JP3106341B2 - キュア装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームにペー
ストを介してチップがボンディングされた試料の前記ペ
ーストを乾燥させるキュア装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、キュア装置として、例えば実公平
６−１９５４６号公報、特開平４−５８３８号公報、特
開平５−１０９７９２号公報等があげられる。これらの
キュア装置は、試料を加熱する角柱状のヒートブロック
を試料の搬送方向に沿って等間隔に複数個配設してい
る。そして、実公平６−１９５４６号公報にも開示され
ているように、各ヒートブロックは、試料搬入口から試
料搬出口に向かって段階的に加熱される。そこで、各ヒ
ートブロックをそれぞれ個別に温度制御している。例え
ば、ヒートブロックが８個の場合、試料搬入口側から３
個のヒートブロックを２５０°Ｃ、次の２個のヒートブ
ロックを２７０°Ｃ、残りの３個を２５０°Ｃに制御し
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、複数
個のヒートブロックを単に等間隔に配設したものであ
り、隣接したヒートブロックの熱が互いに作用する点に
ついては何ら配慮されていない。このため、各ヒートブ
ロックの温度を確実に制御することができなく、またそ
の制御が容易でなかった。

【０００４】本発明の目的は、各ヒートブロックの温度
を確実に制御することができ、またその制御が容易なキ
ュア装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、リードフレームにペーストを介して
チップがボンディングされた試料の試料搬送方向に隙間
を有して配設され、前記試料を加熱するための複数個の
ヒートブロックを有したキュア装置において、前記各ヒ
ートブロックは、ヒートブロック本体の下面、試料搬送
方向の両側面及び試料搬送方向と直角方向の両側面にそ
れぞれ断熱板を固定し、前記ヒートブロック本体の上面
には、ホットプレートが固定されていることを特徴とす
る。

【０００６】

【作用】ヒートブロックは、ヒートブロック本体の上面
を除いて周囲が断熱板で覆われているので、隣接したヒ
ートブロックの熱が互いに作用することがなく、各ヒー
トブロックの温度を確実に制御することができ、またそ
の制御が容易である。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図１３に
より説明する。図１及び図２に示すように、架台１上に
は、複数個の支柱２を介してケーシング３が固定されて
いる。ケーシング３は、支柱２に固定された試料加熱室
用ケーシング４とガス供給室用ケーシング５とからな
り、ガス供給室用ケーシング５は試料加熱室用ケーシン
グ４に対して開閉自在となっている。

【０００８】次にガス供給室用ケーシング５の開閉構造
を図２により説明する。架台１の前方側（右方側）の両
側にはガス供給室用ケーシング５を支持する支柱１０が
固定されており、支柱１０にはピン１１が固定されてい
る。ピン１１にはガス供給室用ケーシング５の前方側が
回転自在に支承されている。また架台１の後方側の両側
には支持板１２が固定されており、支持板１２には閉じ
た状態（実線で示す状態）のガス供給室用ケーシング５
の側方に位置するようにＬ型支持板１３が固定されてい
る。Ｌ型支持板１３にはピン１４が固定され、ピン１４
にはレバー１５の一端が回転自在に支承されている。レ
バー１５の他端部には、長手方向に伸びた長溝１５ａ
と、この長溝１５ａの先端より上方に伸びた止め用溝１
５ｂとが形成されており、溝１５ａ、１５ｂにはガス供
給室用ケーシング５の側面に固定されたピン１６が挿入
されている。

【０００９】またガス供給室用ケーシング５を閉じた時
に前方側及び後方側が試料加熱室用ケーシング４に当接
し、図２及び図４に示すように、右側に試料搬入口１
７、左側に試料搬出口１８が形成されるように、ガス供
給室用ケーシング５の前方側及び後方側には前カバー１
９及び後カバー２０が固定されている。またガス供給室
用ケーシング５の後方側には把手２１が固定されてい
る。

【００１０】そこで、図２の実線の状態より把手２１を
持ち上げると、ガス供給室用ケーシング５はピン１１を
支点として２点鎖線の状態となって開き、試料加熱室用
ケーシング４の上面が開放する。この場合、ガス供給室
用ケーシング５に固定されたピン１６が長溝１５ａに沿
って移動し、ピン１６が止め用溝１５ｂに移ると、ガス
供給室用ケーシング５の開きが制限されると共に、ピン
１６が止め用溝１５ｂに係合し、ガス供給室用ケーシン
グ５はレバー１５によってその状態に保持される。ガス
供給室用ケーシング５を閉じる場合は、レバー１５の先
端部を上方に僅かに押してピン１６を長溝１５ａに位置
させ、把手２１を下方に回動させると、前カバー１９及
び後カバー２０が試料加熱室用ケーシング４に当接密着
してガス供給室用ケーシング５は閉じられる。

【００１１】次に試料加熱室用ケーシング４内の構造を
図４、図５及び図７により説明する。試料加熱室用ケー
シング４内の底面には、前方側、中央部及び後方側に細
長いスペーサ２５が固定され、スペーサ２５上には、１
枚のヒートブロック支持板２６が固定されている。この
スペーサ２５によってヒートブロック支持板２６と試料
加熱室用ケーシング４の底面間に空間２７が形成されて
いる。ヒートブロック支持板２６上には、試料搬送方向
２８（試料搬入口１７から試料搬出口１８方向）に複数
個（実施例は８個）のヒートブロック２９が隙間３０を
有して固定され、隙間３０が空間２７に連通するよう
に、前記ヒートブロック支持板２６には長溝２６ａが形
成されている。

【００１２】ヒートブロック２９は、２個のヒータ３１
が埋設されたヒートブロック本体３２を有し、ヒートブ
ロック本体３２の上面にはホットプレート３３が固定さ
れている。またヒートブロック本体３２の下面、試料搬
送方向２８の両側面及び試料搬送方向２８と直角方向の
両側面には、それぞれ耐熱製の断熱板３４、３５、３６
が固定されている。ホットプレート３３の上面には、試
料搬送方向２８に複数個（実施例は４個）の送りワイヤ
用溝３３ａが形成されている。また試料加熱室用ケーシ
ング４の底面には排気管３７が空間２７に連通するよう
に固定されている。ここで、ヒートブロック本体３２及
びホットプレート３３はステンレス材よりなり、断熱板
３４、３５、３６は日光化成株式会社製の商品名「ニコ
ライト」よりなる。

【００１３】次にガス供給室用ケーシング５の構造を図
４及び図６により説明する。ガス供給室用ケーシング５
は、上下が開口した四角状の枠体４０を有し、この枠体
４０の内面全部には断熱板４１が固定されている。また
枠体４０の下方開口部に沿ってフランジ部４２ａを有す
る下蓋４２が配設され、下蓋４２のフランジ部４２ａに
はゴムパッキン４３を介して耐熱透明ガラスよりなるガ
ス供給スリット形成板４４が試料搬送方向２８に沿って
ガス供給スリット４５を有するように平行に固定されて
いる。ここで、ガス供給スリット４５はヒートブロック
２９に対応するように設けられている。そして、ガス供
給スリット形成板４４が固定された下蓋４２は、ゴムパ
ッキン４６を介して枠体４０に固定されている。枠体４
０の上方開口部はゴムパッキン４７を介して枠体４０に
固定された透明な上蓋４８で覆われている。

【００１４】次にガス供給室用ケーシング５内へのガス
供給手段の構造を説明する。ガス供給室用ケーシング５
内には、両端が密閉されたパイプよりなるガス噴出パイ
プ５５が４個配設され、ガス噴出パイプ５５の両端に固
定された軸５６は前記断熱板４１を通して枠体４０に固
定されている。ここで、ガス噴出パイプ５５には、多数
のガス噴出孔（図示せず）が形成されている。ガス噴出
パイプ５５には連結ブロック５７が固定され、連結ブロ
ック５７には枠体４０に固定されたヒータ付ガス導入パ
イプ５８の一端が固定されている。ここで、試料搬入口
１７に近い２個のガス噴出パイプ５５に対するガス導入
パイプ５８は試料搬入口１７側に伸び、試料搬出口１８
に近い２個のガス噴出パイプ５５に対するガス導入パイ
プ５８は試料搬出口１８側に伸びており、ガス導入パイ
プ５８には、図示しないガス供給源に接続されている。
またガス導入パイプ５８より供給されたガスがガス噴出
パイプ５５内に流れるように、連結ブロック５７及びガ
ス噴出パイプ５５には連通穴が設けられている。

【００１５】次に試料搬送手段を図１乃至図３及び図５
（主に図１及び図５参照）により説明する。試料加熱室
用ケーシング４のほぼ中央に対応した架台１上には、エ
アシリンダ６０が固定されており、エアシリンダ６０の
作動ロッドには可動板６１が固定されている。また架台
１上にはボルト６２が立設され、ボルト６２には可動板
６１が遊嵌されている。またボルト６２には、可動板６
１の上方及び下方に上限ストッパ用ナット６３及び下限
ストッパ用ナット６４が螺合され、更に可動板６１と上
限ストッパ用ナット６３間及び可動板６１と下限ストッ
パ用ナット６４間にはストッパクッション６５、６６が
遊嵌されている。

【００１６】可動板６１の試料搬入口１７側の端部に
は、ブラケット７０を介してモータ７１が固定されてお
り、モータ７１の出力軸にはタイミングプーリ７２が固
定されている。また可動板６１上の試料搬入口１７側に
は、軸支持板７３が固定されており、軸支持板７３には
駆動軸７４が回転自在に支承されている。駆動軸７４の
一端部にはタイミングプーリ７５が固定され、タイミン
グプーリ７５と前記タイミングプーリ７２にはタイミン
グベルト７６が掛けられている。

【００１７】前記駆動軸７４には、ホットプレート３３
の送りワイヤ用溝３３ａに対応して反復駆動プーリ８０
が固定されている。反復駆動プーリ８０は、図８に示す
ように、２つの第１及び第２のプーリ溝８０ａ、８０ｂ
を有し、また軸方向に貫通した丸形の止め穴８０ｃが形
成され、この止め穴８０ｃより外周にロープ挿入用溝８
０ｄが形成されている。再び図１及び図５に戻って、可
動板６１上には、軸支持板７３の外側及び試料搬出口１
８側にプーリ支持板８１、８２が固定されており、プー
リ支持板８１、８２には上下にそれぞれプーリ軸８３、
８４及び８５、８６が回転自在に支承されている。プー
リ軸８３、８５には、それぞれ２個のプーリ８７、８８
が固定され、プーリ８７、８８のプーリ溝はホットプレ
ート３３の送りワイヤ用溝３３ａの延長線上に位置して
いる。プーリ軸８４、８６には、前記プーリ８７、８８
に対応した位置にプーリ８９、９０が固定されている。

【００１８】前記反復駆動プーリ８０及びプーリ８７〜
９０には、図９に示すワイヤロープ９５が掛けられ、ワ
イヤロープ９５の両端は、図１０に示す結合具１１０で
結合されている。まずワイヤロープ９５の構成を図９に
より説明する。２本の第１及び第２のワイヤロープ９
６、９７の一端は、前記反復駆動プーリ８０（図８参
照）の止め穴８０ｃより大きいボール状の端末金具９８
に挿通されてかしめ固定され、一体となっている。一方
の第１のワイヤロープ９６の他端は、折り曲げられて固
定具９９で固定され、輪部９６ａが形成されている。他
方の第２のワイヤロープ９７の他端は、連結具１００に
挿入されて折り曲げられ、固定具１０１で固定されてい
る。なお、連結具１００の端面には右ねじ部１００ａが
形成されている。

【００１９】次に結合具１１０の構成を図１０により説
明する。前記連結具１００とほぼ同じ構造の連結具１１
１を有し、連結具１１１の一端には、前記連結具１００
の右ねじ部１００ａと逆の左ねじ部１１１ａが形成され
ている。連結具１００の他端部にはワイヤ１１２が挿通
され、ワイヤ１１２の一方の端部は固定具１１３で固定
されている。ワイヤ１１２の他方の端部は輪部１１２ａ
を形成するように折り曲げられて固定具１１４で固定さ
れている。またワイヤ１１２の輪部１１２ａ及び前記ワ
イヤロープ９５（図９参照）の輪部９６ａに掛ける引張
りコイルバネ１１５を有する。また前記連結具１００と
連結具１１１を結合するために、連結具１００の右ねじ
部１００ａに螺合する右ねじ部１１６ａと連結具１１１
の左ねじ部１１１ａに螺合した左ねじ部１１６ｂが形成
された調整ボルト１１６を有している。なお、１１７は
緩み防止用のナットを示す。

【００２０】次にワイヤロープ９５の掛け方を図９乃至
図１１により説明する。第１及び第２のワイヤロープ９
６、９７を重ねた状態で反復駆動プーリ８０のロープ挿
入用溝８０ｄより止め穴８０ｃに挿入し、ワイヤロープ
９５の端末金具９８を反復駆動プーリ８０の側面に位置
させる。端末金具９８は止め穴８０ｃより大きく形成さ
れているので、端末金具９８は止め穴８０ｃより抜けな
くなる。次に一方の第１のワイヤロープ９６を反復駆動
プーリ８０の第１のプーリ溝８０ａに反時計方向（矢印
Ｄ方向）に１８０°回してプーリ８９、８７、８８、９
０に掛け、端部の輪部９６ａに結合具１１０の引張りコ
イルバネ１１５を掛ける。また他方の第２のワイヤロー
プ９７を反復駆動プーリ８０の第２のプーリ溝８０ｂに
時計方向（矢印Ｅ方向）に１８０°回して連結具１００
を結合具１１０の調整ボルト１１６の右ねじ部１１６ａ
に螺合させる。そして、調整ボルト１１６を回して第１
及び第２のワイヤロープ９６、９７に弛みがないように
引張りコイルバネ１１５に適度の張力を与える。これに
より、プーリ８７と８８間の第１のワイヤロープ９６は
ホットプレート３３の送りワイヤ用溝３３ａ間に配設さ
れる。

【００２１】次に前記のように構成されたキュア装置の
作用について説明する。図１３に示すように、リードフ
レーム１２０にチップ１２１が銀又は半田等のペースト
１２２によりダイボンディングされた試料１２３は、ダ
イボンダ（図示せず）より試料１２３の長手方向に搬送
されて搬送手段の第１のワイヤロープ９６の一端部（右
側部）上に送られる。この状態においては、第１のワイ
ヤロープ９６はホットプレート３３の送りワイヤ用溝３
３ａより上方に位置している。即ち、エアシリンダ６０
の作動ロッドが突出して可動板６１が上昇した状態にあ
る。可動板６１にはプーリ８７、８９及び８８、９０を
支持するプーリ支持板８１、８２が固定されているの
で、可動板６１と共にワイヤロープ９５も上昇する。

【００２２】次にモータ７１が図１において反時計方向
（矢印Ｆ方向）に一定量回転する。これにより、タイミ
ングプーリ７２、タイミングベルト７６、タイミングプ
ーリ７５を介して駆動軸７４が反時計方向に回転し、第
１のワイヤロープ９６が試料搬送方向２８に一定量送ら
れる。次にエアシリンダ６０の作動ロッドが引っ込んで
可動板６１が下降して第１のワイヤロープ９６はホット
プレート３３の送りワイヤ用溝３３ａ内に位置し、試料
１２３はホットプレート３３上に載置される。一時静止
して試料１２３はホットプレート３３で加熱される。こ
の間にモータ７１は前記と逆方向（時計方向）に前記し
た回転量だけ逆回転する。その後、エアシリンダ６０の
作動ロッドが突出して可動板６１が上昇し、試料１２３
は第１のワイヤロープ９６によってヒートブロック２９
上より持ち上げられる。次に再びモータ７１が反時計方
向（矢印Ｆ方向）に一定量回転し、その後エアシリンダ
６０の作動ロッドが引っ込んで可動板６１が下降する動
作により、次のホットプレート３３上に載置される。こ
のタクト送り動作により、試料１２３は試料搬入口１７
側のヒートブロック２９から順次試料搬出口１８側のヒ
ートブロック２９上に搬送される。

【００２３】ところで、本実施例においては、反復駆動
プーリ８０に第１及び第２のプーリ溝８０ａ、８ｂを形
成し、第１及び第２のプーリ溝８０ａ、８ｂにそれぞれ
第１及び第２のワイヤロープ９６、９７を掛けている。
このように、反復駆動プーリ８０にワイヤロープ９６、
９７が全周に掛けられた状態にあるので、ワイヤロープ
９６、９７がスリップしなく、また反復駆動プーリ８０
が正逆回転しても第１のワイヤロープ９６と第２のワイ
ヤロープ９７が噛み合うことがなく、第１のワイヤロー
プ９６は常に一定量送られる。即ち、第１のワイヤロー
プ９６の送り量が変動しないので、試料１２３は常に一
定量送られ、確実にヒートブロック２９上に載置され
る。

【００２４】前記したように試料１２３がヒートブロッ
ク２９で加熱される場合、試料１２３の表面上にはヒー
タ付ガス導入パイプ５８より加熱されてガス供給室用ケ
ーシング５内に供給された高温ガスが吹き付けられる。
即ち、ガス導入パイプ５８に供給された高温ガスは、ガ
ス噴出パイプ５５のガス噴出孔よりガス供給室用ケーシ
ング５内に噴出し、この高温ガスはガス供給スリット４
５を通って層状に流れ、試料１２３の表面に均一に吹き
付けられる。試料１２３に吹き付けられた高温ガスは、
試料１２３から発生した有害ガスを伴って各ヒートブロ
ック２９の隙間３０、ヒートブロック支持板２６の長溝
２６ａ、空間２７を通って排気管３７より外部に排気さ
れる。

【００２５】前記各ヒートブロック２９のホットプレー
ト３３は、試料搬入口１７から試料搬出口１８に向かっ
て実公平６−１９５４６号公報に示すように段階的に加
熱される。そこで、各ヒートブロック２９をそれぞれ別
個に温度制御している。例えば、試料搬入口１７側から
３個のヒートブロック２９を２５０°Ｃ、次のヒートブ
ロック２９を２７０°Ｃ、残りの３個を２５０°Ｃに制
御している。本実施例においては、ヒートブロック２９
のヒートブロック本体３２は上面を除いて周囲は断熱板
３４、３５、３６で覆われているので、隣接したヒート
ブロック２９の熱が互いに作用することがなく、各ヒー
トブロック２９の温度を確実に制御することができ、ま
たその制御が容易である。

【００２６】また本実施例においては、ガス供給室用ケ
ーシング５は試料加熱室用ケーシング４に対して開閉自
在となっている。そこで、試料１２３の搬送不良、例え
ば傾いて搬送された場合、またワイヤロープ９５が切れ
た場合、ワイヤロープ９５及びヒートブロック２９の汚
れの清掃の場合等には、把手２１を持ち上げるとガス供
給室用ケーシング５が開いて試料加熱室用ケーシング４
の上面が開放する。これにより、ヒートブロック２９及
び試料搬送手段のワイヤロープ９５が露出するので、そ
こで、搬送不良の試料１２３を容易に取り除くことがで
きる。また切れた第１のワイヤロープ９６の交換、第１
のワイヤロープ９６及びヒートブロック２９表面の清掃
等が短時間に能率良く行なうことができ、生産性が向上
する。

【００２７】なお、上記実施例は、ケーシングを、複数
個のヒートブロックを内部に有した試料加熱室用ケーシ
ングと、前記ヒートブロック上に高温ガスを供給するガ
ス供給室用ケーシングとに分割し、前記ガス供給室用ケ
ーシングを前記試料加熱室用ケーシングに対して開閉自
在に構成したものに適用した場合について説明したが、
従来のように１つの箱型のケーシングよりなるものにも
適用できることは言うまでもない。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、リードフレームにペー
ストを介してチップがボンディングされた試料の試料搬
送方向に隙間を有して配設され、前記試料を加熱するた
めの複数個のヒートブロックを有したキュア装置におい
て、前記各ヒートブロックは、ヒートブロック本体の下
面、試料搬送方向の両側面及び試料搬送方向と直角方向
の両側面にそれぞれ断熱板を固定し、前記ヒートブロッ
ク本体の上面には、ホットプレートが固定されているの
で、各ヒートブロックの温度を確実に制御することがで
き、またその制御が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のキュア装置の一実施例を示す正面図で
ある。

【図２】左側面図である。

【図３】平面図である。

【図４】ケーシング部分の縦断面図である。

【図５】ガス供給室用ケーシング部分を取り除いた試料
加熱用ケーシング部分及び搬送手段の平面図である。

【図６】図４のＡ−Ａ線断面図である。

【図７】図５の試料加熱室用ケーシング部分のＢ−Ｂ線
断面図である。

【図８】反復駆動プーリを示し、（ａ）は正面図、
（ｂ）は平面図である。

【図９】ワイヤロープの正面図である。

【図１０】ワイヤロープを結合する結合具の正面図であ
る。

【図１１】ワイヤロープの掛け方の説明図である。

【図１２】図１１の矢印Ｃ部分の矢視図である。

【図１３】試料を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面
図である。

【符号の説明】

３ ケーシング ２８ 試料搬送方向 ２９ ヒートブロック ３０ 隙間 ３４、３５、３６ 断熱板 ４４ ガス供給スリット形成板 １２３ 試料

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リードフレームにペーストを介してチッ
   プがボンディングされた試料の試料搬送方向に隙間を有
   して配設され、前記試料を加熱するための複数個のヒー
   トブロックを有したキュア装置において、前記各ヒート
   ブロックは、ヒートブロック本体の下面、試料搬送方向
   の両側面及び試料搬送方向と直角方向の両側面にそれぞ
   れ断熱板を固定し、前記ヒートブロック本体の上面に
   は、ホットプレートが固定されていることを特徴とする
   キュア装置。