JP3172367B2 - レーザトリミング方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高周波フィルタ等の共
振周波数を有する被加工物の電極をレーザビームでトリ
ミングするためのレーザトリミング方法及び装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミック等の誘電体上に任意パ
ターンの電極を形成した誘電体フィルタをはじめとする
高周波フィルタ等における周波数調整は、リュータ等の
道具を用いて、人手により任意電極パターンを削ること
により行っていた。

【０００３】図１１は、リュータ１により被加工物とし
ての誘電体フィルタ１０の共振周波数に関係している電
極（例えば銀電極）１１をトリミング加工している従来
の周波数調整工程の一例を示す。この工程では、リュー
タ１で先端のダイヤモンド砥石２を回転させ、電極１１
を研削している。

【０００４】このようなリュータ１を用いる従来の周波
数調整工程では、以下の問題が発生する。

【０００５】(1) 誘電体フィルタ１０の共振周波数を
測定しながらトリミングすることができない。

【０００６】(2) リュータ１を手作業で動かしてトリ
ミングを行うため、微細なトリミングができない（トリ
ミング精度が悪い。）。

【０００７】(3) 作業を継続しているうちにリュータ
先端部（砥石２）が磨耗する。

【０００８】上述したように、リュータ等の道具を用い
て人手により電極パターンをトリミングするのでは、被
加工物が小型になり、削る電極パターンが微細になる
と、高度な熟練が必要になり、また特性を測定しながら
の調整（トリミング）は不可能であった。

【０００９】そこで、最近、特開昭５６−１１１９０号
に示すように、レーザビームを用いて被加工物の電極パ
ターンをトリミングするレーザトリミング装置が使用さ
れるようになってきている。図１２に従来のレーザトリ
ミング装置の１例を示す。この図において、２０はレー
ザビーム照射手段としてのレーザビーム照射装置であ
り、レーザビームを発生するレーザ発振器２１と、レー
ザ発振器２１から出射されたレーザビームをＸ軸方向に
走査するＸ軸スキャナミラー２２と、該Ｘ軸スキャナミ
ラー２２で反射されたレーザビームをＸ軸方向に直交し
たＹ軸方向に走査するＹ軸スキャナミラー２３と、該Ｙ
軸スキャナミラー２３で反射されたレーザビームを収束
して被加工物３０に向けて照射するためのｆθレンズ
（集光レンズ）２４とを有している。

【００１０】前記被加工物３０はＸ−Ｙ軸方向に移動で
きるＸ−Ｙ軸ステージ３１上に保持されており、周波数
特性等を測定するための測定器３２に接続された測定端
子（プローブ）３３が被加工物３０の電極表面に直接接
触するように設けられている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図１２の従
来のレーザトリミング装置は、測定器３２で特性を測定
しながらレーザビームを走査して被加工物３０表面の電
極を削る（トリミングする）ことが可能となるが、被加
工物３０が小型で、削る電極パターンが微細になると、
測定端子３３を被加工物３０に直接配置することが困難
になり、また測定端子３３を被加工物３０の電極に直接
接触させるため、被加工物表面に傷を付ける問題があっ
た。

【００１２】本発明は、上記の点に鑑み、被加工物の電
極のトリミングを、非接触で周波数測定を行いながら、
高速、高精度で実行可能なレーザトリミング方法及び装
置を提供することを目的とする。

【００１３】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施例において明らかにする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のレーザトリミング方法は、共振部が複数存
在する共振素子の電極をレーザビームでトリミングする
場合において、相互干渉防止用短絡板で測定対象の共振
部に隣接する共振部を短絡しておき、周波数測定器に接
続されたアンテナ端子を、前記測定対象の共振部に結合
するように非接触で配置し、該共振部の共振周波数に関
係した電極を、前記周波数測定器で前記共振周波数を測
定しながらレーザビームでトリミングすることを特徴と
している。

【００１５】

【００１６】また、本発明のレーザトリミング装置は、
共振部が複数存在する共振素子における測定対象の共振
素子に隣接した共振部を短絡する相互干渉防止用短絡板
と、 前記測定対象の共振部の共振周波数に関係した電極
をトリミングするレーザビーム照射手段と、周波数測定
器と、該周波数測定器に接続されていて前記測定対象の
共振部に結合するように非接触で配置されるアンテナ端
子とを備えた構成としている。

【００１７】

【００１８】

【作用】本発明のレーザトリミング方法及び装置におい
ては、共振部を有する被加工物（つまり共振素子）の当
該共振部の共振周波数に関係した電極をレーザビームで
トリミングする場合に、周波数測定器に接続されたアン
テナ端子を前記共振部に結合するように（近傍に）非接
触で配置することで常時その共振部の共振周波数を測定
することができる。この結果、レーザビームによる高精
度で高速なトリミングが可能である。また、アンテナ端
子は被加工物に対して非接触であり、被加工物の表面を
傷付けることがなく、電極パターンが微細であっても対
応できる。

【００１９】また、前記被加工物が共振部を複数有して
いる場合、相互干渉防止用短絡板で測定対象の共振部に
隣接する共振部を短絡して前記共振周波数の測定を行う
ことにより、共振部相互間の干渉を回避して正確な周波
数測定ができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明に係るレーザトリミング方法及
び装置の実施例を図面に従って説明する。

【００２１】図１乃至図４で本発明の第１実施例を説明
する。図１は本発明の全体構成を、図２は周波数測定器
に接続されたアンテナ端子（素子）の構成及び配置を、
図３は相互干渉防止用短絡板の構成及び配置を示す。こ
れらの図において、２０はレーザビーム照射手段として
のレーザビーム照射装置であり、レーザビームを発生す
るレーザ発振器２１と、レーザ発振器２１から出射され
たレーザビームをＸ軸方向に走査するＸ軸スキャナミラ
ー２２と、該Ｘ軸スキャナミラー２２で反射されたレー
ザビームをＸ軸方向に直交したＹ軸方向に走査するＹ軸
スキャナミラー２３と、該Ｙ軸スキャナミラー２３で反
射されたレーザビームを収束して被加工物としての誘電
体フィルタ４０に向けて照射するためのｆθレンズ（集
光レンズ）２４とを有している。

【００２２】前記被加工物としての誘電体フィルタ４０
は図示しない保持手段で加工面を上向きにして固定的に
保持されている（但し、Ｘ−Ｙ軸方向に位置調整のでき
るＸ−Ｙ軸ステージ等を保持手段として採用することも
できる。）。ここで、誘電体フィルタ４０は、図１の全
体図、図２及び図３の断面図から明らかなように、角柱
状セラミック誘電体ブロック４１に複数の貫通穴４２を
設け、各貫通穴４２の内面に内導体膜４３を設けるとと
もに、貫通穴４２の軸方向に平行な当該セラミック誘電
体ブロック４１の外面及び各貫通穴４２の一方が開口し
た端面に外導体膜４４を設けたものである。また、貫通
穴４２の他方が開口した残りの端面（開放端面）４５に
は、図４に示すように、内導体膜４３に接続する周波数
調整用電極パターン（導体膜）４６が形成されている。
図４ではさらに、前記開放端面４５に前記外導体膜４４
に接続していて前記電極パターン４６に近接対向した周
波数調整用電極パターン（導体膜）４７も形成されてい
る。これらの導体膜４３，４４，４６，４７は、銀ペー
ストの印刷焼き付け等の厚膜技術によるものであって
も、銅のスパッタ等の薄膜技術によるものであってもよ
い。このような構成の誘電体フィルタ４０は各貫通穴４
２毎にその内導体膜４３及び周波数調整用電極パターン
４６，４７で共振部４８がそれぞれ形成されている。

【００２３】周波数測定器５０は例えば高周波（マイク
ロ波）発振器であり、この周波数測定器５０には５０Ω
のインピーダンスのシールドケーブル５１が接続され、
図２に示すように、このシールドケーブル５１の先端は
所定長だけシールド外導体が除去されて心線が露出した
アンテナ端子（周波数測定端子）５２となっている。こ
のアンテナ端子５２はマイクロ波のアンテナ素子として
機能するものである。

【００２４】この周波数測定器５０が高周波発振器であ
る場合の周波数測定原理は、アンテナ端子５２を誘電体
フィルタ４０の共振部４８に結合するように近接配置し
たとき、周波数測定器５０の高周波（マイクロ波）の発
振出力が共振部の共振周波数からずれている場合にはそ
の発振出力は吸収されず反射されるが、発振出力と共振
部の共振周波数が一致したときはその発振出力が吸収さ
れ反射波が少なくなることで共振周波数を検知するもの
である。

【００２５】前記相互干渉防止用短絡板６０は、測定対
象となる共振部４８を露出させる切欠部６３を持ってい
て先端が二股に分岐した金属導体板６１の裏面に導電性
ゴム６２を図３のように接着固定したものであり、測定
対象となる共振部４８の両隣の共振部４８の貫通穴４２
を導電性ゴム６２で塞ぐとともに当該両隣の共振部４８
の位置している開放端面４５を導電性ゴム６２で短絡す
ることができる（内導体膜４３に接続した周波数調整用
電極パターン４６を導電性ゴム６２を通して外導体膜４
４に接続する。）。このように、相互干渉防止用短絡板
６０は、測定対象となっている共振部４８と、隣接する
共振部との相互干渉を防止する機能を持つ。なお、導電
性ゴム６２が誘電体フィルタ４０に接触するようになっ
ているため、誘電体フィルタ４０の表面を傷付けること
がない。

【００２６】制御器７０はレーザビーム照射装置２０の
動作を制御するために設けられており、周波数測定器５
０に接続されていて、周波数測定器５０の測定値を逐一
監視することにより、測定値が任意の設定周波数になっ
た時点で、レーザビーム照射装置２０のレーザビーム照
射を直ちに停止することができる。

【００２７】この第１実施例の構成において、図１のよ
うに貫通穴４２が６個の誘電体フィルタ（多段構造フィ
ルタ）４０の右から３番目の貫通穴４２を含む共振部４
８を測定対象とする場合、周波数測定器５０に接続され
たシールドケーブル５１先端部分のアンテナ端子５２を
測定対象の共振部４８に結合するように、その共振部４
８近傍に非接触で配置する（例えば、テープでセラミッ
ク誘電体ブロック４１に止めたり、相互干渉防止用短絡
板６０の切欠部６３から突出するように相互干渉防止用
短絡板６０に固着することができる。）。そして、測定
対象の右から３番目の貫通穴４２を含む共振部４８の両
隣の共振部４８上に相互干渉防止用短絡板６０を配置し
（押し当て）、導電性ゴム６２で貫通穴４２を塞ぎかつ
周波数調整用電極パターン４６と外導体膜４４とを短絡
し、両隣の共振部４８の干渉を排除した状態とする。

【００２８】このように、アンテナ端子５２及び相互干
渉防止用短絡板６０を装着した被加工物としての誘電体
フィルタ４０を固定支持した後、レーザビーム照射装置
２０を作動させ、レーザ発振器２１から出射されたレー
ザビームをＸ軸スキャナミラー２２とＹ軸スキャナミラ
ー２３とで図４に示す周波数調整用電極パターン４６，
４７の幅の狭い電極指状パターン部分４６ａ，４７ａ上
を走査してトリミングする（パターンを部分的に削
る。）。このとき、同時に周波数測定器５０及びこれに
接続されたアンテナ端子５２を用いた反射波による共振
部４８の共振周波数の測定を継続して実行する。そし
て、予めプログラミング又はティーチングされた位置の
電極パターン部分を前記共振周波数が設定周波数に一致
するまでレーザビームによるトリミングを継続し、周波
数測定器５０の測定値を監視している制御器７０が共振
周波数と設定周波数との一致を検出したら直ちにレーザ
発振器２１のレーザビームを停止してトリミングを終了
する。

【００２９】なお、アンテナ端子５２及び相互干渉防止
用短絡板６０の位置を貫通穴４２の配列間隔毎にずらし
て行くことで他の共振部４８のトリミングを順次同様に
実行できる。

【００３０】この第１実施例によれば、次の通りの効果
を得ることかできる。

【００３１】(1) 周波数測定器５０及び共振部４８に
結合されたアンテナ端子５２による共振周波数測定を行
いながら、周波数調整用電極パターン４６，４７のレー
ザビームによるトリミングが可能であり、処理能力が高
く、高速処理が可能であり、レーザビームのスポットが
小さいため、高精度のトリミングができる。

【００３２】(2) 前記アンテナ端子５２は測定対象の
共振部４８に対し非接触状態であり、共振周波数測定に
際して被加工物としての誘電体フィルタ４０表面を傷付
けることがない。また、非接触で共振周波数測定が可能
であり、加工条件を一定に維持できる。

【００３３】(3) 誘電体フィルタ４０が複数の貫通穴
４２を持つ多段構造フィルタであっても、相互干渉防止
用短絡板６０で測定対象の共振部４８の両隣の共振部４
８を短絡することで、相互干渉を除去して正確な共振周
波数を測定でき、ひいては正確なトリミングが可能であ
る。

【００３４】(4) レーザビームによるトリミングであ
り、かつ周波数測定を非接触で行えるので、微細電極パ
ターンにも適用できる。また、予めプログラミング又は
ティーチングされた位置の電極パターン部分をレーザビ
ームでトリミングでき、周波数測定器５０の測定結果を
制御器７０で監視してレーザビーム照射装置２０を制御
することでトリミング工程の自動化が可能である。

【００３５】図５及び図６で本発明の第２実施例を説明
する。図５は、被加工物としての誘電体フィルタの有す
る複数の共振部に対応させて複数のアンテナ端子５２
Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄを設け、高周波信号切替器
（同軸スイッチ）５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃで電気的に切
り替える構成を示し、図６は高周波信号切替器５３Ａ，
５３Ｂ，５３Ｃの構成を示す。各高周波信号切替器５３
Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの切り替え制御は制御器７０からの
切替信号で行われるようになっている。すなわち、図６
に示すように、高周波信号切替器５３Ａ，５３Ｂ，５３
Ｃは切替信号で接点ｂ又は接点ｃに切り替わる。

【００３６】この第２実施例において、図１に示した如
き誘電体フィルタの各共振部にそれぞれアンテナ端子５
２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄを非接触で近接配置し
（結合させ）、測定対象の共振部に配置されたアンテナ
端子が周波数測定器５０に接続されるように制御器７０
から切替信号を出す。例えば、第１，２，３，４番目の
共振部に順次アンテナ端子５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５
２Ｄを配置した場合において、測定対象の共振部を第１
番目、第２番目、第３番目、第４番目の順に切り替えて
いくとき、アンテナ端子の切替もアンテナ端子５２Ａ、
アンテナ端子５２Ｂ、アンテナ端子５２Ｃ、アンテナ端
子５２Ｄの順で周波数測定器５０に接続するように切り
替える。レーザビームによるトリミングは前述した第１
実施例と同様に実行できる。

【００３７】この第２実施例によれば、共振部の共振周
波数測定のためのアンテナ端子の位置変更作業が不要と
なり、レーザビーム照射装置によるトリミングの加工能
力を有効利用できる。

【００３８】図７及び図８で本発明の第３実施例を説明
する。この第３実施例は、２個の被加工物としての誘電
体フィルタ４０を１個のレーザビーム照射装置２０で交
互にトリミングする構成を示す。この図において、２個
の載置台８０Ａ，８０ＢはそれぞれＹ軸ピッチ送り機構
８１Ａ，８１ＢでＹ軸方向に位置調整ができるようにな
っており、左右の載置台８０Ａ，８０Ｂ上に誘電体フィ
ルタ４０がそれぞれ固定支持されている。図８に示すよ
うに、載置台８０Ａ，８０Ｂは、被加工物としての誘電
体フィルタ４０の底面を支える載置面と、誘電体フィル
タ４０の直交する２側面の固定位置を規定する基準ブロ
ック８２と、残りの２側面をそれぞれ押さえるための可
動ブロック８３，８４とを有している。Ｙ軸ピッチ送り
機構８１Ａ，８１Ｂのボール螺子軸８５Ａ，８５Ｂは同
一平面上の架台８６Ａ，８６Ｂ側で軸支されており、載
置台８０Ａ，８０Ｂ側のボール螺子ナットに螺合してい
る。そして、サーボモータ８７でそれぞれ回転駆動され
るようになっている。

【００３９】また、相互干渉防止用短絡板９０は、測定
対象となる貫通穴４２を持つ共振部４８を露出させる２
個の切欠部９３を持っていて先端が三股に分岐した金属
導体板９１の裏面に導電性ゴム（図示せず）を接着固定
したものであり、測定対象となる共振部４８の両隣の共
振部４８の貫通穴４２を導電性ゴムで塞ぐとともに当該
両隣の共振部の位置している開放端面４５を導電性ゴム
で短絡することができる。

【００４０】周波数測定器に接続されたアンテナ端子５
２は相互干渉防止用短絡板９０の切欠部９３から露出し
た測定対象の共振部４８に非接触で近接配置（結合）可
能なように前記相互干渉防止用短絡板９０側に固定され
ている。図８に示すように、相互干渉防止用短絡板９０
はブレーキ付きインダクションモータ９４で昇降駆動さ
れるようになっている。

【００４１】なお、４個のアンテナ端子５２と周波数測
定器との切り替えは、第２実施例のように電気的に切り
替えればよい。その他の構成は、前述した第１実施例と
同様である。

【００４２】この第３実施例の場合、レーザビーム照射
装置２０のレーザヘッド２５から出射されたレーザビー
ムを走査することで、例えば図７で示すときには左右の
誘電体フィルタ４０の上から第３番目（切欠部９３で露
出状態となっている）の共振部４８を並行してトリミン
グすることができる。また、アンテナ端子５２の周波数
測定器への接続もレーザビームの走査に合わせてトリミ
ング中の共振部４８に結合しているアンテナ端子５２が
周波数測定器に接続されるように第２実施例に示したよ
うな切替器で高速で切り替える。これにより、共振部４
８の共振周波数の測定を行いながらトリミングを実行す
ることができる。同様に、図７における左右の誘電体フ
ィルタ４０の上から第５番目（切欠部９３で露出状態と
なっている）の共振部４８を並行してトリミングするこ
とができる。

【００４３】この第３実施例の全体的動作の１例を図９
のフローチャートで、レーザトリミングの動作の１例を
図１０のフローチャートでそれぞれ示す。但し、図７及
び図８は２軸並列処理であり、左右の誘電体フィルタ４
０に対し図９及び図１０の動作が並行して実行される。
なお、図８では、一方の載置台がワーク供給位置、他方
がワーク加工位置となっているが、実際の動作では、２
個の載置台８０Ａ，８０Ｂ共揃ってワーク供給位置Ｓか
らワーク加工位置へ移動する。また、相互干渉防止用短
絡板９０は図８では片側の載置台に対応するもののみ図
示されているが、他方の載置台にも対応して相互干渉防
止用短絡板が設けられている。

【００４４】まず、図９のステップ＃１の「マニュアル
ワークセット」で被加工物（ワーク）としての誘電体フ
ィルタ４０を図８のワーク供給位置（右下位置）Ｓの載
置台８０Ａ，８０Ｂ上に載置し、ステップ＃２の「ワー
ククランプ」で誘電体フィルタ４０を基準ブロック８２
に当接させた状態で可動ブロック８３，８４にて位置決
め固定する。次に、ステップ＃３の「ワーク加工位置に
移動」でサーボモータ８７を作動させてＹ軸ピッチ送り
機構８１Ａ，８１Ｂのボール螺子軸８５Ａ，８５Ｂを回
転駆動することで載置台８０Ａ，８０Ｂをレーザビーム
照射装置２０のレーザヘッドの真下位置とする。このと
き、相互干渉防止用短絡板９０は、誘電体フィルタ４０
の移動の妨げにならないように、ブレーキ付きインダク
ションモータ９４により上昇位置となっている。

【００４５】誘電体フィルタ４０が加工位置に到来する
と、ステップ＃４の「短絡板セット」で相互干渉防止用
短絡板９０がブレーキ付きインダクションモータ９４の
働きで下降位置となり、２箇所の切欠部９３から露出し
た測定対象の共振部４８の両隣の共振部４８を金属導体
板９１の裏面の導電性ゴムで短絡する。その後、ステッ
プ＃５の「レーザトリミング」を実行する。ステップ＃
５の「レーザトリミング」の詳細は図１０に示される。

【００４６】図１０のレーザトリミング工程において、
ステップ＃１０の「スタート」でレーザビーム照射装置
２０によるレーザビームの走査を開始し、ステップ＃１
１の「１本カット」で図４に示した周波数調整用電極パ
ターン４６，４７の幅の狭い電極指状パターン部分４６
ａ，４７ａのどれかの上を走査してトリミングし、１本
切断する（又はパターンを部分的に削る。）。この直後
にステップ＃１２の「ｆ測定」を実行する。すなわち、
加工中の共振部４８に結合しているアンテナ端子５２を
用いて周波数測定器による共振部４８の共振周波数測定
を行う。周波数測定器の測定値を常時監視している制御
器では、ステップ＃１３の「目標ｆ？」の判断を行い、
前記共振周波数の測定値が当初設定した目標周波数に一
致したか否かを判断する。一致していなければ（「Ｎ
ｏ」の場合）、ステップ＃１１〜ステップ＃１３を繰り
返し実行し、ステップ＃１３で前記共振周波数の測定値
が当初設定した目標周波数に一致した時点（「Ｙｅ
ｓ」）でステップ＃１４の「ストップ」となり、レーザ
ビームの照射が停止される。

【００４７】上記図１０の動作により、左右の誘電体フ
ィルタ４０の加工対象となっていた共振部４８のレーザ
ビームによるトリミングが終了したので、別の位置の共
振部４８のトリミングに移行する。このため、ステップ
＃６の「ピッチ送り」でＹ軸ピッチ送り機構８１Ａ，８
１Ｂにて載置台８０Ａ，８０Ｂの位置を貫通穴４２の配
列間隔分ずらし、ステップ＃４の「短絡板セット」及び
ステップ＃５の「レーザトリミング」を別の位置の共振
部４８に対し再度実行する。

【００４８】左右の誘電体フィルタ４０の全ての共振部
４８についてのレーザビーム加工が終了したら、ステッ
プ＃７の「ワーク戻り」で載置台８０Ａ，８０Ｂをワー
ク供給位置Ｓに戻し、ステップ＃８の「クランプ解除」
で加工済みの誘電体フィルタ４０の可動ブロック８３，
８４によるクランプを解除して加工済みの誘電体フィル
タ４０を排出する。そして、ステップ＃９で新規の誘電
体フィルタ４０を載置台８０Ａ，８０Ｂに供給する。

【００４９】この第３実施例によれば、誘電体フィルタ
４０のピッチ送りや相互干渉防止用短絡板９０の装着も
含めたレーザビームによるトリミングを自動化でき、よ
りいっそうの処理の効率化を図ることができる。また、
２軸並行処理としたことも処理能力の増大につながる。

【００５０】なお、トリミングする電極材質や厚さによ
り、レーザ波長、走査速度（スキャン速度）、レーザ繰
り返し周波数、レーザパルス幅等の条件を選択すること
により、下地（誘電体フィルタであればセラミック誘電
体）にダメージを与えること無くトリミングができる。
また、銀、銅等の種々の金属材料のトリミングが可能で
ある。

【００５１】また、本発明の実施例では、誘電体フィル
タの電極パターンのトリミングを例示したが、特定の共
振周波数のある共振部を１個又は複数個持つ高周波フィ
ルタ等の共振素子のトリミングに本発明は適用できる。

【００５２】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザト
リミング方法及び装置によれば、従来、人手では困難で
あった、小型、微細電極パターンの被加工物（高周波フ
ィルタ等の共振素子）の周波数調整のためのトリミング
加工が、その周波数を測定しながらレーザビームで高
速、高精度で実行できる。また、周波数測定は周波数測
定器に接続されたアンテナ端子を加工対象の共振部に非
接触で配置、結合すれば良く、被加工物の表面を傷付け
ることがなく、電極パターンが微細であっても対応でき
る。さらに、非接触で周波数測定を行いながらレーザビ
ームによるトリミングが可能であるため、トリミング加
工の自動化を図ることも容易である。また、前記被加工
物としての共振素子が共振部を複数有している場合、相
互干渉防止用短絡板で測定対象の共振部に隣接する共振
部を短絡して前記共振周波数の測定を行うことにより、
共振部相互間の干渉を回避して正確な周波数測定ができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレーザトリミング方法及び装置の
第１実施例の全体構成を示す構成図である。

【図２】被加工物としての誘電体フィルタ及びこれに対
するアンテナ端子の配置を示す側断面図である。

【図３】誘電体フィルタに装着すべき相互干渉防止用短
絡板を示す側断面図である。

【図４】誘電体フィルタの開放端面に形成された電極パ
ターンを示す部分拡大平面図である。

【図５】本発明の第２実施例を示すブロック図である。

【図６】第２実施例において用いる高周波信号切替器の
構成図である。

【図７】本発明の第３実施例を示す斜視図である。

【図８】第３実施例の誘電体フィルタを位置決め保持す
る部分を示す斜視図である。

【図９】第３実施例の全体動作説明のためのフローチャ
ートである。

【図１０】同レーザトリミング動作説明のためのフロー
チャートである。

【図１１】リュータを用いた従来のトリミング方法を説
明する斜視図である。

【図１２】従来のレーザトリミング方法を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ リュータ １０，４０ 誘電体フィルタ ２０ レーザビーム照射装置 ２１ レーザ発振器 ２２ Ｘ軸スキャナミラー ２３ Ｙ軸スキャナミラー ２４ ｆθレンズ ４１ セラミック誘電体ブロック ４２ 貫通穴 ４３ 内導体膜 ４４ 外導体膜 ４５ 開放端面 ４６，４７ 周波数調整用電極パターン ４８ 共振部 ５０ 周波数測定器 ５１ シールドケーブル ５２，５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄ アンテナ端子 ６０，９０ 相互干渉防止用短絡板 ６１，９１ 金属導体板 ６２ 導電性ゴム ７０ 制御器 ８０Ａ，８０Ｂ 載置台 ８１Ａ，８１Ｂ Ｙ軸ピッチ送り機構 ８２ 基準ブロック ８３，８４ 可動ブロック ８５Ａ，８５Ｂ ボール螺子軸 ８７ サーボモータ ９４ ブレーキ付きインダクションモータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01P 1/205 H01P 7/04 H01P 11/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 共振部が複数存在する共振素子の電極を
   レーザビームでトリミングするレーザトリミング方法に
   おいて、相互干渉防止用短絡板で測定対象の共振部に隣接する共
   振部を短絡しておき、 周波数測定器に接続されたアンテ
   ナ端子を、前記測定対象の共振部に結合するように非接
   触で配置し、該共振部の共振周波数に関係した電極を、
   前記周波数測定器で前記共振周波数を測定しながらレー
   ザビームでトリミングすることを特徴とするレーザトリ
   ミング方法。
2. 【請求項２】 共振部が複数存在する共振素子における
   測定対象の共振部に隣接した共振部を短絡する相互干渉
   防止用短絡板と、 前記測定対象の 共振部の共振周波数に関係した電極をト
   リミングするレーザビーム照射手段と、 周波数測定器と、 該周波数測定器に接続されていて前記測定対象の共振部
   に結合するように非接触で配置されるアンテナ端子とを
   備えたことを特徴とするレーザトリミング装置。