JP3079500B2 - キュア装置 - Google Patents

キュア装置

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JP3079500B2
JP3079500B2 JP06314282A JP31428294A JP3079500B2 JP 3079500 B2 JP3079500 B2 JP 3079500B2 JP 06314282 A JP06314282 A JP 06314282A JP 31428294 A JP31428294 A JP 31428294A JP 3079500 B2 JP3079500 B2 JP 3079500B2
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    • F26B15/10—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームにペー
ストを介してチップがボンディングされた試料の前記ペ
ーストを乾燥させるキュア装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、キュア装置として、例えば実公平
６−１９５４６号公報、特開平４−５８３８号公報、特
開平５−１０９７９２号公報等があげられる。これらの
キュア装置は、試料を加熱する角柱状のヒートブロック
を試料の搬送方向に沿って等間隔に複数個配設してお
り、特開平５−１０９７９２号公報にも開示されている
ように、試料はコンベアのタクト送り動作によって順次
ヒートブロック上に載置される。コンベアは、試料搬入
側及び試料搬出側にそれぞれ配設されたプーリにワイヤ
ロープが掛けられた構成よりなり、一方のプーリをモー
タで駆動される駆動軸に固定している。
【０００３】そこで、コンベアが上昇した状態でワイヤ
ロープが一定量送られ、次にコンベアが下降して試料は
ヒートブロック上に載置される。一時停止して試料が加
熱され、その後コンベアが上昇して試料はワイヤロープ
によってヒートブロック上より持ち上げられ、次にワイ
ヤロープが一定量移送し、その後下降する動作により次
のヒートブロック上に搬送される。このタクト送り動作
により試料は順次試料搬入口から試料搬出口に向かって
搬送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、駆動
軸に固定されたプーリにワイヤロープが掛けられ、プー
リとワイヤロープは摩擦係合した状態であるので、駆動
軸によってプーリを回転させてワイヤロープを一定量送
る場合、ワイヤロープが駆動プーリに対してスリップ
し、ワイヤロープの送り量が変動するという問題があっ
た。ワイヤロープが予め決められた一定量送られない
と、試料がヒートブロックの所定の位置に載置されな
く、乾燥品質のバラツキが生じる。また試料を複数個の
ワイヤロープで搬送する場合、各ワイヤロープの送り量
のバラツキによって試料が傾いてヒートブロック上に載
置され、１個の試料の内での乾燥品質のバラツキも生じ
る。
【０００５】駆動軸によって回転させられるプーリとワ
イヤとのスリップの低減を図るには、プーリにワイヤを
１回転半以上巻き付けて交差（クロス）させることが考
えられる。しかし、この構成によってもワイヤのスリッ
プを完全に防止することは困難である。またワイヤを交
差させた場合、試料移送時に「ガクン」「ガクン」とい
う断続的な移送になってしまうと共に、ワイヤ同志が摩
擦によって切断しやすい。
【０００６】本発明の第１の目的は、常に試料を一定量
搬送することが可能なキュア装置を提供することにあ
る。
【０００７】本発明の第２の目的は、ワイヤが交差しな
く、またワイヤ切断が生じにくいキュア装置を提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るための本発明の第１の手段は、リードフレームにペー
ストを介してチップがボンディングされた試料の試料搬
送方向に隙間を有して配設された複数個のヒートブロッ
クと、前記試料を前記各ヒートブロック上に順次載置す
るようにタクト送りして搬送する搬送手段とを有し、前
記搬送手段は上下動可能で、かつ試料搬入側及び試料搬
出側にそれぞれ配設されたプーリにワイヤロープが掛け
られたコンベアよりなるキュア装置において、前記コン
ベアの駆動軸に反復駆動プーリを固定し、前記ワイヤロ
ープを前記反復駆動プーリに対して相対的位置不動に取
付け、前記駆動軸を正逆駆動するモータを備えたことを
特徴とする。
【０００９】上記第１及び第２の目的を達成するための
本発明の第２の手段は、上記第１の手段において、前記
反復駆動プーリに２個の第１及び第２のプーリ溝を形成
し、該反復駆動プーリに対して相対的位置不動に取付け
られた前記ワイヤロープの一方側を前記第１のプーリ
に、他方側を前記第２のプーリ溝にそれぞれ掛けたこと
を特徴とする。
【００１０】
【作用】上記第１の手段は、ワイヤロープが反復駆動さ
れる反復駆動プーリに該反復駆動プーリに対して相対的
な位置が不動に取付けられているので、反復駆動プーリ
とワイヤロープの位置ずれは生じなく、常に反復駆動プ
ーリの回転量に比例した量だけ移動させられる。即ち、
試料は位置ずれすることなく常に一定量送られるので、
ヒートブロックに対する位置ずれが防止される。
【００１１】上記第２の手段は、反復駆動プーリに第１
及び第２のプーリ溝を形成し、第１及び第２のプーリ溝
に該反復駆動プーリに対して相対的位置不動に取付けら
れた前記ワイヤロープの一方側を前記第１のプーリに、
他方側を前記第２のプーリ溝にそれぞれ掛けられている
ので、反復駆動プーリが正逆回転しても該反復駆動プー
リに掛けられたワイヤロープが交差することがない。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図１３に
より説明する。図１及び図２に示すように、架台１上に
は、複数個の支柱２を介してケーシング３が固定されて
いる。ケーシング３は、支柱２に固定された試料加熱室
用ケーシング４とガス供給室用ケーシング５とからな
り、ガス供給室用ケーシング５は試料加熱室用ケーシン
グ４に対して開閉自在となっている。
【００１３】次にガス供給室用ケーシング５の開閉構造
を図２により説明する。架台１の前方側（右方側）の両
側にはガス供給室用ケーシング５を支持する支柱１０が
固定されており、支柱１０にはピン１１が固定されてい
る。ピン１１にはガス供給室用ケーシング５の前方側が
回転自在に支承されている。また架台１の後方側の両側
には支持板１２が固定されており、支持板１２には閉じ
た状態（実線で示す状態）のガス供給室用ケーシング５
の側方に位置するようにＬ型支持板１３が固定されてい
る。Ｌ型支持板１３にはピン１４が固定され、ピン１４
にはレバー１５の一端が回転自在に支承されている。レ
バー１５の他端部には、長手方向に伸びた長溝１５ａ
と、この長溝１５ａの先端より上方に伸びた止め用溝１
５ｂとが形成されており、溝１５ａ、１５ｂにはガス供
給室用ケーシング５の側面に固定されたピン１６が挿入
されている。
【００１４】またガス供給室用ケーシング５を閉じた時
に前方側及び後方側が試料加熱室用ケーシング４に当接
し、図２及び図４に示すように、右側に試料搬入口１
７、左側に試料搬出口１８が形成されるように、ガス供
給室用ケーシング５の前方側及び後方側には前カバー１
９及び後カバー２０が固定されている。またガス供給室
用ケーシング５の後方側には把手２１が固定されてい
る。
【００１５】そこで、図２の実線の状態より把手２１を
持ち上げると、ガス供給室用ケーシング５はピン１１を
支点として２点鎖線の状態となって開き、試料加熱室用
ケーシング４の上面が開放する。この場合、ガス供給室
用ケーシング５に固定されたピン１６が長溝１５ａに沿
って移動し、ピン１６が止め用溝１５ｂに移ると、ガス
供給室用ケーシング５の開きが制限されると共に、ピン
１６が止め用溝１５ｂに係合し、ガス供給室用ケーシン
グ５はレバー１５によってその状態に保持される。ガス
供給室用ケーシング５を閉じる場合は、レバー１５の先
端部を上方に僅かに押してピン１６を長溝１５ａに位置
させ、把手２１を下方に回動させると、前カバー１９及
び後カバー２０が試料加熱室用ケーシング４に当接密着
してガス供給室用ケーシング５は閉じられる。
【００１６】次に試料加熱室用ケーシング４内の構造を
図４、図５及び図７により説明する。試料加熱室用ケー
シング４内の底面には、前方側、中央部及び後方側に細
長いスペーサ２５が固定され、スペーサ２５上には、１
枚のヒートブロック支持板２６が固定されている。この
スペーサ２５によってヒートブロック支持板２６と試料
加熱室用ケーシング４の底面間に空間２７が形成されて
いる。ヒートブロック支持板２６上には、試料搬送方向
２８（試料搬入口１７から試料搬出口１８方向）に複数
個（実施例は８個）のヒートブロック２９が隙間３０を
有して固定され、隙間３０が空間２７に連通するよう
に、前記ヒートブロック支持板２６には長溝２６ａが形
成されている。
【００１７】ヒートブロック２９は、２個のヒータ３１
が埋設されたヒートブロック本体３２を有し、ヒートブ
ロック本体３２の上面にはホットプレート３３が固定さ
れている。またヒートブロック本体３２の下面、試料搬
送方向２８の両側面及び試料搬送方向２８と直角方向の
両側面には、それぞれ断熱板３４、３５、３６が固定さ
れている。ホットプレート３３の上面には、試料搬送方
向２８に複数個（実施例は４個）の送りワイヤ用溝３３
ａが形成されている。また試料加熱室用ケーシング４の
底面には排気管３７が空間２７に連通するように固定さ
れている。
【００１８】次にガス供給室用ケーシング５の構造を図
４及び図６により説明する。ガス供給室用ケーシング５
は、上下が開口した四角状の枠体４０を有し、この枠体
４０の内面全部には断熱板４１が固定されている。また
枠体４０の下方開口部に沿ってフランジ部４２ａを有す
る下蓋４２が配設され、下蓋４２のフランジ部４２ａに
はゴムパッキン４３を介して耐熱透明ガラスよりなるガ
ス供給スリット形成板４４が試料搬送方向２８に沿って
ガス供給スリット４５を有するように平行に固定されて
いる。ここで、ガス供給スリット４５はヒートブロック
２９に対応するように設けられている。そして、ガス供
給スリット形成板４４が固定された下蓋４２は、ゴムパ
ッキン４６を介して枠体４０に固定されている。枠体４
０の上方開口部はゴムパッキン４７を介して枠体４０に
固定された透明な上蓋４８で覆われている。
【００１９】次にガス供給室用ケーシング５内へのガス
供給手段の構造を説明する。ガス供給室用ケーシング５
内には、両端が密閉されたパイプよりなるガス噴出パイ
プ５５が４個配設され、ガス噴出パイプ５５の両端に固
定された軸５６は前記断熱板４１を通して枠体４０に固
定されている。ここで、ガス噴出パイプ５５には、多数
のガス噴出孔（図示せず）が形成されている。ガス噴出
パイプ５５には連結ブロック５７が固定され、連結ブロ
ック５７には枠体４０に固定されたヒータ付ガス導入パ
イプ５８の一端が固定されている。ここで、試料搬入口
１７に近い２個のガス噴出パイプ５５に対するガス導入
パイプ５８は試料搬入口１７側に伸び、試料搬出口１８
に近い２個のガス噴出パイプ５５に対するガス導入パイ
プ５８は試料搬出口１８側に伸びており、ガス導入パイ
プ５８には、図示しないガス供給源に接続されている。
またガス導入パイプ５８より供給されたガスがガス噴出
パイプ５５内に流れるように、連結ブロック５７及びガ
ス噴出パイプ５５には連通穴が設けられている。
【００２０】次に試料搬送手段を図１乃至図３及び図５
（主に図１及び図５参照）により説明する。試料加熱室
用ケーシング４のほぼ中央に対応した架台１上には、エ
アシリンダ６０が固定されており、エアシリンダ６０の
作動ロッドには可動板６１が固定されている。また架台
１上にはボルト６２が立設され、ボルト６２には可動板
６１が遊嵌されている。またボルト６２には、可動板６
１の上方及び下方に上限ストッパ用ナット６３及び下限
ストッパ用ナット６４が螺合され、更に可動板６１と上
限ストッパ用ナット６３間及び可動板６１と下限ストッ
パ用ナット６４間にはストッパクッション６５、６６が
遊嵌されている。
【００２１】可動板６１の試料搬入口１７側の端部に
は、ブラケット７０を介してモータ７１が固定されてお
り、モータ７１の出力軸にはタイミングプーリ７２が固
定されている。また可動板６１上の試料搬入口１７側に
は、軸支持板７３が固定されており、軸支持板７３には
駆動軸７４が回転自在に支承されている。駆動軸７４の
一端部にはタイミングプーリ７５が固定され、タイミン
グプーリ７５と前記タイミングプーリ７２にはタイミン
グベルト７６が掛けられている。
【００２２】前記駆動軸７４には、ホットプレート３３
の送りワイヤ用溝３３ａに対応して反復駆動プーリ８０
が固定されている。反復駆動プーリ８０は、図８に示す
ように、２つの第１及び第２のプーリ溝８０ａ、８０ｂ
を有し、また軸方向に貫通した丸形の止め穴８０ｃが形
成され、この止め穴８０ｃより外周にロープ挿入用溝８
０ｄが形成されている。再び図１及び図５に戻って、可
動板６１上には、軸支持板７３の外側及び試料搬出口１
８側にプーリ支持板８１、８２が固定されており、プー
リ支持板８１、８２には上下にそれぞれプーリ軸８３、
８４及び８５、８６が回転自在に支承されている。プー
リ軸８３、８５には、それぞれ２個のプーリ８７、８８
が固定され、プーリ８７、８８のプーリ溝はホットプレ
ート３３の送りワイヤ用溝３３ａの延長線上に位置して
いる。プーリ軸８４、８６には、前記プーリ８７、８８
に対応した位置にプーリ８９、９０が固定されている。
【００２３】前記反復駆動プーリ８０及びプーリ８７〜
９０には、図９に示すワイヤロープ９５が掛けられ、ワ
イヤロープ９５の両端は、図１０に示す結合具１１０で
結合されている。まずワイヤロープ９５の構成を図９に
より説明する。２本の第１及び第２のワイヤロープ９
６、９７の一端は、前記反復駆動プーリ８０（図８参
照）の止め穴８０ｃより大きいボール状の端末金具９８
に挿通されてかしめ固定され、一体となっている。一方
の第１のワイヤロープ９６の他端は、折り曲げられて固
定具９９で固定され、輪部９６ａが形成されている。他
方の第２のワイヤロープ９７の他端は、連結具１００に
挿入されて折り曲げられ、固定具１０１で固定されてい
る。なお、連結具１００の端面には右ねじ部１００ａが
形成されている。
【００２４】次に結合具１１０の構成を図１０により説
明する。前記連結具１００とほぼ同じ構造の連結具１１
１を有し、連結具１１１の一端には、前記連結具１００
の右ねじ部１００ａと逆の左ねじ部１１１ａが形成され
ている。連結具１００の他端部にはワイヤ１１２が挿通
され、ワイヤ１１２の一方の端部は固定具１１３で固定
されている。ワイヤ１１２の他方の端部は輪部１１２ａ
を形成するように折り曲げられて固定具１１４で固定さ
れている。またワイヤ１１２の輪部１１２ａ及び前記ワ
イヤロープ９５（図９参照）の輪部９６ａに掛ける引張
りコイルバネ１１５を有する。また前記連結具１００と
連結具１１１を結合するために、連結具１００の右ねじ
部１００ａに螺合する右ねじ部１１６ａと連結具１１１
の左ねじ部１１１ａに螺合した左ねじ部１１６ｂが形成
された調整ボルト１１６を有している。なお、１１７は
緩み防止用のナットを示す。
【００２５】次にワイヤロープ９５の掛け方を図９乃至
図１１により説明する。第１及び第２のワイヤロープ９
６、９７を重ねた状態で反復駆動プーリ８０のロープ挿
入用溝８０ｄより止め穴８０ｃに挿入し、ワイヤロープ
９５の端末金具９８を反復駆動プーリ８０の側面に位置
させる。端末金具９８は止め穴８０ｃより大きく形成さ
れているので、端末金具９８は止め穴８０ｃより抜けな
くなる。次に一方の第１のワイヤロープ９６を反復駆動
プーリ８０の第１のプーリ溝８０ａに反時計方向（矢印
Ｄ方向）に１８０°回してプーリ８９、８７、８８、９
０に掛け、端部の輪部９６ａに結合具１１０の引張りコ
イルバネ１１５を掛ける。また他方の第２のワイヤロー
プ９７を反復駆動プーリ８０の第２のプーリ溝８０ｂに
時計方向（矢印Ｅ方向）に１８０°回して連結具１００
を結合具１１０の調整ボルト１１６の右ねじ部１１６ａ
に螺合させる。そして、調整ボルト１１６を回して第１
及び第２のワイヤロープ９６、９７に弛みがないように
引張りコイルバネ１１５に適度の張力を与える。これに
より、プーリ８７と８８間の第１のワイヤロープ９６は
ホットプレート３３の送りワイヤ用溝３３ａ間に配設さ
れる。
【００２６】次に前記のように構成されたキュア装置の
作用について説明する。図１３に示すように、リードフ
レーム１２０にチップ１２１が銀又は半田等のペースト
１２２によりダイボンディングされた試料１２３は、ダ
イボンダ（図示せず）より試料１２３の長手方向に搬送
されて搬送手段の第１のワイヤロープ９６の一端部（右
側部）上に送られる。この状態においては、第１のワイ
ヤロープ９６はホットプレート３３の送りワイヤ用溝３
３ａより上方に位置している。即ち、エアシリンダ６０
の作動ロッドが突出して可動板６１が上昇した状態にあ
る。可動板６１にはプーリ８７、８９及び８８、９０を
支持するプーリ支持板８１、８２が固定されているの
で、可動板６１と共にワイヤロープ９５も上昇する。
【００２７】次にモータ７１が図１において反時計方向
（矢印Ｆ方向）に一定量回転する。これにより、タイミ
ングプーリ７２、タイミングベルト７６、タイミングプ
ーリ７５を介して駆動軸７４が反時計方向に回転し、第
１のワイヤロープ９６が試料搬送方向２８に一定量送ら
れる。次にエアシリンダ６０の作動ロッドが引っ込んで
可動板６１が下降して第１のワイヤロープ９６はホット
プレート３３の送りワイヤ用溝３３ａ内に位置し、試料
１２３はホットプレート３３上に載置される。一時静止
して試料１２３はホットプレート３３で加熱される。こ
の間にモータ７１は前記と逆方向（時計方向）に前記し
た回転量だけ逆回転する。その後、エアシリンダ６０の
作動ロッドが突出して可動板６１が上昇し、試料１２３
は第１のワイヤロープ９６によってヒートブロック２９
上より持ち上げられる。次に再びモータ７１が反時計方
向（矢印Ｆ方向）に一定量回転し、その後エアシリンダ
６０の作動ロッドが引っ込んで可動板６１が下降する動
作により、次のホットプレート３３上に載置される。こ
のタクト送り動作により、試料１２３は試料搬入口１７
側のヒートブロック２９から順次試料搬出口１８側のヒ
ートブロック２９上に搬送される。
【００２８】ところで、本実施例においては、第１及び
第２のワイヤロープ９６、９７を結合する端末金具９８
が反復駆動プーリ８０に対して相対的位置不動に取付け
られているので、ワイヤロープ９６、９７は反復駆動プ
ーリ８０に対してスリップしなく、反復駆動プーリ８０
の回転量に比例した量だけワイヤロープ９５は常に移動
する。このように、第１のワイヤロープ９６の送り量が
変動しないので、試料１２３は常に一定量送られ、確実
にヒートブロック２９上に載置される。また反復駆動プ
ーリ８０に第１及び第２のプーリ溝８０ａ、８０ｂを形
成し、第１及び第２のプーリ溝８０ａ、８０ｂにそれぞ
れ第１及び第２のワイヤロープ９６、９７を掛けられて
いるので、反復駆動プーリ８０が正逆回転しても第１の
ワイヤロープ９６と第２のワイヤロープ９７が交差する
ことがない。
【００２９】前記したように試料１２３がヒートブロッ
ク２９で加熱される場合、試料１２３の表面上にはヒー
タ付ガス導入パイプ５８より加熱されてガス供給室用ケ
ーシング５内に供給された高温ガスが吹き付けられる。
即ち、ガス導入パイプ５８に供給された高温ガスは、ガ
ス噴出パイプ５５のガス噴出孔よりガス供給室用ケーシ
ング５内に噴出し、この高温ガスはガス供給スリット４
５を通って層状に流れ、試料１２３の表面に均一に吹き
付けられる。試料１２３に吹き付けられた高温ガスは、
試料１２３から発生した有害ガスを伴って各ヒートブロ
ック２９の隙間３０、ヒートブロック支持板２６の長溝
２６ａ、空間２７を通って排気管３７より外部に排気さ
れる。
【００３０】前記各ヒートブロック２９のホットプレー
ト３３は、試料搬入口１７から試料搬出口１８に向かっ
て実公平６−１９５４６号公報に示すように段階的に加
熱される。そこで、各ヒートブロック２９をそれぞれ別
個に温度制御している。例えば、試料搬入口１７側から
３個のヒートブロック２９を２５０°Ｃ、次のヒートブ
ロック２９を２７０°Ｃ、残りの３個を２５０°Ｃに制
御している。本実施例においては、ヒートブロック２９
のヒートブロック本体３２は上面を除いて周囲は断熱板
３４、３５、３６で覆われているので、隣接したヒート
ブロック２９の熱が互いに作用することがなく、各ヒー
トブロック２９の温度を確実に制御することができ、ま
たその制御が容易である。
【００３１】また本実施例においては、ガス供給室用ケ
ーシング５は試料加熱室用ケーシング４に対して開閉自
在となっている。そこで、試料１２３の搬送不良、例え
ば傾いて搬送された場合、またワイヤロープ９５が切れ
た場合、ワイヤロープ９５及びヒートブロック２９の汚
れの清掃の場合等には、把手２１を持ち上げるとガス供
給室用ケーシング５が開いて試料加熱室用ケーシング４
の上面が開放する。これにより、ヒートブロック２９及
び試料搬送手段のワイヤロープ９５が露出するので、そ
こで、搬送不良の試料１２３を容易に取り除くことがで
きる。また切れた第１のワイヤロープ９６の交換、第１
のワイヤロープ９６及びヒートブロック２９表面の清掃
等が短時間に能率良く行なうことができ、生産性が向上
する。
【００３２】なお、上記実施例は、ケーシングを、複数
個のヒートブロックを内部に有した試料加熱室用ケーシ
ングと、前記ヒートブロック上に高温ガスを供給するガ
ス供給室用ケーシングとに分割し、前記ガス供給室用ケ
ーシングを前記試料加熱室用ケーシングに対して開閉自
在に構成したものに適用した場合について説明したが、
従来のように１つの箱型のケーシングよりなるものにも
適用できることは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】本発明の第１の手段にによれば、駆動軸
に反復駆動プーリを固定し、ワイヤロープが反復駆動プ
ーリに該反復駆動プーリに対して相対的な位置が不動に
取付けられているので、反復駆動プーリとワイヤロープ
の位置ずれは生じなく、常に反復駆動プーリの回転量に
比例した量だけ移動させられる。また本発明の第１の手
段にによれば、反復駆動プーリに第１及び第２のプーリ
溝を形成し、第１及び第２のプーリ溝に該反復駆動プー
リに対して相対的位置不動に取付けられた前記ワイヤロ
ープの一方側を前記第１のプーリに、他方側を前記第２
のプーリ溝にそれぞれ掛けられているので、反復駆動プ
ーリが正逆回転しても該反復駆動プーリに掛けられたワ
イヤロープが交差することがなく、またワイヤの切断も
生じにくい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のキュア装置の一実施例を示す正面図で
ある。
【図２】左側面図である。
【図３】平面図である。
【図４】ケーシング部分の縦断面図である。
【図５】ガス供給室用ケーシング部分を取り除いた試料
加熱用ケーシング部分及び搬送手段の平面図である。
【図６】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図７】図５の試料加熱室用ケーシング部分のＢ−Ｂ線
断面図である。
【図８】反復駆動プーリを示し、（ａ）は正面図、
（ｂ）は平面図である。
【図９】ワイヤロープの正面図である。
【図１０】ワイヤロープを結合する結合具の正面図であ
る。
【図１１】ワイヤロープの掛け方の説明図である。
【図１２】図１１の矢印Ｃ部分の矢視図である。
【図１３】試料を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面
図である。
【符号の説明】
３ ケーシング ２８ 試料搬送方向 ２９ ヒートブロック ３０ 隙間 ４４ ガス供給スリット形成板 ６０ エアシリンダ ６１ 可動板 ７１ モータ ８０ 反復駆動プーリ ８７、８８、８９、９０ プーリ ９５ ワイヤロープ ９６ 第１のワイヤロープ ９７ 第１のワイヤロープ ９８ 端末金具 １２３ 試料

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 リードフレームにペーストを介してチッ
    プがボンディングされた試料の試料搬送方向に隙間を有
    して配設された複数個のヒートブロックと、前記試料を
    前記各ヒートブロック上に順次載置するようにタクト送
    りして搬送する搬送手段とを有し、前記搬送手段は上下
    動可能で、かつ試料搬入側及び試料搬出側にそれぞれ配
    設されたプーリにワイヤロープが掛けられたコンベアよ
    りなるキュア装置において、前記コンベアの駆動軸に反
    復駆動プーリを固定し、前記ワイヤロープを前記反復駆
    動プーリに対して相対的位置不動に取付け、前記駆動軸
    を正逆駆動するモータを備えたことを特徴とするキュア
    装置。
  2. 【請求項２】 前記反復駆動プーリは、２個の第１及び
    第２のプーリ溝を形成し、該反復駆動プーリに対して相
    対的位置不動に取付けられた前記ワイヤロープの一方側
    を前記第１のプーリに、他方側を前記第２のプーリ溝に
    それぞれ掛けたことを特徴とする請求項１記載のキュア
    装置。
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