JPH07283628A - ストリップラインの形成方法 - Google Patents
ストリップラインの形成方法Info
- Publication number
- JPH07283628A JPH07283628A JP7498094A JP7498094A JPH07283628A JP H07283628 A JPH07283628 A JP H07283628A JP 7498094 A JP7498094 A JP 7498094A JP 7498094 A JP7498094 A JP 7498094A JP H07283628 A JPH07283628 A JP H07283628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- conductor
- strip line
- cutting tool
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単な工程でもって作業時間がかからず生産性
に優れ、しかも任意形状のストリップラインの形成に迅
速対応できるストリップラインの形成方法を提供する。 【構成】超音波加工機を用い、導体が被覆されている誘
電体基板、誘電体共振器ブロック１０などを、超音波加
工機のテーブル８上に載置固定して、主として超音波切
削工具３の移動により前記導体を一部除去することによ
って誘電体素地を現し、この誘電体素地により区画され
た所定形状のストリップラインを形成することを特徴と
するストリップラインの形成方法。
に優れ、しかも任意形状のストリップラインの形成に迅
速対応できるストリップラインの形成方法を提供する。 【構成】超音波加工機を用い、導体が被覆されている誘
電体基板、誘電体共振器ブロック１０などを、超音波加
工機のテーブル８上に載置固定して、主として超音波切
削工具３の移動により前記導体を一部除去することによ
って誘電体素地を現し、この誘電体素地により区画され
た所定形状のストリップラインを形成することを特徴と
するストリップラインの形成方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、誘電体基板もしくは誘
電体共振器ブロックに、ストリップラインを超音波加工
機により形成するストリップラインの形成方法に関す
る。
電体共振器ブロックに、ストリップラインを超音波加工
機により形成するストリップラインの形成方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のストリップラインの形成方法は、
誘電体基板もしくは誘電体共振器ブロック素地の所定の
場所にストリップラインを区画するレジストパターンを
形成し、次いでそれ以外の場所にメッキ等により導体を
形成し、その後レジストパターンを除去して導体から区
画されたストリップラインを形成するものであった。
誘電体基板もしくは誘電体共振器ブロック素地の所定の
場所にストリップラインを区画するレジストパターンを
形成し、次いでそれ以外の場所にメッキ等により導体を
形成し、その後レジストパターンを除去して導体から区
画されたストリップラインを形成するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ストリップラインの形成方法は、レジストパターンの形
成工程とその除去工程を必要とするので、工程が多くて
時間がかかり、生産性が悪かった。また、任意形状のス
トリップラインの形成に迅速に対応できなかった。
ストリップラインの形成方法は、レジストパターンの形
成工程とその除去工程を必要とするので、工程が多くて
時間がかかり、生産性が悪かった。また、任意形状のス
トリップラインの形成に迅速に対応できなかった。
【０００４】したがって、本発明は、簡単な工程でもっ
て作業時間がかからず生産性に優れ、しかも任意形状の
ストリップラインの形成に迅速対応のできるストリップ
ラインの形成方法を提供することを目的とする。
て作業時間がかからず生産性に優れ、しかも任意形状の
ストリップラインの形成に迅速対応のできるストリップ
ラインの形成方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の課題に対する解
決手段は以下の通りである。被加工物が載置固定される
テーブルと、増幅ホーンの先端に取り付けられた切削工
具とを少なくとも備えた超音波加工機を用いて、少なく
とも被加工面に導体が形成されている誘電体基板もしく
は誘電体共振器ブロックを、前記テーブル上に載置固定
して、前記切削工具により前記導体を一部除去すること
によって誘電体素地を現し、この誘電体素地により少な
くとも一部が区画された所定形状のストリップラインを
形成することを特徴とするストリップラインの形成方
法。
決手段は以下の通りである。被加工物が載置固定される
テーブルと、増幅ホーンの先端に取り付けられた切削工
具とを少なくとも備えた超音波加工機を用いて、少なく
とも被加工面に導体が形成されている誘電体基板もしく
は誘電体共振器ブロックを、前記テーブル上に載置固定
して、前記切削工具により前記導体を一部除去すること
によって誘電体素地を現し、この誘電体素地により少な
くとも一部が区画された所定形状のストリップラインを
形成することを特徴とするストリップラインの形成方
法。
【０００６】
【作用】本発明によれば、被加工物が載置固定されるテ
ーブル、増幅ホーンの先端に取り付けられている切削工
具などを備えている超音波加工機を用いて、少なくとも
被加工面に導体が形成されている誘電体基板もしくは誘
電体共振器ブロックを前記テーブルに載置固定して、切
削工具により、前記導体を一部除去することによって誘
電体素地を現し、この誘電体素地により区画された任意
形状のストリップラインが形成される。
ーブル、増幅ホーンの先端に取り付けられている切削工
具などを備えている超音波加工機を用いて、少なくとも
被加工面に導体が形成されている誘電体基板もしくは誘
電体共振器ブロックを前記テーブルに載置固定して、切
削工具により、前記導体を一部除去することによって誘
電体素地を現し、この誘電体素地により区画された任意
形状のストリップラインが形成される。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。図１は本実施例に用いる超音波加工機の
概略図である。同図において、１は超音波振動発生装置
で、この超音波振動発生装置１の先端には増幅ホーン２
が取り付けられている。超音波振動発生装置１で発生し
た数十ｋＨｚの低周波振動（超音波振動）は、増幅ホー
ン２に伝達されて、振動の加圧力が増幅されることにな
る。そして、この増幅ホーン２の先端には、切削工具３
が取り付けられている。超音波振動発生装置１は、３次
元動作と回転動作が可能なように、可動軸４に支軸され
ている。５は可動軸４を支える支柱で、固定台座６に固
定されている。
して説明する。図１は本実施例に用いる超音波加工機の
概略図である。同図において、１は超音波振動発生装置
で、この超音波振動発生装置１の先端には増幅ホーン２
が取り付けられている。超音波振動発生装置１で発生し
た数十ｋＨｚの低周波振動（超音波振動）は、増幅ホー
ン２に伝達されて、振動の加圧力が増幅されることにな
る。そして、この増幅ホーン２の先端には、切削工具３
が取り付けられている。超音波振動発生装置１は、３次
元動作と回転動作が可能なように、可動軸４に支軸され
ている。５は可動軸４を支える支柱で、固定台座６に固
定されている。
【０００８】一方、７は可動軸で、この可動軸７にはテ
ーブル８が支軸されている。これらの可動軸７およびテ
ーブル８は、３次元動作と回転動作が可能である。そし
て、９は切削水の供給装置である。
ーブル８が支軸されている。これらの可動軸７およびテ
ーブル８は、３次元動作と回転動作が可能である。そし
て、９は切削水の供給装置である。
【０００９】本実施例に用いる超音波加工機は、以上の
ような概略構成よりなるが、つぎに、この超音波加工機
を用いてストリップラインを形成する本発明の実施例に
ついて説明する。図２は第１実施例におけるストリップ
ラインの形成工程を示すものである。同図Ａにおいて、
１０は両面が導体１０ａで被覆された誘電体基板で、図
１に示すテーブル８上に載置固定される。そして、超音
波振動をしている切削工具３の先端が誘電体基板１０の
所定の導体１０ａ上に当接して、切削水供給装置９から
は切削水がこの当接部に供給され、同図Ｂに示されるよ
うに、切削工具３の所定の移動により、導体１０ａがコ
字型に切削されてコ字型の誘電体素地１０ｂが現れ、こ
の誘電体素地１０ｂによって導体１０ａから区画された
ストリップライン１０ｃが形成される。同様にして、ス
トリップライン１０ｄもコ字型誘電体素地１０ｅによっ
て区画形成される。
ような概略構成よりなるが、つぎに、この超音波加工機
を用いてストリップラインを形成する本発明の実施例に
ついて説明する。図２は第１実施例におけるストリップ
ラインの形成工程を示すものである。同図Ａにおいて、
１０は両面が導体１０ａで被覆された誘電体基板で、図
１に示すテーブル８上に載置固定される。そして、超音
波振動をしている切削工具３の先端が誘電体基板１０の
所定の導体１０ａ上に当接して、切削水供給装置９から
は切削水がこの当接部に供給され、同図Ｂに示されるよ
うに、切削工具３の所定の移動により、導体１０ａがコ
字型に切削されてコ字型の誘電体素地１０ｂが現れ、こ
の誘電体素地１０ｂによって導体１０ａから区画された
ストリップライン１０ｃが形成される。同様にして、ス
トリップライン１０ｄもコ字型誘電体素地１０ｅによっ
て区画形成される。
【００１０】図３は第２実施例におけるストリップライ
ンの形成工程を示すもので、導体１１ａで全面が被覆さ
れた誘電体ブロック１１を、第１実施例と同様に、図１
に示す超音波加工機のテーブル８上に載置固定して、テ
ーブル８と切削工具３との相対移動により、誘電体ブロ
ック１１の側面に、導体１１ａを切削してコ字型の誘電
体素地１１ｂを現し、この誘電体素地１１ｂにより導体
１１ａから一端を除いて区画された外部結合電極用スト
リップライン１１ｃが形成される。
ンの形成工程を示すもので、導体１１ａで全面が被覆さ
れた誘電体ブロック１１を、第１実施例と同様に、図１
に示す超音波加工機のテーブル８上に載置固定して、テ
ーブル８と切削工具３との相対移動により、誘電体ブロ
ック１１の側面に、導体１１ａを切削してコ字型の誘電
体素地１１ｂを現し、この誘電体素地１１ｂにより導体
１１ａから一端を除いて区画された外部結合電極用スト
リップライン１１ｃが形成される。
【００１１】図４は第３実施例におけるストリップライ
ンの形成工程を示すもので、導体１２ａで全面が被覆さ
れた誘電体ブロック１２を、第１実施例と同様に、図１
に示す超音波加工機のテーブル８上に載置固定して、テ
ーブル８と切削工具３との相対移動により、導体１２ａ
を切削して誘電体素地１２ｂ、１２ｄを現し、この誘電
体素地１２ｂ、１２ｄによって導体１２ａから区画さ
れ、かつ、導体１２ａから電気的に絶縁されて、誘電体
ブロック１２の２面に跨がる入出力兼有極電極用ストリ
ップライン１２ｃ、１２ｅを形成する。なお、このスト
リップライン１２ｃ、１２ｅは、誘電体ブロック１２の
２面に跨がっているが、この２面に跨がる加工は、誘電
体ブロック１２をテーブル８に設定し直すことなく、テ
ーブル８の３次元動作および回転動作でもって、また、
切削工具３との共同動作でもって、上面に続いて側面も
連続的に削られる。
ンの形成工程を示すもので、導体１２ａで全面が被覆さ
れた誘電体ブロック１２を、第１実施例と同様に、図１
に示す超音波加工機のテーブル８上に載置固定して、テ
ーブル８と切削工具３との相対移動により、導体１２ａ
を切削して誘電体素地１２ｂ、１２ｄを現し、この誘電
体素地１２ｂ、１２ｄによって導体１２ａから区画さ
れ、かつ、導体１２ａから電気的に絶縁されて、誘電体
ブロック１２の２面に跨がる入出力兼有極電極用ストリ
ップライン１２ｃ、１２ｅを形成する。なお、このスト
リップライン１２ｃ、１２ｅは、誘電体ブロック１２の
２面に跨がっているが、この２面に跨がる加工は、誘電
体ブロック１２をテーブル８に設定し直すことなく、テ
ーブル８の３次元動作および回転動作でもって、また、
切削工具３との共同動作でもって、上面に続いて側面も
連続的に削られる。
【００１２】なお、本発明においては、ストリップライ
ンには、一端が導体と接続しているスタブも含まれるも
のである。
ンには、一端が導体と接続しているスタブも含まれるも
のである。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、テーブル、超音波切削工具な
どを備えている超音波加工機を用いて、少なくとも被加
工面に導体が形成されている誘電体基板もしくは誘電体
共振器ブロックをテーブルに載置固定して、超音波切削
工具によって、前記導体の一部を除去することによって
誘電体素地を現し、この誘電体素地により導体から一部
区画された、あるいは、電気的に絶縁された所定の任意
形状のストリップラインが簡易に形成される。したがっ
て、本発明は、簡単な工程でもって作業時間をかけるこ
となく実施することができ、生産性を上げることができ
る。
どを備えている超音波加工機を用いて、少なくとも被加
工面に導体が形成されている誘電体基板もしくは誘電体
共振器ブロックをテーブルに載置固定して、超音波切削
工具によって、前記導体の一部を除去することによって
誘電体素地を現し、この誘電体素地により導体から一部
区画された、あるいは、電気的に絶縁された所定の任意
形状のストリップラインが簡易に形成される。したがっ
て、本発明は、簡単な工程でもって作業時間をかけるこ
となく実施することができ、生産性を上げることができ
る。
【図１】 本実施例に用いる超音波加工機の概略正面図
【図２】 第１実施例の実施工程を示すもので、Ａは導
体被覆基板のテーブルへの設定工程図、Ｂは超音波切削
工具により切削中の工程図
体被覆基板のテーブルへの設定工程図、Ｂは超音波切削
工具により切削中の工程図
【図３】 第２実施例において、誘電体ブロックに外部
結合用ストリップラインを切削形成する工程図
結合用ストリップラインを切削形成する工程図
【図４】 第３実施例において、入出力兼有極電極用ス
トリップラインを切削形成する工程図
トリップラインを切削形成する工程図
１ 超音波振動発生装置 ２ 増幅ホーン ３ 切削工具 ４、７ 可動軸 ５ 支柱 ６ 台座 ８ テーブル ９ 切削水の供給装置 １０ 誘電体基板 １０ａ、１１ａ、１２ａ 導体 １０ｂ、１０ｅ、１１ｂ、１２ｂ、１２ｄ 誘電体素
地 １０ｃ、１０ｄ、１１ｃ、１２ｃ、１２ｅ ストリッ
プライン １１、１２ 誘電体ブ
ロック
地 １０ｃ、１０ｄ、１１ｃ、１２ｃ、１２ｅ ストリッ
プライン １１、１２ 誘電体ブ
ロック
Claims (1)
- 【請求項１】 被加工物が載置固定されるテーブルと、
増幅ホーンの先端に取り付けられた切削工具とを少なく
とも備えた超音波加工機を用いて、少なくとも被加工面
に導体が形成されている誘電体基板もしくは誘電体共振
器ブロックを、前記テーブル上に載置固定して、前記切
削工具により前記導体を一部除去することによって誘電
体素地を現し、この誘電体素地により少なくとも一部が
区画された所定形状のストリップラインを形成すること
を特徴とするストリップラインの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7498094A JPH07283628A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | ストリップラインの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7498094A JPH07283628A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | ストリップラインの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07283628A true JPH07283628A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13562953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7498094A Pending JPH07283628A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | ストリップラインの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07283628A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110293484A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-10-01 | 深圳市圆梦精密技术研究院 | 超声波加工机床 |
-
1994
- 1994-04-13 JP JP7498094A patent/JPH07283628A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110293484A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-10-01 | 深圳市圆梦精密技术研究院 | 超声波加工机床 |
| CN110293484B (zh) * | 2019-06-28 | 2023-12-22 | 深圳市圆梦精密技术研究院 | 超声波加工机床 |
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