JPH05114780A - プリント配線板の配線パターンの切断方法 - Google Patents
プリント配線板の配線パターンの切断方法Info
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- JPH05114780A JPH05114780A JP3272930A JP27293091A JPH05114780A JP H05114780 A JPH05114780 A JP H05114780A JP 3272930 A JP3272930 A JP 3272930A JP 27293091 A JP27293091 A JP 27293091A JP H05114780 A JPH05114780 A JP H05114780A
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- cutting
- mask
- cut
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明はレーザ出力又は切断すべき配線パター
ンのばらつきに起因するバリの発生を防止するようにし
たプリント配線板の配線パターンの切断方法を提供する
ことを目的とする。 【構成】マスクを透過したレーザビームをレンズにより
縮小してプリント配線板の配線パターンに照射して配線
パターンを切断する方法であって、切断すべき配線パタ
ーン１８の長さの両端部１８ａ，１８ｂのみにスリット
状にレーザビームを照射して該両端部１８ａ，１８ｂを
切断する第１のステップと、その後中央部分１８ｃにレ
ーザビームを照射して該中央部分１８ｃを切断する第２
のステップとから構成する。
ンのばらつきに起因するバリの発生を防止するようにし
たプリント配線板の配線パターンの切断方法を提供する
ことを目的とする。 【構成】マスクを透過したレーザビームをレンズにより
縮小してプリント配線板の配線パターンに照射して配線
パターンを切断する方法であって、切断すべき配線パタ
ーン１８の長さの両端部１８ａ，１８ｂのみにスリット
状にレーザビームを照射して該両端部１８ａ，１８ｂを
切断する第１のステップと、その後中央部分１８ｃにレ
ーザビームを照射して該中央部分１８ｃを切断する第２
のステップとから構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームを用いた
プリント配線板の配線パターンの切断方法に関する。
プリント配線板の配線パターンの切断方法に関する。
【０００２】プリント配線板上に各種電子部品を搭載し
たプリント配線板ユニット（電子回路パッケージ）を改
造する場合、又はプリント配線板ユニットを修復する場
合には、ドリルを用いて又はＹＡＧレーザ、エキシマレ
ーザ等を用いて配線パターンの切断作業を行う必要があ
る。
たプリント配線板ユニット（電子回路パッケージ）を改
造する場合、又はプリント配線板ユニットを修復する場
合には、ドリルを用いて又はＹＡＧレーザ、エキシマレ
ーザ等を用いて配線パターンの切断作業を行う必要があ
る。
【０００３】
【従来の技術】現在、プリント配線板ユニットの改造又
は修復の際に配線パターンを切断する必要が生じた場合
には、連続発振ＹＡＧレーザを用いて、配線パターンに
対して直角方向にレーザビームを走査させて、配線パタ
ーンを切断する方法が使用されている。
は修復の際に配線パターンを切断する必要が生じた場合
には、連続発振ＹＡＧレーザを用いて、配線パターンに
対して直角方向にレーザビームを走査させて、配線パタ
ーンを切断する方法が使用されている。
【０００４】しかし、ＹＡＧレーザを使用した配線パタ
ーン切断方法によると、レーザにより配線パターンのみ
でなくガラスエポキシ基板もある程度の深さまで切断さ
れやすいため、この切断に伴い炭化物等の切粉が切断箇
所周辺に飛散し、プリント配線板に付着してプリント配
線板の絶縁抵抗の劣化を起こすという問題がある。
ーン切断方法によると、レーザにより配線パターンのみ
でなくガラスエポキシ基板もある程度の深さまで切断さ
れやすいため、この切断に伴い炭化物等の切粉が切断箇
所周辺に飛散し、プリント配線板に付着してプリント配
線板の絶縁抵抗の劣化を起こすという問題がある。
【０００５】そこで最近、微細加工が可能なエキシマレ
ーザを用いて、マスクのパターンを切断すべき配線パタ
ーン上に縮小投影し、配線パターンの切断を行うエキシ
マレーザを用いたマスクイメージング法による配線パタ
ーンの切断方法が提案されている。
ーザを用いて、マスクのパターンを切断すべき配線パタ
ーン上に縮小投影し、配線パターンの切断を行うエキシ
マレーザを用いたマスクイメージング法による配線パタ
ーンの切断方法が提案されている。
【０００６】この切断方法を図７を参照して説明する。
エキシマレーザビームの光路にプリント配線板１６上に
形成された銅からなる配線パターン１８の切断すべき形
状と相似の矩形状開口部１２を有する金属マスク１０を
設け、この金属マスク１０を透過したレーザビームをレ
ンズ１４により配線パターン１８上に縮小投影し、配線
パターンを切断する。
エキシマレーザビームの光路にプリント配線板１６上に
形成された銅からなる配線パターン１８の切断すべき形
状と相似の矩形状開口部１２を有する金属マスク１０を
設け、この金属マスク１０を透過したレーザビームをレ
ンズ１４により配線パターン１８上に縮小投影し、配線
パターンを切断する。
【０００７】エキシマレーザはパルス発振レーザであ
り、銅からなる配線パターンの１パルス（１照射）当り
のエッチング率が約０．１μｍ程度であるので、５０μ
ｍ厚の配線パターン１８は約５００パルスを照射するこ
とにより切断される。周波数約２００Ｈｚのパルス発振
エキシマレーザを用いたとすると、約２．５秒で配線パ
ターンの切断が完了することになる。
り、銅からなる配線パターンの１パルス（１照射）当り
のエッチング率が約０．１μｍ程度であるので、５０μ
ｍ厚の配線パターン１８は約５００パルスを照射するこ
とにより切断される。周波数約２００Ｈｚのパルス発振
エキシマレーザを用いたとすると、約２．５秒で配線パ
ターンの切断が完了することになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように切断すべき
箇所と相似の開口部を有するマスクを用いた配線パター
ンの切断方法によると、レーザビームの出力の偏り、配
線パターン１８の厚み等に余りばらつきのない場合に
は、図８（Ａ）に示すように配線パターン１８が約０．
５mm程度の切断長さで良好に切断される。
箇所と相似の開口部を有するマスクを用いた配線パター
ンの切断方法によると、レーザビームの出力の偏り、配
線パターン１８の厚み等に余りばらつきのない場合に
は、図８（Ａ）に示すように配線パターン１８が約０．
５mm程度の切断長さで良好に切断される。
【０００９】しかし、レーザビームの出力の偏り、配線
パターンの厚み・幅のばらつきによって、切断すべき配
線パターン両端部の切断時間に僅かの差が生じる。これ
により、図８（Ｂ）に示すようなバリ１８ａが発生し、
絶縁信頼性を損ねる原因となるという問題があった。
パターンの厚み・幅のばらつきによって、切断すべき配
線パターン両端部の切断時間に僅かの差が生じる。これ
により、図８（Ｂ）に示すようなバリ１８ａが発生し、
絶縁信頼性を損ねる原因となるという問題があった。
【００１０】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、レーザ出力又は切
断すべき配線パターンのばらつきに起因するバリの発生
を防止するようにしたプリント配線板の配線パターンの
切断方法を提供することである。
のであり、その目的とするところは、レーザ出力又は切
断すべき配線パターンのばらつきに起因するバリの発生
を防止するようにしたプリント配線板の配線パターンの
切断方法を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によると、マスク
を透過したレーザビームをレンズにより縮小してプリン
ト配線板の配線パターンに照射して配線パターンを切断
する方法であって、切断すべき配線パターンの長さの両
端部のみにスリット状にレーザビームを照射して該両端
部を切断する第１のステップと、その後中央部分にレー
ザビームを照射して該中央部分を切断する第２のステッ
プとからなることを特徴とするプリント配線板の配線パ
ターンの切断方法が提供される。
を透過したレーザビームをレンズにより縮小してプリン
ト配線板の配線パターンに照射して配線パターンを切断
する方法であって、切断すべき配線パターンの長さの両
端部のみにスリット状にレーザビームを照射して該両端
部を切断する第１のステップと、その後中央部分にレー
ザビームを照射して該中央部分を切断する第２のステッ
プとからなることを特徴とするプリント配線板の配線パ
ターンの切断方法が提供される。
【００１２】例えば、前記第１ステップは互いに平行な
一対のスリットを有するマスクを用いてレーザビームの
照射を行い、前記第２ステップは矩形状開口部を有する
マスクを用いてレーザビームの照射を行うことから構成
される。
一対のスリットを有するマスクを用いてレーザビームの
照射を行い、前記第２ステップは矩形状開口部を有する
マスクを用いてレーザビームの照射を行うことから構成
される。
【００１３】代案としては、第１及び第２ステップに一
本のスリットを有する共通マスクを用い、プリント配線
板側を移動することにより段階的に配線パターンの切断
を行うことも可能である。
本のスリットを有する共通マスクを用い、プリント配線
板側を移動することにより段階的に配線パターンの切断
を行うことも可能である。
【００１４】
【作用】切断すべき配線パターンの両端部を確実に除去
した後に、中央部分を除去するようにしたので、バリの
発生を有効に防止することができる。
した後に、中央部分を除去するようにしたので、バリの
発生を有効に防止することができる。
【００１５】
【実施例】本発明は上述したように、切断すべき配線パ
ターンの両端部の切断を行う第１のステップと、中央部
分の切断を行う第２のステップから構成される。第１の
ステップを図１を参照して説明する。
ターンの両端部の切断を行う第１のステップと、中央部
分の切断を行う第２のステップから構成される。第１の
ステップを図１を参照して説明する。
【００１６】図１（Ａ）は第１のステップに使用される
マスク２０を示している。マスク２０には一対の互いに
平行なスリット２２ａ，２２ｂが形成されている。マス
ク２０のスリット２２ａ，２２ｂが切断すべき配線パタ
ーン上に縮小投影されて、配線パターンの切断長さの両
端部の切断を行うため、図１（Ｂ）に示す切断すべき両
端部１８ａ，１８ｂの切断幅をｔ1 とし、縮小率を１／
Ｍとすると、マスク２０のスリット２２ａ，２２ｂの幅
はｔ1 ×Ｍとなる。
マスク２０を示している。マスク２０には一対の互いに
平行なスリット２２ａ，２２ｂが形成されている。マス
ク２０のスリット２２ａ，２２ｂが切断すべき配線パタ
ーン上に縮小投影されて、配線パターンの切断長さの両
端部の切断を行うため、図１（Ｂ）に示す切断すべき両
端部１８ａ，１８ｂの切断幅をｔ1 とし、縮小率を１／
Ｍとすると、マスク２０のスリット２２ａ，２２ｂの幅
はｔ1 ×Ｍとなる。
【００１７】例えば、両端の切断幅ｔ1 を約５０μｍと
し、縮小率を１／１０とすると、マスク２０のスリット
２２ａ，２２ｂの幅は約５００μｍとなる。また、配線
パターン１８の切断長さｔ2 は約５００μｍ必要である
ので、マスク２０のスリット２２ａと２２ｂの間隔は約
４mmとなる。
し、縮小率を１／１０とすると、マスク２０のスリット
２２ａ，２２ｂの幅は約５００μｍとなる。また、配線
パターン１８の切断長さｔ2 は約５００μｍ必要である
ので、マスク２０のスリット２２ａと２２ｂの間隔は約
４mmとなる。
【００１８】本発明の第１実施例では、図１（Ａ）に示
すマスク２０を用いてエキシマレーザを配線パターン１
８上に照射し、図１（Ｂ）に示す両端部１８ａ，１８ｂ
の切断を第１ステップとしてまず行う。
すマスク２０を用いてエキシマレーザを配線パターン１
８上に照射し、図１（Ｂ）に示す両端部１８ａ，１８ｂ
の切断を第１ステップとしてまず行う。
【００１９】次いで、第２ステップではマスクを図２
（Ａ）に示すマスク２４に切換えて切断長さの中央部分
１８ｃの切断を行う。中央部分１８ｃの長さｔ3 は約４
００μｍであり、縮小率は１／１０であるから、マスク
２４の開口部２６の幅ｔ4 は約４mmとなる。
（Ａ）に示すマスク２４に切換えて切断長さの中央部分
１８ｃの切断を行う。中央部分１８ｃの長さｔ3 は約４
００μｍであり、縮小率は１／１０であるから、マスク
２４の開口部２６の幅ｔ4 は約４mmとなる。
【００２０】このように第１ステップで両端部１８ａ，
１８ｂの配線パターンを完全に除去してから、マスクを
交換して中央部分１８ｃの切断を行うため、バリの発生
を完全に防止することが可能となる。
１８ｂの配線パターンを完全に除去してから、マスクを
交換して中央部分１８ｃの切断を行うため、バリの発生
を完全に防止することが可能となる。
【００２１】次に図３を参照して、第１実施例のマスク
切換方法の具体例について説明する。第１及び第２ステ
ップで使用するマスク２０，２４が回転軸２８を中心に
回転する円盤３０に同心状に取り付けられており、円盤
３０を回転軸２８を中心にして回転することによりレー
ザビームの光路に挿入されるマスク２０，２４が回転切
換えされる。
切換方法の具体例について説明する。第１及び第２ステ
ップで使用するマスク２０，２４が回転軸２８を中心に
回転する円盤３０に同心状に取り付けられており、円盤
３０を回転軸２８を中心にして回転することによりレー
ザビームの光路に挿入されるマスク２０，２４が回転切
換えされる。
【００２２】即ち、まずマスク２０をレーザビームの光
路に挿入して両端部１８ａ，１８ｂの切断を行い、次い
で円盤３０を時計回り方向に回転してマスク２４をレー
ザビームの光路に挿入し、中央部分１８ｃの切断を行
う。
路に挿入して両端部１８ａ，１８ｂの切断を行い、次い
で円盤３０を時計回り方向に回転してマスク２４をレー
ザビームの光路に挿入し、中央部分１８ｃの切断を行
う。
【００２３】図４を参照すると第１実施例の他のマスク
切換方法が概略的に示されている。即ちこのマスク切換
方法によると、マスク２０，２４をレーザビームの光路
に挿入して設け、マスク２０，２４をエアシリンダ、パ
ルスモータ等で矢印Ａ方向に選択的に駆動する。
切換方法が概略的に示されている。即ちこのマスク切換
方法によると、マスク２０，２４をレーザビームの光路
に挿入して設け、マスク２０，２４をエアシリンダ、パ
ルスモータ等で矢印Ａ方向に選択的に駆動する。
【００２４】マスク２０を使用する第１ステップにおい
ては、マスク２４を上方に退避させて配線パターン１８
の両端部１８ａ，１８ｂの切断を行い、第２ステップに
おいてはマスク２４をレーザビームの光路に挿入すると
共にマスク２０を上方に退避させて、配線パターン１８
の中央部分１８ｃの切断を行う。
ては、マスク２４を上方に退避させて配線パターン１８
の両端部１８ａ，１８ｂの切断を行い、第２ステップに
おいてはマスク２４をレーザビームの光路に挿入すると
共にマスク２０を上方に退避させて、配線パターン１８
の中央部分１８ｃの切断を行う。
【００２５】次に、図５及び図６を参照して本発明の第
２実施例の配線パターンの切断方法について説明する。
本実施例では図５に示すような一本のスリット３４を有
するマスク３２のみを用いて配線パターンの切断を行
う。
２実施例の配線パターンの切断方法について説明する。
本実施例では図５に示すような一本のスリット３４を有
するマスク３２のみを用いて配線パターンの切断を行
う。
【００２６】まず、切断すべき配線パターン１８の一端
部１８ａにマスク３２のスリット３４を通してレーザビ
ームの照射を行い、図６（Ａ）に示すように一端部１８
ａを切断する。
部１８ａにマスク３２のスリット３４を通してレーザビ
ームの照射を行い、図６（Ａ）に示すように一端部１８
ａを切断する。
【００２７】次いで、Ｘ−Ｙテーブルを配線パターン１
８の長さ方向に駆動して切断すべき配線パターンの他端
部１８ｂにレーザビームを照射し、この他端部１８ｂを
図６（Ｂ）に示すように切断する。
８の長さ方向に駆動して切断すべき配線パターンの他端
部１８ｂにレーザビームを照射し、この他端部１８ｂを
図６（Ｂ）に示すように切断する。
【００２８】このように切断すべき配線パターン１８の
両端部１８ａ，１８ｂを切断してから、図６（Ｃ）に示
すようにＸ−Ｙテーブルを段階的に順次駆動しながら、
マスク３２のスリット３４を通してレーザビームを中央
部分１８ｃに照射し、この部分を矢印に示すように順次
切断する。
両端部１８ａ，１８ｂを切断してから、図６（Ｃ）に示
すようにＸ−Ｙテーブルを段階的に順次駆動しながら、
マスク３２のスリット３４を通してレーザビームを中央
部分１８ｃに照射し、この部分を矢印に示すように順次
切断する。
【００２９】
【発明の効果】本発明は上述したように、切断すべき配
線パターンの両端部を除去した後に、中央部分を除去す
るようにしたので、従来問題であったバリの発生を防止
することができ、絶縁信頼性の向上を図れるという効果
を奏する。
線パターンの両端部を除去した後に、中央部分を除去す
るようにしたので、従来問題であったバリの発生を防止
することができ、絶縁信頼性の向上を図れるという効果
を奏する。
【図１】本発明第１実施例の第１ステップ説明図であ
る。
る。
【図２】第１実施例の第２ステップ説明図である。
【図３】第１実施例のマスク切換方法の説明図である。
【図４】第１実施例の他のマスク切換方法の説明図であ
る。
る。
【図５】第２実施例に使用するマスク斜視図である。
【図６】第２実施例の切断工程を示す図である。
【図７】エキシマレーザを使用したマスクイメージング
法説明図である。
法説明図である。
【図８】従来方法の問題点説明図である。
【符号の説明】 １８ 配線パターン １８ａ，１８ｂ 切断端部 １８ｃ 中央部分 ２０ 第１マスク ２２ａ，２２ｂ スリット ２４ 第２マスク ２６ 矩形状開口部 ３２ 第２実施例のマスク ３４ スリット
Claims (5)
- 【請求項１】 マスクを透過したレーザビームをレンズ
により縮小してプリント配線板の配線パターンに照射し
て配線パターンを切断する方法であって、 切断すべき配線パターン(18)の長さの両端部(18a,18b)
のみにスリット状にレーザビームを照射して該両端部(1
8a,18b) を切断する第１のステップと、 その後中央部分(18c) にレーザビームを照射して該中央
部分(18c) を切断する第２のステップとからなることを
特徴とするプリント配線板の配線パターンの切断方法。 - 【請求項２】 前記第１ステップは互いに平行な一対の
スリット(22a,22b)を有する第１マスク(20)を用いてレ
ーザビームの照射を行い、前記第２ステップは矩形状開
口部(26)を有する第２マスク(24)を用いてレーザビーム
の照射を行うことを特徴とする請求項１記載のプリント
配線板の配線パターンの切断方法。 - 【請求項３】 前記第１及び第２マスク(20,24) は回転
軸(28)を中心に回転されるマスク保持部材(30)に同心状
に取り付けられ、回転切換えされる請求項２記載のプリ
ント配線板の配線パターンの切断方法。 - 【請求項４】 前記第１及び第２マスク(20,24) をレー
ザビームの光路に挿入して設け、第２マスク(24)を退避
させることにより第１ステップの切断を行い、第１マス
ク(20)を退避させることにより第２ステップの切断を行
うことを特徴とする請求項２記載のプリント配線板の配
線パターンの切断方法。 - 【請求項５】 前記第１ステップは一本のスリット(34)
を有するマスク(32)を用いて切断すべき配線パターンの
長さの一端部(18a) の切断をまず行い、次いでプリント
配線板(16)を移動させて前記配線パターン(18)の他端部
(18b) の切断を行うことから構成され、前記第２ステッ
プは第１ステップと同一マスク(32)を用いてプリント配
線板(16)を段階的に移動させながら前記中央部分(18c)
の切断を行うことから構成される請求項１記載のプリン
ト配線板の配線パターンの切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3272930A JPH05114780A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | プリント配線板の配線パターンの切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3272930A JPH05114780A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | プリント配線板の配線パターンの切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05114780A true JPH05114780A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17520746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3272930A Withdrawn JPH05114780A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | プリント配線板の配線パターンの切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05114780A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100775260B1 (ko) * | 2006-03-17 | 2007-11-12 | 홍성국 | 전자부품이 실장된 연성인쇄회로기판이 포함된 원판의 절단방법 및 그 절단 방법에 의해 절단된 연성인쇄회로기판 |
| JP2016122671A (ja) * | 2008-06-11 | 2016-07-07 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスエンベロープを封着するためのマスクおよび方法 |
-
1991
- 1991-10-21 JP JP3272930A patent/JPH05114780A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100775260B1 (ko) * | 2006-03-17 | 2007-11-12 | 홍성국 | 전자부품이 실장된 연성인쇄회로기판이 포함된 원판의 절단방법 및 그 절단 방법에 의해 절단된 연성인쇄회로기판 |
| JP2016122671A (ja) * | 2008-06-11 | 2016-07-07 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスエンベロープを封着するためのマスクおよび方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |