JP2005291515A - 連続焼成炉および連続焼成方法 - Google Patents
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- 238000010304 firing Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 125
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 12
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
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- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
【解決手段】 加熱室20内において、従来から使用していたヒータ19に加え、特定の被処理品1を通電加熱するための通電加熱装置24を設ける。通電加熱装置24は、特定の被処理品1に要求される熱処理曲線に応じて配置位置を設定し、複数の加熱区域に設けることもできる。被処理品1を載置するトレー2は、通電加熱装置24の下部電極26が通過できる貫通孔3を有するトレー本体2aと、貫通孔3に嵌合する載置部2bとから構成する。特定の被処理品1が下部電極26の上方位置にきたならば、下部電極26を上昇させて載置部2bとともに被処理品1を押し上げ、これを上部電極25との間に挟持するとともにトレー本体2aと載置部2bとを電気的に絶縁状態とした上で、被処理品1を通電加熱する。
【選択図】 図1
Description
2 トレー
2a トレー本体
2b 載置部
3 貫通孔
12 装入脱気室
13a,13b 開閉扉
14 チャンバ
15 処理室
16 抽出脱気室
17a,17b 開閉扉
18 断熱壁
19 ヒータ
20 加熱室
21 予熱室
22 冷却室
24,24a,24b,24c 通電加熱装置
25 上部電極
26 下部電極
27a,27b 絶縁シール部材
28a,28b 端子
28c 絶縁部材
29 ケーブル
30 通電加熱用電源
32,33,34 フリーローラ
32a 支柱
32b ブラケット
36 プッシャー装置
37 プラー装置
39 電極昇降装置
40 ケース
Claims (11)
- 被処理品の焼成を行う処理室内に被処理品を載置した複数のトレーを順次間欠的に送り込んで、複数の被処理品を連続的に焼成する連続焼成炉であって、
前記処理室内に設けられ、被処理品を載置した複数のトレーが上流側から下流側に向かって内部を通過し得るように形成された加熱室と、
該加熱室内の所定範囲にわたって設けられ、被処理品を加熱するヒータと、
前記加熱室内で特定の被処理品を通電加熱する通電加熱装置と、を備える、ことを特徴とする連続焼成炉。 - 前記通電加熱装置は、被処理品を上下から挟持する上部及び下部の電極と、該電極間に通電する通電加熱用電源とを備える、ことを特徴とする請求項1に記載の連続焼成炉。
- 前記下部電極は昇降駆動可能に構成されており、
前記トレーは、下部電極が非接触で通過可能な貫通孔を有するトレー本体と、該貫通孔に上方から嵌合して支持され且つ被処理品を載置する導電性の載置部とからなり、
前記通電加熱装置は、被処理品が下部電極の上方位置にあるときに、該下部電極を上昇させて前記載置部とともに被処理品を押し上げ、これを上部電極との間に挟持するとともにトレー本体と載置部とを電気的に絶縁状態とした上で、被処理品を通電加熱する、ことを特徴とする請求項2に記載の連続焼成炉。 - 前記通電加熱装置は、炉長方向に複数配設される、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の連続焼成炉。
- 前記トレーは被処理品を幅方向に複数載置できるように構成され、
前記通電加熱装置は、幅方向に並ぶ被処理品の数に対応して幅方向に複数配設される、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の連続焼成炉。 - 被処理品の焼成を行う処理室内に被処理品を載置した複数のトレーを順次間欠的に送り込んで、複数の被処理品を連続的に焼成する連続焼成方法であって、
前記処理室内に設けられ被処理品を載置した複数のトレーが上流側から下流側に向かって内部を通過し得るように形成された加熱室に、前記被処理品を載置したトレーを順次送り込み、
該被処理品を、前記加熱室内の所定範囲にわたって配置されたヒータにより加熱するとともに、
前記加熱室内で特定の被処理品を通電加熱する、ことを特徴とする連続焼成方法。 - 前記被処理品を、その上下に配置された上部及び下部の電極間に挟持し、該電極間に通電することにより被処理品を通電加熱する、ことを特徴とする請求項6に記載の連続焼成方法。
- 前記下部電極を昇降駆動可能に構成し、
前記トレーを、該下部電極が非接触で通過可能な貫通孔を有するトレー本体と、該貫通孔に上方から嵌合して支持され且つ被処理品を載置する導電性の載置部とから構成されるものとし、
被処理品が下部電極の上方位置にあるときに、該下部電極を上昇させて前記載置部とともに被処理品を押し上げ、これを上部電極との間に挟持するとともにトレー本体と載置部とを電気的に絶縁状態とした上で、被処理品を通電加熱する、ことを特徴とする請求項7に記載の連続焼成方法。 - 前記通電加熱を加熱室内の複数の加熱区域において行う、ことを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の連続焼成方法。
- 前記トレーを、被処理品を幅方向に複数載置できるように構成し、
前記通電加熱を、幅方向に並ぶ複数の被処理品のうちの全部又は一部に対して行う、ことを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の連続焼成方法。 - 前記被処理品を導電性発熱体からなるケースに収容し、これを前記上部及び下部の電極間に挟持して通電加熱する、ことを特徴とする請求項6乃至10のいずれかに記載の連続焼成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004102799A JP4587022B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 連続焼成炉および連続焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004102799A JP4587022B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 連続焼成炉および連続焼成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005291515A true JP2005291515A (ja) | 2005-10-20 |
| JP4587022B2 JP4587022B2 (ja) | 2010-11-24 |
Family
ID=35324644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004102799A Expired - Fee Related JP4587022B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 連続焼成炉および連続焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4587022B2 (ja) |
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-
2004
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| JP4587022B2 (ja) | 2010-11-24 |
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