JPS63313894A - レ−ザ−による配線基板の外形加工法 - Google Patents

レ−ザ−による配線基板の外形加工法

Info

Publication number
JPS63313894A
JPS63313894A JP62150422A JP15042287A JPS63313894A JP S63313894 A JPS63313894 A JP S63313894A JP 62150422 A JP62150422 A JP 62150422A JP 15042287 A JP15042287 A JP 15042287A JP S63313894 A JPS63313894 A JP S63313894A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
external shape
substrate material
cut
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62150422A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0736466B2 (ja
Inventor
Shiro Akama
史朗 赤間
Junichi Takiguchi
瀧口 潤一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Mektron KK
Original Assignee
Nippon Mektron KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Mektron KK filed Critical Nippon Mektron KK
Priority to JP62150422A priority Critical patent/JPH0736466B2/ja
Publication of JPS63313894A publication Critical patent/JPS63313894A/ja
Publication of JPH0736466B2 publication Critical patent/JPH0736466B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、レーザーによる印刷配線板用の絶縁基板の
外形加工法に関する。
〔従来の技術〕
印刷配線板は、回路部品を接続する電気配線を、回路設
計に基いて配線図形に表現し、これをフォト・エツチン
グ法などの技術によって、絶縁基板上に導電パターンを
形成した板であり、配線と部品搭載の両機能を持ってい
るものである。
この印刷配線板の製造工程においてこの基板の外形加工
は、所定の基板材料を型抜き装置の金型により打抜いて
行っている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、この金型による基板の外形加工では、金
型を準備しなくてはならず、その金型の製造に費用と時
間とを要し、複雑な形状の回路基板および基板樹脂の厚
み10μm以下の薄い基板を金型による型抜きに適用す
ることが難しく、更に、製作する必要の無くなった形状
に対する金型が不要となり、経済的ではない。
この発明は上述の背景に基づいてなされたものであり、
その目的とするところは、金型の製作に必要な費用や時
間を要せず、複雑な形状の基板の外形加工が可能であり
、厚みが10μm以下の薄物をも確実に外形加工するこ
とのできる方法を提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明者らは、上記の課題を解決するために種々の検討
を加えた結果、外形の加工にレーザーを使用すれば複雑
な形状でも、また、薄いものでも良好に切断し得るとの
知見を得た。しかしながら、レーザーによって焼き切る
ために基板樹脂の炭化物が外周に残り、この導電性の炭
化物が回路の導電性パターン間に跨り、回路を短絡させ
る恐れがある。本発明者はさらに検討して炭化物除去に
02プラズマ処理を応用すれば、発明の目的達成に有効
であることを見出し、この発明を完成するに至った。
すなわち、この発明の配線基板の外形加工法は、例えば
、フレキシブル配線板などの印刷配線板用絶縁基板材料
をレーザーにより所定の外形に切断し、外形切断された
基板用材料を02プラズマ処理してレーザー切断により
生じた基板樹脂の炭化物を除去することを特徴とするも
のである。
この発明の好ましい態様において、02プラズマ処理さ
れる外形切断後の基板用材料を超音波洗浄処理されたも
のとすることができる。
以下、この発明を、より詳細に説明する。
この発明において用いられる印刷配線用絶縁基板材料の
種類としては、通常にこの材料に用いられるものであり
、その様なものとして、例えばフェノール樹脂、エポキ
シ樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ
イミド樹脂、ポリエステル樹脂などの樹脂、およびこれ
らの樹脂と紙、布、およびガラス布などの基材との積層
体などがある。
この発明において、基板材料がレーザーにより外形加工
される。レーザーの種類は、加工法、被加工材料などに
応じて適宜選択することができ、その様な具体例として
、CO2レーザ−、アルゴンイオン・レーザー、ルビー
・レーザー、YAGレーザ−、エキシマレーザ−などが
ある。
レーザーによる加工は、種々の態様により実施すること
ができる。例えば、第2図に示すように、レーザービー
ム照射器2、自動X−Y軸移動テーブル3、およびこれ
らの運転を制御する制御手段4を備えたレーザー切断装
置1を用いて加工を行うことができる。この態様では、
先ず、自動X−Y軸移動テーブルに印刷配線板用絶縁基
板材料5を載せ、レーザービーム6を照射しながらテー
ブル3を動かしてその材料を所定の外形状に成形する。
この発明はこの態様に限定されず、種々の変形態様が可
能である。例えば、3次元ロボットアームの先端にレー
ザービーム照射器を設置すればレーザーによる3次元外
形加工を行うことができる。
レーザーによる外形加工でのし゛−ザーの諸条件は、そ
の加工条件に応じて適宜選択する、この発明において、
例えば、第一に、ビーム径をできるたけ小さくすること
、第二にビームのエネルギー密度をできるだけ大きくし
て照射時間をできるだけ短くすることなどの照射条件に
することにより、基板樹脂炭化物の発生を少なくするな
どの利点がある。
レーザーにより所定の外形に切断された基板用材料は、
次いで、02プラズマ処理される。この発明のこの処理
で、レーザー加工で生じた基板の燃焼残留物、すなわち
、炭化物が除去される。このプラズマ処理は、減圧下に
おけるグロー放電により材料、特に高分子材料表面を改
質する手段であり、この発明におけるプラズマ処理は、
酸素によるプラズマである。プラズマ処理の条件は、基
板樹脂の炭化物が実質的に完全に除去できるように選択
する。
第1図Aにこの発明による一態様の工程図を示す。
この発明において、プラズマ処理の前に種々の前処理を
施すことができる。例えば、加工基板に既に部品が搭載
されているとき、また、導電性パターンが形成されてい
るときなどに、それらをプラズマから保護するために保
護膜を形成しておくことができる。さらに、ある程度の
炭化物を除去するために、レーザー切断された基板を超
音波洗浄処理にかけてもよい。その超音波洗浄処理での
洗浄液、洗浄時間は、被処理物に最適のものに選択する
ことが好ましい。
第1図Bにこの態様の工程図を示す。
上記のように得られた基板を用いて、通常の工程を経て
印刷配線板に製造される。
〔作 用〕
この発明が上記のように構成されているので、下記の作
用を有する。
レーザーの持つ特徴は、可干渉性、単光性、指向性、大
強度などである。この発明において主に指向性および大
強度を利用して、基板材料を焼き切る。基板材料は有機
物からなるので、その焼き切る際にこの有機物が炭化し
てその切断部に残る。
この残留物は主に炭化物である。02のプラズマ雰囲気
では、活性気体粒子が存在し、この粒子により炭化物が
気体化されて基板から除去される。
〔実施例〕
この発明を、例によって具体的に説明する。
実施例1 フレキシブル配線板用絶縁基板材料(デュポン社製、ポ
リイミド樹脂、100X50X0、 025mm)を自
動X−Yテーブルに載せ、レーザー切断装置により、平
均出力0.3W、移動速度20mm/sの条件でレーザ
ービームを照射して外形切断した。この切断基板を、1
50W。
26kHz、2分間の条件で超音波処理を施して、炭化
物の一部を除去した。次いで、この基板を02プラズマ
処理装置に入れて、プラズマ処理した。
得られた基板には、その外周にあった炭化物は、完全に
除去されていた。
比較例1 02プラズマ処理および超音波処理をしなかったこと以
外、実施例1と同様に外形切断した。得られた基板の外
周には、多数の樹脂炭化物が付着していた。
実施例2 超音波処理をしなかったこと以外、実施例1と同様に外
形切断した。得られた基板には、その外周にあった炭化
物がほぼ完全に除去されていた。
〔発明の効果〕
この発明の方法によって次の効果を得ることができる。
一つの形状に対して、費用と製作時間のかかる金型を一
々作製する必要がなくなり、多品種少量生産にも対応で
きる。複雑な形状についても良好に外形切断することが
できる。
さらに、薄い基板であっても確実に切断することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の好ましい態様による工程図、第2図
はこの発明に用いることができるレーザー切断装置を示
す概略図である。 1・・・レーザー切断装置、2・・・レーザー照射器、
3・・・X−Yテーブル、4・・・制御手段、5・・・
基板材料、6・・・レーザービーム

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、印刷配線板用絶縁基板材料をレーザーにより所定の
    外形に切断し、外形切断された基板用材料をO_2プラ
    ズマ処理してレーザー切断により生じた基板樹脂の炭化
    物を除去することを特徴とするレーザーによる配線基板
    の外形加工法。 2.O_2プラズマ処理される外形切断後の基板用材料
    が超音波洗浄処理されたものでる、特許請求の範囲第1
    項記載のレーザーによる配線基板の外形加工法。 3、印刷配線板がフレキシブル配線板である、特許請求
    の範囲第1項記載のレーザーによる配線基板の外形加工
    法。
JP62150422A 1987-06-17 1987-06-17 レ−ザ−による配線基板の外形加工法 Expired - Lifetime JPH0736466B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62150422A JPH0736466B2 (ja) 1987-06-17 1987-06-17 レ−ザ−による配線基板の外形加工法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62150422A JPH0736466B2 (ja) 1987-06-17 1987-06-17 レ−ザ−による配線基板の外形加工法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63313894A true JPS63313894A (ja) 1988-12-21
JPH0736466B2 JPH0736466B2 (ja) 1995-04-19

Family

ID=15496593

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62150422A Expired - Lifetime JPH0736466B2 (ja) 1987-06-17 1987-06-17 レ−ザ−による配線基板の外形加工法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0736466B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105744746A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 统赢软性电路(珠海)有限公司 一种单面fpc板的制作方法
CN105744745A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 统赢软性电路(珠海)有限公司 一种多层fpc板的制作方法
WO2018062032A1 (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 住友化学株式会社 光学フィルム及び光学フィルムの製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52147775A (en) * 1976-06-03 1977-12-08 Nippon Electric Co Method of producing hybrid integrated circuit substrate
JPS5954233A (ja) * 1982-09-21 1984-03-29 Nec Corp 混成集積回路の製造方法
JPS60133784A (ja) * 1983-12-21 1985-07-16 キヤノン株式会社 フレキシブルプリント基板の製造方法
JPS60164396A (ja) * 1984-02-06 1985-08-27 日立化成工業株式会社 多層印刷配線板の製造方法
JPS60261684A (ja) * 1984-06-11 1985-12-24 Matsushita Electric Works Ltd 金属ベ−ス積層板の加工方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52147775A (en) * 1976-06-03 1977-12-08 Nippon Electric Co Method of producing hybrid integrated circuit substrate
JPS5954233A (ja) * 1982-09-21 1984-03-29 Nec Corp 混成集積回路の製造方法
JPS60133784A (ja) * 1983-12-21 1985-07-16 キヤノン株式会社 フレキシブルプリント基板の製造方法
JPS60164396A (ja) * 1984-02-06 1985-08-27 日立化成工業株式会社 多層印刷配線板の製造方法
JPS60261684A (ja) * 1984-06-11 1985-12-24 Matsushita Electric Works Ltd 金属ベ−ス積層板の加工方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105744746A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 统赢软性电路(珠海)有限公司 一种单面fpc板的制作方法
CN105744745A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 统赢软性电路(珠海)有限公司 一种多层fpc板的制作方法
WO2018062032A1 (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 住友化学株式会社 光学フィルム及び光学フィルムの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0736466B2 (ja) 1995-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100446052B1 (ko) 다수의갈바노스캐너를사용한레이저빔가공장치
JPH02198193A (ja) プリント基板の穴明け方法
JPH08116158A (ja) プリント回路板及びその製造方法
WO2007125799A1 (ja) レーザ加工方法及び装置
JP2000071086A (ja) レーザ光による形状加工方法及び装置
CN108811334B (zh) 一种印制电路板底部图形化盲槽的加工方法
KR20220016855A (ko) 레이저 가공 장치, 이를 작동하기 위한 방법, 및 이를 사용하여 피가공물을 가공하는 방법
JPH0687085A (ja) セラミック基板の分割方法
JPS63313894A (ja) レ−ザ−による配線基板の外形加工法
CN1457225A (zh) 一种激光刻蚀制作线路板的方法
JP3853690B2 (ja) フォトレジスト剥離除去方法
JPS6189636A (ja) 光加工方法
JPH10173318A (ja) プリント基板の製造方法
JPH08187588A (ja) レーザ加工方法
JPH04341826A (ja) 光造形装置
JPH04139786A (ja) 電子部品搭載用基板の外形加工装置
JP2001053450A (ja) ブラインドビアホールの形成方法
JP7233816B2 (ja) ウェーハの加工方法
JP2013254892A (ja) 配線基板の製造方法
CN114074223A (zh) 硅晶圆激光标记方法、系统及计算机设备
JPH06170570A (ja) フレキシブル配線基板の外形加工方法およびその装置
JP2004527923A (ja) 導体路基板の構造化方法および構造化装置
JP2616767B2 (ja) 光処理方法
TWM601505U (zh) 形成cof細密電路的系統以及刻製電路的系統
JPH04356384A (ja) レーザー照射装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080419

Year of fee payment: 13