トランジスタTL0
1、TL02のオン抵抗を並列合成した抵抗値RTL1
2とし、メモリセルCE2の活性化電流をICとして、
次式(1)で与えられる。
【0016】 VDL1=(RTL12+R1)×IC …(1)
【0017】また、ワード線W0を高レベルとしてメモ
リセルCE1を選択する際、デジット線DLBのデジッ
ト線対選択トランジスタTS02側端の電位DLB1は
並列形態に接続された負荷トランジスタTL03、TL
04のオン抵抗をメモリセルCE1の活性化電流が流れ
るときに生じる電圧降下分だけ電源電圧より低くなる。
【0018】デジット線DLのデジット線対選択トラン
ジスタTS01側端の電位DL1は、メモリセルCE1
の内部節点N11が高レベルであるため、デジット線D
Lに活性化電流が流れず電圧降下が起こらないため電源
電圧のままである。
【0019】従って、メモリセルCE1選択時のデジッ
ト線対の電位差VDL2は負荷トランジスタTL03、
TL04のオン抵抗を並列合成した抵抗値RTL34、
メモリセルCE1の活性化電流をICとすると、次式
(2)で与えられる。
【0020】VDL2=RTL34×IC …(2)
【0021】通常、メモリセルの活性化電流ICは10
0μA程度とされている。また、バイポーラトランジス
タで構成されたセンスアンプ入力の相補信号の電位差
は、その動作マージン等を考慮すると100mV程度必
要である。このため、デジット線対の電位差も100m
V程度必要となる。
【0022】現在、記憶容量が1Mbit(メガビッ
ト)の半導体記憶装置では1つのデジット線対に繋がる
メモリセル数は512から1024とされ、4Mbit
の半導体記憶装置では1つのデジット線対に繋がるメモ
リセル数は1024から2048とされる。例えば51
2のメモリセルが繋がったデジット線対の寄生抵抗は5
00Ω程度とされ、寄生容量は1pF程度とされる。
【0023】ここで、メモリセルの活性化電流IC=1
00μAとし、メモリセルCE1選択時のデジット線対
の電位差VDL2=100mVとすると、デジット線対
の負荷素子であるTL03、TL04(あるいはTL0
1、TL02)のオン抵抗は、RTL34(=RTL1
2)=1KΩとなるように設定されなければならない。
【0024】この状態でメモリセルCE2が選択される
と、デジット線対の電位差VDL1は、デジット線対の
寄生抵抗R1を500Ωとした場合、次式(3)から1
50mVとなる。
【0025】 VDL1=(1KΩ+500Ω)×100μA=150mV …(3)
【0026】次にメモリセルからデジット線対へのデー
タ出力遅延時間について説明する。
【0027】メモリセルCE2が非選択状態となり、メ
モリセルCE1が選択状態となる場合のデジット線対の
電位変化は、前述したように、当初ワード線Wmaxは
高レベルとされ、メモリセルCE2選択時のデジット線
DL1の電位は、電源電圧−150mVであり、一方デ
ジット線DLB1の電位は電源電圧である。
【0028】この状態からワード線Wmaxが低レベル
に遷移すると同時にワード線W0が高レベルに遷移する
と、デジット線DL1の電位は、電源電圧−150mV
から電源電圧へと上昇し、デジット線DLB1の電位は
電源で夏から電源電圧−100mVの電位へと降下す
る。
【0029】メモリセルCE2が非選択となり、メモリ
セルCE1が選択となる場合のメモリセルからデジット
線対へのデータ出力遅延時間T1を、ワード線Wmax
の立ち下がり波形とワード線W0の立ち上がり波形が互
いに交差する時点から、デジット線対選択トランジスタ
TS01、TS02側端のデジット線対DL1、DLB
1の電位波形が交差する時点までとする(図8参照)。
【0030】また、メモリセルCE1が非選択状態とな
り、メモリセルCE2が選択状態となる場合のデジット
線対の電位変化は、前述したように、当初ワード線W0
は高レベルとされ、メモリセルCE1を選択時のデジッ
ト線DLB1の電位は、電源電圧−100mVであり、
デジット線DL1の電位は電源電位である。
【0031】この状態からワード線W0が低レベルに遷
移すると同時にワード線Wmaxが高レベルに遷移する
と、デジット線DLB1は、電源電圧−100mVから
電源電圧へと上昇し、デジット線DL1は、電源電圧か
ら電源電圧−150mVの電位へと降下する。
【0032】メモリCE1が非選択となりメモリセルC
E2が選択となる場合のメモリセルからデジット線対へ
のデータ出力遅延時間T2を、ワード線Wmaxの立ち
上がり波形とワード線W0の立ち下がり波形が交差する
時点から、デジット線対の電位DL1とDLB1の電位
波形が交差する時点までとする(図8参照)と、デジッ
ト線対の寄生容量が1pF程度の場合で、メモリセルC
E2が非選択となりメモリセルCE1が選択となる場合
のデータ出力遅延時間T1は、メモリCE1が非選択と
なりメモリセルCE2が選択となる場合のデータ出力遅
延時間T2よりも1ns〜1.5ns程度遅くなる。
【0033】半導体記憶装置の読み出し動作速度は、最
も遅いメモリセルの読み出し動作速度により律速される
ため、この遅延時間差は半導体記憶装置自体の動作速度
が8ns〜10ns程度であるため、その12.5%〜
15%に相当する。
【0034】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来の半導体記憶装置では、デジット線対に寄生抵抗が
あるため、そのデジット線対に繋がるメモリセルの位置
によってそのメモリセルのデータを出力する際のデジッ
ト線対の振幅が異なり、振幅の大きなメモリセル(CE
2)から振幅の小さなメモリセル(CE1)へアドレス
遷移したとき、デジット線対の初期振幅が大きいためデ
ジット線対の反転時間が大きくなり、読み出し遅延時間
が増大するという問題があった。
【0035】従って、本発明の目的は、前記問題点を解
消し、デジット線対の寄生抵抗による電位差の増減を抑
制し、読み出し遅延時間の均一化と高速化を実現する半
導体記憶装置を提供することにある。
【0036】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の半導体記憶装置は、行及び列両方向にアレイ状
に配置された複数のメモリセルと、前記複数のメモリセ
ルの各列毎に設けられ対応する列のメモリセルにそれぞ
れ接続された複数のデジット線対と、前記複数メモリセ
ルの各行毎に設けられ対応する行のメモリセルとそれぞ
れ接続された複数のワード線と、前記デジット線対の各
々のデジット線に設けられ読み出し動作時に選択された
メモリセル活性化電流を流し前記デジット線対をなす
デジット線間に電位差を与える負荷素子と、前記デジッ
ト線対の前記電位差をクランプするためのクランプ用素
子と、前記クランプ用素子を活性化する信号を出力する
制御回路と、を含み、前記負荷素子及び前記クランプ用
素子は前記デジット線対の一側端に設けられ、前記制御
回路は、前記ワード線を活性化して前記メモリセルを選
択するためのロウアドレス信号のうち、前記負荷素子か
ら最も離れた領域を含む所定の領域の中にあるメモリセ
ルを選択するロウアドレス信号に応答して、前記クラン
プ用素子を活性化する信号を出力するものであることを
特徴とする。
【0037】本発明においては、前記制御回路にて制御
される前記クランプ用素子が、前記デジット線対の一側
端にて各対をなすデジット線間に接続され、制御端子を
前記制御回路の出力に接続されている。
【0038】本発明によれば、メモリセルの読み出し時
における前記メモリセルの位置に依存して変位するデジ
ット線対間の電位差を、前記メモリセルの前記デジット
線対における位置に応じて所定レベルにクランプできる
ようにしたものである
【0039】本発明によれば、前記デジット線対の負荷
回路に対して少なくとも遠端側と近端側に位置するメモ
リセルがそれぞれ選択された際の前記デジット線対間の
電位差を略一定に制御される
【0040】さらに、本発明においては、前記制御回路
にて制御される負荷素子が、前記デジット線対の一側端
にて前記デジット線対と電源端子との間にそれぞれ接続
する構成としてもよい
【0041】そして、本発明は、前記デジット線対にお
けるメモリセルの位置が複数の領域群からなり、前記制
御回路が、書込み・読出し切替え信号が読み出し動作を
指示し、且つ前記ロウアドレス信号が所定の領域にある
時に出力信号をアクティブとするように構成されたこと
を特徴とする。
【0042】
【作用】本発明によれば、書込み・読出し切替え信号と
ロウアドレス信号の所定の論理演算により生成されるク
ランプ制御信号にて制御されるデジット線対の振幅クラ
ンプ用トランジスタをデジット線対に設けたことによ
り、デジット線対の寄生抵抗のために、選択されるメモ
リセルのデジット線上の位置に依存したデジット線対の
振幅の増加を抑え、読み出し遅延時間の遅れを低減する
ものである。
【0043】
【実施例】図面を参照して、本発明の実施例を以下に説
明する。
【0044】
【実施例1】図1は本発明の一実施例に係る半導体記憶
装置におけるデジット線対と、デジット線対に接続され
るセンスアンプの回路を示す図である。
【0045】図1において、DL、DLBはデジット線
対、TL01、TL04はデジット線対のフローティン
グ防止用負荷トランジスタであり、ゲートは共に接地さ
れ、TL02、TL03は読み出し時のデジット線対の
電位差を制御するための負荷トランジスタであり、ゲー
トは共に書込み・読出し切替え信号の1つであるWE1
に接続されている。R1はデジット線対の寄生抵抗を示
す。
【0046】TS01、TS02はデジット線対選択ト
ランジスタで、ゲートは共にカラムアドレスデコード信
号であるYJで接続されており、選択されたデジット線
対をバイポーラトランジスタTB01、TB02、TB
03、TB04から構成されたセンスアンプに接続す
る。TS03、TS04は同様にデジット線対選択トラ
ンジスタであり、ゲートは共にカラムアドレスデコード
信号であるYJBで接続され、選択されたデジット線対
を書き込みデータバスラインに接続する。
【0047】また、メモリセルCE1、CE2はいずれ
も2つの負荷素子と4つのトランジスタから成るスタテ
ィックメモリセルであり、メモリセルCE1は負荷トラ
ンジスタTL01、TL02、TL03、TL04の最
近端に位置し、ワード線W0によって選択される。
【0048】メモリセルCE2はデジット線対選択トラ
ンジスタTS01、TS02の最近端に位置し、ワード
線Wmaxによって選択される。なお、図1では、メモ
リセルとして、負荷トランジスタ側端部のメモリセルC
E1と選択トランジスタ側端のメモリセルCE2の二つ
だけを示している。
【0049】デジット線対の負荷トランジスタTL0
1、TL02、TL03、TL04側端においてデジッ
ト線対DL、DLB間に接続されたトランジスタTK0
1は、デジット線対DL、DLBの電位差をクランプす
るためのトランジスタであり、ゲートは、書込み・読出
し切替え信号と、デジット線対DL、DLBに繋がるメ
モリセルアレイの任意の一を選択するロウアドレス信号
との所定の論理演算により生成されるクランプ制御信号
RKに接続されている。なお、負荷トランジスタTL0
1、TL02、TL03、TL04、クランプ用のトラ
ンジスタTK01、デジット線対選択トランジスタTS
01、TS02はP型MOSトランジスタで構成され、
デジット線対選択トランジスタTS03、TS04はN
型MOSトランジスタで構成され、書込み・読出し信号
WE1は読み出し時低レベルとされ、トランジスタTK
01はクランプ制御信号RKが低レベルの時オン状態と
される。
【0050】図2は、本実施例の半導体記憶装置が読み
出し動作を行なう場合において、メモリセルCE1の内
部節点N11が高(high)レベル、内部節点N12
が低レベル、メモリセルCE2の内部節点N21が低
(low)レベル、N22が高レベルの時の動作波形を
示す図である。図中DL1はデジット線DLのTS01
側端の電位波形、DLB1はデジット線DLBのTS0
2側端の電位波形、VDL1はメモリセルCE2選択時
のデジット線対の電位差、VDL2はメモリCE1選択
時のデジット線対の電位差をそれぞれ示している。
【0051】図5(A)、図5(B)はクランプ制御信
号RKの発生回路の論理回路図であり、図中WE2は書
込み・読出し切替え信号、Xmaxはロウアドレス信号
の最上位ビット、Xmax−1は最上位ビットから1桁
下のビットをそれぞれ示している。図5(A)を参照し
て、クランプ制御信号発生回路は、最上位ビットXma
xの反転信号が書込み・読出し切替え信号WE2と共に
NOR回路に入力され、NOR回路の出力を反転した信
号をクランプ制御信号RKとして出力している。クラン
プ制御信号RKが低レベルとされるのは、最上位ビット
Xmaxが高レベル(=“1”)で、且つ書込み・読出
し切替え信号WE2が低レベルであるときとされる。図
5(B)を参照して、クランプ制御信号発生回路は、X
maxとXmax−1との論理積をとった出力と書込み
・読出し切替え信号WE2とをNOR回路に入力し、そ
の出力を反転した信号をクランプ制御信号RKとして出
力している。なお、書込み・読出し切替え信号WE2は
書き込み時に高レベル、読み出し時に低レベルに設定さ
れるものとする。
【0052】図6は半導体記憶装置のロウアドレス信号
と選択メモリセルとの関係を説明する相関図であり、こ
こでは1つのデジット線対に繋がるメモリセルとロウア
ドレス信号の関係を示す。図中X0、X1、…、Xma
x−1、Xmaxはそれぞれロウアドレス信号の最下位
ビット〜最上位ビットを表し、Xmaxが高レベルの
時、領域3もしくは領域4の中から一のメモリセルが選
択され、Xmax−1が高レベルの時領域2もしくは領
域4の中から一のメモリセルが選択され、Xmax、X
max−1がともに高レベルの時、領域4の中から一の
メモリセルが選択されるようにデコードされる。
【0053】次に、図1、図2、図5、図6を用いて本
発明の一実施例をさらに詳説する。
【0054】本実施例では、クランプ制御信号発生回路
に図5(A)に示す論理回路を用いているので、クラン
プ制御信号RKは、半導体記憶装置が読み出し動作の状
態で、且つ図6に示す領域3もしくは領域4の中のメモ
リセルが選択された場合にのみアクティブとされる。以
下に前述した従来例の説明と同様の手順で、図1に示し
た本実施例の動作を説明する。
【0055】ワード線W0が高レベルで領域1の中のメ
モリセルCE1を選択時、クランプ制御信号RKは高レ
ベルとなり、トランジスタTK01はオフ状態とされ、
デジット線対DLB1の電位は、並列形態に接続された
負荷トランジスタTL03、TL04のオン抵抗を、メ
モリセルCE1の活性化電流が流れるときに生じる電圧
降下分だけ電源電圧より低くなる。
【0056】デジット線DL1は、メモリセルCE1の
内部節点N11が高レベルのためデジット線DLに活性
化電流が流れず、電圧降下が起こらないため電源電圧の
ままである。
【0057】従って、メモリセルCE1を選択時のデジ
ット線対DL1、DLB1間の電位差VDL2は、負荷
トランジスタTL03、TL04のそれぞれのオン抵抗
を並列合成した抵抗値RTL34とし、メモリセルCE
1の活性化電流をICとすると、次式(4)で与えられ
る。
【0058】VDL2=RTL34×IC …(4)
【0059】通常、メモリセルの活性化電流ICは10
0μA程度である。また、バイポーラトランジスタで構
成されたセンスアンプ入力の相補信号の電位差は、その
動作マージン等を考慮すると100mV程度必要であ
る。従ってデジット線対の電位差も100mV必要とな
る。
【0060】前記従来例でも説明したように、記憶容量
が1Mbitの半導体記憶装置では1つのデジット線対
に繋がるメモリセル数は通常512から1024とさ
れ、512のメモリセルが繋がったデジット線対の寄生
抵抗は500Ω程度となり、寄生容量は1pF程度であ
る。
【0061】ここで、メモリセルの活性化電流IC=1
00μAで、VDL2=100mVとすると、デジット
線対の負荷素子であるTL03、TL04(TL01、
TL02)のオン抵抗は、並列合成抵抗値RTL34
(=RTL12)=1KΩとなるよう設定されなければ
ならない。
【0062】この状態で、ワード線Wmaxが高レベル
とされ領域4のメモリセルCE2が選択されると、クラ
ンプ制御信号RKは低レベルとなり、トランジスタTK
01がオン状態となり、デジット線DL1の電位は、並
列形態に接続された負荷トランジスタTL03、TL0
4のそれぞれのオン抵抗の並列合成抵抗RTL34と、
トランジスタTK01のオン抵抗RTK1を直列接続し
たもの(=RTL34+RTK1)と、並列形態に接続
された負荷トランジスタトランジスタTL01、TL0
2のそれぞれのオンN抵抗の並列合成抵抗RTL12
と、とを並列形態に接続し、これをデジット線DLの寄
生抵抗R1と直列に接続して構成される合成抵抗を、メ
モリセルCE2の活性化電流が流れるときに生じる電圧
降下分だけ電源電圧より低くなる。
【0063】従って、メモリセルCE2選択時のデジッ
ト線DLの電位DL1は、メモリセルCE2の活性化電
流をICとすると次式(5)で与えられる。
【0064】
【数1】
【0065】上式(5)においてクランプ用トランジス
タTK01のオン抵抗RTK1=2KΩとすると、デジ
ット線DL1の電位は、次式(6)で与えられる。
【0066】DL1=電源電圧−125mV …(6)
【0067】このときのメモリセルの活性化電流IC=
100μAは、デジット線DL側の負荷素子TL01、
TL02から75μA供給され、デジット線DLB側の
負荷素子TL03、TL04から25μA供給される。
よって、クランプ用トランジスタTK01を流れる電流
は25μAとなり、このためデジット線DLB1の電位
は、次式(7)で与えられる。
【0068】DLB1=電源電圧−25mV …(7)
【0069】従って、デジット線対DL1、DLB1間
の電位差VDL1は上式(6)、(7)から、次式
(8)のように約100mVとなる。
【0070】 VDL1=(電源電圧−25mV) −(電源電圧−125mV) =100mV …(8)
【0071】すなわち、メモリセルCE2選択時のデジ
ット線対DL1、DLB1間の電位差VDL1はメモリ
セルCE1選択時のデジット線対DL1、DLB1間の
VDL2と同等となる。
【0072】次に、メモリセルからデジット線対へのデ
ータ出力遅延時間について説明する。
【0073】メモリセルCE2が非選択状態となりメモ
リセルCE1が選択状態となる場合のデジット線対の電
位変化は、前述したように、まずワード線Wmaxが高
レベルとされメモリセルCE2を選択時に、デジット線
DL1の電位は、電源電圧−125mVであり、デジッ
ト線DLB1の電位は、電源電圧−25mVである。
【0074】この状態からワード線Wmaxが低レベル
に遷移すると同時にワード線W0が高レベルに遷移する
と、デジット線DL1は、電源電圧−125mVから電
源電圧へと上昇し、デジット線DLB1は、電源電圧か
ら電源電圧−100mVの電位へと降下する。
【0075】メモリセルCE2が非選択となりメモリセ
ルCE1が選択となる場合のメモリセルからデジット線
対へのデータ出力遅延時間T1を、ワード線Wmaxの
立ち下がり波形とワード線W0の立ち上がり波形が交差
する時点からデジット線対DL1とDLB1の電位波形
が交差する時点までとする(図2参照)。
【0076】また、メモリセルCE1が選択から非選択
となりメモリセルCE2が非選択から選択となる場合の
デジット線対の電位変化は、前述したように、まずワー
ド線が高レベルとされメモリセルCE1を選択時に、デ
ジット線DLB1の電位は、電源電圧−100mVであ
り、デジット線DL1の電位は電源電圧である。
【0077】この状態からワード線W0が低レベルに遷
移すると同時にワード線Wmaxが高レベルに遷移する
と、デジット線DLB1の電位は、電源電圧−100m
Vから電源電圧−25mVへと上昇し、デジット線DL
1は、電源電圧から電源電圧−125mVの電位へと降
下する。
【0078】メモリセルCE1が非選択となりメモリセ
ルCE2が選択となる場合のメモリセルからデジット線
対へのデータ出力遅延時間T2を、ワード線Wmaxの
立ち上がり波形とワード線W0の立ち下がり波形とが交
差する時点からデジット線対DL1とDLB1の電位波
形が交差する時点までとすると、メモリセルCE2が非
選択となりメモリセルCE1が選択となる場合のデータ
出力遅延時間T1は、メモリセルCE1が非選択となり
メモリセルCE2が選択となる場合のデータ出力遅延時
間T2と同程度となり、かつ前記従来例のデータ出力遅
延時間T1よりもデジット線対の初期振幅が小さい分だ
けデータ出力は速くなる。
【0079】なお、クランプ制御信号RKの発生回路に
図5(B)を用いた場合でも、読み出し動作時のデジッ
ト線対の電位変化は同様である。
【0080】
【実施例2】次に本発明の他の実施例を説明する。
【0081】図3は本発明の他の実施例を用いた半導体
記憶装置のデジット線対と、それに接続されるセンスア
ンプの回路図である。図中DL、DLBはデジット線
対、TL01、TL04はデジット線対のフローティン
グ防止用負荷トランジスタ、TL02、TL03は読み
出し時のデジット線対の電位差を制御するための負荷ト
ランジスタであり、ゲートは共に書込み・読出し切替え
信号の1つであるWE1に接続されており、R1はデジ
ット線対の寄生抵抗を示している。
【0082】TS01、TS02はデジット線対選択ト
ランジスタで、ゲートは共にカラムアドレスデコード信
号であるYJに接続されており、選択されたデジット線
対をバイポーラトランジスタTB01、TB02、TB
03、TB04から構成されたセンスアンプに接続し、
TS03、TS04は同様にデジット線対選択トランジ
スタであり、ゲートは共にカラムアドレスデコード信号
であるYJBに接続されており、選択されたデジット線
対を書き込みデータバスラインに接続する。
【0083】メモリセルCE1、CE2は2つの負荷素
子と4つのトランジスタから成るスタティックメモリセ
ルで、メモリセルCE1は負荷トランジスタTL01、
TL02、TL03、TL04の最近端に位置し、ワー
ド線W0によって選択される。また、メモリセルCE2
はデジット線対選択トランジスタTS01、TS02の
最近端に位置し、ワード線Wmaxによって選択され
る。
【0084】TK02、TK03は、デジット線対の負
荷トランジスタTL01、TL02、TL03、TL0
4側端に設けられ、デジット線対DL、DLBの電位差
をクランプするためのトランジスタであり、ゲートは共
に、書込み・読出し切替え信号と、デジット線対に繋が
るメモリセルアレイの任意の1つを選択するロウアドレ
ス信号との所定の論理演算結果であるクランプ制御信号
RKに共通接続されている。
【0085】図4は、本実施例に係る半導体記憶装置が
読み出し動作の信号波形を示す図であり、メモリセルC
E1の内部節点N11が高レベル、内部節点N12が低
レベル、メモリセルCE2の内部節点N21が低レベ
ル、内部節点N22が高レベルの時の動作波形図であ
る。図中DL1はデジット線DLのTS01側端の電位
波形、DLB1はデジット線DLBのTS02側端の電
位波形、VDL1はメモリセルCE2選択時のデジット
線対の電位差、VDL2はメモリセルCE1選択時のデ
ジット線対の電位差である。
【0086】本実施例では、クランプ制御信号発生回路
として図5(A)に示す論理回路を用いているため、ク
ランプ制御信号RKは半導体記憶装置が読み出し動作の
状態で、且つ図6に示す領域3もしくは領域4の中のメ
モリセルが選択された場合にしかアクティブとされな
い。以下に前述した従来例の説明と同様の手順で、図3
に示した本発明の他の実施例の動作を説明する。
【0087】ワード線W0が高レベルで領域1の中のメ
モリセルCE1を選択時、クランプ制御信号RKは高レ
ベルとなり、トランジスタTK02、TK03は共にオ
フ状態のままであり、デジット線対選択トランジスタT
S03側端のデジット線DLB1の電位は、並列形態に
接続された負荷トランジスタTL03、TL04のオン
抵抗を、メモリセルCE1の活性化電流が流れるときに
生じる電圧降下分だけ電源電圧より低くなる。
【0088】デジット線対選択トランジスタTS01側
端のデジット線DL1は、メモリセルCE1の内部節点
N11が高レベルであるため、デジット線DLには活性
化電流が流れず、電圧降下が起こらないため電源電圧の
ままである。
【0089】従って、メモリセルCE1選択時のデジッ
ト線対DL1、DLB1間の電位差VDL2は、負荷ト
ランジスタTL03、TL04のそれぞれのオン抵抗の
並列合成合成抵抗をRTL34とし、メモリセルCE1
の活性化電流をICとすると、次式(9)で与えられ
る。
【0090】VDL2=RTL34×IC …(9)
【0091】ここで、メモリセルの活性化電流IC=1
00μA、デジット線対DL1、DLB1間の電位差V
DL2=100mVとするとデジット線対の負荷素子で
あるTL03、TL04(TL01、TL02)のオン
抵抗として、その並列合成抵抗値RTL34(=RTL
12)=1KΩとなるよう設定される。
【0092】この状態でワード線Wmaxが高レベルと
され領域4のメモリセルCE2が選択されると、クラン
プ制御信号RKは低レベルとなり、トランジスタTK0
2、TK03はオン状態となり、デジット線DL1の電
位は、並列形態に接続されたトランジスタTL01、T
L02のそれぞれのオン抵抗の並列合成抵抗値RTL1
2と、トランジスタTK02のオン抵抗RTK2とを直
列形態に接続し、これにデジット線DLの寄生抵抗R1
を直列形態に接続して構成される合成抵抗を、メモリセ
ルCE2の活性化電流が流れるときに生じる電圧降下分
だけ電源電圧より低くなる。
【0093】デジット線DLB1は、メモリセルCE2
の内部節点N22が高レベルであるため、デジット線D
LBには活性化電流が流れず、電圧降下が起こらないた
め電源電圧のままである。
【0094】従って、メモリセルCE2選択時のデジッ
ト線対DL1、DLB1間の電位差VDL1は、メモリ
セルCE2の活性化電流をICとすると、次式(10)
で与えられる。
【0095】
【数2】
【0096】クランプ用トランジスタTK02のオン抵
抗RTK2=1KΩと設定すると、上式(10)から、
VDL1は次式(11)で表わされる。
【0097】 VDL1=電源電圧−100mV …(11)
【0098】すなわち、メモリセルCE2選択時のデジ
ット線対DL1、DLB1間の電位差VDL1はメモリ
セルCE1選択時のデジット線対DL1、DLB1間の
VDL2と同等となる。
【0099】次に、メモリセルからデジット線対へのデ
ータ出力遅延時間について説明する。
【0100】メモリセルCE2が選択状態から非選択と
なりメモリセルCE1が非選択から選択となる場合のデ
ジット線対の電位変化は、前述したように、まずワード
線Wmaxが高レベル状態とされメモリセルCE2を選
択時におけるデジット線DL1の電位は、電源電圧−1
00mVであり、デジット線DLB1は電源電圧であ
る。
【0101】この状態からワード線Wmaxが低レベル
に遷移すると同時にワード線W0が高レベルに遷移する
と、デジット線DL1の電位は、電源電圧−100mV
から電源電圧へと上昇し、デジット線DLB1の電位
は、電源電圧から電源電圧−100mVの電位へと降下
する。
【0102】メモリセルCE2が非選択となりメモリセ
ルCE1が選択となる場合のメモリセルからデジット線
対へのデータ出力遅延時間T1を、ワード線Wmaxの
立ち下がり波形とワード線W0の立ち上がり波形とが交
差する時点からデジット線対DL1とDLB1の電位が
交差する時点までとする(図4参照)。
【0103】また、メモリセルCE1が非選択となりメ
モリセルCE2が選択となる場合のデジット線対の電位
変化は、前述したように、まずワード線W0が高レベル
とされメモリセルCE1を選択時において、デジット線
DLB1の電位は、電源電圧−100mVであり、デジ
ット線DL1の電位は電源電圧である。
【0104】この状態からワード線W0が低レベルに遷
移すると同時にワード線Wmaxが高レベルに遷移する
と、デジット線DLB1の電位は、電源電圧−100m
Vから電源電圧へ上と昇し、デジット線DL1の電位
は、電源電圧から電源電圧−100mVの電位へと降下
する。
【0105】メモリセルCE1が非選択となりメモリセ
ルCE2が選択となる場合のメモリセルからデジット線
対へのデータ出力遅延時間T2を、ワード線Wmaxの
立ち上がり波形とワード線W0の立ち下がり波形が互い
に交差する時点からデジット線対DL1とDLB1の電
位が交差する時点までとすると(図4参照)、メモリセ
ルCE2が非選択となりメモリセルCE1が選択となる
場合のデータ出力遅延時間T1は、メモリセルCE1が
非選択となりメモリセルCE2が選択となる場合のメモ
リセルからデジット線対へのデータ出力遅延時間T2と
互いに同等の遅延時間となる。
【0106】クランプ制御信号RKの発生回路に図5
(B)を用いた例でも、読み出し動作時のデジット線対
の電位変化は同様である。
【0107】以上、本発明を上記各実施例に即して説明
したが、本発明は上記態様にのみ限定されるものでな
く、本発明の原理に準ずる各種態様を含むことは勿論で
ある。
【0108】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
書込み・読出し切替え信号とロウアドレス信号の所定の
論理演算により生成されるクランプ制御信号にて制御さ
れるデジット線対の振幅クランプ用トランジスタをデジ
ット線対に設けたことにより、デジット線対の寄生抵抗
のために選択されるメモリセルのデジット線上の位置に
依存したデジット線対振幅の増加を抑え、読み出し遅延
時間の遅れを低減する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を一実施例の構成を示す図である。
【図2】本発明の一実施例の読み出し動作を説明する信
号波形図である。
【図3】本発明を別の実施例の構成を示す図である。
【図4】本発明の別の実施例の読み出し動作を説明する
信号波形図である。
【図5】(A)本発明の実施例におけるクランプ制御信
号発生回路の回路構成を示す図である。 (B)本発明の実施例におけるクランプ制御信号発生回
路の別の回路構成を示す図である。
【図6】半導体記憶装置のロウアドレス信号と選択メモ
リセルとの関係の一例を説明する図である。
【図7】従来の半導体記憶装置におけるメモリセル、デ
ジット線系の回路構成を示す図である。
【図8】従来の半導体記憶装置の読み出し時の動作を説
明するための信号波形を示す図である。
【符号の説明】
CE1、CE2 メモリセル DL、DLB デジット線対 R1 寄生抵抗 RK クランプ制御信号 S、A センスアンプ T1、T2 デジット線対電位反転遅延時間 TK01、TK02、TK03 クランプ用トランジス
タ TL01、TL02、TL03、TL04 負荷トラン
ジスタ TS01、TS02、TS03、TS04 デジット線
対選択トランジスタ VDL1、VDL2 デジット線対電位差 W0、Wmax ワード線 WE1、WE2 書込み・読出し切替え信号 Xmax、Xmax−1 ロウアドレス信号 YJ、YJB カラムアドレスデコード信号

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行及び列両方向にアレイ状に配置された
    複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルの各列毎に
    設けられ対応する列のメモリセルにそれぞれ接続された
    複数のデジット線対と、前記複数メモリセルの各行毎に
    設けられ対応する行のメモリセルとそれぞれ接続された
    複数のワード線と、前記デジット線対の各々のデジット
    線に設けられ読み出し動作時に選択されたメモリセル
    活性化電流を流し前記デジット線対をなすデジット線間
    に電位差を与える負荷素子と、前記デジット線対の前記
    電位差をクランプするためのクランプ用素子と、前記ク
    ランプ用素子を活性化する信号を出力する制御回路と、
    を含み、前記負荷素子及び前記クランプ用素子は前記デ
    ジット線対の一側端に設けられ、前記制御回路は、前記
    ワード線を活性化して前記メモリセルを選択するための
    ロウアドレス信号のうち、前記負荷素子から最も離れた
    領域を含む所定の領域の中にあるメモリセルを選択する
    ロウアドレス信号に応答して、前記クランプ用素子を活
    性化する信号を出力するものであることを特徴とする半
    導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記制御回路にて制御される前記クラン
    プ用素子が、前記デジット線対の一側端にて各対をなす
    デジット線間に接続され、制御端子を前記制御回路の出
    力に接続されてなる、ことを特徴とする請求項1記載の
    半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記クランプ用素子が、前記デジット線
    対の一側端にて前記デジット線と電源配線間に接続さ
    れ、制御端子を前記制御回路の出力に接続してなるトラ
    ンジスタである、ことを特徴とする請求項1記載の半導
    体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記制御回路が、前記ロウアドレス信号
    の最上位ビットに応答した信号を出力する、ことを特徴
    とする請求項1から3のいずれか一に記載の半導体記憶
    装置。
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