KR100186873B1

KR100186873B1 - 큐어장치

Info

Publication number: KR100186873B1
Application number: KR1019950038566A
Authority: KR
Inventors: 아라이미츠오
Original assignee: 후지야마 겐지; 가부시키가이샤 신가와
Priority date: 1994-11-25
Filing date: 1995-10-31
Publication date: 1999-04-15
Also published as: JP3106341B2; US5632617A; TW305481U; JPH08148513A; KR960019618A

Abstract

각 히트블록의 온도를 확실하게 제어가능하고, 또 그제어가 용이한 큐어장치를 제공한다. 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록(29)은 히트블록 본체(32)의 하면, 시료반송방향의 양측면 및 시료반송방향과 직가방향의 양측면에 각각 단열판(34,35)을 고정하였다.

Description

큐어장치

본 발명은 리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 상기 페이스트를 건조시키는 큐어장치에 관한 것이다.

종래, 큐어장치로서, 예컨대 일본국 실공평 6-19546호 공보, 특개평 4-5838호 공부, 특개평 5-109792호 공보등을 들수 있다. 이들 큐어장치는 시료를 가열하는 각 기둥형상의 히트블록을 시료의 반송방향을 따라서 등간격으로 복수개 배열 설치하고 있다. 그리고, 일본국 실공평 6-19546호 공보에도 개시되어 있는 바와같이 각 히트블록은 시료반입구로 부터 시료반출구를 향하여 단계적으로 가열된다.

그래서, 각 히트블록을 각각 개별적으로 온도제어하고 있다. 예컨대, 히트블록이 8개일 경우, 시료반입구측으로 부터 3개의 히트블록을 250℃, 다음 2개의 히트블록을 270℃, 나머지 3개를 250℃로 제어하고 있다.

상기 종래기술은 복수개의 히트블록을 단순히 등간격으로 배열설치한 것이고, 인접한 히트블록의 열이 서로 작용하는 점에 대해서는 아무런 배려가 없다. 이 때문에 각 히트블록의 온도를 확실하게 제어할 수 없고, 또 그 제어가 용이하지 않았다.

본 발명의 목적은 각 히트블록의 온도를 확실하게 제어할 수 있고, 또 그제어가 용이한 큐어장치를 제공하는 것에 있다.

제 1도는 본 발명의 큐어장치의 일실시예를 나타낸는 정면도,

제 2도는 좌측면도,

제 3도는 평면도,

제 4도는 케이생부분의 종단면도,

제 5도는 가스공급실용 케이싱부분을 제외한 시료가열실용 케이싱부분 및 반송수단의 평면도,

제 6도는 제 4도의 A-A선 단면도,

제 7도는 제 5도의 시료가열실용 케이싱부분의 B-B 선 단면도,

제 8도는 반복구동 풀리를 나타낸고,(a)는 정면도,(b)는 평면도,

제 9도는 와이어 로프의 정면도,

제 10 도는 와이어 로프의 결합하는 결합구의 정면도,

제 11도는 와이어 로프의 거는 방법의 설명도,

제 12도는 제 11도의 화살표(C)부분에서 본 도면,

제 13도는 시료를 나타내고,(a)는 평면도,(b)는 정면도.

* 도면의 주용부분에 대한 부호의 설명

3 : 케이싱, 28 : 시료반송방향,

29 : 히트블록, 30 : 간극,

34,35,36 : 단열판, 44 : 가스공급슬릿 형성판,

123 : 시료.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 시료반송방향으로 간극을 가지고 배열설치되고, 상기 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 갖는 큐어장치에 있어서, 상기 각 히트블록은 히트블록 본체의 하면, 시료반송방향의 양측면 및 시료반송방향과 직각방향의 양측면에 각각 단열판을 고정한 것을 특징으로 한다.

히트블록은 히트블록 본체의 상면을 제외하고 주위가 단열판으로 덮여 있기 때문에 인접한 히트블록의 열이 서로 작용하지 않고, 각 히트블록의 온도를 확실하게 제어할 수 있고, 또 그 제어가 용이하다.

(실시예)

이하, 본 발명의 일실시예를 제 1도 내지 제 13도에 의해 설명한다. 제 1도 및 제 2도에 도시한 바와같이 가대(架坮)(1)상에는 복수개의 지주(지지기둥)(2)를 통하여 케이싱(3)이 고정되어 있다. 케이싱(3)은 자주(2)에 고정된 시료가열실용 케이싱(4)과 가스공급실용 케이싱(5)으로 이루어지고 가스공급실용 케이싱(5)은 시료가열실용 케이싱(4)에 대하여 개폐가 자유롭게 되어 있다.

다음에, 가스공급실용 케이싱(5)의 개폐구조를 제 2도에 의해 설명한다. 가대(1)의 전방측(우방측)의 양측에는 가스공급실용 케이싱(5)을 지지하는 지주(10)가 고정되어 있고, 지주(10)에는 핀(11)이 고정되어 있다. 핀(11)에는 가스공급실용 케이싱(5)의 전방측이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 또, 가대(1)의 후방측의 양측에는 지지판(12)이 고정되어 있고, 지지판(12)에는 닫힌 상태(실선으로 표시하는 상태)의 가스공급실용 케이싱(5)의 측방에 위치하도록 L형 지지판(13)이 고정되어 있다. L형 지지판(13)에는 핀(14)이 고정되고, 핀(14)에는 레버(15)의 일단이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 레버(15)의 타단부에는 길이방향으로 뻗은 긴홈(15a)과, 이 긴홈(15a)의 선단에서 상방으로 뻗은 정지용 홈(15b)이 형성되어 있고, 홈(15a,15b)에는 가스공급실용 케이싱(5)의 측면에 고정된 핀(16)이 삽입되어 있다.

또, 가스공급실용 케이싱(5)을 닫았을 때에 전방측 및 후방측이 시료가열실용 케이싱(4)에 맞닿아, 제 2도 및 제 4도에 도시하는 바와같이 우측에 시료반입구(17), 좌측에 시료반출구(18)가 형성되도록, 가스공급실용 케이싱(5)의 전방측 및 후방측에는 전커버(19) 및 후커버(20)가 고정되어 있다. 또, 가스공급실용 케이싱(5)의 후방측에는 손잡이(21)가 고정되어 있다.

그래서, 제 23도의 실선 상태에서 손잡이(21)를 들어올리면, 가스공급실용 케이싱(5)은 핀(11)을 지지점으로 하여 2점쇄선의 상태가 되어 열리고, 시료가열실용 케이싱(4)의 상면이 개방한다. 이 경우, 가스공급실용 케이싱(5)에 고정된 핀(16)이 긴홈(15a)을 따라서 이동하고, 핀(16)이 정지용 홈(15b)으로 옮기면, 가스공급실용 케이싱(5)의 열림이 제한됨과 함께 핀(16)이 정지용홈(15b)에 걸어맞추고 가스공급실용 케이싱(5)은 레버(15)에 의해 그 상태로 유지된다. 가스공급실용 케이싱(5)을 닫을 경우는 레버(15)의 선단부를 상방으로 약간 가압하여 핀(16)을 긴홈(15a)에 위치시키고, 손잡이(21)를 하방으로 회동시키면 전커버(19) 및 후커버(20)가 시료가열실용 케이싱(4)에 맞닿아 밀착하여 가스공급실용 케이싱(5)은 닫혀진다.

다음에, 시료가열실용 케이싱(4)내의 구조를 제 4도, 제 5도 및 제 7도에 의해 설명한다. 시료가열실용 케이싱(4)내의 저면에는 전방측, 중앙부 및 후방측에 가느다란 스페이서(25)가 고정되고, 스페이서(25)상에는 한장의 히트블록 지지판(26)이 고정되어 있다.

이 스페이서(25)에 의해 히트블록지지판(26)과 시료가열실용 케이싱(4)의 저면 사이에 공간(27)이 형성되어 있다. 히트블록지지판(26)상에는 시료반송방향(28 : 시료반입구(17)로부터 시료반출구(18)로의 방향)으로 복수개(실시예는 8개)의 히트블록(29)이 간극(30)을 가지고 고정되고, 간극(30)이 공간(27)에 연이어 통하도록 상기 히트블록 지지판(26)에는 긴홈(26a)이 형성되어 있다.

히트블록(29)은 2개의 히터(31)가 매설된 히트블록본테(32)를 가지고, 히트블록본체(32)의 상면에는 핫플레이트(33)가 고정되어 있다. 또, 히트블록본체(32)의 하면, 시료반송방향(28)의 향측면 및 시료반송방향(28)과 직각방향의 양측면에는 각각 내열제의 단열판(34,35 ,36)이 고정되어 있다. 핫플레이트(33)의 상면에는 시료반송방향(28)으로 복수개(실시예는 4개)의 이송 와이어용 홈(33a)이 형성되어 있다. 또, 시료가열실용 케이싱(4)의 저면에는 배기관(37)이 공간(27)에 연이어 통하도록 고정되어 있다.

여기서, 히트블록본체(32) 및 핫플레이트(33)는 스테인레스재로 이루어지고, 단열판(34,35,36)은 닛코카세이 가부시키가이샤제의 상품명「니코라이트」로 이루어진다.

다음에 , 가스공급실용 케이싱(5)의 구조를 제 4도와 제 6도에 의해 설명한다.

가스공급실용 케이싱(5)은 상하가 개구한 사각형상의 틀체(40)를 가지고, 이 틀체(40)의 내면 전테부에는 단열판(41)이 고정되어 있다. 또, 틀체(40)의 하방 개구부를 따라서 플랜지부(42a)를 갖는 아래뚜껑(42)이 배열설치되고, 아래뚜껑(42)의 플랜지부(42a)에는 고무패킹(43)을 통하여 내열투명유리로 이루어진 가스공급슬릿 형성판(44)이 시료 반송방향(28)을 따라서 가스공급슬릿(45)을 갖도록 평행으로 고정되어 있다. 여기서, 가스공급슬릿(45)은 히트블록(29)에 대응하도록 설치되어 있다. 그리고, 가스공급슬릿 형성판(44)이 고정된 아래뚜껑(42)은 고무패킹(46)을 통하여 틀체(40)에 고정되어 있다.

틀체(40)의 상방 개구부는 고무패킹(47)을 통하여 틀체(40)에 고정된 투명한 위뚜껑(48)으로 덮여 있다.

다음에, 가스공급실용 케이싱(5) 내로의 가스공급수단의 구조를 설명한다. 가스공급실용 케이싱(5) 내에는 양단이 밀폐된 파이프로 이루어진 가스분출파이프(55)가 4개 배열 설치되고, 가스분출파이프(55)의 양단에 고정된 축(56)은 상기 단열판(41)을 통하여 틀체(40)에 고정되어 있다. 여기서, 가스분출파이프(55)에는 다수의 가스분출구멍(도시않음)이 형성되어 있다. 가스분출파이프(55)에는 연결블록(57)이 고정되고, 연결블록(57)에는 틀체(40)에 고정된 히터 부착 가스도입파이프(58)의 일단이 고정되어 있다. 여기서, 시료반입구(17)에 가까운 2개의 가스분출파이프(55)에 대한 가스도입파이프(58)는 시료반입구(17)측으로 뻗어 있고, 시료반출구(18)에 가까운 2개의 가스분출파이프(55)에 대한 가스도입파이프(58)는 시료반출구(18)측으로 뻗어 있고, 가스도입파이프(68)에는 도시하지 않은 가스공급원이 접속되어 있다. 또 가스도입파이프(58)로부터 공급된 가스가 가스분출파이프(55)내로 흐르도록, 연결블록(57) 및 가스분출파이프(55)에는 연통구멍이 설치되어 있다.

다음에, 시료반송수단을 제 1도 내지 제 3도 및 제 5도(주로 제 1도 및 제 5도 참조)에 의해 설명한다. 시료가열실용 케이싱(4)의 대략 중앙에 대응한 가대(1) 상에는 에어실린더(60)가 고정되어 있고, 에어실린더(60)의 작동로드에는 가동판(61)이 고정되어 있다. 또, 가대(1) 상에는 볼트(62)가 세워설치되고, 볼트(62)에는 가동판(61)이 헐겁게 끼워져 있다. 또 볼트(62)에는 가동판(61)의 상방 및 하방에 상한 스토퍼용 너트(63) 및 하한 스토퍼용 너트(64)가 나사맞춤되고, 또한 가동판(61)과 상한 스토퍼용 너트(63) 사이 및 가동판(61)과 하한 스토퍼용 너트(64) 사이에는 스토퍼쿠션(65,66)이 헐겁게 끼워져 있다.

가동판(61)의 시료반입구(17)측의 단부에는 브래킷(bracket)(70)을 통하여 모터(71)가 고정되어 있고, 모터(71)의 출력축에는 타이밍풀리(72)가 고정되어 있다. 또, 가동판(61)상의 시료반입구(17)측에는 축지지판(73)이 고정되어 있고, 축지지판(73)에는 구동축(74)이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 구동축(74)의 일단부에는 타이밍풀리(75)가 고정되고, 타이밍풀리(75)와 상기 타이밍 풀리(72)에는 타이밍벨트(76)가 걸려 있다.

상기 구동축(74)에는 핫플레이트(33)의 이송 와이어용 홈(33a)에 대응하여 반복구동풀리(80)가 고정되어 있다. 반복구동풀리(80)는 제 8도에 도시하는 바와같이 2개의 제 1 및 제 2 풀리홈(80a,80b)을 가지고, 또 축방향으로 관통한 환형의 고정구멍(80c0이 형성되고, 이 고정구멍(80c)으로 부터 외주로 로프 삽입용 홈(80d)이 형성되어 있다.

다시 제 1도 및 제 5도로 돌아가서, 가동판(61)상에는 축지지판(73)의 외축 및 시료반출구(18) 측에 풀리지지판(81,82)이 고정되어 있고, 풀리지지판(81,82)에는 상하에 각각 풀리축(83,84 및 85,86)이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 풀리축(83,85)에는 각각 2개의 풀리(87,88)가 고정되고, 풀리(87, 88)의 풀리홈은 핫플레이트(33)의 이송 와이어용 홈(33a)의 연장선상에 위치하고 있다. 풀리축(84, 86)에는 상기 풀리(87,88)에 대응한 위치에(89,90)가 고정되어 있다.

상기 반복구동풀리(80) 풀리(87~90)에는 제 9도에 도시하는 와이어로프(95)가 걸려있고, 와이어로프(95)의 양단을 제 10 도에 도시하는 결합구(110)로 결합되어 있다. 우선 와이어로프(95)의 구성을 제 9도에 의해 설명한다. 2개의 제 1및 제 2와이어로프(96,97)의 일단은 상기 반복구동풀리(80 ; 제 8도 참조)의 고정구멍(80c)보다 큰 볼형상의 단말금구(98)에 끼워 통해져 코킹고정되어 일체로 되어 있다. 한쪽의 제 1와이어로프(96)의 타단은 절곡되어 고정구(99)로 고정되고, 바퀴부(96a)가 형성되어 있다. 다른쪽의 제 2와이어로프(97)의 타단은 연결구(100)에 삽입되어 절곡되고, 고정구(101)로 고정되어 있다. 또한 연결구(100)의 단면에는 오른쪽 나사부(100a)가 형성되어 있다.

다음에 결합구(110)의 구성을 제 10도에 의해 설명한다. 상기 연결구(100)와 대략같은 구조의 연결구(111)를 가지고, 연결구(111)의 일단에는 상기 연결구(100)의 오른쪽 나사부(100a)와 반대의 왼쪽 나사부(111a)가 형성되어 있다. 연결구(100)의 온른쪽 나사부(100a)와 반대의 온쪽 나사부(111a)가 형성되어 있다. 연결구(100)의 타단부에는 와이어(112)가 끼워 통해지고, 와이어(112)의 한쪽 단부는 고정구(113)로 고정되어 있다. 와이어(112)의 한쪽 단부는 고정구(113)로 고정되어 있다. 와이어(112)의 다른쪽 단부는 바퀴부(112a)를 형성하도록 절곡되어 고정구(114)로 고정되어 있다. 및 상기 와이어로드(95 ; 제 9도 참조)의 바퀴부(96a)에 거는 인장코일스프링(115)을 갖는다. 또, 상기 연결구(100)와 연결구(11)를 결합하기 위하여 연결구(100)의 오른쪽 나사부(100a)에 나사맞춤하는 오른쪽 나사부(116a)와 연결구(111)의 왼쪽 나사부(111a)에 나사맞춤하는 왼쪽 나사부(116a)가 형성된 조정불트(116)를 가지고 있다. 또한, 117은 이완 방지용 너트를 나타낸다.

다음에,와이어로프(95)의 거는 방법을 제 9도 내지 제 11도에 의해 설명한다.

제 1 및 제 2와이어로프(96,97)를 겹친 상태로 반복구동풀리(80)의 로프삽입용 홈(80d)으로부터 고정구멍(80c)에 삽입하고, 와이어로프(95)의 단말금구(98)를 반복구동풀리(80)의 측면에 위치시킨다. 단말금구(98)는 고정구멍(80c)보다 크게 형성되어 있으므로 단말금구(98)는 고정구멍(80c)으로 부터 빠지지 않게 된다. 다음에, 한쪽의 제 1와이어로프(96)를 반복 구동풀리(80)의 제 1풀리홈(80)에 반시계방향(화살표(D)방향)으로 180°회전시켜 풀리(89,87,88,90)에 걸고, 단부의 바퀴부(96a)에 결합구(110)의 인장코일 스프링(115)을 건다. 또, 다른쪽의 제 2와이어로프(97)를 반복구동풀리(80)의 제 2풀리홈(80b)에 시계방향(화살표(E)방향)으로 180°회전시켜 연결구(100)를 결합구(110)의 조정볼트(116)의 오른쪽 나사부(116a)에 나사맞춤시킨다. 그리고, 조정볼트(116)를 회전시켜 제 1 및 제 2와이어로프(96,97)에 이완이 없도록 인장코일스프링(115)에 적당한 장력을 부여한다. 이에 따라 풀리(87)와 풀리(88)사이의 제 1와이어로프(96)는 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a)사이에 배열설치된다.

다음에 상기와 같이 구성된 큐어장치의 작용에 대하여 설명한다. 제 13도에 도시하는 바와같이 리드프레임(120)에 칩(121)이 은 또는 납 등의 페이스트(122)에 의해 다이본딩된 시료(123)는 다이본더(도시않음)로 부터 시료(123)의 길이방향으로 반송되어 반송수단의 제 1와이어로프(96)의 일단부(우측부)상으로 이송된다. 이 상태에 있어서는 제 1 와이어로프(96)는 핫플레이트(33)의 이송 와이어용 홈(33a)보다 상방에 위치하고 있다. 즉, 에어실린더(60)의 작동로드가 돌출하여 가동판(61)이 상승한 상태에 있다. 가동판(61)에는 풀리(87,89 및 88,90)를 지지하는 풀리지지판(81,82)이 고정되어 있으므로 가동판(61)과 동시에 와이어로프(95)도 상승한다.

다음에, 모터(71)가 제 1도에 있어서 반시계방향(화살표(F)방향)으로 일정량 회전한다. 이에 따라 타이밍풀리(72), 타이밍밸트(76), 타이밍풀리(75)를 통하여 구동축(74)이 반시계방향으로 회전하고, 제 1와이어로프(96)가 시료반송방향(28)으로 일정량 이송된다.

다음에 에어실린더(60)의 작동로드가 끌어들여져 가동판(61)이 하강하여 제 1와이어로프(96)는 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a)내에 위치하고, 시료(123)는 핫플레이트(33)상에 제치된다. 일시 정지하여 시료(123)는 핫플레이트(33)에서 가열된다.

이 사이에 모터(71)는 상기와 반대방향(시계방향)으로 상기한 회전량 망큼 역회전한다. 그후, 에어실린더(60)의 작동로드가 돌출하여 가동판(61)이 상승하고, 시료(123)는 제 1와이어로프(96)에 의해 히트블록(29)상으로 부터 들어올려진다. 다음에, 다시 모터(71)가 반시계방향 (화살표(F) 방향)으로 일정량 회전하고, 그후 에어실린더(60)의 작동로드가 끌어들여져 가동판(61)이 하강하는 동작에 의해 다음의 핫플레이트(33)상에 재치된다.

이 택트(tact) 이송동작에 의해 시료(123)는 시료반입구(17)측의 히트블록(29)으로 부터 순차시료반출구(18)측의 히트블록(29)상으로 이송된다.

그런데, 본 실시예에 있어서는 반복구동풀리(80)에 제 1과 제 2풀리홈(80a,80b)을 형성하고, 제 1과 제 2 풀리홈(80a,80b)에 각각 제 1과 제 2와이어로프(96,97)를 걸고 있다. 이와같이 반복구동풀리(80)에 와이어로프(96,97)가 전주에 걸려 있는 상태이기 때문에 와이어로프(96,97)가 슬립하지 않고, 또, 반복구동풀리(80)가 정역(正逆)회전하여도 제 1와이어로프(96)와 제 2와이어로프(97)가 물리지 않고, 제 1와이어로프(96)는 항상 일정량 이송된다. 즉, 제 1와이어로프(96)의 이송량이 변동하지 않으므로 시료(123)는 향상 일정량 이송되고, 확실하게 히트블록(29)상에 제치된다.

상기한 바와같이 시료(123)가 히트블록(29)에서 가열될 경우, 시료(123)의 표면상에는 히트 부착 가스도입파이프(58)에서 가열되어 가스공급실용 케이싱(5) 내에 공급된 고온가스가 분사된다. 즉, 가스도입파이프(58)에 공급된 고온가스는 가스분출파이프(55)의 가스 분출구멍에서 가스공급실용 케이싱(5)내에 분출되고, 이 고온가스는 가스공급슬릿(45)을 통하여 층형상으로 흐르고, 시료(123)의 표면에 균일하게 분사된다. 시료(123)에 분사된 고온가스는 시료(123)에서 발생한 유해가스를 따라서 각 히트블록(29)의 간극(30), 히트블록지지판(26)의 간홈(26a), 공간(27)을 통하여 배기관(37)으로 부터 외부로 배기된다.

상기 각 히트블록(29)의 핫플레이트(33)는 시료반입구(17)로부터 시료반출구(18)를 향하여 일본국 실공평 6-19546호 공보에 개시하는 바와같이 단계적으로 가열된다. 그래서, 각 히트블록(29)을 각각 개별적으로 온도제어하고 있다. 가령, 시료반입구(17)측으로 부터 3개의 히트블록(29)을 250℃, 다음의 히트블록(29)을 270℃, 나머지 3개를 250℃로 제어하고 있다. 본 실시예에 있어서는, 히트블록(29)의 히트블록본체(32)는 상면을 제외하고 주위를 단열판(34,35,36)으로 덮고 있기 때문에 인접한 히트블록(29)의 열이 서로 작용하지 않고, 각 히트블록(29)의 온도를 확실하게 제어할 수 있고, 또 그 제어가 용이하다.

또, 본 실시예에 있어서는 가스공급실용 케이싱(5)은 시료가열실용 케이싱(4)에 대하여 개폐가 자유롭게 되어 있다. 그래서, 시료(123)의 반송불량, 가령 기울어져서 반송된 경우, 또, 와이어로프(95)가 절단된 경우, 와이어로프(95) 및 히트블록(29)의 오염청소의 경우 등에는, 손잡이(21)를 들어올리면 가스공급실용 케이싱(5)이 열려서 시료가열실용 케이싱(4)의 상면이 개방된다. 이에 의해 히트블록(29)과 시료반송수단의 와이어로프(95)가 노출되기 때문에 거기서 반송불량인 시료(123)를 용이하게 제거할 수 있다.

또, 끊어진 제 1와이어로프(96)의 교환, 제 1와이어로프(96) 및 히트블록(29)의 표면의 청소등이 단시간에 능률적으로 행할 수 있어, 생산성이 향상된다.

또한, 상기 실시예는 케이싱을 복수개의 히트블록을 내부에 갖는 시료가열실용 케이싱과, 상기 히트블록상에 고온가스를 공급하는 가스공급실용 케이싱으로 분할하고, 상기 가스공급 실용 케이싱을 상기 시료 가열실용 케이싱에 대하여 개폐가 자유롭게 구성한 것에 적용한 경우에 대하여 설명하였으나, 종래와 같이 하나의 상자형 케이싱으로 이루어진 것에도 적용된다는 것은 말할 나위 없다.

본 발명에 의하면 리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 시료반송방향으로 간극을 가지고 배열설치되고, 상기 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 갖는 큐어장치에 있어서, 상기 각 히트블록은 히트블록 본체의 하면, 시료반송방향의 양측면 및 시료반송방향과 직각방향의 양측면에 각각 단열판을 고정했기 때문에, 각 히트블록의 온도를 확실하게 제어할 수 있고, 또 그 제어가 용이하다.

Claims

리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 시료반송방향으로 간극을 가지고 배열설치되고, 상기 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 갖는 큐어장치에 있어서, 상기 각 히트블록은 히트블록 본체의 하면, 시료반송방향의 양측면 및 시료반송방향과 직가방향의 양측면에 각각 단열판을 고정한 것을 특징으로 하는 큐어장치.
제 1항에 있어서, 상기 히트블록 본체의 상면에는 핫플레이트가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 큐어장치.