JP3077455B2 - 誘電体共振部品の電極形成装置 - Google Patents
誘電体共振部品の電極形成装置Info
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- JP3077455B2 JP3077455B2 JP14699193A JP14699193A JP3077455B2 JP 3077455 B2 JP3077455 B2 JP 3077455B2 JP 14699193 A JP14699193 A JP 14699193A JP 14699193 A JP14699193 A JP 14699193A JP 3077455 B2 JP3077455 B2 JP 3077455B2
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- Japan
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- dielectric
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- ultrasonic vibration
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
- B24B1/04—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、誘電体共振部品の電
極形成装置に関し、より特定的には、誘電体ブロックに
少なくとも１以上の誘電体同軸共振器が形成された誘電
体共振部品を製造する際に、当該誘電体ブロックの外周
面上に入出力電極を形成する装置に関する。
極形成装置に関し、より特定的には、誘電体ブロックに
少なくとも１以上の誘電体同軸共振器が形成された誘電
体共振部品を製造する際に、当該誘電体ブロックの外周
面上に入出力電極を形成する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の誘電体共振部品における
入出力電極の形成工程を示している。まず、図５（ａ）
に示すように、ほぼ直方体形状の誘電体ブロック１が準
備される。この誘電体ブロック１の内部には、例えば２
本の内導体形成孔２，３が形成されている。これら内導
体形成孔２，３は、誘電体ブロック１の前方端面１ａと
後方端面１ｂとの間を貫通している。また、誘電体ブロ
ック１の外周面には、スクリーン印刷，タンポ印刷等に
より１対のレジスト膜４，５が形成される。レジスト膜
４は誘電体ブロック１の上面１ｃおよび右側面１ｄを跨
がるように形成され、レジスト膜５は誘電体ブロック１
の上面１ｃおよび左側面１ｅを跨がるように形成されて
いる。次に、図５（ｂ）に示すように、誘電体ブロック
１の外周全面に導体膜６が形成される。また、内導体形
成孔２，３の内周面に内導体７，８が形成される。次
に、図５（ｃ）に示すように、誘電体ブロック１からレ
ジスト膜４，５が剥離される。応じて、レジスト膜４，
５の下に位置していた誘電体ブロック１の外周の一部１
ｆ，１ｇが外部に露出する。その結果、上記導体膜６が
外導体９と入出力電極１０，１１とに分離される。
入出力電極の形成工程を示している。まず、図５（ａ）
に示すように、ほぼ直方体形状の誘電体ブロック１が準
備される。この誘電体ブロック１の内部には、例えば２
本の内導体形成孔２，３が形成されている。これら内導
体形成孔２，３は、誘電体ブロック１の前方端面１ａと
後方端面１ｂとの間を貫通している。また、誘電体ブロ
ック１の外周面には、スクリーン印刷，タンポ印刷等に
より１対のレジスト膜４，５が形成される。レジスト膜
４は誘電体ブロック１の上面１ｃおよび右側面１ｄを跨
がるように形成され、レジスト膜５は誘電体ブロック１
の上面１ｃおよび左側面１ｅを跨がるように形成されて
いる。次に、図５（ｂ）に示すように、誘電体ブロック
１の外周全面に導体膜６が形成される。また、内導体形
成孔２，３の内周面に内導体７，８が形成される。次
に、図５（ｃ）に示すように、誘電体ブロック１からレ
ジスト膜４，５が剥離される。応じて、レジスト膜４，
５の下に位置していた誘電体ブロック１の外周の一部１
ｆ，１ｇが外部に露出する。その結果、上記導体膜６が
外導体９と入出力電極１０，１１とに分離される。
【０００３】その後、各内導体７，８は、内導体形成孔
２，３の内部において所定の幅を持つリング状に削除さ
れる。これによって、各内導体７，８は、誘電体ブロッ
ク１の前方端面１ａに形成された外導体９と電気的に絶
縁され、後方端面１ｂに形成された外導体９とは電気的
に接続されたままになる。そして、入出力電極１０，１
１は、それぞれ、内導体７，８と静電容量結合される。
このような構成により、誘電体ブロック１の内部には、
たとえば２本の一端開放、他端短絡型の誘電体同軸共振
器が形成されることになる。
２，３の内部において所定の幅を持つリング状に削除さ
れる。これによって、各内導体７，８は、誘電体ブロッ
ク１の前方端面１ａに形成された外導体９と電気的に絶
縁され、後方端面１ｂに形成された外導体９とは電気的
に接続されたままになる。そして、入出力電極１０，１
１は、それぞれ、内導体７，８と静電容量結合される。
このような構成により、誘電体ブロック１の内部には、
たとえば２本の一端開放、他端短絡型の誘電体同軸共振
器が形成されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の入
出力電極形成方法は、レジスト膜４，５の形成工程と剥
離工程とを必要とし、大変面倒であった。特に、レジス
ト膜の形成工程では、レジスト膜４，５を誘電体ブロッ
ク１の上面１ｃ，右側面１ｄおよび左側面１ｅの３面に
別々に形成しなければならず、面倒な作業を繰り返す必
要があった。そのため、生産性が悪いという問題点があ
った。また、従来の入出力電極形成方法は、導体膜６お
よび内導体７，８を形成する前にレジスト膜４，５のパ
ターニングを完了する必要があり、入出力電極のパター
ンや位置を任意に変更することが容易でないという問題
点があった。
出力電極形成方法は、レジスト膜４，５の形成工程と剥
離工程とを必要とし、大変面倒であった。特に、レジス
ト膜の形成工程では、レジスト膜４，５を誘電体ブロッ
ク１の上面１ｃ，右側面１ｄおよび左側面１ｅの３面に
別々に形成しなければならず、面倒な作業を繰り返す必
要があった。そのため、生産性が悪いという問題点があ
った。また、従来の入出力電極形成方法は、導体膜６お
よび内導体７，８を形成する前にレジスト膜４，５のパ
ターニングを完了する必要があり、入出力電極のパター
ンや位置を任意に変更することが容易でないという問題
点があった。
【０００５】それゆえにこの発明の目的は、優れた生産
性を有し、かつ入出力電極のパターンや位置を変更する
ことが容易な誘電体共振部品の電極形成装置を提供する
ことである。
性を有し、かつ入出力電極のパターンや位置を変更する
ことが容易な誘電体共振部品の電極形成装置を提供する
ことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
誘電体ブロックに少なくとも１以上の誘電体同軸共振器
が形成された誘電体共振部品を製造する過程において、
当該誘電体ブロックの外周面上に入出力電極を形成する
装置であって、外周面に導体膜が形成された誘電体ブロ
ックを保持するための保持手段、超音波振動を発生する
超音波振動発生手段、その先端に入出力電極を残すため
の中空部が設けられており、超音波振動発生手段から超
音波振動が伝達される切削工具、および誘電体ブロック
および／または切削工具を移動させることにより、誘電
体ブロックの外周面上の所定の位置に切削工具を当接さ
せるための移動手段を備え、切削工具の振動によって誘
電体ブロックから導体膜の一部を削り取り、それによっ
て当該導体膜を外導体と中空部に対応する入出力電極と
に分離させることを特徴とする。
誘電体ブロックに少なくとも１以上の誘電体同軸共振器
が形成された誘電体共振部品を製造する過程において、
当該誘電体ブロックの外周面上に入出力電極を形成する
装置であって、外周面に導体膜が形成された誘電体ブロ
ックを保持するための保持手段、超音波振動を発生する
超音波振動発生手段、その先端に入出力電極を残すため
の中空部が設けられており、超音波振動発生手段から超
音波振動が伝達される切削工具、および誘電体ブロック
および／または切削工具を移動させることにより、誘電
体ブロックの外周面上の所定の位置に切削工具を当接さ
せるための移動手段を備え、切削工具の振動によって誘
電体ブロックから導体膜の一部を削り取り、それによっ
て当該導体膜を外導体と中空部に対応する入出力電極と
に分離させることを特徴とする。
【０００７】
【作用】請求項１に係る発明においては、誘電体ブロッ
クの外周面に形成された導体膜に切削工具を当接させ、
この切削工具に超音波振動発生手段からの超音波振動を
伝達することにより、誘電体ブロックの外周面から導体
膜の一部を削り取るようにしている。これによって、導
体膜が外導体と入出力電極とに分離される。
クの外周面に形成された導体膜に切削工具を当接させ、
この切削工具に超音波振動発生手段からの超音波振動を
伝達することにより、誘電体ブロックの外周面から導体
膜の一部を削り取るようにしている。これによって、導
体膜が外導体と入出力電極とに分離される。
【０００８】
【実施例】図１は、この発明の一実施例の入出力電極形
成装置の構成を示す外観図である。図１において、この
入出力電極形成装置は、ステージ装置２０と、超音波切
削装置３０と、圧縮ポンプ４０とを備えている。ステー
ジ装置２０は、保持治具２１と加工台２２と変位テーブ
ル２３とを含む。保持治具２１の上面には凹部２１ａが
形成され、この凹部２１ａにワークピース５０がほぼ４
５°の傾斜角度で保持される。保持治具２１は、加工台
２２の上に固定的に載置される。加工台２２は、変位テ
ーブル２３によって移動可能に支持される。変位テーブ
ル２３は、直交する３軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）と、Ｚ軸
回りの回転軸（θ軸）とを有し、各軸方向に加工台２２
かつしたがってワークピース５０を移動させるためのア
クチュエータを備えている。各軸のアクチュエータは、
パルスモータ，サーボモータ，油圧制御装置等によって
構成されている。
成装置の構成を示す外観図である。図１において、この
入出力電極形成装置は、ステージ装置２０と、超音波切
削装置３０と、圧縮ポンプ４０とを備えている。ステー
ジ装置２０は、保持治具２１と加工台２２と変位テーブ
ル２３とを含む。保持治具２１の上面には凹部２１ａが
形成され、この凹部２１ａにワークピース５０がほぼ４
５°の傾斜角度で保持される。保持治具２１は、加工台
２２の上に固定的に載置される。加工台２２は、変位テ
ーブル２３によって移動可能に支持される。変位テーブ
ル２３は、直交する３軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）と、Ｚ軸
回りの回転軸（θ軸）とを有し、各軸方向に加工台２２
かつしたがってワークピース５０を移動させるためのア
クチュエータを備えている。各軸のアクチュエータは、
パルスモータ，サーボモータ，油圧制御装置等によって
構成されている。
【０００９】超音波切削装置３０は、工具３１と、増幅
ホーン３２と、超音波振動装置３３と、変位テーブル３
４とを含む。超音波振動装置３３は、振動数が１６〜３
６ＫＨｚ程度の超音波を発生する。この超音波は、増幅
ホーン３２で増幅された後、工具３１に伝達される。超
音波振動装置３３は、変位テーブル３４によって移動可
能に支持される。変位テーブル３４は、上記変位テーブ
ル２３と同様に、直交する３軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）
と、Ｚ軸回りの回転軸（θ軸）とを有し、各軸方向に超
音波振動装置３３かつしたがって工具３１を移動させる
ためのアクチュエータを備えている。各軸のアクチュエ
ータは、パルスモータ，サーボモータ，油圧制御装置等
によって構成されている。
ホーン３２と、超音波振動装置３３と、変位テーブル３
４とを含む。超音波振動装置３３は、振動数が１６〜３
６ＫＨｚ程度の超音波を発生する。この超音波は、増幅
ホーン３２で増幅された後、工具３１に伝達される。超
音波振動装置３３は、変位テーブル３４によって移動可
能に支持される。変位テーブル３４は、上記変位テーブ
ル２３と同様に、直交する３軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）
と、Ｚ軸回りの回転軸（θ軸）とを有し、各軸方向に超
音波振動装置３３かつしたがって工具３１を移動させる
ためのアクチュエータを備えている。各軸のアクチュエ
ータは、パルスモータ，サーボモータ，油圧制御装置等
によって構成されている。
【００１０】圧縮ポンプ４０は、切削砥粒（主としてボ
ロンカーバイト）が混合された水を圧縮し、切削水とし
てノズル４０ａから噴射する。ノズル４０ａから噴射さ
れた切削水は、ワークピース５０と工具３１との間に吹
き付けられる。
ロンカーバイト）が混合された水を圧縮し、切削水とし
てノズル４０ａから噴射する。ノズル４０ａから噴射さ
れた切削水は、ワークピース５０と工具３１との間に吹
き付けられる。
【００１１】図２は、図１に示す工具３１の先端を下側
から見た図である。図２に示すように、工具３１の先端
は、ほぼ直角に組み合わされた切削面３１ａ，３１ｂを
含む。また、工具３１の先端中央には、ワークピース５
０の上に入出力電極を残すための中空部３１ｃが形成さ
れる。
から見た図である。図２に示すように、工具３１の先端
は、ほぼ直角に組み合わされた切削面３１ａ，３１ｂを
含む。また、工具３１の先端中央には、ワークピース５
０の上に入出力電極を残すための中空部３１ｃが形成さ
れる。
【００１２】次に、図１に示す入出力電極形成装置の動
作を説明する。まず、ワークピース５０が準備され、保
持治具２１の上に載置される。図３に示すように、ワー
クピース５０は、直方体形状の誘電体ブロックを含み、
この誘電体ブロックの外周面全体に導体膜６が形成され
ている。また、誘電体ブロックの内部に設けられた内導
体形成孔２，３の内周面には、前記従来の構造と同様な
内導体７，８が形成されている。次に、変位テーブル２
３，３４が作動し、ワークピース５０に対する工具３１
の位置決めが行われる。工具３１先端の切削面３１ａ，
３１ｂは、まず図３の点線で囲まれた第１の領域５０ａ
に接触するように位置決めされる。
作を説明する。まず、ワークピース５０が準備され、保
持治具２１の上に載置される。図３に示すように、ワー
クピース５０は、直方体形状の誘電体ブロックを含み、
この誘電体ブロックの外周面全体に導体膜６が形成され
ている。また、誘電体ブロックの内部に設けられた内導
体形成孔２，３の内周面には、前記従来の構造と同様な
内導体７，８が形成されている。次に、変位テーブル２
３，３４が作動し、ワークピース５０に対する工具３１
の位置決めが行われる。工具３１先端の切削面３１ａ，
３１ｂは、まず図３の点線で囲まれた第１の領域５０ａ
に接触するように位置決めされる。
【００１３】次に、圧縮ポンプ４０が作動を開始し、ノ
ズル４０ａからワークピース５０に切削水が噴射され
る。その後、超音波振動装置３３が作動し、超音波振動
を発生する。この超音波振動は、増幅ホーン３２で増幅
された後、工具３１に伝達される。その結果、工具３１
先端の切削面３１ａ，３１ｂとワークピース５０との間
に存在する砥粒が振動し、切削面３１ａ，３１ｂと接す
る部分５０ａの導体膜６が削り取られる。その結果、ワ
ークピース５０の表面に溝が形成される。図示しない歪
みセンサー等で工具３１とワークピース５０との接触状
態を検知することにより、当該溝の深さが検出される。
そして、当該溝の深さが予め設定された深さになった場
合、または加工時間が予め設定された加工時間になった
場合、超音波振動装置３３が上昇（または加工台２２が
下降）し、ワークピース５０の加工が停止される。
ズル４０ａからワークピース５０に切削水が噴射され
る。その後、超音波振動装置３３が作動し、超音波振動
を発生する。この超音波振動は、増幅ホーン３２で増幅
された後、工具３１に伝達される。その結果、工具３１
先端の切削面３１ａ，３１ｂとワークピース５０との間
に存在する砥粒が振動し、切削面３１ａ，３１ｂと接す
る部分５０ａの導体膜６が削り取られる。その結果、ワ
ークピース５０の表面に溝が形成される。図示しない歪
みセンサー等で工具３１とワークピース５０との接触状
態を検知することにより、当該溝の深さが検出される。
そして、当該溝の深さが予め設定された深さになった場
合、または加工時間が予め設定された加工時間になった
場合、超音波振動装置３３が上昇（または加工台２２が
下降）し、ワークピース５０の加工が停止される。
【００１４】次に、保持治具２１からワークピース５０
が取り上げられて１８０°回転された後、再び保持治具
２１上に載置される。そして、変位テーブル２３，３４
が作動し、ワークピース５０に対する工具３１の位置決
めが行われる。このとき、工具３１先端の切削面３１
ａ，３１ｂは、図３の点線で囲まれた第２の領域５０ｂ
に接触するように位置決めされる。以下、上記と同様に
して、当該第２の領域５０ｂの導体膜６が削り取られ
る。
が取り上げられて１８０°回転された後、再び保持治具
２１上に載置される。そして、変位テーブル２３，３４
が作動し、ワークピース５０に対する工具３１の位置決
めが行われる。このとき、工具３１先端の切削面３１
ａ，３１ｂは、図３の点線で囲まれた第２の領域５０ｂ
に接触するように位置決めされる。以下、上記と同様に
して、当該第２の領域５０ｂの導体膜６が削り取られ
る。
【００１５】上記の加工によって得られた誘電体共振部
品を図４に示す。図４に示す誘電体共振部品は、図３の
第１および第２の領域５０ａ，５０ｂに対応する部分１
ｆ，１ｇにおいて、溝が形成され、当該溝部分において
誘電体ブロックの表面が外部に露出している。これによ
って、図３の導体膜６が外導体９と入出力電極１０，１
１とに分離されている。すなわち、超音波切削装置３０
でワークピース５０表面の導体膜６を部分的に削り取る
ことにより、誘電体ブロックの表面に入出力電極１０，
１１が形成されたことになる。また、前記溝の深さ次第
で、入出力電極１０，１１と内導体７，８との静電容量
結合度合が決定される。すなわち、前記溝が深いほど、
静電容量結合度合が強くなった。言い換えると、外部Ｑ
（Ｑｅ）は、前記溝が深くなるほど、小さい値となっ
た。なお、誘電体ブロックには、１本の誘電体同軸共振
器が形成されていてもよい。
品を図４に示す。図４に示す誘電体共振部品は、図３の
第１および第２の領域５０ａ，５０ｂに対応する部分１
ｆ，１ｇにおいて、溝が形成され、当該溝部分において
誘電体ブロックの表面が外部に露出している。これによ
って、図３の導体膜６が外導体９と入出力電極１０，１
１とに分離されている。すなわち、超音波切削装置３０
でワークピース５０表面の導体膜６を部分的に削り取る
ことにより、誘電体ブロックの表面に入出力電極１０，
１１が形成されたことになる。また、前記溝の深さ次第
で、入出力電極１０，１１と内導体７，８との静電容量
結合度合が決定される。すなわち、前記溝が深いほど、
静電容量結合度合が強くなった。言い換えると、外部Ｑ
（Ｑｅ）は、前記溝が深くなるほど、小さい値となっ
た。なお、誘電体ブロックには、１本の誘電体同軸共振
器が形成されていてもよい。
【００１６】
【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、誘電体ブ
ロック外周面に形成された導体膜の一部を超音波振動を
利用して削り取り、それによって当該導体膜を外導体と
入出力電極とに分離するようにいているので、入出力電
極の形成工程が簡素化され、生産性が大幅に向上され
る。また、導体膜の形成後に入出力電極の形成位置や形
成パターンを任意に変更できるため、自由度の高い加工
が可能となる。
ロック外周面に形成された導体膜の一部を超音波振動を
利用して削り取り、それによって当該導体膜を外導体と
入出力電極とに分離するようにいているので、入出力電
極の形成工程が簡素化され、生産性が大幅に向上され
る。また、導体膜の形成後に入出力電極の形成位置や形
成パターンを任意に変更できるため、自由度の高い加工
が可能となる。
【図１】この発明の一実施例に係る入出力電極形成装置
の構成を示す外観図である。
の構成を示す外観図である。
【図２】図１に示す工具３１の先端を下側から見た図で
ある。
ある。
【図３】入出力電極加工前のワークピースの構成を示す
外観斜視図である。
外観斜視図である。
【図４】入出力電極加工後の誘電体共振部品の構成を示
す外観斜視図である。
す外観斜視図である。
【図５】従来の誘電体共振部品における入出力電極の形
成工程を示す図である。
成工程を示す図である。
２，３…内導体形成孔 ６…導体膜 ７，８…内導体 ９…外導体 １１，１２…入出力電極 ２０…テーブル装置 ２１…保持治具 ２２…加工台 ２３…変位テーブル ３０…超音波切削装置 ３１…工具 ３２…増幅ホーン ３３…超音波振動装置 ４０…圧縮ポンプ ５０…ワークピース
フロントページの続き (72)発明者 小嶋 勝 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 平４−92503（ＪＰ，Ａ) 米国特許5162760（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01P 11/00 H01P 1/205
Claims (1)
- 【請求項１】 誘電体ブロックに少なくとも１以上の誘
電体同軸共振器が形成された誘電体共振部品を製造する
過程において、当該誘電体ブロックの外周面上に入出力
電極を形成する装置であって、 外周面に導体膜が形成された誘電体ブロックを保持する
ための保持手段、 超音波振動を発生する超音波振動発生手段、その先端に入出力電極を残すための中空部が設けられて
おり、 前記超音波振動発生手段から超音波振動が伝達さ
れる切削工具、および前記誘電体ブロックおよび／また
は前記切削工具を移動させることにより、前記誘電体ブ
ロックの外周面上の所定の位置に前記切削工具を当接さ
せるための移動手段を備え、 前記切削工具の振動によって前記誘電体ブロックから前
記導体膜の一部を削り取り、それによって当該導体膜を
外導体と前記中空部に対応する入出力電極とに分離させ
ることを特徴とする、誘電体共振部品の電極形成装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14699193A JP3077455B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 誘電体共振部品の電極形成装置 |
| US08/184,080 US5474488A (en) | 1993-05-25 | 1994-01-18 | Method of forming electrodes on a dielectric resonator part |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14699193A JP3077455B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 誘電体共振部品の電極形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334414A JPH06334414A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3077455B2 true JP3077455B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=15420143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14699193A Expired - Lifetime JP3077455B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 誘電体共振部品の電極形成装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5474488A (ja) |
| JP (1) | JP3077455B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101324886B1 (ko) | 2012-04-16 | 2013-11-01 | 주식회사 모린스 | 초음파를 이용하는 유리연마장치 |
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