JP3101845B2 - 搬送方法及び搬送制御装置 - Google Patents

搬送方法及び搬送制御装置

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JP3101845B2 JP04257566A JP25756692A JP3101845B2 JP 3101845 B2 JP3101845 B2 JP 3101845B2 JP 04257566 A JP04257566 A JP 04257566A JP 25756692 A JP25756692 A JP 25756692A JP 3101845 B2 JP3101845 B2 JP 3101845B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送方法及び搬送制御装
置に係り、特に半導体組立に用いられる処理装置におけ
るリードフレーム、基板等の被加工体の搬送方法及び搬
送制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、同一種類の処理装置を複数台有
し、各処理装置に供給される被加工体と各処理装置より
排出される被加工体を１列の搬送ラインで共有させて搬
送する搬送装置として、例えば特開平３ー１５８３１７
号公報が知られている。
【０００３】この装置は、図５に示すように、各ワイヤ
ボンダ１Ａ〜１Ｄに対応してそれぞれ２個のコンベア１
５Ａ1 と１５Ａ2 、１５Ｂ1 と１５Ｂ2 ・・・が送り案
内装置３に沿って配設されている。ここで、コンベア１
５Ａ1 、１５Ｂ1 ・・・は各ワイヤボンダ１Ａ〜１Ｄの
供給装置５に対応して設けられ、コンベア１５Ａ2 、１
５Ｂ2 ・・・は各ワイヤボンダ１Ａ〜１Ｄの排出装置８
に対応して設けられている。そして、前記各コンベア１
５Ａ1 、１５Ａ2 、１５Ｂ1 、１５Ｂ2 ・・・はそれぞ
れ個々にモータ１６Ａ1 、１６Ａ2 、１６Ｂ1 、１６Ｂ
2 ・・・によって駆動される。また各コンベア１５
Ａ1 、１５Ａ2 、１５Ｂ1 、１５Ｂ2 ・・・の上方又は
下方には被加工体の通過を検出するセンサ１７Ａ1 、１
７Ａ2 、１７Ｂ1 、１７Ｂ2 が配設されている。また供
給装置５に対応して設けられたコンベア１５Ａ1 、１５
Ｂ1 、１５Ｃ1 、１５Ｄ1 の部分には、上下方向に移動
可能で被加工体を位置決めするストッパ１８Ａ、１８Ｂ
・１８Ｃ、１８Ｄが配設されている。
【０００４】そこで、例えばワイヤボンダ１Ｂより被加
工体の供給の要求があった場合には、コンベア１５Ｂ1
及び該コンベア１５Ｂ1 より供給マガジン９側のコンベ
ア１５Ａ1 、１５Ａ2 が全て駆動される。即ち、モータ
１６Ａ1 、１６Ａ2 、１６Ｂ1 が始動し、コンベア１５
Ａ1 、１５Ａ2 、１５Ｂ1 が駆動され、供給マガジン９
よりコンベア１５Ａ1 に被加工体が供給される。そし
て、センサ１７Ａ2 が被加工体の通過を検出すると、ス
トッパ１８Ｂが上方に突出し、またセンサ１７Ｂ1 が被
加工体を検出するとコンベア１５Ｂ1 は一定時間回転し
て停止する。これにより、コンベア１５Ｂ1 に送られて
きた被加工体はストッパ１８Ｂによって位置決めされ
る。そこで、該被加工体は、ワイヤボンダ１Ｂの供給装
置５によってワイヤボンダ１Ｂに供給される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、被加
工体をストッパ１８Ｂで位置決めする場合、センサ１７
Ｂ1 で被加工体を検出した後に一定時間モータ１６Ｂ1
を回してコンベア１５Ｂ1 を停止させている。このた
め、コンベア１５Ｂ1 のスピードが早い場合には、被加
工体の慣性でストッパ１８Ｂに当たるので、被加工体の
先端部にダメージを与える。またストッパ１８Ｂに当た
った後に跳ね返り、被加工体の停止位置のばらつきが大
きい。
【０００６】本発明の目的は、被加工体の先端部にダメ
ージを与えることが防止されると共に、被加工体の跳ね
返りが防止されて停止位置が安定する搬送方法及び搬送
制御装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の搬送方法の構成は、同一種類の処理装置を複
数台有し、各処理装置に供給される被加工体と各処理装
置より排出される被加工体を１列の搬送ラインで共有さ
せ、前記１列の搬送ラインは、各処理装置に対応してそ
れぞれ設けられた複数のコンベアで構成し、かつ各コン
ベアはそれぞれ個々に制御可能で、各コンベア部には被
加工体を位置決めする上下動可能なストッパと、このス
トッパの被加工体供給側に設けられて被加工体を検出す
るセンサとが設けられた搬送装置において、被加工体の
供給を要求する処理装置に対応するコンベアに被加工体
を搬送する場合、該コンベア部のストッパが上昇し、該
コンベア部のセンサが被加工体を検出すると、該コンベ
アを一時停止させた後に一定時間回転させるか、又は該
コンベアをスローダウンさせて一定時間又は一定距離回
転させることを特徴とする。
【０００８】上記目的を達成するための本発明の搬送制
御装置の構成は、同一種類の処理装置を複数台有し、各
処理装置に供給される被加工体と各処理装置より排出さ
れる被加工体を１列の搬送ラインで共有させ、前記１列
の搬送ラインは、各処理装置に対応してそれぞれ設けら
れた複数のコンベアで構成し、かつ各コンベアはそれぞ
れ個々に制御可能で、各コンベア部には被加工体を位置
決めする上下動可能なストッパと、このストッパの被加
工体供給側に設けられて被加工体を検出するセンサとが
設けられた搬送装置において、被加工体の供給を要求す
る処理装置に対応するコンベアに被加工体を搬送する場
合、該コンベア部のストッパが上昇し、該コンベア部の
センサが被加工体を検出すると、該コンベアを一時停止
させた後に一定時間回転させるか、又は該コンベアをス
ローダウンさせて一定時間又は一定距離回転させるよう
に制御する制御手段を備えたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】上昇したストッパで被加工体を止める場合、セ
ンサが被加工体を検出した後にコンベアを一時停止させ
た後に再び回転させるか、又はコンベアをスローダウン
させて一定時間又は一定距離回転させるので、被加工体
は慣性が除去されてストッパに当たる。このため、被加
工体はストッパに弱く当たり、被加工体の先端部にダメ
ージを与えることが防止されると共に、被加工体の跳ね
返りが防止されて停止位置が安定する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図５により説明す
る。なお、ワイヤボンダ１Ａ〜１Ｄの内、被加工体の供
給を要求するワイヤボンダを供給要求ワイヤボンダと呼
ぶことにする。またワイヤボンダ１Ａ〜１Ｄの供給装置
５側に対応するコンベア１５Ａ1 、１５Ｂ1 、１５
Ｃ1 、１５Ｄ1 の内、供給要求ワイヤボンダに対応する
コンベアを該当コンベアと呼ぶことにする。更にストッ
パ１８Ａ〜１８Ｄ及びセンサ１７Ａ1 、１７Ｂ1 、１７
Ｃ1 、１７Ｄ1 の内、該当コンベア部に設けられたスト
ッパ及びセンサを該当ストッパ及び該当センサと呼ぶこ
とにする。
【００１１】本実施例は、モータ１６Ａ1 、１６Ａ2 、
１６Ｂ1 、１６Ｂ2 ・・・がＡＣモータである場合を示
す。供給要求ワイヤボンダより被加工体の要求がある
と、供給マガジン９より供給された被加工体を該当コン
ベアまで搬送するために、供給マガジン９から該当コン
ベアまでのコンベアが回転し、また該当ストッパが上昇
する。そして、該当センサが被加工体を検出すると、該
当コンベアは一時停止した後に再び一定時間回転する。
例えば、供給要求ワイヤボンダが１Ｃである場合には、
コンベア１５Ａ1 、１５Ａ2 、１５Ｂ1 、１５Ｂ2 、１
５Ｃ1 が回転し、ストッパ１８Ｃが上昇する。そして、
センサ１７Ｃ1 が被加工体を検出すると、コンベア１５
Ｃ1 は一時停止した後に再び一定時間回転する。これに
より、被加工体はストッパ１８Ｃに当接して停止する。
ここで、コンベア１５Ｃ1 が停止した後に再び回転する
時間は、センサ１７Ｃ1 とストッパ１８Ｃの距離及びコ
ンベア１５Ｃ1 の速度によって決める。
【００１２】このように、供給要求ワイヤボンダが１Ｃ
の場合、センサ１７Ｃ1 で被加工体を検出した後にコン
ベア１５Ｃ1 を一時停止させた後に再び回転させるの
で、被加工体は慣性が除去されてストッパ１８Ｃに当た
る。このため、被加工体はストッパ１８Ｃに弱く当た
り、被加工体の先端部にダメージを与えることが防止さ
れると共に、被加工体の跳ね返りが防止されて停止位置
が安定する。
【００１３】前記した一実施例の更に詳細な一実施例を
図５を参照しながら図１により説明する。ワイヤボンダ
１Ｃより被加工体の要求があった場合には、モータ１６
Ａ1、１６Ａ2 が始動してコンベア１５Ａ1 、１５Ａ2
が回転する。そして、供給マガジン９よりコンベア１５
Ａ1 に供給された被加工体をセンサ１７Ａ2 が検出する
と、モータ１６Ｂ1 、１６Ｂ2 が始動してコンベア１５
Ｂ1 、１５Ｂ2 が回転する。そして、センサ１７Ｂ2 が
被加工体を検出すると、コンベア１５Ａ1 、１５Ａ2 の
回転は停止し、またモータ１６Ｃ1 が始動してコンベア
１５Ｃ1 が回転し、またストッパ１８Ｃが上昇する。そ
こで、センサ１７Ｃ1 が被加工体を検出すると、コンベ
ア１５Ｂ1 、１５Ｂ2 、１５Ｃ1 が停止する。そして、
一定時間後にモータ１６Ｃ1 が再び始動してコンベア１
５Ｃ1 が被加工体をストッパ１８Ｃまで搬送するタイマ
ー分だけ回転して停止する。
【００１４】前記したセンサ１７Ａ1 、１７Ａ2 、１７
Ｂ1 、１７Ｂ2 ・・・の検出信号及びモータ１６Ａ1 、
１６Ａ2 、１６Ｂ1 、１６Ｂ2 ・・・の駆動制御は、図
２に示す制御装置によって処理される。センサ１７
Ａ1 、１７Ａ2 、１７Ｂ1 、１７Ｂ2 ・・・の出力信号
はセンサ入力用ボード３０を介してコンピュータ３１に
入力される。コンピュータ３１は、予めプログラムされ
た制御指令信号及び前記したセンサ１７Ａ1 、１７
Ａ2 、１７Ｂ1 、１７Ｂ2 ・・・の出力信号によって駆
動回路３２を介してモータ１６Ａ1 、１６Ａ2 、１６Ｂ
1 、１６Ｂ2 ・・・を制御する。
【００１５】次に本発明の他の実施例を図５により説明
する。本実施例は、モータ１６Ａ1、１６Ａ2 、１６Ｂ
1 、１６Ｂ2 ・・・がサーボモータ又はステッピングモ
ータである場合を示す。供給要求ワイヤボンダより被加
工体の要求があると、前記実施例と同様に供給マガジン
９から該当コンベアまでのコンベアが回転し、また該当
ストッパが上昇する。そして、該当センサが被加工体を
検出すると、本実施例の場合は、該当コンベアは回転が
スローダウンし、一定時間又は一定距離駆動後に停止す
る。例えば、供給要求ワイヤボンダが１Ｃである場合に
は、前記実施例と同様にコンベア１５Ａ1 、１５Ａ2 、
１５Ｂ1 、１５Ｂ2 、１５Ｃ1 が回転し、ストッパ１８
Ｃが上昇する。そして、センサ１７Ｃ1 が被加工体を検
出すると、コンベア１５Ｃ1 は回転がスローダウンし、
一定時間又は一定距離駆動後に停止する。これにより、
被加工体はストッパ１８Ｃに当接して停止する。ここ
で、コンベア１５Ｃ1 がスローダウンした後に回転する
時間は、センサ１７Ｃ1 とストッパ１８Ｃの距離だけコ
ンベア１５Ｃ1 を回転させるに必要なパルス数をモータ
１６Ｃ1 に与えて制御する。このような方法によっても
前記実施例と同様な効果が得られる。
【００１６】前記した他の実施例の更に詳細な一実施例
を図５を参照しながら図３及び図４により説明する。供
給要求ワイヤボンダが１Ｃである場合には、センサ１７
Ｃ1で被加工体を検出するまでの工程は前記実施例と同
じである。センサ１７Ｃ1 で被加工体を検出すると、前
記実施例はコンベア１５Ｃ1 が一時停止した後に再び始
動した。本実施例は、図３に示すように、センサ１７Ｃ
1 で被加工体を検出すると、コンベア１５Ｂ1 、１５Ｂ
2 のみが停止し、モータ１６Ｃ1 は低速駆動されてコン
ベア１５Ｃ1 はスローダウンする。そして、モータ１６
Ｃ1 を一定時間駆動させるか、又はセンサ１７Ｃ1 とス
トッパ１８Ｃの距離分だけモータ１６Ｃ1 を回して止め
る。センサ１７Ｃ1 とストッパ１８Ｃの距離分だけモー
タ１６Ｃ1 を回す場合には、図４に示すように、コンピ
ュータ３１によってセンサ１７Ｃ1 とストッパ１８Ｃの
距離分だけモータ１６Ｃ1 を回すパルス数が周波数発生
用ボード３３に入力され、周波数発生用ボード３３は与
えられたパルス分を駆動回路３４に出力してモータ１６
Ｃ1 を回す。即ち、コンピュータ３１は、予めプログラ
ムされた制御指令信号及び前記したセンサ１７Ａ1 、１
７Ａ2 、１７Ｂ1 、１７Ｂ2 ・・・の出力信号によって
周波数発生用ボード３３に入力し、周波数発生用ボード
３３は駆動回路３４を介してモータ１６Ａ1 、１６
Ａ2 、１６Ｂ1 、１６Ｂ2 ・・・を制御する。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、被加工体の供給を要求
する処理装置に対応するコンベアに被加工体を搬送する
場合、該コンベア部のストッパが上昇し、該コンベア部
のセンサが被加工体を検出すると、該コンベアを一時停
止させた後に一定時間回転させるか、又は該コンベアを
スローダウンさせて一定時間回転させるので、被加工体
の先端部にダメージを与えることが防止されると共に、
被加工体の跳ね返りが防止されて停止位置が安定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に成る搬送方法の一実施例を示すチャー
ト図である。
【図２】図１の場合の制御装置のブロック図である。
【図３】本発明に成る搬送方法の他の実施例を示すチャ
ート図である。
【図４】図３の場合の制御装置のブロック図である。
【図５】本発明を適用した搬送装置の１例を示す平面図
である。
【符号の説明】
１Ａ〜１Ｄ ワイヤボンダ １５Ａ1 、１５Ａ2 、１５Ｂ1 、１５Ｂ2 、１５Ｃ1 、
１５Ｃ2 、１５Ｄ1 、１５Ｄ2 コンベア １６Ａ1 、１６Ａ2 、１６Ｂ1 、１６Ｂ2 、１６Ｃ1 、
１６Ｃ2 、１６Ｄ1 、１６Ｄ2 モータ １７Ａ1 、１７Ａ2 、１７Ｂ1 、１７Ｂ2 、１７Ｃ1 、
１７Ｃ2 、１７Ｄ1 、１７Ｄ2 センサ １８Ａ〜１８Ｄ ストッパ

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 同一種類の処理装置を複数台有し、各処
    理装置に供給される被加工体と各処理装置より排出され
    る被加工体を１列の搬送ラインで共有させ、前記１列の
    搬送ラインは、各処理装置に対応してそれぞれ設けられ
    た複数のコンベアで構成し、かつ各コンベアはそれぞれ
    個々に制御可能で、各コンベア部には被加工体を位置決
    めする上下動可能なストッパと、このストッパの被加工
    体供給側に設けられて被加工体を検出するセンサとが設
    けられた搬送装置において、被加工体の供給を要求する
    処理装置に対応するコンベアに被加工体を搬送する場
    合、該コンベア部のストッパが上昇し、該コンベア部の
    センサが被加工体を検出すると、該コンベアを一時停止
    させた後に一定時間回転させるか、又は該コンベアをス
    ローダウンさせて一定時間又は一定距離回転させること
    を特徴とする搬送方法。
  2. 【請求項２】 同一種類の処理装置を複数台有し、各処
    理装置に供給される被加工体と各処理装置より排出され
    る被加工体を１列の搬送ラインで共有させ、前記１列の
    搬送ラインは、各処理装置に対応してそれぞれ設けられ
    た複数のコンベアで構成し、かつ各コンベアはそれぞれ
    個々に制御可能で、各コンベア部には被加工体を位置決
    めする上下動可能なストッパと、このストッパの被加工
    体供給側に設けられて被加工体を検出するセンサとが設
    けられた搬送装置において、被加工体の供給を要求する
    処理装置に対応するコンベアに被加工体を搬送する場
    合、該コンベア部のストッパが上昇し、該コンベア部の
    センサが被加工体を検出すると、該コンベアを一時停止
    させた後に一定時間回転させるか、又は該コンベアをス
    ローダウンさせて一定時間又は一定距離回転させるよう
    に制御する制御手段を備えたことを特徴とする搬送制御
    装置。
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