JP2001311745A

JP2001311745A - コンタクトプローブの製造方法

Info

Publication number: JP2001311745A
Application number: JP2000128682A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Tomoi; 忠司友井
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2000-04-28
Filing date: 2000-04-28
Publication date: 2001-11-09
Anticipated expiration: 2020-04-28
Also published as: JP4398061B2

Abstract

(57)【要約】【課題】接触痕が小さく、しかも確実に接触し得るコ
ンタクトプローブを低製造コストで製造可能なコンタク
トプローブの製造方法を提供する。【解決手段】薄板状のプローブ母材１０の板面にマス
クパターン５，５を貼付した後に、プローブ母材１０を
フォトエッチングして刃部２を形成するコンタクトプロ
ーブ１の製造方法において、プローブ母材１０の両板面
１０ａ，１０ｂにマスクパターン５，５をそれぞれ貼付
した後に、一方の板面１０ａにエッチング光を照射する
と共に、一方の板面１０ａに対する照射総量よりも少な
い照射総量のエッチング光を他方の板面１０ｂに照射す
ることにより刃部２を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ母材をフ
ォトエッチングすることにより刃部を形成するコンタク
トプローブの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のコンタクトプローブの製造方法
によって製造されたコンタクトプローブとして、図５〜
７に示すコンタクトプローブ３１，４１，５１が従来か
ら知られている。このコンタクトプローブ３１，４１，
５１は、例えば回路基板検査装置に装着されて所定の電
気的検査を実行するためのブレード形のコンタクトプロ
ーブであって、フォトエッチングによって金属板１０を
加工して製造されている。コンタクトプローブ３１は、
図５（ａ）に示すように、刃身３３が金属板１０の板面
１０ａ側に形成されたいわゆる片刃形の刃部３２を備え
ている。この場合、刃部３２は、コンタクトプローブ３
１が回路基板検査装置に装着された状態において、同図
（ｂ）に示すように、所定の検査位置に配置された回路
基板の基板面Ｘに対して、その刃先３４が所定角度で傾
斜するように形成されている。

【０００３】このコンタクトプローブ３１の製造に際し
ては、図８（ａ）に示すように、まず、金属板１０の板
面１０ａに、所定形状のマスクパターン３５を貼付す
る。次に、この状態の金属板１０をフォトエッチングす
る。この際には、金属板１０に対して直交する同図の矢
印Ａで示す向きでエッチング光を照射することにより、
マスクパターン３５から露出している板面１０ａをエッ
チングする。この場合、金属板１０は、マスクパターン
３５から離れた部位ほど、早くエッチングされ、マスク
パターン３５に近い部位ほど、遅くエッチングされる。
したがって、同図（ｂ）に示すように、マスクパターン
３５の下端部近傍から板面１０ｂの下端部に対して傾斜
する刃身３３が形成され、エッチング光の照射を継続す
ることにより、刃先３４が形成される。これにより、コ
ンタクトプローブ３１が完成する。

【０００４】一方、図６（ａ）に示すように、コンタク
トプローブ４１は、金属板１０の板面１０ａおよび板面
１０ｂに刃身４３ａおよび刃身４３ｂがそれぞれ形成さ
れたいわゆる両刃形の刃部４２を備えている。この場
合、刃部４２は、同図（ｂ）に示すように、基板面Ｘに
対して、その刃先４４が所定角度で傾斜するように形成
されている。このコンタクトプローブ４１の製造に際し
ては、図９（ａ）に示すように、金属板１０の板面１０
ａ，１０ｂに、マスクパターン４５，４５をそれぞれ貼
付する。次に、板面１０ａ，１０ｂに対して直交する同
図の矢印Ａ，Ｂで示す向きでエッチング光を照射する。
これにより、マスクパターン４５，４５から露出してい
る金属板１０がエッチング光によってエッチングされる
結果、同図（ｂ）に示すように、刃先４４が形成されて
コンタクトプローブ４１が完成する。

【０００５】他方、図７（ａ）に示すように、コンタク
トプローブ５１は、湾曲した刃身５３が金属板１０の板
面１０ａ側に形成された片刃形の刃部５２を備えてい
る。この場合、刃部５２は、同図（ｂ）に示すように、
基板面Ｘに対して、その刃先５４が傾斜するように形成
されている。このコンタクトプローブ５１の製造に際し
ては、図１０（ａ）に示すように、金属板１０の板面１
０ａ，１０ｂに、所定形状のマスクパターン５５ａ，５
５ｂをそれぞれ貼付する。この場合、板面１０ｂ側につ
いては、その下端部まで覆われるように、マスクパター
ン５５ａよりも大きなマスクパターン５５ｂを貼付す
る。次に、金属板１０に対して直交する同図の矢印Ａで
示す向きでエッチング光を照射する。これにより、マス
クパターンマスクパターン５５ａから露出している金属
板１０がエッチング光によってエッチングされる。この
際に、金属板１０の板面１０ｂ側では、マスクパターン
５５ｂによってエッチングの進行が遅くなる結果、同図
（ｂ）に示すように、板面１０ａ側の表面が湾曲して板
面１０ｂ側に刃先５４を有する刃身５３が形成される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のコン
タクトプローブ３１，４１，５１には、以下の問題点が
ある。まず、コンタクトプローブ３１では、その製造に
際して、金属板１０の板面１０ａのみにエッチング光を
照射している。このため、フォトエッチングの完了時に
おいて、エッチングし切れなかった板面１０ｂ側の薄い
金属板がバリとして刃先３４の先端部に残留することが
ある。このため、コンタクトプローブ３１には、プロー
ビング時において、バリに起因する接触不良が発生する
という問題点がある。この場合、エッチング光をさらに
長時間照射し続けることにより、このバリを除去するこ
とも可能ではある。しかし、かかる場合には、刃先３４
を鋭利に形成するのが困難となり、プロービング時に大
きな接触痕が基板面Ｘに形成されてしまうという問題が
生じる。

【０００７】一方、コンタクトプローブ４１では、その
製造に際して、板面１０ａ，１０ｂの両面側からエッチ
ング光を照射して刃身４３ａ，４３ｂを形成している。
したがって、刃先４４にバリが形成される可能性が低く
なる反面、刃先４４が丸みを帯びる可能性が高くなる。
このため、このコンタクトプローブ４１には、プロービ
ング時において、大きな接触痕が基板面Ｘに形成されて
しまうという問題点がある。他方、コンタクトプローブ
５１では、その製造に際して、金属板１０の板面１０
ａ，１０ｂに、異なる形状のマスクパターン５５ａ，５
５ｂを貼付する必要がある。このため、２種類のマスク
パターン５５ａ，５５ｂを予め製作しなくてはならず、
これに起因して製造コストの上昇を招いているという問
題点がある。

【０００８】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、接触痕が小さく、しかも確実に接触し得る
コンタクトプローブを低製造コストで製造可能なコンタ
クトプローブの製造方法を提供することを主目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載のコンタクトプローブの製造方法は、薄板状
のプローブ母材の板面にマスクパターンを貼付した後
に、プローブ母材をフォトエッチングして刃部を形成す
るコンタクトプローブの製造方法において、プローブ母
材の両板面にマスクパターンをそれぞれ貼付した後に、
一方の板面にエッチング光を照射すると共に、一方の板
面に対する照射総量よりも少ない照射総量のエッチング
光を他方の板面に照射することにより刃部を形成するこ
とを特徴とする。

【００１０】請求項２記載のコンタクトプローブの製造
方法は、請求項１記載のコンタクトプローブの製造方法
において、エッチング光の照度をほぼ一定に維持した状
態で、両板面の各々に対して、各照射総量にほぼ比例す
る時間だけエッチング光をそれぞれ照射することを特徴
とする。

【００１１】請求項３記載のコンタクトプローブの製造
方法は、請求項１または２記載のコンタクトプローブの
製造方法において、一方の板面に対する照射総量の１／
２０以上１／２以下の範囲内の照射総量を他方の板面に
照射することを特徴とする。

【００１２】請求項４記載のコンタクトプローブの製造
方法は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクト
プローブの製造方法において、一方の板面に対するエッ
チング光の照射を完了した後に、他方の板面にエッチン
グ光を照射することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係るコンタクトプローブの製造方法の好適な発明の
実施の形態について説明する。なお、従来のコンタクト
プローブ３１，４１，５１と同一の構成要素について
は、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

【００１４】最初に、本発明におけるコンタクトプロー
ブの製造方法によって製造されたコンタクトプローブ１
の構成について、図１，２を参照して説明する。

【００１５】コンタクトプローブ１は、例えば回路基板
検査装置に装着され、その回路基板検査装置による所定
の電気的検査の際に、検査対象の回路基板に接触可能に
構成されている。具体的には、コンタクトプローブ１
は、ブレード形のコンタクトプローブであって、本発明
におけるプローブ母材に相当する金属板１０をフォトエ
ッチングすることにより製造される。このコンタクトプ
ローブ１は、図１（ａ）に示すように、金属板１０の板
面１０ａに刃身３ａが形成され、かつ板面１０ｂに刃身
３ｂが形成された両刃形の刃部２を備えている。この場
合、刃部２は、コンタクトプローブ１が回路基板検査装
置に装着された状態において、同図（ｂ）に示すよう
に、所定の検査位置に配置された回路基板の基板面Ｘに
対して、その刃先４が所定角度で傾斜するように形成さ
れている。また、図２に示すように、刃先４は、板面１
０ａから刃先４までの厚み方向における長さＬ１と、板
面１０ｂから刃先４までの長さＬ２とが、例えば、ほぼ
９：１となる位置に形成されている。

【００１６】次に、コンタクトプローブ１の製造方法に
ついて、各図を参照して説明する。

【００１７】まず、図３（ａ）に示すように、金属板１
０の板面１０ａ，１０ｂに同一形状のマスクパターン
５，５をそれぞれ貼付する。次に、この状態の金属板１
０に対して直交する同図の矢印Ａで示す向きでエッチン
グ光を照射する。これにより、マスクパターン５から露
出している金属板１０がエッチング光によってエッチン
グされる。この際には、マスクパターン５から離れた部
位ほど早くエッチングされ、マスクパターン５の近傍ほ
ど遅くエッチングされる。したがって、同図（ｂ）に示
すように、板面１０ａから板面１０ｂに向けて傾斜する
刃身３ａが形成される。なお、この状態では、その端部
Ｒにバリが生じていることがある。

【００１８】次いで、図４（ａ）に示すように、金属板
１０に対して直交する同図の矢印Ｂで示す向きでエッチ
ング光を照射する。この際には、板面１０ａに対するエ
ッチング光と同じ照度のエッチング光を、板面１０ａに
対する照射時間のほぼ１／１０の時間だけ照射する。つ
まり、板面１０ｂに照射する照射総量を板面１０ａに対
する照射総量のほぼ１／１０に規定する。これにより、
金属板１０がエッチングされて、同図（ｂ）に示すよう
に、板面１０ｂから板面１０ａに向けて傾斜する刃身３
ｂが形成される。この際に、端部Ｒに生じていたバリ
は、板面１０ｂと共にエッチングされることによって除
去される。これにより、コンタクトプローブ１が完成す
る。なお、板面１０ｂのエッチングの際に、金属板１０
を反転させた後に、矢印Ａ方向からエッチング光を照射
することにより、１台の照射装置を使用してフォトエッ
チングを行うことができる。この場合には、製造システ
ムを安価に構成することができる。

【００１９】このように、このコンタクトプローブ１の
製造方法によれば、異なる形状のマスクパターン５５
ａ，５５ｂを用いて製造された従来のコンタクトプロー
ブ５１とは異なり、同一形状のマスクパターン５，５を
用いてコンタクトプローブ１を製造することができるた
め、製造コストを低減することができる。また、このコ
ンタクトプローブ１の製造方法によれば、板面１０ａに
エッチング光を照射した際に端部Ｒに形成されたバリ
を、板面１０ｂにエッチング光を照射することによって
除去できるため、バリに起因する接触不良の発生を防止
することができる。さらに、板面１０ｂに極く短時間だ
けエッチング光を照射することにより、刃先４を鋭利に
形成することができ、これにより、プロービング時にお
ける基板面Ｘへの接触痕を極限まで小さくすることがで
きる。

【００２０】なお、本発明は、上記した本発明の実施の
形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実
施の形態では、エッチング光の照射時間を変えることに
より、金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに対してほぼ１
０：１の比率の照射総量でエッチング光を照射する例に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、金属板
１０の厚みや材質などに応じて、２０：１から２：１ま
での範囲内で任意に照射総量を変更することができる。
なお、発明者の実験によれば、この範囲でフォトエッチ
ングを行うことにより、バリがなく、鋭利な刃先を有す
るコンタクトプローブを製造できることが確認されてい
る。また、本発明の実施の形態では、板面１０ａ，１０
ｂに対する照射時間を変えてエッチング光の照射総量を
変更する例について説明したが、本発明におけるコンタ
クトプローブの製造方法はこれに限定されない。例え
ば、板面１０ａに図３（ａ）の矢印Ａで示す向きでエッ
チング光を所定時間照射すると共に、板面１０ｂに図４
（ａ）の矢印Ｃで示す向きでエッチング光を所定時間照
射することにより、単位面積当りのエッチング光の照射
総量を変更することができる。また、板面１０ａ，１０
ｂに対するエッチング光の照度を変えることによって、
各照射総量を変更することもできる。ただし、エッチン
グ光の向きや照度を変える方式と比較して、照度を一定
に維持した状態で照射時間を変える方式によれば、バリ
がなく、鋭利な刃先４を形成するために最適な照射総量
となるように、正確かつ容易に管理することができる。

【００２１】さらに、本発明の実施の形態では、板面１
０ａに対するエッチング光の照射を完了した後に、板面
１０ｂにエッチング光を照射する例について説明した
が、両板面１０ａ，１０ｂに対するエッチング光の照射
タイミングはこれに限定されない。例えば、板面１０
ａ，１０ｂにマスクパターン５，５を貼付した状態で、
まず、板面１０ａにエッチング光を照射し、板面１０ａ
への照射が完了する前に板面１０ｂに対するエッチング
光の照射を開始してもよい。また、板面１０ｂにエッチ
ング光を短時間照射した後に、板面１０ａにエッチング
光を所定時間照射してもよい。

【００２２】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載のコンタク
トプローブの製造方法によれば、プローブ母材の両板面
にマスクパターンをそれぞれ貼付した後に、一方の板面
にエッチング光を照射すると共に、一方の板面に対する
照射総量よりも少ない照射総量のエッチング光を他方の
板面に照射して刃部を形成することにより、バリのない
コンタクトプローブを製造することができる。また、両
板面に対してほぼ等しくエッチング光を照射する製造方
法とは異なり、刃先が鋭利なコンタクトプローブを製造
することができる。したがって、接触痕が小さく、しか
も基板面に確実にプロービングさせることができるコン
タクトプローブを提供することができる。また、両板面
に同一種類のマスクパターンを貼付することができるた
め、その製造コストを低コストに抑えることができる。

【００２３】また、請求項２記載のコンタクトプローブ
の製造方法によれば、エッチング光の照度をほぼ一定に
維持した状態で、両板面の各々に対して、各照射総量に
ほぼ比例する時間だけエッチング光をそれぞれ照射する
ことにより、バリがなく、しかも鋭利な刃先となるよう
に、エッチング光の照射総量を最適かつ容易に調節する
ことができる。

【００２４】さらに、請求項３記載のコンタクトプロー
ブの製造方法によれば、一方の板面に対する照射総量の
１／２０以上１／２以下の範囲内の照射総量を他方の板
面に照射することにより、バリがなく、しかも鋭利な刃
先を有するコンタクトプローブを製造することができ
る。

【００２５】また、請求項４記載のコンタクトプローブ
の製造方法によれば、一方の板面に対するエッチング光
の照射を完了した後に、プローブ母材を反転させて他方
の板面にエッチング光を照射すれば、１台の照射装置を
使用してフォトエッチングを行うことができる結果、製
造システムを安価に構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の実施の形態に係るコンタクト
プローブ１の正面図、（ｂ）はコンタクトプローブ１の
側面図である。

【図２】厚み方向に切断した状態のコンタクトプローブ
１の断面図である。

【図３】（ａ）は金属板１０の板面１０ａ，１０ｂにマ
スクパターン５，５をそれぞれ貼付した状態の断面図、
（ｂ）はエッジング光によって板面１０ａがエッチング
されて刃身３ａが形成された状態の断面図である。

【図４】（ａ）は金属板１０の板面１０ｂ側からエッチ
ング光を照射している状態の断面図、（ｂ）はエッチン
グ光によって板面１０ｂがエッチングされて刃身３ｂが
形成された状態の断面図である。

【図５】（ａ）は従来のコンタクトプローブ３１の正面
図、（ｂ）はコンタクトプローブ３１の側面図である。

【図６】（ａ）は従来のコンタクトプローブ４１の正面
図、（ｂ）はコンタクトプローブ４１の側面図である。

【図７】（ａ）は従来のコンタクトプローブ５１の正面
図、（ｂ）はコンタクトプローブ５１の側面図である。

【図８】（ａ）は金属板１０の板面１０ａにマスクパタ
ーン３５を貼付した状態のコンタクトプローブ３１の断
面図、（ｂ）はエッチング光によって板面１０ｂがエッ
チングされて刃身３３が形成された状態のコンタクトプ
ローブ３１の断面図である。

【図９】（ａ）は金属板１０の板面１０ａ，１０ｂにマ
スクパターン４５，４５をそれぞれ貼付した状態のコン
タクトプローブ４１の断面図、（ｂ）はエッチング光に
よって板面１０ａ，１０ｂがエッチングされて刃身４３
ａ，４３ｂが形成された状態のコンタクトプローブ４１
の断面図である。

【図１０】（ａ）は金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに
マスクパターン５５ａ，５５ｂをそれぞれ貼付した状態
のコンタクトプローブ５１の断面図、（ｂ）はエッチン
グ光によって板面１０ａ，１０ｂがエッチングされて刃
身５３が形成された状態のコンタクトプローブ５１の断
面図である。

【符号の説明】

１コンタクトプローブ２刃部３ａ，３ｂ刃身５マスクパターン１０金属板１０ａ，１０ｂ板面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】薄板状のプローブ母材の板面にマスクパ
ターンを貼付した後に、前記プローブ母材をフォトエッ
チングして刃部を形成するコンタクトプローブの製造方
法において、前記プローブ母材の両板面にマスクパターンをそれぞれ
貼付した後に、一方の前記板面にエッチング光を照射す
ると共に、前記一方の板面に対する照射総量よりも少な
い照射総量のエッチング光を他方の前記板面に照射する
ことにより前記刃部を形成することを特徴とするコンタ
クトプローブの製造方法。
【請求項２】前記エッチング光の照度をほぼ一定に維
持した状態で、前記両板面の各々に対して、前記各照射
総量にほぼ比例する時間だけ前記エッチング光をそれぞ
れ照射することを特徴とする請求項１記載のコンタクト
プローブの製造方法。
【請求項３】前記一方の板面に対する照射総量の１／
２０以上１／２以下の範囲内の照射総量を前記他方の板
面に照射することを特徴とする請求項１または２記載の
コンタクトプローブの製造方法。
【請求項４】前記一方の板面に対する前記エッチング
光の照射を完了した後に、前記他方の板面に前記エッチ
ング光を照射することを特徴とする請求項１から３のい
ずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法。