JP2016122671A - ガラスエンベロープを封着するためのマスクおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
12 第1基板
14 フリット
16 第2基板
22 レーザ
24 レーザビーム
32 マスク
34 透過領域
35 マスクストリップ
Claims (7)
- 温度および環境に敏感な素子を密閉する方法であって、
第1基板および第2基板の間に延びる高さと幅とを有する少なくとも1つのフリット壁により分離された、該第1基板および第2基板と、前記第1および第2基板の間に配置されかつ前記フリット壁に包囲された、少なくとも1つの温度および環境に敏感な素子とを提供するステップ、
前記フリット壁の前記幅よりも大きい直径の、略円形のビームプロファイルを有するレーザビームを生成するレーザを提供するステップ、
前記レーザビームを遮断する不透明材料に、長さ、および前記フリット壁の前記幅と実質的に等しい幅を有する、細長い領域が設けられたマスクであって、前記レーザビームの一部が該マスクを通過できるようにするために、前記細長い領域が、該細長い領域の長手方向の中心線に略沿って延在している、前記略円形のビームプロファイルの全直径に亘って前記レーザビームの中心部分を完全に遮断する不透明材料からなるストリップと、該細長い領域の残りの部分を構成する実質的に透明な透過領域とを有する、マスクを提供するステップ、
前記マスクを、前記細長い領域が前記フリット壁と位置合わせされるようにして、前記レーザと前記第1基板または前記第2基板のうちの1つとの間に位置付けるステップ、および、
前記レーザビームを前記マスクの前記細長い領域に通して導き、それにより、前記レーザビームの前記中心部分が、前記中心線に沿った部分において、前記ストリップにより前記略円形のビームプロファイルの全直径に亘って完全に遮断される一方、前記レーザビームが、前記中心線に沿った部分の両側の前記透過領域を通過する、別々の強度ピークを有する2つの分かれたビームに分裂させられ、該2つの分かれたビームが前記フリット壁に衝突し、前記素子を過熱および損傷することなく前記フリット壁を溶融して、前記第1および第2基板を結合させ、かつ該第1および第2基板間に前記素子を気密封着するステップ、
を含むことを特徴とする方法。 - (a)(i)前記第1および第2基板と(ii)前記レーザビームおよび前記マスクとの間に相対運動を生成することにより、前記2つの分かれたビームを前記フリット壁に沿って移動させるステップ、または、
(b)(i)前記第1および第2基板および前記マスクと(ii)前記レーザビームとの間に相対運動を生成することにより、前記2つの分かれたビームを前記フリット壁に沿って移動させるステップ、
のうちの1つのステップをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記温度および環境に敏感な素子が少なくとも1つのOLEDデバイスであることを特徴とする請求項1または2記載の方法。
- 前記ビームプロファイルの直径が前記フリット壁の前記幅の約2倍よりも大きいことを特徴とする請求項1から3いずれか1項記載の方法。
- 第1基板および第2基板の間に位置している温度および環境に敏感な素子をレーザ封着するためのシステムであって、前記第1基板および第2基板が、該第1および第2基板の間に延びる高さと幅とを有する少なくとも1つのフリット壁により分離され、かつ少なくとも1つの温度および環境に敏感な素子が、前記第1および第2基板の間に配置されかつ前記フリット壁に包囲されている、システムにおいて、
前記第1および第2基板の間で前記フリット壁に包囲されている前記少なくとも1つの温度および環境に敏感な素子を備えた、該第1基板および第2基板を支持している、台、
前記フリット壁の前記幅よりも大きい直径の、略円形のビームプロファイルを有するレーザビームを生成するレーザ、
前記レーザと前記第1または第2基板との間に位置付けられた、前記レーザビームを遮断する不透明材料に、長さ、および前記フリット壁の前記幅と実質的に等しい幅を有する、細長い領域が設けられたマスクであって、前記レーザビームの一部が該マスクを通過できるようにするために、前記細長い領域が、該細長い領域の長手方向の中心線に略沿って延在している、前記略円形のビームプロファイルの全直径に亘って前記レーザビームの中心部分を完全に遮断する不透明材料からなるストリップと、該細長い領域の残りの部分を構成する実質的に透明な透過領域とを有し、前記細長い領域が前記フリット壁と位置合わせされるようにして配向されている、該マスク、
前記レーザビームを前記マスクの前記細長い領域に通して導き、それにより、前記レーザビームの前記中心部分が、前記中心線に沿った部分において、前記ストリップにより前記略円形のビームプロファイルの全直径に亘って完全に遮断される一方、前記レーザビームが、前記中心線に沿った部分の両側の前記透過領域を通過する、別々の強度ピークを有する2つの分かれたビームに分裂させられ、該2つの分かれたビームが前記フリット壁に衝突し、前記素子を過熱および損傷することなく前記フリット壁を溶融して、前記第1および第2基板を結合させ、かつ該第1および第2基板間に前記素子を気密封着するように、レーザが取り付けられている固定具、を備え、さらに、
前記マスクが前記固定具および前記台のうちの1つに対して静止した状態で保持されていることを特徴とするシステム。 - 前記台と前記固定具との間の相対運動を生成するために前記固定具および前記台のうちの1つに作動的に接続された運動制御機構をさらに備え、前記2つの分かれたビームが前記フリット壁を移動して該フリット壁を溶融することを特徴とする請求項5記載のシステム。
- 前記温度および環境に敏感な素子が少なくとも1つのOLEDデバイスであり、さらに、
前記フリット壁が、前記素子を包囲する閉フレームを備え、前記細長い領域および前記ストリップが、対応したサイズおよび形状の閉フレームで形成され、かつ前記マスクが、前記細長い領域が前記フリット壁と位置合わせされるようにして前記台に対して静止した状態で保持されることを特徴とする請求項5または6記載のシステム。
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