JP3141744B2 - 圧電トランス - Google Patents
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- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one piezoelectric, electrostrictive or magnetostrictive element covered by groups H10N30/00 – H10N35/00
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
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Description
電トランスに関するもので、特に、複数の圧電セラミッ
ク材料層からなる積層体の内部に位置される駆動電極の
パターンに向けられる改良に関するものである。
の板状の圧電体を備え、その圧電体の長手方向の一方側
に、厚み方向に対向する1対の電極すなわち第1および
第2の電極を形成し、長手方向の他方側の端面に、もう
1つの電極すなわち第3の電極を形成するとともに、圧
電体の前記一方側を厚み方向に分極し、前記他方側を長
手方向に分極することによって構成される。ここで、第
1および第2の電極は、駆動部ないしは入力部側とな
り、第3の電極は、発電部ないしは出力部側となる。
の長手方向寸法で決まる固有共振周波数の入力電圧を印
加すると、圧電体は、電歪効果により長手方向に強い機
械的振動を起こし、これにより、圧電体の前記他方側で
は、圧電効果により電荷が発生し、これを第3の電極と
第1または第2の電極との間で交番高電圧として取り出
すことができる。このように、圧電トランスは、電気エ
ネルギから機械エネルギへの変換、さらに機械エネルギ
から電気エネルギへの変換を通して昇圧作用を行なう。
としては、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛系のような圧
電セラミック材料が通常用いられている。しかしなが
ら、圧電トランスは、一般に昇圧比が小さいため、実用
化が困難であるという問題を有している。昇圧比を決め
るファクタとしては、圧電体の長手方向寸法や厚み方向
寸法すなわち第1の電極と第2の電極との距離等があ
り、長手方向寸法が大きいほど、あるいは厚み方向寸法
すなわち第1の電極と第2の電極との距離が小さいほ
ど、より大きな昇圧比を得ることができるが、長手方向
寸法を大きくすると、圧電トランスの寸法の増大を招
き、また分極が困難になるなどの問題に遭遇し、他方、
厚み方向寸法を小さくすると、圧電体の機械的強度が低
下するなどの問題に遭遇することになり、いずれにして
も、昇圧比を大きくするための手段として単純には採用
することができない。
昇圧比を得ることができる圧電トランスとして、積層タ
イプの圧電トランスが提案されている。積層タイプの圧
電トランスにおいては、圧電体が複数の圧電セラミック
材料層からなる積層体によって与えられ、駆動側すなわ
ち入力側の電極となる複数の駆動電極の各々が隣り合う
駆動電極に対して圧電セラミック材料層を介して対向す
るように形成される。積層体の外表面上には、第1、第
2および第3の端子電極が形成され、複数の駆動電極
は、交互に第1または第2の端子電極に電気的に接続さ
れる。第3の端子電極は、発電側すなわち出力側の電極
とされる。
とすることにより、圧電体の機械的強度の低下を招くこ
となく、駆動電極間の距離を小さくすることができると
ともに、電歪効果により生じる機械エネルギをより大き
くすることができるので、実用可能な昇圧比をより容易
に得ることができるようになる。
たような積層タイプの圧電トランスでは、駆動中にもた
らされる機械的振動により、あるいは外部から何らかの
衝撃を受けたとき、積層体内部の駆動電極の存在のた
め、圧電セラミック材料層間で剥離が生じることがあ
る。このような剥離は、圧電トランスの特性劣化を招い
たり、また、高温多湿条件下では、水が小さな剥離領域
でさえ入り込み、駆動電極のマイグレーションを引き起
こしたりすることがわかっている。
な圧電セラミック材料層間の剥離の問題をできるだけ生
じないようにすることができる、積層タイプの圧電トラ
ンスを提供しようとすることである。
セラミック材料層からなる積層体と、この積層体の外表
面上の互いに異なる位置にそれぞれ形成される、第1、
第2および第3の端子電極と、第1の端子電極に電気的
に接続される複数の第1の駆動電極と、第2の外部電極
に電気的に接続されかつ第1の駆動電極の各々に対して
少なくとも1つの圧電セラミック材料層を介して対向す
る少なくとも1つの第2の駆動電極とを備える、積層タ
イプの圧電トランスに向けられるものであって、上述し
た技術的課題を解決するため、第1および第2の駆動電
極のうち、積層体の内部に位置されるものの少なくとも
1つが、当該駆動電極を挟んで位置する2つの圧電セラ
ミック材料層を複数箇所において互いに接合させるよう
に、複数の貫通部分を有していることを特徴とするもの
である。
は、メッシュ状に形成されたり、あるいはストライプ状
に形成されたりすることができる。
層体の内部に位置する駆動電極が複数の貫通部分を有
し、これら貫通部分を介して、当該駆動電極の両側の圧
電セラミック材料層が複数箇所において互いに接合され
ているので、圧電セラミック材料層間の剥離が生じにく
くなり、その結果、耐湿性に優れ、かつ特性劣化が少な
く、しかも機械的強度が向上された、積層タイプの圧電
トランスを得ることができる。
よる圧電トランス1の外観を概略的に示す斜視図であ
る。図1を参照して、圧電トランス1は、複数の圧電セ
ラミック材料層2a,2b,2c,…,2nからなる積
層体3を備える。積層体3の外表面上の互いに異なる位
置には、第1、第2および第3の端子電極4、5および
6がそれぞれ形成される。この実施形態では、積層体3
は、長手の形状を有していて、第1および第2の端子電
極4および5は、積層体3の長手方向における一方側に
それぞれ位置され、第3の端子電極6は、積層体3の長
手方向における他方側の端面上に位置される。
面図であり、圧電セラミック材料層2a,…,2nの各
々の上面および圧電セラミック材料層2nの下面の態様
を示している。圧電セラミック材料層2a,…,2nの
各々の上面の長手方向の一方側には、駆動電極7a,
…,7nが形成される。また、最も下の圧電セラミック
材料層2nの下面の長手方向の一方側には、図2の最下
部において圧電セラミック材料層2nを透視して示すよ
うに、駆動電極8が形成される。
うち、奇数番目に位置する駆動電極すなわち第1の駆動
電極7a,7c,…,7nは、それぞれ、第1の端子電
極4に電気的に接続されている。他方、偶数番目に位置
する駆動電極すなわち第2の駆動電極7b,…,8は、
それぞれ、第2の端子電極5に電気的に接続されてい
る。
2の駆動電極7b,…,8とは、それぞれ、圧電セラミ
ック材料層2a,…,2nの各々を介して対向する状態
とされている。なお、図2において、圧電セラミック材
料層7cと圧電セラミック材料層7nとの間に積層され
ることのある適当数の圧電セラミック材料層の図示が省
略されている。積層体3を構成する圧電セラミック材料
層の積層数を増やし、駆動電極の数を増やそうとする場
合には、圧電セラミック材料層7cと圧電セラミック材
料層7nとの間で、圧電セラミック材料層7bと圧電セ
ラミック材料層7cとの積層が繰り返される。
いる。積層体3の長手方向の一方側すなわち駆動電極7
a,…,8が対向する部分では、圧電セラミック材料層
2a,…,2nの厚み方向であって、互いに隣り合うも
のが逆向きになるように、分極されている。積層体3の
長手方向の他方側では、積層体3の長手方向に分極され
ている。
電圧を第1および第2の端子電極4および5の間に印加
すると、電歪効果により積層体3の長手方向に強い機械
的振動を起こし、これにより積層体3の第3の端子電極
6が位置する側で圧電効果に基づき電荷が発生し、これ
を第3の端子電極6と第1または第2の端子電極4また
は5との間で交番高電圧として取り出すことができる。
圧電トランスと同様である。以下に、この実施形態にお
ける特徴的構成について説明する。図2によく示されて
いるように、積層体3の内部に位置される端子電極7
b,7c,…,7nは、メッシュ状に形成される。これ
によって、端子電極7b,7c,…,7nには、複数の
貫通部分9が与えられる。このような貫通部分9は、圧
電セラミック材料層2a,…,2nのうち、端子電極7
b,…,7nの各々を挟んで位置する2つのものを複数
箇所において互いに接合することを可能にする。したが
って、積層体3を得るため、積層された圧電セラミック
材料層2a,…,2nを焼成したとき、隣り合う圧電セ
ラミック材料層相互は、貫通部分9を通しても焼結さ
れ、強固な接合状態を得ることができる。
の発明の他の実施形態が示されている。図3、図4およ
び図5は、それぞれ、前述した図2に相当の図であっ
て、同じ方法で描かれている。なお、図3、図4および
図5において、図2に示した要素に相当の要素には同様
の参照符号を付し、重複する説明を省略する。以下、図
3、図4および図5をそれぞれ参照して、各実施形態の
特徴的構成について説明する。
れる駆動電極7b,7c,…,7nは、積層体3の幅方
向に延びるストライプ状に形成される。これによって、
駆動電極7b,7c,…,7nは、各ストライプ間にお
いて貫通部分9を形成している。図4を参照して、積層
体3の内部に位置される駆動電極7b,7c,…,7n
は、積層体3の長手方向に延びるストライプ状に形成さ
れる。これによって、駆動電極7b,7c,…,7n
は、各ストライプ間において貫通部分9を形成してい
る。
7c,…,7nの各ストライプ部分が積層体3の幅方向
に延びる場合には、各ストライプ部分が端子電極4また
は5によって互いに接続されるため、各ストライプ部分
をすべて駆動電極7b,7c,…,7nとして有効に作
用させることができるが、図4に示すように、駆動電極
7b,7c,…,7nの各ストライプ部分が積層体3の
長手方向に延びる場合には、各ストライプ部分が端子電
極4または5によって互いに接続されないため、そのま
までは各ストライプ部分のすべてを駆動電極7b,7
c,…,7nとして有効に作用させることができない。
そのため、図4に示した駆動電極7b,7c,…,7n
の各々には、各ストライプ部分を互いに電気的に接続す
る接続ライン10が形成されている。
れる駆動電極7b,7c,…,7nは、ストライプ状に
形成されるが、積層体3の幅方向に延びるストライプ状
とされた駆動電極7b,…と積層体3の長手方向に延び
るストライプ状とされた駆動電極7c,…とが交互に配
置される。なお、図3ないし図5に示したようなストラ
イプ状の駆動電極7b,7c,…,7nを形成すると
き、ストライプの延びる方向は、積層体3の幅方向また
は長手方向に限らず、たとえば対角線方向ないしは斜め
方向であってもよい。また、貫通部分9を与えるため、
駆動電極7b,7c,…,7nをメッシュ状にしたり、
ストライプ状にしたりする以外に、たとえば円形の小さ
な穴を駆動電極7b,7c,…,7nの各々の複数箇所
に分布させてもよい。
体3の内部に位置する駆動電極7b,7c,…,7nの
すべてに貫通部分9を設けることが好ましいが、単に1
つの駆動電極にのみ貫通部分を設けるだけであっても、
この発明の効果を期待できる。また、上述した各実施形
態では、第1の端子電極4に接続される第1の駆動電極
7a,7c,…,7nと第2の端子電極5に接続される
第2の駆動電極7b,…,8とが1つずつ交互に配置さ
れていたが、たとえば、前者と後者とが2つずつ交互に
配置されても、前者が1つと後者が2つと言うように交
互に配置されていてもよい。
2ないし図5にそれぞれ示した実施形態に従い、以下の
ような試料を作製した。まず、Pb(Mn,Nb)O3
系のPZTセラミックのためのセラミックスラリーを用
意し、このセラミックスラリーにドクターブレード法を
適用して、圧電セラミック材料層2a,…,2nとなる
べきセラミックグリーンシートを成形した。これらグリ
ーンシート上に、Ag/Pd(7/3重量比)を含むペ
ーストを印刷し、積層体3の内部に位置する駆動電極7
b,…,7nとなるべきペースト膜を形成した。次い
で、これらグリーンシートを積層し、プレスした後、焼
成し、9層の圧電セラミック材料層2a,…,2nから
なる積層体3を得た。
7b,…,7nが形成されていて、これら駆動電極7
b,…,7nは、実施例1では図2に示すようにメッシ
ュ状とされ、実施例2では図3に示すように幅方向のス
トライプ状とされ、実施例3では図4に示すように長手
方向のストライプ状とされ、実施例4では図5に示すよ
うに幅方向のストライプ状のものと長手方向のストライ
プ状のものとが交互に位置するようにされた。また、比
較例として、積層体3の内部に位置される駆動電極7
b,…,7nが何らの貫通部分をも有しない試料も作製
した。
極7aおよび8、ならびに第1、第2および第3の端子
電極4、5および6を、Agの蒸着により形成した。な
お、各実施例および比較例で得られた積層体3は、すべ
て、長手方向寸法を40mm、幅方向寸法を10mm、厚み
方向寸法を2mmとした。また、駆動電極7a,…,7n
および8は、すべて、長手方向寸法を20mm、幅方向寸
法を9mmとした。
びに比較例に係る圧電トランスの昇圧比が図6に示され
ている。これらの昇圧比は、出力端での負荷抵抗を1M
Ωとしながら、入力電圧を変化させて測定したものであ
る。図6に示すように、実施例1〜4間においては、昇
圧比にほとんど差が見られない。他方、比較例は、比較
的低い入力電圧の領域にあっては、実施例1〜4の昇圧
比とほとんど差がないが、入力電圧が10Vを超えたと
きには、破壊されるに至った。
圧電トランスにおける駆動電極7a,…,7nおよび8
が形成された部分の機械的強度を測定した。すなわち、
当該駆動電極形成部分から幅2mm、長さ20mm、厚み2
mmの角棒を切り出し、駆動電極面に垂直な方向から力を
加える3点曲げ試験で抗折強度を測定した。その結果
を、以下の表1に示す。表1における括弧内の数値は、
ワイブル係数mを示し、この数値が大きいほど、ばらつ
きが小さいことを表している。
械的強度が向上され、また、そのばらつきも小さくなる
ことがわかる。また、実施例1、2、3、4の順で、よ
り高い機械的強度が得られている。
圧電トランスの高温高湿下での特性劣化を評価した。す
なわち、100℃および90%R.H.の条件を、所定
の時間、各試料に付与したときの昇圧比を測定した。そ
の結果を、以下の表2に示す。
に比べて、耐湿性が向上される。
較から、実施例1〜4によれば、昇圧特性を比較例に比
べて低下させることなく、むしろ改善しながら、機械的
強度および耐湿性を向上させ得ることがわかる。
1の外観を概略的に示す斜視図である。
圧電セラミック材料層2a,…,2nの各上面および圧
電セラミック材料層2nの下面の態様を示している。
の図である。
の図である。
の図である。
1〜4ならびに従来の実施形態に従って作製された比較
例のそれぞれの昇圧比の入力電圧による変化を比較して
示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 複数の圧電セラミック材料層からなる積
層体と、前記積層体の外表面上の互いに異なる位置にそ
れぞれ形成される、第1、第2および第3の端子電極
と、前記第1の端子電極に電気的に接続される複数の第
1の駆動電極と、前記第2の外部電極に電気的に接続さ
れかつ前記第1の駆動電極の各々に対して少なくとも1
つの前記圧電セラミック材料層を介して対向する少なく
とも1つの第2の駆動電極とを備える、圧電トランスに
おいて、 前記第1および第2の駆動電極のうち、前記積層体の内
部に位置されるものの少なくとも1つが、当該駆動電極
を挟んで位置する2つの前記圧電セラミック材料層を複
数箇所において互いに接合させるように、複数の貫通部
分を有していることを特徴とする、圧電トランス。 - 【請求項2】 前記貫通部分を有する前記駆動電極は、
メッシュ状に形成される、請求項1に記載の圧電トラン
ス。 - 【請求項3】 前記貫通部分を有する前記駆動電極は、
ストライプ状に形成される、請求項1に記載の圧電トラ
ンス。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07223057A JP3141744B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 圧電トランス |
TW085110130A TW363283B (en) | 1995-08-31 | 1996-08-20 | Piezoelectric transformer |
DE1996134842 DE19634842C2 (de) | 1995-08-31 | 1996-08-28 | Piezoelektrischer Wandler |
KR1019960036464A KR100198162B1 (ko) | 1995-08-31 | 1996-08-29 | 압전 트랜스포머 |
CN96111437A CN1087505C (zh) | 1995-08-31 | 1996-08-31 | 压电换能器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07223057A JP3141744B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 圧電トランス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0969657A JPH0969657A (ja) | 1997-03-11 |
JP3141744B2 true JP3141744B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=16792165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07223057A Expired - Fee Related JP3141744B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 圧電トランス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3141744B2 (ja) |
KR (1) | KR100198162B1 (ja) |
CN (1) | CN1087505C (ja) |
DE (1) | DE19634842C2 (ja) |
TW (1) | TW363283B (ja) |
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-
1995
- 1995-08-31 JP JP07223057A patent/JP3141744B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-08-20 TW TW085110130A patent/TW363283B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-08-28 DE DE1996134842 patent/DE19634842C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-29 KR KR1019960036464A patent/KR100198162B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-08-31 CN CN96111437A patent/CN1087505C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1159659A (zh) | 1997-09-17 |
DE19634842C2 (de) | 1998-09-03 |
DE19634842A1 (de) | 1997-03-06 |
KR100198162B1 (ko) | 1999-07-01 |
KR970013399A (ko) | 1997-03-29 |
CN1087505C (zh) | 2002-07-10 |
TW363283B (en) | 1999-07-01 |
JPH0969657A (ja) | 1997-03-11 |
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