JP3161528B2 - 液晶表示パネル - Google Patents

液晶表示パネル

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JP3161528B2 JP25266398A JP25266398A JP3161528B2 JP 3161528 B2 JP3161528 B2 JP 3161528B2 JP 25266398 A JP25266398 A JP 25266398A JP 25266398 A JP25266398 A JP 25266398A JP 3161528 B2 JP3161528 B2 JP 3161528B2
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    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に、トランスフ
ァの有無、形状等を確認窓を設けることなく目視で確認
することのできる液晶表示パネルに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の液晶表示パネルについて図面を参
照して説明する。
【0003】図20は従来の液晶表示パネルを表示面側
から見た平面図、図21はこの種の液晶表示パネルの概
略構成を示す等価回路図である。
【0004】薄膜トランジスタ(以下、TFTと称する)
をスイッチング素子として用いるアクティブマトリクス
型液晶表示パネルは、TFT及び画素電極がマトリクス
状に配置されたTFT基板100と、遮光膜(いわゆる
ブラックマトリクス)23、着色層および共通電極が形
成されたカラーフィルタ基板20とを液晶を介して対向
配置して構成される。
【0005】図21において、41は、ゲート端子31
に接続されるゲートバスラインドライバによって駆動さ
れる走査線を構成するゲートバスライン、42は、ドレ
イン端子32に接続されるドレインバスドライバによっ
て駆動される信号線を構成するドレインバスライン、4
7はゲートがゲートバスライン41に接続され、ドレイ
ンがドレインバスライン42に接続されたTFT、46
はTFT47に接続された、ITO等の透明導電膜によ
って形成された画素電極46である。
【0006】内側の破線枠で囲まれた領域は、TFTア
レイ基板100及びカラーフィルタ基板20の共通部分
を示しており、これら両基板は液晶を介して対向配置さ
れている。
【0007】TFT47のソースには蓄積容量素子45
と液晶容量素子44とが並列に接続されている。この
内、蓄積容量素子45は、画素電極46とその下に絶縁
膜を介して配置される蓄積容量電極とによって形成され
る容量素子であり、液晶容量素子44は画素電極46と
液晶を介して配置されるカラーフィルタ基板20上の対
向電極とによって形成される容量素子である。このた
め、TFTアレイ基板100に設けた共通電位入力端子
33より入力した共通電位をトランスファパッドから対
向電極へトランスファ27を介して与えている。
【0008】従来の代表的なTFTアレイ基板の構造に
ついて図面を参照して説明する。
【0009】図10は第1従来例のTFTアレイ基板の
1画素分の構成を示す平面図、図11は図10のTFT
におけるA−A’線に沿った断面図である。
【0010】TFTアレイ基板の製法について図面を参
照して説明する。
【0011】ガラス基板101上にCr、Al等の金属
膜からなる第1金属膜をパターニングして、ゲート電極
1、ゲートバスライン11及び蓄積容量電極を形成す
る。なお、図10において、ゲートバスライン11の一
部が蓄積容量電極を兼ねている。その後、シリコン酸化
膜、シリコン窒化膜等の材料からなるゲート絶縁膜1
4、真性半導体非晶質シリコン(以下では「a−Si
(I)」と略す)からなるチャネル層2、n型半導体非
晶質シリコン(以下では「a−Si(n+)」と略す)
からなるコンタクト層7を順次形成する。その後、駆動
用ドライバICを実装するための端子を設ける部分に相
当する領域のゲート絶縁膜14をエッチング除去するパ
ターニング工程を行い、ゲート電極1を形成している第
1金属膜と、ドレイン電極3、ソース電極4、及びドレ
インバスライン12を形成している第2金属膜とを導通
させるためのスルーホール(図示せず)を形成する。そ
の後、ゲート電極1と同様にCr、Al等の金属膜から
なる第2金属膜をパターニングして、ドレイン電極3、
ソース電極4、ドレインバスライン12を設け、続いて
ITO等の透明導電材料からなる透明導電膜を画素電極
6として形成する。しかる後、チャネル部のコンタクト
層7をエッチング除去する。その後、シリコン窒化膜等
の材料からなるパッシベーション膜15を形成してTF
Tアレイ基板100とする。ここで、パッシベーション
膜15の光吸収に起因するパネル透過率の低下すなわち
表示の明るさの低下を防止するために画素電極6上のパ
ッシベーション膜15は除去されている。即ち、パッシ
ベーション膜15は、図10及び図11に示されるよう
に画素電極6のほぼ1面上に亘ってパッシベーション膜
開口領域を備えている。
【0012】続いて、第1従来例のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの製法について、図面を用い
て説明する。
【0013】図12は第1従来例のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの平面図、図13は図12の
A−A’線に沿った断面図である。以下で説明する製法
及び工程は、図10及び図11を用いて先に説明したT
FTアレイ基板と同一のものである。
【0014】ガラス基板101上にCr、Al等の金属
膜からなる第1金属膜301を成膜し、トランスファパ
ッドとしての所定の形状にパターニングした後、シリコ
ン酸化膜、シリコン窒化膜等の材料からなるゲート絶縁
膜14を形成する。その後、第1金属膜301上の所定
の領域のゲート絶縁膜14をエッチング除去するパター
ニング工程を行い、第1金属膜301と第2金属膜30
3とを導通させるためのスルーホール9を形成する。そ
の後、Cr、Al等の金属膜からなる第2金属膜303
を第1金属膜301と同様に所定の形状にパターニング
する。続いてITO等の透明導電材料からなる透明導電
膜306を前述の第2金属膜303上に形成する。しか
る後、シリコン窒化膜等の材料からなるパッシベーショ
ン膜15を形成してトランスファパッドとする。ここ
で、トランスファパッドとトランスファ24とを電気的
に接続するために、透明導電膜306上のパッシベーシ
ョン膜15は除去されている。即ち、パッシベーション
膜15は、図12及び図13に示されるように透明導電
膜306上にパッシベーション膜開口領域を備えてい
る。このトランスファパッドでは、第1金属膜301と
第2金属膜303との双方、もしくはいずれか一方を用
いて、共通電位入力端子33と接続している。
【0015】図10及び図11を用いて説明した第1従
来例において、ドレインバスライン12と画素電極6は
共にゲート絶縁膜14上つまり同一平面上に設けられて
おり、一定の間隔を介して隣接している。このため、そ
れぞれのパターニング工程においてパターニング不良が
発生すると、ドレインバスライン12と画素電極6との
短絡が発生しやすい。ドレインバスライン12と画素電
極6との短絡があると、画素電極6の充放電がTFTの
オン/オフで制御できなくなり、その画素は点欠陥とし
て視認される。
【0016】このため、ドレインバスライン12と画素
電極6との短絡を低減するTFT構造が提案されてい
る。
【0017】このTFTを第2従来例として図面を参照
して説明する。
【0018】図14は第2従来例のTFTアレイ基板の
1画素分の構成を示す平面図、図15は図14のTFT
におけるA−A’線に沿った断面図である。
【0019】TFTアレイ基板の製法を図面を参照して
説明する。
【0020】ガラス基板101上にCr、Al等の金属
膜からなる第1金属膜をパターニングして、ゲート電極
1、ゲートバスライン11及び蓄積容量電極を形成す
る。なお、図14においても図10と同様に、ゲートバ
スライン11の一部が蓄積容量電極を兼ねている。その
後、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜等の材料からなる
ゲート絶縁膜14、a−Si(I)からなるチャネル層
2、a−Si(n+)からなるコンタクト層7を順次形
成する。その後、駆動用ドライバICを実装するための
端子を設ける部分に相当する領域のゲート絶縁膜14を
エッチング除去するパターニング工程を行い、ゲート電
極1を形成している第1金属膜と、ドレイン電極2、ソ
ース電極4、及びドレインバスライン12を形成してい
る第2金属膜とを導通させるためのスルーホール(図示
せず)を形成する。その後、ゲート電極1と同様にC
r、Al等の金属膜からなる第2金属膜をパターニング
して、ドレイン電極2、ソース電極4、ドレインバスラ
イン12を設ける。しかる後、チャネル部のコンタクト
層7をエッチング除去する。その上に、シリコン窒化膜
等の材料からなるパッシベーション膜15を形成した
後、第2金属膜からなるソース電極4と画素電極6を導
通させるスルーホール10及び第1を設けた後、画素電
極6を形成してTFTアレイ基板100とする。なお、
この構造におけるパターニング工程の数は図10及び図
11を用いて説明した構造と同じである。
【0021】第2従来例であるTFTの1画素分の構造
において、ドレインバスライン12はゲート絶縁膜14
上に設けられており、一方、画素電極6はパッシベーシ
ョン膜15上に形成されている。ドレインバスライン1
2と画素電極6の間には絶縁膜であるパッシベーション
膜15が存在するので、それぞれのパターニング工程に
おいてパターニング不良が発生しても、ドレインバスラ
イン12と画素電極との短絡が発生しない。このため、
点欠陥不良を低減することができる。
【0022】続いて、第2従来例のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの構成について図面を用いて
説明する。
【0023】図16はTFTアレイ基板に設けたトラン
スファパッドの第1例の平面図、図17は図16のA−
A’線に沿った断面図、図18はTFTアレイ基板に設
けたトランスファパッドの第2例の平面図、図19は図
18のA−A’線に沿った断面図である。以下で説明す
る製法及び工程は、図14及び図15を用いて先に説明
したTFTアレイ基板と同一のものである。
【0024】まず、トランスファパッドの第1例の構成
について説明する。
【0025】図16、図17に示したように、ガラス基
板101上にCr、Al等の金属膜からなる第1金属膜
301を成膜し、トランスファパッドとしての所定の形
状にパターニングした後、シリコン酸化膜、シリコン窒
化膜等の材料からなるゲート絶縁膜14を形成する。し
かる後、シリコン窒化膜等の材料からなるパッシベーシ
ョン膜15を形成する。ここで、第1金属膜301と透
明導電膜306とを電気的に接続するために、第1金属
膜301上のゲート絶縁膜14とパッシベーション膜1
5の双方をエッチング除去し、スルーホール8を形成す
る。続いてITO等の透明導電材料からなる透明導電膜
306を前述の第1金属膜301上に形成して、トラン
スファパッドとする。このトランスファパッドでは、第
1金属膜301を用いて、共通電位入力端子33と接続
している。
【0026】次に、トランスファパッドの第2例の構成
について説明する。
【0027】図18、図19に示したように、ガラス基
板101上にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜等の材料
からなるゲート絶縁膜14を形成する。その上にCr、
Al等の金属膜からなる第2金属膜303を成膜し、ト
ランスファパッドとしての所定の形状にパターニングし
た後、シリコン窒化膜等の材料からなるパッシベーショ
ン膜15を形成する。ここで、第2金属膜303と透明
導電膜306とを電気的に接続するために、第2金属膜
303上のパッシベーション膜15を同時にエッチング
除去する。続いてITO等の透明導電材料からなる透明
導電膜306を前述の第2金属膜303上に形成して、
トランスファパッドとする。このトランスファパッドで
は、第2金属膜303を用いて、共通電位入力端子33
と接続している。
【0028】次に、これまで説明した第1,2従来例の
TFTアレイ基板を用いた液晶表示パネルの製法につい
て、図面を参照して説明する。
【0029】カラーフィルタ基板20は、ガラス基板2
1上にCr、CrOx等の金属膜や黒色樹脂からなるブ
ラックマトリクス23および着色層(図示せず)を設け
る。この際にトランスファの有無や形状が確認できるよ
うに、ブラックマトリクス23の一部を除去してトラン
スファ確認窓26を設ける(図20参照)。その上にIT
O等の透明導電膜からなる対向電極22を形成して、カ
ラーフィルタ基板20とする。
【0030】TFTアレイ基板100及びカラーフィル
タ基板20のそれぞれに配向膜(図示せず)を形成して
配向処理を行う。その後、カラーフィルタ基板20の外
周近傍に、周縁に沿って、接着剤からなるシール(図示
せず)を形成し、カラーフィルタ基板20の四隅に銀ペ
ースト等の材料からなるトランスファ24を形成する。
なお、トランスファ24はTFTアレイ基板に設けたト
ランスファパッドとカラーフィルタ基板に設けた対向電
極22とが電気的に導通するように形成する。しかる
後、前述の2枚の基板を所定の距離を隔てて接着し、こ
れら2枚の基板間に液晶(図示せず)を注入した後、封
孔して液晶パネルが完成する。
【0031】この液晶表示パネルに偏光板25,10
2、駆動回路及び筐体などを付加し、液晶表示装置とな
る。液晶表示装置として組み立てた場合、カラーフィル
タ基板20のガラス面方向から表示を見ることになる。
【0032】前述の通り、従来の液晶パネルにはトラン
スファ24の形状や有無を確認するために、ブラックマ
トリクス23の一部を除去してトランスファ確認窓26
を設けている。これにより、液晶パネル組立後において
もトランスファ24の工程管理等が目視によって容易に
行えるという利点がある。
【0033】昨今、液晶表示パネルの表面反射による映
り込み等の表示品位の低下を抑制するために、CrOx
や黒色樹脂を用いたブラックマトリクス23の低反射化
や偏光板25表面の低反射処理等の技術が採用されてい
る。この場合、液晶表示パネルの表示面すなわちカラー
フィルタ基板20のガラス面から見ると、ブラックマト
リクス23や偏光板25に比べて比較的反射率の高い銀
ペースト等で形成されたトランスファ24がブラックマ
トリクス23に設けたトランスファ確認窓26を介して
視認されやすい。このため、外観上の品位が損なわれる
という問題点を有することになる。
【0034】なお、トランスファパッドの構造に関する
公知例として、特開平8−327995号公報及び特開
平7−159795号公報が公開されている。
【0035】特開平8−327995号公報において提
示されているトランスファパッドの構成は前述の構成に
準ずるものであるが、ブラックマトリクスにはトランス
ファ確認窓を設けていない。このため、トランスファが
液晶パネル表示面側から視認されることはないものの、
液晶パネル組立後にトランスファの有無や形状を確認す
ることができないという問題がある。
【0036】特開平7−159795号公報において
は、シールやトランスファを形成する領域にガイド溝を
設けることにより、シールやトランスファの形状不良を
低減する技術を提案しているが、本発明において解決し
ようとしている問題点とはなんら関係するものではな
い。
【0037】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
従来技術の問題点に鑑み、液晶表示パネル組立後にトラ
ンスファの有無及び形状を目視で確認することが可能で
あると同時に、液晶パネル表示面でのトランスファの反
射による外観上の品位低下を防止した液晶表示装置を提
供することである。
【0038】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ブラッ
クマトリックスを有するカラーフィルタ基板とその表面
に設けられた金属導電膜で構成されるゲートバスライン
やドレインバスラインを有するTFTアレイ基板とが間
隙をもって対向配置され前記間隙に液晶が封入された液
晶表示パネルであって、前記TFTアレイ基板側から前
記カラーフィルタ基板に形成された対向電極に共通電位
を供給するためにこれら2つの基板間にトランスファを
設け、前記TFT基板の前記トランスファが位置する領
域に対応する領域には前記金属導電膜が存在せず、前記
カラーフィルタ基板の前記トランスファが位置する領域
に対応する領域にはブラックマトリックスが存在するこ
とにある。 前記トランスファは前記TFT基板に設けら
れその表面が透明電極で覆われているトランスファパッ
ドと接続され、前記トランスファパッドは前記金属導電
膜を介して前記TFT基板に設けられた共通電位入力端
子に接続されていてもよい。 前記トランスファパッドは
前記トランスファが接続される領域の外周において前記
金属導電膜と接続されていてもよい。 本発明の他の特徴
は、ガラス基板上に下から順にブラックマトリックスお
よび対向電極が形成されたカラーフィルタ基板とガラス
基板上にTFTアレイと共通電位入力端子および前記共
通電位入力端子につながる金属配線が形成されたTFT
基板とが互いに対向配置され、前記金属配線と前記対向
電極がトランスファを介して電気的につなげられた液晶
表示パネルにおいて、前記カラーフィルタ基板の前記ト
ランスファが設けられた位置に対応する領域にはブラッ
クマトリックスが存在し、前記トランスファと前記金属
配線とは前記TFT基板のガラス基板に接して設けられ
た透明導電膜を介して接続されていることにある。 前記
金属配線は前記TFTアレイのゲートバスラインまたは
ドレインバスラインを形成する金属配線と同じ金属配線
層にあってもよい。 本発明のさらに他の特徴は、カラー
フィルタ基板とTFTアレイ基板とが対向して配置され
その間に液晶が封入されていると共に前記カラーフィル
タ表面に設 けられた対向電極と前記TFT基板に設けら
れた金属配線とがトランスファで電気的に接続された液
晶表示パネルにおいて、前記トランスファが設けられた
位置のカラーフィルタ基板にはブラックマトリクスが存
在し、前記トランスファが設けられた位置のTFT基板
には透明導電膜のみが存在することにある。 本発明のさ
らに他の特徴は、カラーフィルタ基板とTFTアレイ基
板とが対向して配置されその間に液晶が封入されている
と共に前記カラーフィルタ表面に設けられた対向電極と
前記TFT基板に設けられた金属配線とがトランスファ
で電気的に接続された液晶表示パネルにおいて、前記ト
ランスファの一端は前記カラーフィルタのブラックマト
リックスで覆われた領域で前記対向電極に接続され、そ
の他端の前記TFT基板側表面では透明導電膜のみで接
続されていることにある。 本発明のさらに他の特徴は、
表示領域の外周に遮光膜で覆われている遮光領域を有す
るカラーフィルタとTFTアレイを有するTFTアレイ
基板とを対向配置しその間に液晶が封入されるととも
に、、前記カラーフィルタ表面に設けられた対向電極に
共通電極を与えるために前記TFT基板と前記対向電極
の間に設けたトランスファを有する液晶表示パネルにお
いて、前記トランスファは前記遮光領域に対応する位置
に設けられ、前記TFT基板側では外側から前記トラン
スファを確認することができることにある。
【0039】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。
【0040】本発明の第1実施形態であるTFTアレイ
基板に設けたトランスファパッド及び液晶パネルについ
て説明する。
【0041】図1は第1実施形態のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの構成を示す平面図、図2は
図1及び図9のA−A’線に沿った断面図、図9は本発
明の液晶表示パネルをカラーフィルタ基板のガラス面す
なわち液晶表示パネルの表示面側から見た平面図であ
る。
【0042】まず、TFTアレイ基板上に設けたトラン
スファパッドの製法及び構造について、図1及び図2を
参照して説明する。なお、TFTアレイ基板上に設けた
TFTとトランスファパッドは同一の材料、同一のパタ
ーニング工程によって形成される。
【0043】ガラス基板101上にCr、Al等の金属
膜からなる第1金属膜301を成膜し、所定の形状にパ
ターニングを行う。このとき、トランスファ24が形成
される位置に対応した領域の第1金属膜301を除去し
ておく。なお、第1金属膜301と同一の材料、同一の
パターニング工程を用いてTFTのゲート電極(図示せ
ず)、蓄積容量電極(図示せず)及びゲートバスライン
(図示せず)が形成される。その上に、シリコン酸化
膜、シリコン窒化膜等の材料からなるゲート絶縁膜1
4、真性半導体非晶質シリコン(以下では「a−Si
(I)」と略す)からなるチャネル層(図示せず)、n
型半導体非晶質シリコン(以下では「a−Si(n
+)」と略す)からなるコンタクト層(図示せず)を順
次形成した後、不要な領域のチャネル層(図示せず)及
びコンタクト層(図示せず)を選択的にエッチング除去
する。
【0044】その後、ゲート絶縁膜14をエッチング除
去するパターニング工程を行い、第1金属膜301と第
2金属膜303とを導通させるためのスルーホール9を
形成する。その上に、第1金属膜301と同様にCr、
Al等の金属膜からなる第2金属膜303をパターニン
グ形成する。ここでも、第1金属膜301と同様にトラ
ンスファ24が形成される位置に対応した領域の第2金
属膜303を除去しておく。なお、第2金属膜303と
同一の材料、同一のパターニング工程によって、TFT
のドレイン電極(図示せず)、ソース電極(図示せず)
及びドレインバスライン(図示せず)が形成される。
【0045】続いてITO等の透明導電材料からなる透
明導電膜306を、第2金属膜303上を覆うようにパ
ターニング形成する。なお、透明導電膜306と同一の
材料、同一のパターニング工程を用いてTFTのソース
電極(図示せず)に接続している画素電極(図示せず)
が形成される。TFTチャネル部のコンタクト層(図示
せず)をエッチング除去する工程を経た後、シリコン窒
化膜等の材料からなるパッシベーション膜15を形成し
てトランスファパッドとすると同時にTFTアレイ基板
100が完成する。
【0046】ここで、トランスファパッドとトランスフ
ァ24とを電気的に接続するために、透明導電膜306
上のパッシベーション膜15は除去されている。即ち、
パッシベーション膜15は、図1及び図2に示されるよ
うに透明導電膜306上にパッシベーション膜開口領域
を備えている。なお、本実施形態のトランスファパッド
では、第1金属膜301と第2金属膜303との双方、
もしくはいずれか一方を用いて、共通電位入力端子33
と接続している。
【0047】続いて、本実施形態の液晶表示パネルの製
法について、図2及び図9を用いて説明する。
【0048】カラーフィルタ基板20は、ガラス基板2
1上にCr、CrOx等の金属膜や黒色樹脂等の低反射
材料からなるブラックマトリクス23および着色層(図
示せず)を設ける。このとき、ブラックマトリクス23
にはトランスファの有無や形状を確認するための窓すな
わちブラックマトリクス23を一部除去した領域を形成
せず、表示部外周をほぼ全面に亘って遮光する構造にす
る。その上にITO等の透明導電膜からなる対向電極2
2を形成して、カラーフィルタ基板20とする。
【0049】TFTアレイ基板100及びカラーフィル
タ基板20のそれぞれに配向膜(図示せず)を形成して
配向処理を行う。その後、カラーフィルタ基板20の外
周近傍に、周縁に沿って、接着剤からなるシール(図示
せず)を形成し、カラーフィルタ基板20の四隅に銀ペ
ースト等の材料からなるトランスファ24を形成する。
なお、トランスファ24は、TFTアレイ基板に設けた
トランスファパッドを構成している第1または第2金属
膜301,303とカラーフィルタ基板に設けた対向電
極22とが電気的に導通するように形成する。しかる
後、前述の2枚の基板を所定の距離を隔てて接着し、こ
れら2枚の基板間に液晶(図示せず)を注入した後、封
孔して液晶パネルが完成する。
【0050】この液晶表示パネルに偏光板25,10
2、駆動回路及び筐体などを付加し、液晶表示装置とな
る。液晶表示装置として組み立てた場合、カラーフィル
タ基板20のガラス面方向から表示を見ることになる。
なお、カラーフィルタ基板20に貼合する偏光板25の
表面には低反射処理が施してある。
【0051】従来例のように、ブラックマトリクス23
にトランスファ確認窓26を設けると、ブラックマトリ
クス23や偏光板25の表面に比べて比較的反射率の高
い銀ペースト等の材料で形成されたトランスファ24
が、カラーフィルタ基板20のガラス面すなわち液晶表
示パネルの表示面側から見た際に視認される。このよう
にトランスファ24が視認されることが外観上の品位低
下につながる。
【0052】しかし、以上のようにして得られた本実施
形態では、カラーフィルタ基板20上のブラックマトリ
クス23にトランスファ確認窓を設けることなく、TF
T基板に設けたトランスファパッドを構成している第1
金属膜及び第2金属膜において、トランスファ24が形
成される領域を除去しているので、この部分がトランス
ファ確認窓として作用する。
【0053】これにより、液晶表示パネル組立後すなわ
ちTFTアレイ基板100とカラーフィルタ基板20と
を貼り合わせた後でもトランスファ24の有無や形状を
TFTSアレイ基板のガラス面から目視で外観上の品位
低下なく確認することができ、トランスファ形成工程の
不具合等を簡便に検知することが可能になる。
【0054】しかも、本実施形態において、トランスフ
ァパッドは、TFTを形成する工程と同一の材料、同一
のパターニング工程によって形成されるため、新たに工
程を追加する必要はない。
【0055】第2実施形態のTFTアレイ基板に設けた
トランスファパッド及び液晶パネルの構造について説明
する。
【0056】図3は第2実施形態のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの構成を示す平面図、図4は
図3及び図9のA−A’線に沿った断面図である。
【0057】まず、TFTアレイ基板上に設けたトラン
スファパッドの製造方法及び構造を図3及び図4を参照
して説明する。なお、TFTアレイ基板上に設けたTF
Tとトランスファパッドは同一の材料、同一のパターニ
ング工程によって形成される。
【0058】ガラス基板101上にCr、Al等の金属
膜からなる第1金属膜301を成膜し、所定の形状にパ
ターニングを行う。このとき、トランスファ24が形成
される位置に対応した領域の第1金属膜301を除去し
ておく。なお、第1金属膜301と同一の材料、同一の
パターニング工程を用いてTFTのゲート電極(図示せ
ず)、蓄積容量電極(図示せず)及びゲートバスライン
(図示せず)が形成される。その上に、シリコン酸化
膜、シリコン窒化膜等の材料からなるゲート絶縁膜1
4、a−Si(I)からなるチャネル層(図示せず)、
a−Si(n+)からなるコンタクト層(図示せず)を
順次形成した後、不要な領域のチャネル層(図示せず)
及びコンタクト層(図示せず)を選択的にエッチング除
去する。
【0059】その後、ゲート絶縁膜14をエッチング除
去するパターニング工程を行い、第1金属膜301と透
明導電膜306とを導通させるためのスルーホール9を
形成する。その上に、Cr、Al等の金属膜からなる、
TFTのドレイン電極(図示せず)、ソース電極(図示
せず)及びドレインバスライン(図示せず)を形成する
パターニング工程と、TFTチャネル部のコンタクト層
(図示せず)をエッチング除去する工程とを経た後、シ
リコン窒化膜等の材料からなるパッシベーション膜15
を形成し、第1金属膜301と透明導電膜306とを電
気的に接続するためのスルーホール9を設ける。なお、
図3及び図4においてはゲート絶縁膜14とパッシベー
ション膜15とのそれぞれに設けたスルーホールをスル
ーホール8として、まとめて記載している。
【0060】続いてITO等の透明導電材料からなる透
明導電膜306を、第1金属膜301上を覆うようにパ
ターニング形成してトランスファパッドとすると同時
に、TFTアレイ基板100が完成する。なお、本実施
形態のトランスファパッドでは、第1金属膜301を用
いて共通電位入力端子33と接続している。
【0061】第2実施形態の液晶表示パネルの構成及び
製法については、第1実施形態と同じである。この場合
も、カラーフィルタ基板20上のブラックマトリクス2
3にはトランスファの有無や形状を確認するための窓す
なわちブラックマトリクス23を一部除去した領域を形
成せず、表示部外周をほぼ全面に亘って遮光する構造に
する。
【0062】以上のようにして得られた第2実施形態に
おいても第1実施形態と同様に、カラーフィルタ基板2
0上のブラックマトリクス23にトランスファ確認窓を
設けていないので、トランスファ24の反射による外観
上の品位低下が起こらない。
【0063】また、TFT基板に設けたトランスファパ
ッドを構成している第1金属膜301において、トラン
スファ24が形成される領域を除去しているので、この
部分がトランスファ確認窓として作用する。これによ
り、液晶表示パネル組立後すなわちTFTアレイ基板1
0とカラーフィルタ基板20とを貼り合わせた後でもト
ランスファ24の有無や形状をTFTアレイ基板のガラ
ス面から目視で確認することができ、トランスファ形成
工程の不具合等を簡便に検知することが可能になる。
【0064】しかも、本実施形態においても、トランス
ファパッドは、TFTを形成する工程と同一の材料、同
一のパターニング工程によって形成されるため、新たに
工程を追加する必要はない。
【0065】第3実施形態のTFTアレイ基板に設けた
トランスファパッド及び液晶表示パネルの構造について
説明する。
【0066】図5は第3実施形態のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの構成を示す平面図、図6は
図5及び図9のA−A’線に沿った断面図である。
【0067】まず、TFTアレイ基板上に設けたトラン
スファパッドの製法及び構造を図5及び図6を参照して
説明する。なお、TFTアレイ基板上に設けたTFTと
トランスファパッドは同一の材料、同一のパターニング
工程によって形成される。
【0068】ガラス基板101上にCr、Al等の金属
膜からなるTFTのゲート電極(図示せず)、蓄積容量
電極(図示せず)及びゲートバスライン(図示せず)を
形成するパターニング工程、その上にシリコン酸化膜、
シリコン窒化膜等の材料からなるゲート絶縁膜14、a
−Si(I)からなるチャネル層(図示せず)、a−S
i(n+)からなるコンタクト層(図示せず)を順次形
成した後、不要な領域のチャネル層(図示せず)及びコ
ンタクト層(図示せず)を選択的にエッチング除去する
工程、及び第2金属膜303と透明導電膜306とを導
通させるためのスルーホール(図示せず)を形成する工
程を経た後、その上に、Cr、Al等の金属膜からなる
第2金属膜303をパターニング形成する。このとき、
トランスファ24が形成される位置に対応した領域の第
2金属膜303を除去しておく。なお、第2金属膜30
3と同一の材料、同一のパターニング工程によって、T
FTのドレイン電極(図示せず)、ソース電極(図示せ
ず)及びドレインバスライン(図示せず)が形成され
る。
【0069】続いて、TFTチャネル部のコンタクト層
(図示せず)をエッチング除去する工程とを経た後、シ
リコン窒化膜等の材料からなるパッシベーション膜15
を形成し、第2金属膜303と透明導電膜306とを電
気的に接続するためのスルーホール10を設ける。その
上に、ITO等の透明導電材料からなる透明導電膜30
6を、第2金属膜303上を覆うようにパターニング形
成してトランスファパッドとすると同時に、TFTアレ
イ基板100が完成する。なお、本実施形態のトランス
ファパッドでは、第2金属膜303を用いて共通電位入
力端子33と接続している。
【0070】第3実施形態の液晶表示パネルの構成及び
製法は第1実施形態と同じである。この場合も、カラー
フィルタ基板20上のブラックマトリクス23にはトラ
ンスファの有無や形状を確認するための窓すなわちブラ
ックマトリクス23を一部除去した領域を形成せず、表
示部外周をほぼ全面に亘って遮光する構造にする。
【0071】以上のようにして得られた第3実施形態に
おいても第1実施形態と同様に、カラーフィルタ基板2
0上のブラックマトリクス23にトランスファ確認窓を
設けていないので、トランスファ24の反射による外観
上の品位低下が起こらない。
【0072】また、TFT基板に設けたトランスファパ
ッドを構成している第2金属膜303において、トラン
スファ24が形成される領域を除去しているので、この
部分がトランスファ確認窓として作用する。これによ
り、液晶表示パネル組立後すなわちTFTアレイ基板1
0とカラーフィルタ基板20とを貼り合わせた後でもト
ランスファ24の有無や形状をTFTアレイ基板のガラ
ス面から目視で確認することができ、トランスファ形成
工程の不具合等を簡便に検知することが可能になる。
【0073】しかも、本実施形態においても、トランス
ファパッドは、TFTを形成する工程と同一の材料、同
一のパターニング工程によって形成されるため、新たに
工程を追加する必要はない。
【0074】第4実施形態のTFTアレイ基板に設けた
トランスファパッドの構造について説明する。
【0075】図7は第4実施形態のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの構成を示す平面図である。
【0076】本実施形態のトランスファパッド及び液晶
表示パネルの構成と製法は第1実施形態と同じである。
【0077】本実施形態の特徴はトランスファパッドを
形成している第1金属膜301を除去し、トランスファ
確認窓としている領域に、第1金属膜301からなるト
ランスファの寸法を測定するバーニアを付加したことで
ある。このバーニアを付加することにより、液晶表示パ
ネル組立後すなわちTFTアレイ基板10とカラーフィ
ルタ基板20とを貼り合わせた後でもトランスファ24
の有無や形状をTFTアレイ基板のガラス面から目視で
確認することができると同時に、トランスファ出来上が
り寸法を容易に測定し且つ管理することが可能になる。
【0078】TFTアレイ基板に設けた第5実施形態の
トランスファパッドの構造について説明する。
【0079】図8は第5実施形態のTFTアレイ基板に
設けたトランスファパッドの構成を示す平面図である。
【0080】本実施形態のトランスファパッド及び液晶
表示パネルの構成と製法は第1実施形態と同じである。
【0081】本実施形態の特徴はトランスファパッドを
形成している第2金属膜303を除去し、トランスファ
確認窓としている領域に、第2金属膜303からなるト
ランスファの寸法を測定するバーニアを付加したことで
ある。このバーニアを付加することにより、液晶表示パ
ネル組立後すなわちTFTアレイ基板10とカラーフィ
ルタ基板20とを貼り合わせた後でもトランスファ24
の有無や形状をTFTアレイ基板のガラス面から目視で
確認することができると同時に、トランスファ出来上が
り寸法を容易に測定し且つ管理することが可能になる。
【0082】なお、第4実施形態及び第5実施形態で説
明した、第1金属膜301もしくは第2金属膜303を
用いて形成した寸法測定バーニアの付加は第2実施形態
及び第3実施形態にも適用することが可能である。
【0083】以上、好ましい実施形態について説明した
が、本発明はこれら実施形態に限定されるものではな
く、権利の範囲に記載された発明の範囲内において各種
の変更が可能である。例えば、第1金属膜、第2金属膜
等を他の金属材料や複合膜で構成することができ、ゲー
ト絶縁膜やパッシベーション膜を種々の絶縁膜や複合膜
によって形成することができる。
【0084】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶表示パネル組立後すなわちTFTアレイ基板とカラ
ーフィルタ基板を貼り合わせた後に、 TFT基板のガ
ラス面側からトランスファパッドを構成している金属膜
を除去部分を介して、トランスファの有無や形状を目視
にて確認することができる。また、トランスファパッド
を構成している金属膜を除去した部分に設けた寸法測定
バーニアを介して、同時にトランスファの寸法を容易に
測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッドの構成を示す平面図
【図2】図1のA−A’線に沿った断面図
【図3】第2実施形態のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッドの構成を示す平面図
【図4】図3のA−A’線に沿った断面図
【図5】第3実施形態のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッドの構成を示す平面図
【図6】図5のA−A’線に沿った断面図
【図7】第4実施形態のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッドの構成を示す平面図
【図8】第5実施形態のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッドの構成を示す平面図
【図9】本発明の液晶表示パネルを表示面側から見た平
面図
【図10】第1従来例のTFTアレイ基板の1画素分の
構成を示す平面図
【図11】図10のTFTにおけるA−A’線に沿った
断面図
【図12】第1従来例のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッドの平面図
【図13】図12のA−A’線に沿った断面図
【図14】第2従来例のTFTアレイ基板の1画素分の
構成を示す平面図
【図15】図14のTFTにおけるA−A’線に沿った
断面図
【図16】第2従来例のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッド(第1例)の平面図
【図17】図16のA−A’線に沿った断面図
【図18】第2従来例のTFTアレイ基板に設けたトラ
ンスファパッド(第2例)の平面図
【図19】図18のA−A’線に沿った断面図
【図20】従来の液晶表示パネルを表示面側から見た平
面図
【図21】従来の液晶表示パネルの概略構成を示す等価
回路図
【符号の説明】
1 ゲート電極 2 チャネル層 3 ドレイン電極 4 ソース電極 6 画素電極 7 コンタクト層 8,9,10 スルーホール 11 ゲートバスライン 12 ドレインバスライン 14 ゲート絶縁膜 15 パッシベーション膜 20 カラーフィルタ基板 21 ガラス基板 22 対向電極 23 ブラックマトリクス 24 トランスファ 25 偏光板 26 トランスファ確認窓 27 トランソファ 30 表示部 31 ゲート端子 32 ドレイン端子 33 共通電位入力端子 100 TFTアレイ基板 101 ガラス基板 102 偏光板 301 第1金属膜 303 第2金属膜 306 透明導電膜

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ブラックマトリックスを有するカラーフ
    ィルタ基板とその表面に設けられた金属導電膜で構成さ
    れるゲートバスラインやドレインバスラインを有するT
    FTアレイ基板とが間隙をもって対向配置され前記間隙
    に液晶が封入された液晶表示パネルであって、 前記TFTアレイ基板側から前記カラーフィルタ基板に
    形成された対向電極に共通電位を供給するためにこれら
    2つの基板間にトランスファを設け、前記TFT基板の
    前記トランスファが位置する領域に対応する領域には前
    記金属導電膜が存在せず、前記カラーフィルタ基板の前
    記トランスファが位置する領域に対応する領域にはブラ
    ックマトリックスが存在する ことを特徴とする液晶表示
    パネル。
  2. 【請求項2】 前記トランスファは前記TFT基板に設
    けられその表面が透明電極で覆われているトランスファ
    パッドと接続され、前記トランスファパッドは前記金属
    導電膜を介して前記TFT基板に設けられた共通電位入
    力端子に接続されていることを特徴とする請求項1
    載の液晶表示パネル。
  3. 【請求項3】 前記トランスファパッドは前記トランス
    ファが接続される領域の外周において前記金属導電膜と
    接続されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶
    表示パネル。
  4. 【請求項4】 ガラス基板上に下から順にブラックマト
    リックスおよび対向電極が形成されたカラーフィルタ基
    板とガラス基板上にTFTアレイと共通電位入力端子お
    よび前記共通電位入力端子につながる金属配線が形成さ
    れたTFT基板とが互いに対向配置され、前記金属配線
    と前記対向電極がトランスファを介して電気的につなげ
    られた液晶表示パネルにおいて、 前記カラーフィルタ基板の前記トランスファが設けられ
    た位置に対応する領域にはブラックマトリックスが存在
    し、前記トランスファと前記金属配線とは前記TFT基
    板のガラス基板に接して設けられた透明導電膜を介して
    接続されていることを特徴とする 液晶表示パネル。
  5. 【請求項5】 前記金属配線は前記TFTアレイのゲー
    トバスラインまたはドレインバスラインを形成する金属
    配線と同じ金属配線層にあることを特徴とする請求項4
    に記載の液晶表示パネル。
  6. 【請求項6】 カラーフィルタ基板とTFTアレイ基板
    とが対向して配置されその間に液晶が封入されていると
    共に前記カラーフィルタ表面に設けられた対向電極と前
    記TFT基板に設けられた金属配線とがトランスファで
    電気的に接続された液晶表示パネルにおいて、 前記トランスファが設けられた位置のカラーフィルタ基
    板にはブラックマトリクスが存在し、前記トランスファ
    が設けられた位置のTFT基板には透明導電膜のみが存
    在することを特徴とする液晶表示パネル。
  7. 【請求項7】 カラーフィルタ基板とTFTアレイ基板
    とが対向して配置されその間に液晶が封入されていると
    共に前記カラーフィルタ表面に設けられた対向電極と前
    記TFT基板に設けられた金属配線とがトランスファで
    電気的に接続された液晶表示パネルにおいて、 前記トランスファの一端は前記カラーフィルタのブラッ
    クマトリックスで覆われた領域で前記対向電極に接続さ
    れ、その他端の前記TFT基板側表面では透明導電膜の
    みで接続されていることを特徴とする液晶表示パネル。
  8. 【請求項8】 表示領域の外周に遮光膜で覆われている
    遮光領域を有するカラーフィルタとTFTアレイを有す
    るTFTアレイ基板とを対向配置しその間に液晶が封入
    されるとともに、前記カラーフィルタ表面に設けられた
    対向電極に共通電極を与えるために前記TFT基板と前
    記対向電極の間に設けたトランスファを有する液晶表示
    パネルにおいて、 前記トランスファは前記遮光領域に対応する位置に設け
    られ、前記TFT基板側では外側から前記トランスファ
    を確認することができることを特徴とする液晶表示パネ
    ル。
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