KR0172004B1

KR0172004B1 - 큐어장치

Info

Publication number: KR0172004B1
Application number: KR1019950024074A
Authority: KR
Inventors: 미츠오 아라이; 도시하루 스가누마
Original assignee: 후지야마 겐지; 가부시키가이샤 신가와
Priority date: 1994-09-05
Filing date: 1995-08-04
Publication date: 1999-03-30
Also published as: KR960012387A; TW303983U; US5697777A; JPH0878443A

Abstract

시료의 반송불량이 생겼을때 시료제거, 반송와이어 절단의 경우의 반송와이어의 교환작업, 반송와이어 및 히트블록의 청소작업등을 단시간에 능률좋게 행한다.

시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 내부에 갖는 시료가열실용 케이싱(4)과, 시료가열실용 케이싱(4)상에 설치되고, 상기 히트블록에 대응하여 형성된 가스공급 슬릿 형성판의 가스공급슬릿을 통하여 히트블록상에 고온가스를 공급하는 가스공급실용 케이싱(5)을 가지고, 가스공급실용 케이싱(5)을 시료가열실용 케이싱(4)에 대하여 개폐가 자유롭게 구성하였다.

Description

큐어장치

제1도는 본 발명의 큐어장치의 일실시예를 나타내는 정면도.

제2도는 좌측면도.

제3도는 평면도.

제4도는 케이싱부분의 종단면도.

제5도는 가스공급실용 케이싱부분을 제외한 시료가열용 케이싱부분 및 이송수단의 평면도.

제6도는 제4도의 A-A선 단면도.

제7도는 제5도의 시료가열실용 케이싱부분의 B-B선 단면도.

제8도는 반복구동풀리를 나타내고,

제8도(a)는 정면도.

제8도(b)는 평면도.

제9도는 와이어로프의 정면도.

제10도는 와이어로프를 결합하는 결합구의 정면도.

제11도는 와이어로프 거는 방식의 설명도.

제12도는 제11도의 화살표 C부분측에서 본 도면.

제13도는 시료를 나타내고,

제13도(a)는 평면도.

제13도(b)는 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

3 : 케이싱 4 : 시료가열실용 케이싱

5 : 가스공급실용 케이싱 10 : 지주(지지기둥)

11 : 핀 12 : 지지판

28 : 시료반송방향 29 : 히트블록

30 : 간극 37 : 배기관

44 : 가스공급슬릿 형성판 45 : 가스공급슬릿

60 : 에어실린더 61 : 가동판

71 : 모터 80 : 반복구동풀리

87,88,89,90 : 풀리 95 : 와이어로프

123 : 시료

[산업상의 이용 분야]

본 발명은 리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 상기 페이스트를 건조시키는 큐어장치에 관한 것이다.

[종래의 기술]

종래, 큐어장치로서, 가령 일본국 실공평 6-19546호공보, 특개평 4-5838호공보, 특개평 5-109792호공보등을 들 수 있다.

이들 큐어장치는 한개의 상자형의 케이싱을 칸막이판에 의해 상하로 구획하고, 하방에 시료를 가열하기 위한 시료가열실을 형성하고, 상방에 상기 시료가열실에 고온가스를 공급하는 가스공급실을 형성하고 있다.

[발명이 해결하고자 하는 과제]

상기 종래기술은 한개의 상자형 케이싱으로 이루어지기 때문에 시료의 반송불량이 발생한 경우, 또는 시료반송 수단의 와이어가 끊어진 경우, 혹은 반송와이어의 오염 및 히트블록의 상면의 오염을 청소할 경우등에는 볼트를 풀어서 위뚜껑 및 칸막이판을 제거한 다음에 행하지 않으면 안되었으므로 그 작업은 쉽지 않았다. 또, 큐어장치는 고온상태에 있기 때문에, 냉각하고나서 상기 작업을 행하지 않으면 안되었으므로, 이런점에서도 반송불량시료의 제거, 보수등의 작업이 용이하고 신속하게 행해지지 않고, 생산성의 저하를 초래하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 시료의 반송불량이 생겼을때에 시료제거, 반송와이어 절단의 경우의 반송와이어의 교환작업, 반송와이어 및 히트블록의 청소작업등이 단시간에 능률좋게 행해지는 큐어장치를 제공하는 것이다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 상기 페이스트를 건조시키는 큐어장치에 있어서, 상기 시료반송방향으로 간극을 가지고 설치되고, 상기 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 내부에 갖는 시료가열실용 케이싱과, 이 시료가열실용 케이싱상에 설치되고, 상기 히트블록에 대응하여 가스공급 슬릿이 형성된 가스공급슬릿 형성판을 가지고, 상기 가스공급슬릿을 통하여 상기 히트블록상에 고온가스를 공급하는 가스공급실용 케이싱과, 상기 시료를 상기 각 히트블록상에 순차적으로 재치되도록 반송하는 반송수단과, 상기 시료가열실용 케이싱에서 발생하는 유해가스를 배기하는 배기관을 구비하고 있고, 상기 가스공급실용 케이싱은 상기 시료가열실용 케이싱에 대하여 개폐가 자유롭게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

[작용]

가스공급실용 케이싱은 시료가열실용 케이싱에 대하여 개폐가 자유롭게 되어 있다. 그래서, 시료의 반송불량, 가령 기울어져 반송되었을 경우, 또 와이어로프가 절단되었을 경우, 와이어로프 및 히트블록의 오염청소의 경우등에는 가스공급실용 케이싱이 열려져 시료 가열실용 케이싱의 상면이 개방된다. 이에 따라 히트블록 및 시료반송수단의 와이어로프가 노출되기 때문에 반송불량의 시료를 용이하게 제거할 수 있다. 또, 절단된 제1와이어로프의 교환, 제1와이어로프 및 히트블록 표면의 청소등이 단시간에 능률좋게 행할 수 있어 생산성이 향상된다.

[실시예]

이하, 본 발명의 일실시예를 제1도 내지 제13도에 의해 설명한다. 제1도 및 제2도에 도시하는 바와같이 가대(架台)(1)상에는 복수개의 지주(2)를 통하여 케이싱(3)이 고정되어 있다. 케이싱(3)은 지주(2)에 고정된 시료가열실용 케이싱(4)과 가스공급실용 케이싱(5)으로 이루어지고, 가스공급실용 케이싱(5)은 시료가열실용 케이싱(4)에 대하여 개폐가 자유롭게 되어 있다.

다음에, 가스공급실용 케이싱(5)의 개폐구조를 제2도에 의해 설명한다. 가대(1)의 전방측(우방측)의 양측에는 가스공급실용 케이싱(5)을 지지하는 지주(10)가 고정되어 있고, 지주(10)에는 핀(11)이 고정되어 있다. 핀(11)에는 가스공급실용 케이싱(5)의 전방측이 회전자유롭게 지지되어 있다. 또 가대(1)의 후방측의 양측에는 지지판(12)이 고정되어 있고, 지지판(12)에는 닫힌 상태(실선표시상태)의 가스공급실용 케이싱(5)의 측방에 위치하도록 L형 지지판(13)이 고정되어 있다. L형 지지판(13)에는 핀(14)이 고정되고, 핀(14)에는 레버(15)의 일단이 회전자유롭게 지지되어 있다. 레버(15)의 타단부에는 길이방향으로 뻗은 긴홈(15a)과, 이 긴홈(15a)의 선단에서 상방으로 뻗은 정지용 홈(15b)이 형성되어 있고, 홈(15a,15b)에는 가스공급실용 케이싱(5)의 측면에 고정된 핀(16)이 삽입되어 있다.

또 가스공급실용 케이싱(5)을 닫았을때, 전방측과 후방측이 시료가열실용 케이싱(4)에 맞닿고, 제2도 및 제4도에 도시하는 바와같이 우측에 시료반입구(17), 좌측에 시료반출구(18)가 형성되도록 가스공급실용 케이싱(5)의 전방측과 후방측에는 전커버(19) 및 후커버(20)가 고정되어 있다. 또, 가스공급실용 케이싱(5)의 후방측에는 손잡이(21)가 고정되어 있다.

그래서, 제2도의 실선상태에서 손잡이(21)를 들어올리면 가스공급실용 케이싱(5)은 핀(11)을 지지점으로 하여 2점쇄선 상태가 되어 열리고, 시료가열실용 케이싱(4)의 상면이 개방된다. 이 경우, 가스공급실용 케이싱(5)에 고정된 핀(16)이 긴홈(15a)을 따라 이동하고, 핀(16)이 정지용 홈(15b)으로 이동하면 가스공급실용 케이싱(5)의 개방이 규제됨과 동시에 핀(16)이 정지용홈(15b)에 걸어맞추고 가스공급실용 케이싱(5)은 레버(15)에 의해 그 상태로 유지된다.

가스공급실용 케이싱(5)을 닫을 경우는 레버(15)의 선단부를 상방으로 약간 가압하여 핀(16)을 긴홈(15a)에 위치시키고, 손잡이(21)를 하방으로 회동시키면 전커버(19)와 후커버(20)가 시료가열실용 케이싱(4)에 맞닿아 밀착하여 가스공급실용 케이싱(5)은 닫혀진다.

다음에, 시료가열실용 케이싱(4)내의 구조를 제4도, 제5도 및 제7도에 의해 설명한다. 시료가열실용 케이싱(4)내의 저면에는 전방측, 중앙부 및 후방측에 가늘고 긴 스페이서(25)가 고정되고, 스페이서(25)상에는 1매의 히트블록 지지판(26)이 고정되어 있다.

이 스페이서(25)에 의해 히트블록지지판(26)과 시료가열실용 케이싱(4)의 저면사이에 공간(27)이 형성되어 있다. 히트블록지지판(26)상에는 시료반송방향(28;시료반입구(17)로부터 시료반출구(18)방향)으로 복수개(실시예는 8개)의 히트블록(29)이 간극(30)을 가지고 고정되고, 간극(30)이 공간(27)에 연이어 통하도록 상기 히트블록지지판(26)에는 긴홈(26a)이 형성되어 있다.

히트블록(29)은 2개의 히터(31)가 매설된 히트블록본체(32)를 가지고, 히트블록본체(32)의 상면에는 핫플레이트(33)가 고정되어 있다. 또 히트블록본체(32)의 하면, 시료반송방향(28)의 양측면과 시료반송방향(28)과 직각방향의 양측면에는 각각 단열판(34,35,36)이 고정되어 있다. 핫플레이트(33)의 상면에는 시료이송방향(28)으로 복수개(실시예는 4개)의 이송와이어용홈(33a)이 형성되어 있다. 또, 시료가열실용 케이싱(4)의 저면에는 배기관(37)이 공간(27)에 연이어 통하도록 고정되어 있다.

다음에 가스공급실용 케이싱(5)의 구조를 제4도 및 제6도에 의해 설명한다.

가스공급실용 케이싱(5)은 상하가 개구한 사각형상의 틀체(40)를 가지고, 이 틀체(40)의 내면전부에는 단열판(41)이 고정되어 있다.

또, 틀체(40)의 하방개구부를 따라 플랜지부(42a)를 갖는 아래뚜껑(42)이 설치되고, 아래뚜껑(42)의 플랜지부(42a)에는 고무패킹(43)을 통하여 내열투명유리로 이루어지는 가스공급슬릿형성판(44)이 시료반송방향(28)을 따라 가스공급슬릿(45)을 갖도록 평행으로 고정되어 있다. 여기서, 가스공급슬릿(45)은 히트블록(29)에 대응하도록 설치되어 있다.

그리고, 가스공급 슬릿형성판(44)이 고정된 아래뚜껑(42)은 고무패킹(46)을 통하여 틀체(40)에 고정되어 있다. 틀체(40)의 상방개구부는 고무패킹(47)을 통하여 틀체(40)에 고정된 투명한 위뚜껑(48)으로 덮여 있다.

다음에, 가스공급실용 케이싱(5)내에의 가스공급수단의 구조를 설명한다. 가스공급실용 케이싱(5)내에는 양단이 밀폐된 파이프로 이루어지는 가스분출파이프(55)가 4개 설치되고, 가스분출 파이프(55)의 양단에 고정된 축(56)은 상기 단열판(41)을 통하여 틀체(40)에 고정되어 있다. 여기서, 가스분출파이프(55)에는 다수의 가스분출공(도시않음)이 형성되어 있다. 가스분출파이프(55)에는 연결블록(57)이 고정되고, 연결블록(57)에는 틀체(40)에 고정된 히터 부착 가스도입파이프(58)의 일단이 고정되어 있다.

여기서, 시료반입구(17)에 가까운 2개의 가스분출파이프(55)에 대한 가스도입파이프(58)는 시료반입구(17)측으로 뻗고, 시료반출구(18)에 가까운 2개의 가스분출파이프(55)에 대한 가스도입파이프(58)는 시료반출구(18)측에 뻗어 있고, 가스도입파이프(58)에는 도시하지 않는 가스공급원에 접속되어 있다. 또 가스도입파이프(58)에서 공급된 가스가 가스분출파이프(55)내로 흐르도록, 연결블록(57) 및 가스분출파이프(55)에는 연통구멍이 설치되어 있다.

다음에, 시료 반송수단을 제1도 내지 제3도 및 제5도(주로 제1도 및 제5도참조)에 의해 설명한다. 시료가열실용 케이싱(4)에 대략 중앙에 대응한 가대(1) 상에는 에어실린더(60)가 고정되어 있고, 에어실린더(60)의 작동로드에는 가동판(61)이 고정되어 있다. 또, 가대(1) 상에는 볼트(62)가 입설되고, 볼트(62)에는 가동판(61)이 여유있게 끼워져 있다.

또, 볼트(62)에는 가동판(61)의 상방 및 하방에 상한 스토퍼용 너트(63) 및 하한스토퍼용 너트(64)가 나사맞춤되고, 또한 가동판(61)과 상한 스토퍼용 너트(63)사이 및 가동판(61)과 하한 스토퍼용 너트(64)사이에는 스토퍼쿠션(65,66)이 여유있게 끼워져 있다.

가동판(61)의 시료반입구(17)측의 단부에는 브라켓(70)을 통하여 모터(71)가 고정되어 있고, 모터(71)의 출력축에는 타이밍풀리(72)가 고정되어 있다. 또 가동판(61)상의 시료반입구(17)측에는 축지지판(73)이 고정되어 있고, 축지지판(73)에는 구동축(74)이 회전자유롭게 지지되어 있다. 구동축(74)의 일단부에는 타이밍풀리(75)가 고정되고, 타이밍풀리(75)와 상기 타이밍풀리(72)에는 타이밍벨트(76)가 걸려 있다.

상기 구동축(74)에는 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a)에 대응하여 반복구동풀리(80)가 고정되어 있다. 반복구동풀리(80)는 제8도에 도시하는 바와같이 2개의 제1 및 제2의 풀리홈(80a,80b)을 가지고, 또 축방향으로 관통한 환형의 고정구멍(80c)이 형성되고, 이 고정구멍(80c)에서 외주로 로프삽입용 홈(80d)이 형성되어 있다.

다시 제1도 및 제5도로 돌아가서, 가동판(61)상에는 축지지판(73)의 외측 및 시료반출구(18)측에 풀리지지판(81,82)이 고정되어 있고, 풀리지지판(81,82)에는 상하에 각각 풀리축(83,84 및 85,86)이 회전자유롭게 지지되어 있다. 풀리축(83,85)에는 각각 2개의 풀리(87,88)가 고정되고, 풀리(87,88)의 풀리홈은 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a)의 연장선상에 위치하고 있다. 풀리축(84,86)에는 상기 풀리(87,88)에 대응한 위치에 풀리(89,90)가 고정되어 있다.

상기 반복구동풀리(80) 및 풀리(87~90)에는 제9도에 도시한 와이어로프(95)가 걸리고, 와이어로프(95)의 양단은 제10도에 도시하는 결합구(110)로 결합되어 있다. 우선, 와이어로프(95)의 구성을 제9도에 의해 설명한다.

2개의 제1 및 제2의 와이어로프(96,97)의 일단은, 상기 반복구동풀리(80;제8도참조)의 고정구멍(80c)보다 큰 볼모양의 단말금구(98)에 끼워통해져 코킹고정되어 일체로 되어 있다.

한쪽의 제1와이어로프(96)의 타단은 절곡되어 고정구(99)로 고정되고, 바퀴부(96a)가 형성되어 있다. 다른쪽의 제2와이어로프(97)의 타단은 연결구(100)에 삽입되어 절곡되고, 고정구(101)로 고정되어 있다. 또한, 연결구(100)의 단면에는 오른쪽 나사부(100a)가 형성되어 있다.

다음에 결합구(110)의 구성을 제10도에 의해 설명한다. 상기 연결구(100)와 대략 같은 구조의 연결구(111)를 가지고, 연결구(111)의 일단에는 상기 연결구(100)의 오른쪽 나사부(100a)와 반대의 왼쪽 나사부(111a)가 형성되어 있다.

연결구(100)의 타단부에는 와이어(112)가 끼워통해지고, 와이어(112)의 한쪽 단부는 고정구(113)로 고정되어 있다. 와이어(112)의 다른쪽 단부는 바퀴부(112a)를 형성하도록 절곡되어 고정구(114)로 고정되어 있다. 또 와이어(112)의 바퀴부(112a) 및 상기 와이어로프(95;제9도참조)의 바퀴부(96a)에 거는 인장 코일스프링(115)을 갖는다. 또, 상기 연결구(100)와 연결구(111)를 결합하기 위하여 연결구(100)의 오른쪽 나사부(100a)에 나사맞춤하는 오른쪽 나사부(116a)와 연결구(111)의 왼쪽 나사부(111a)에 나사맞춤하는 왼쪽 나사부(116b)가 형성된 조정볼트(116)을 가지고 있다.

또한, 117은 이완방지용 너트를 나타낸다.

다음에 와이어로프(95)의 거는방법을 제9도 내지 제11도에 의해 설명한다. 제1 및 제2의 와이어로프(96,97)를 겹친상태로 반복구동풀리(80)의 로프삽입통 홈(80d)에서 고정구멍(80c)에 삽입하고, 와이어로프(95)의 단말금구(98)를 반복구동풀리(80)의 측면에 위치시킨다. 단말금구(98)는 고정구멍(80c) 보다 크게 형성되어 있으므로 단말금구(98)는 고정구멍(80c)에서 빠지지 않게 된다. 다음에, 한쪽의 제1와이어로프(96)를 반복구동풀리(80)의 제1풀리홈(80a)에 반시계방향(화살표 D방향)으로 180°회전시켜 풀리(89,87,88,90)에 걸고, 단부의 바퀴부(96a)에 결합구(110)의 인장코일스프링(115)을 건다. 또, 다른쪽의 제2와이어로프(97)를 반복구동풀리(80)의 제2풀리홈(80b)에 시계방향(화살표 E방향)으로 180°회전시켜 연결구(100)를 결합구(110)의 조정볼트(116)의 오른쪽 나사부(116a)에 나사맞춤시킨다. 그리고, 조정볼트(116)를 회전시켜 제1 및 제2의 와이어로프(96,97)에 이완이 없도록 인장코일스프링(115)에 적당한 장력을 부여한다. 이에 의해 풀리(87과 88)사이의 제1의 와이어로프(96)는 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a) 사이에 설치된다.

다음에, 상기와 같이 구성된 큐어장치의 작용에 대하여 설명한다. 제13도에 도시하는 바와같이 리드프레임(120)에 칩(121)이 은 또는 납등의 페이스트(122)에 의해 다이본딩된 시료(123)는 다이본더(도시않음)에서 시료(123)의 길이방향으로 반송되어 반송수단의 제1와이어로프(96)의 일단부(우측부)상으로 이송된다. 이 상태에 있어서는 제1와이어로프(96)는 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a)에서 상방에 위치하고 있다. 즉, 에어실린더(60)의 작동로드가 돌출하여 가동판(61)이 상승한 상태에 있다.

가동판(61)에는 풀리(87,89 및 88,90)를 지지하는 풀리지지판(81,82)이 고정되어 있으므로 가동판(61)과 함께 와이어로프(95)로 상승한다.

다음에 모터(71)가 제1도에 있어서 반시계방향(화살표 F방향)으로 일정량 회전한다. 이에 따라 타이밍풀리(72), 타이밍벨트(76), 타이밍풀리(75)를 통하여 구동축(74)이 반시계방향으로 회전하고, 제1와이어로프(96)가 시료반송방향(28)으로 일정량 이송된다.

다음에 에어실린더(60)의 작동로드가 끌어들여져 가동판(61)이 하강하여 제1와이어로프(96)는 핫플레이트(33)의 이송와이어용 홈(33a)내에 위치하고, 시료(123)는 핫플레이트(33)상에 재치된다.

일정정지하여 시료(123)는 핫플레이트(33)에서 가열된다. 이 사이에 모터(71)는 상기와 반대방향(시계방향)으로 상기 회전량만큼 역회전한다. 그후, 에어실린더(60)의 작동로드가 돌출하여 가동판(61)이 상승하고, 시료(123)는 제1와이어로프(96)에 의해 히트블록(29)상에서 들어올려진다. 다음에 다시 모터(71)가 반시계방향(화살표 F방향)으로 일정량 회전하고, 그후 에어실린더(60)의 작동로드가 끌어들여져 가동판(61)이 하강하는 동작에 의해 다음 핫플레이트(33)상에 재치된다. 이 택트이송동작에 의해 시료(123)는 시료반입구(17)측의 히트블록(29)에서 순차 시료반출구(18)측의 히트블록(29)상으로 이송된다.

그런데, 본 실시예에 있어서는 반복구동풀리(80)에 제1과 제2의 풀리홈(80a,80b)을 형성하고, 제1 및 제2의 풀리홈(80a,80b)에 각각 제1 및 제2와이어로프(96,97)를 걸고 있다. 이와같이 반복구동풀리(80)에 와이어로프(96,97)가 전체주변에 걸려진 상태에 있기 때문에 와이어로프(96,97)가 슬립하지 않고, 또 반복구동풀리(80)가 정역 회전하여도 제1와이어로프(96)와 제2와이어로프(97)가 물리는 일이 없이, 제1와이어로프(96)는 항상 일정량 이송된다. 즉, 제1와이어로프(96)의 이송량이 변동하지 않으므로 시료(123)는 항상 일정량 이송되고, 확실하게 히트블록(29)상에 재치된다.

상이한 바와같이 시료(123)가 히트블록(29)에서 가열된 경우, 시료(123)의 표면상에는 히터부착 가스도입파이프(58)에서 가열되어 가스공급실용 케이싱(5)내에 공급된 고온가스가 분사된다. 즉, 가스도입파이프(58)에 공급된 고온가스는 가스분출파이프(55)의 가스분출공에서 가스공급실용 케이싱(5)내에 분출되고, 이 고온가스는 가스공급슬릿(45)을 지나 층형상으로 흐르고, 시료(123)의 표면에 균일하게 분사된다. 시료(123)에 분사된 고온가스는 시료(123)에서 발생한 유해가스를 따라 각 히트블록(29)의 간극(30), 히트블록지지판(26)의 긴홈(26a), 공간(27)을 지나 배기관(37)에서 외부로 배기된다.

상기 각 히트블록(29)의 핫플레이트(33)는 시료반입구(17)에서 시료반출구(18)로 향하여 실공평 6-19546호공보에 도시하는 바와같이 단계적으로 가열된다. 그래서, 각 히트블록(29)을 각각 별개로 온도제어하고 있다. 가령 시료반입구(17)측에서 3개의 히트블록(29)을 250℃, 다음 히트블록(29)을 270℃, 나머지 3개를 250℃로 제어하고 있다. 본 실시예에 있어서는 히트블록(29)의 히트블록본체(32)는 상면을 제외하고 주위는 단열판(34,35,36)으로 덮여 있으므로 인접한 히트블록(29)의 열이 상호 작용하는 일없이 각 히트블록(29)의 온도를 확실하게 제어할 수 있고, 또 그 제어가 용이하다.

또, 본 실시예에 있어서는, 가스공급실용 케이싱(5)은 시료가열실용 케이싱(4)에 대하여 개폐가 자유롭게 되어 있다. 그래서, 시료(123)의 반송불량, 가령 기울어지게 반송된 경우, 또 와이어로프(95)가 절단된 경우, 와이어로프(95) 및 히트블록(29)의 오염 청소의 경우등에는 손잡이(21)를 들어올리면 가스공급실용 케이싱(5)이 열리어 시료가열실용 케이싱(4)의 상면이 개방된다. 이에따라, 히트블록(29) 및 시료반송수단의 와이어로프(29)가 노출되므로, 그래서, 반송불량의 시료(123)를 손쉽게 제거할 수 있다. 또, 절단된 제1와이어로프(96)의 교환, 제1와이어로프(96) 및 히트블록(29)의 표면의 청소등이 단시간에 능률좋게 행할 수 있어 생산성이 향상된다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면, 시료반송방향으로 간극을 가지고 설치되고, 상기 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 내부에 갖는 시료가열실용 케이싱과, 이 시료가열실용 케이싱상에 설치되고, 상기 히트블록에 대응하여 가스공급슬릿이 형성된 가스공급슬릿 형성판을 가지고, 상기 가스공급슬릿을 통하여 상기 히트블록상에 고온가스를 공급하는 가스공급실용 케이싱과, 상기 시료를 상기 각 히트블록상에 순차로 재치하도록 반송하는 반송수단과, 상기 시료가열실용 케이싱에서 발생하는 유해가스를 배기하는 배기관을 구비하고, 상기 가스공급실용 케이싱은 상기 시료가열실용 케이싱에 대하여 개폐가 자유롭게 구성되어 있으므로 시료의 반송불량이 생겼을때 시료의 제거, 반송와이어 절단의 경우의 반송와이어의 교환작업, 반송와이어 및 히트블록의 청소작업 등이 단시간에 능률 좋게 행해질 수 있다.

Claims

리드프레임에 페이스트를 통하여 칩이 본딩된 시료의 상기 페이스트를 건조시키는 큐어장치에 있어서, 상기 시료반송방향으로 간극을 가지고 설치되고, 상기 시료를 가열하기 위한 복수개의 히트블록을 내부에 갖는 시료가열실용 케이싱과, 이 시료가열실용 케이싱상에 설치되고, 상기 히트블록에 대응하여 가스공급슬릿이 형성된 가스공급슬릿 형성판을 가지고, 상기 가스공급슬릿을 통하여 상기 히트블록상에 고온가스를 공급하는 가스공급실용 케이싱과, 상기 시료를 상기 각 히트블록상에 순차적으로 재치되도록 반송하는 반송수단과, 상기 시료가열실용 케이싱에서 발생하는 유해가스를 배기하는 배기관을 구비하고 있고, 상기 가스공급실용 케이싱은 상기 시료가열실용 케이싱에 대하여 개폐가 자유롭게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 큐어장치.