JP3041090B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
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- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30136—Metal
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30141—Printed circuit board [PCB]
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属パネルのような平
らな反射面を有する部品を光の縞で走査し、そのパネル
をカバーするピクセル配列につき反射光のグレースケー
ル値を記録し、高速ビジョンプロセッサを用いてピクセ
ル配列のグレースケール値を処理して傷を同定すること
により、かかる部品に引っかき傷、打こん、穴傷、介在
物のような傷があるか否かを外観検査する装置に関す
る。さらに詳細には、有効範囲が限られたモジュラー型
ビジョンプロセッサーボードを用いて大型パネルをオン
ラインで検査し、傷の存在を示すデータを減少させて処
理スピードを高めたかかる装置に関する。
らな反射面を有する部品を光の縞で走査し、そのパネル
をカバーするピクセル配列につき反射光のグレースケー
ル値を記録し、高速ビジョンプロセッサを用いてピクセ
ル配列のグレースケール値を処理して傷を同定すること
により、かかる部品に引っかき傷、打こん、穴傷、介在
物のような傷があるか否かを外観検査する装置に関す
る。さらに詳細には、有効範囲が限られたモジュラー型
ビジョンプロセッサーボードを用いて大型パネルをオン
ラインで検査し、傷の存在を示すデータを減少させて処
理スピードを高めたかかる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント回路板の制作に用いる銅積層パ
ネルのような平らな部品の多くは、製造後、欠陥部品か
否かの識別のため検査の必要がある。これらの銅積層パ
ネルに見られる典型的な傷には、引っかき傷、打こん、
ある距離に亘るへこみ、ピン先ほどの小さな穴、介在物
等があり、何れもかかるパネルを用いるプリント回路板
に性能劣化をきたす可能性があるものである。小さな引
っかき傷、へこみ等は数が少ない場合大目に見ることが
できるが、かかる小さな傷も多数存在するとリジェクト
の原因となる。これまで、かかるパネルの検査はパネル
を一つづつ外観検査する作業員によって行われている。
従って、その検査は労働集約的でありコストが高くつ
く。また、検査員によりばらつきがでやすい。
ネルのような平らな部品の多くは、製造後、欠陥部品か
否かの識別のため検査の必要がある。これらの銅積層パ
ネルに見られる典型的な傷には、引っかき傷、打こん、
ある距離に亘るへこみ、ピン先ほどの小さな穴、介在物
等があり、何れもかかるパネルを用いるプリント回路板
に性能劣化をきたす可能性があるものである。小さな引
っかき傷、へこみ等は数が少ない場合大目に見ることが
できるが、かかる小さな傷も多数存在するとリジェクト
の原因となる。これまで、かかるパネルの検査はパネル
を一つづつ外観検査する作業員によって行われている。
従って、その検査は労働集約的でありコストが高くつ
く。また、検査員によりばらつきがでやすい。
【０００３】
【当該発明が解決しようとする課題】従って、本発明の
目的は、パネルや他の平らな反射面を持つ部品のため
の、高い信頼性を有しそれほど高価でない自動化システ
ムを提供することにある。
目的は、パネルや他の平らな反射面を持つ部品のため
の、高い信頼性を有しそれほど高価でない自動化システ
ムを提供することにある。
【０００４】本発明は、ほぼ平らな反射面を有する部品
の外観検査装置であって、ほぼ平らな反射面へ光を向け
る光源とほぼ平らな反射面により反射した光源からの光
のグレースケール値をピクセル毎に発生するカメラとよ
り成る光データ収集手段、カメラが発生するグレースケ
ール値のピクセル配列を蓄積する蓄積手段、所定のグレ
ースケール値を有するピクセル配列中のピクセルを同定
する画像処理ボード、及びビジョンプロセッサからな
り、ビジョンプロセッサが、同定したピクセルを評価し
てその評価に基づき出力を発生するプロセッサと、ピク
セル配列中のすべてのピクセルのグレースケール値が画
像処理ボードにより処理されるまで蓄積手段のピクセル
配列のフレームサイズ部分のグレースケール値を次々に
画像処理ボードへ順次転送する転送手段とからなり、転
送手段が、部品の端縁から所定の距離以上離れたほぼ平
らな反射面部分に対応する蓄積手段のピクセル配列の部
分だけのグレースケール値を画像処理ボードへ転送する
ことを特徴とする外観検査装置を提供する。
の外観検査装置であって、ほぼ平らな反射面へ光を向け
る光源とほぼ平らな反射面により反射した光源からの光
のグレースケール値をピクセル毎に発生するカメラとよ
り成る光データ収集手段、カメラが発生するグレースケ
ール値のピクセル配列を蓄積する蓄積手段、所定のグレ
ースケール値を有するピクセル配列中のピクセルを同定
する画像処理ボード、及びビジョンプロセッサからな
り、ビジョンプロセッサが、同定したピクセルを評価し
てその評価に基づき出力を発生するプロセッサと、ピク
セル配列中のすべてのピクセルのグレースケール値が画
像処理ボードにより処理されるまで蓄積手段のピクセル
配列のフレームサイズ部分のグレースケール値を次々に
画像処理ボードへ順次転送する転送手段とからなり、転
送手段が、部品の端縁から所定の距離以上離れたほぼ平
らな反射面部分に対応する蓄積手段のピクセル配列の部
分だけのグレースケール値を画像処理ボードへ転送する
ことを特徴とする外観検査装置を提供する。
【０００５】ほぼ平らな反射面を有する部品の検査にあ
たり、外観検査装置はその部品の反射面からの光のグレ
ースケール値のピクセル配列をオンラインで評価して引
っかき傷、打こん、穴傷、介在物のような種々の傷をつ
きとめる。本発明の１つの実施例による検査装置は、使
用時、画像処理ボードによりピクセル配列のグレースケ
ール値をしきい値と比較し、グレースケール値がしきい
値を超えるピクセルを同定するヒット表がこの画像処理
ボードにより作成される。グレースケール値は、ヒット
数を減少させて必要な処理量を少なくするため評価前に
フィルターを通される。この装置は、ヒットの総数が所
定の値を超えた部品をリジェクトするだけでなく、近く
のヒットを関連させて集合を形成し、その集合が所定数
以上のヒットを含むと部品をリジェクトする。本発明の
好ましい実施例において、画像処理ボードはピクセルの
グレースケール値を複数のしきい値と比較して集合中の
ヒットの重み付けカウントに基づき部品をリジェクトす
る。
たり、外観検査装置はその部品の反射面からの光のグレ
ースケール値のピクセル配列をオンラインで評価して引
っかき傷、打こん、穴傷、介在物のような種々の傷をつ
きとめる。本発明の１つの実施例による検査装置は、使
用時、画像処理ボードによりピクセル配列のグレースケ
ール値をしきい値と比較し、グレースケール値がしきい
値を超えるピクセルを同定するヒット表がこの画像処理
ボードにより作成される。グレースケール値は、ヒット
数を減少させて必要な処理量を少なくするため評価前に
フィルターを通される。この装置は、ヒットの総数が所
定の値を超えた部品をリジェクトするだけでなく、近く
のヒットを関連させて集合を形成し、その集合が所定数
以上のヒットを含むと部品をリジェクトする。本発明の
好ましい実施例において、画像処理ボードはピクセルの
グレースケール値を複数のしきい値と比較して集合中の
ヒットの重み付けカウントに基づき部品をリジェクトす
る。
【０００６】本発明の別の特徴として、画像処理ボード
が平らな反射面をカバーするピクセル配列の部分よりも
小さいフレームサイズを有することがある。本発明によ
れば、その平らな反射面をカバーするピクセル配列の部
分が、その面の画像全体が処理されるまで順次画像処理
ボードへ転送される。ヒット数を減少させて処理負担を
軽くするため、平らな反射面内のピクセルのグレースケ
ール値だけが画像処理ボードで送られて処理される。実
施例の装置では、部品の端縁から４分の１インチ以上内
側の面部分だけが評価される。画像処理ボードのフレー
ムサイズが平らな反射面をカバーするピクセル配列部分
の完全な倍数でない場合は、画像処理ボードへ転送され
るピクセル配列のフレームサイズ部分をオーバーラップ
させ、処理される全有効範囲が平らな反射面に維持され
ようにする。ピクセル配列のフレームサイズ部分のオー
バーラップ部分における二重のヒットは除去する。
が平らな反射面をカバーするピクセル配列の部分よりも
小さいフレームサイズを有することがある。本発明によ
れば、その平らな反射面をカバーするピクセル配列の部
分が、その面の画像全体が処理されるまで順次画像処理
ボードへ転送される。ヒット数を減少させて処理負担を
軽くするため、平らな反射面内のピクセルのグレースケ
ール値だけが画像処理ボードで送られて処理される。実
施例の装置では、部品の端縁から４分の１インチ以上内
側の面部分だけが評価される。画像処理ボードのフレー
ムサイズが平らな反射面をカバーするピクセル配列部分
の完全な倍数でない場合は、画像処理ボードへ転送され
るピクセル配列のフレームサイズ部分をオーバーラップ
させ、処理される全有効範囲が平らな反射面に維持され
ようにする。ピクセル配列のフレームサイズ部分のオー
バーラップ部分における二重のヒットは除去する。
【０００７】本発明を２つの平らな反射面を有するパネ
ルの検査に利用する場合、それぞれが１つの平らな反射
面に対応する１組のグレースケール値を発生させる２つ
の検査ステーションをパネルが順次通過するようにす
る。各面につき別個のピクセル配列をそれぞれ独立に発
生させる。画像は１つの画像処理ボードにより順次処理
させる。各ピクセル配列が画像処理ボードのフレームサ
イズよりも大きくて分割処理する必要があるため、反射
面の端縁からある特定の距離以上離れた部分だけを処理
し、これらの境界内にあるフレームサイズ部分をオーバ
ーラップさせ、生のグレースケール値をフィルターし、
ヒットを互いに関連させて集合を形成するような本発明
の特徴を用いると、処理負担が減少してあまり高価でな
い装置により検査をオンラインで行うことができる。
ルの検査に利用する場合、それぞれが１つの平らな反射
面に対応する１組のグレースケール値を発生させる２つ
の検査ステーションをパネルが順次通過するようにす
る。各面につき別個のピクセル配列をそれぞれ独立に発
生させる。画像は１つの画像処理ボードにより順次処理
させる。各ピクセル配列が画像処理ボードのフレームサ
イズよりも大きくて分割処理する必要があるため、反射
面の端縁からある特定の距離以上離れた部分だけを処理
し、これらの境界内にあるフレームサイズ部分をオーバ
ーラップさせ、生のグレースケール値をフィルターし、
ヒットを互いに関連させて集合を形成するような本発明
の特徴を用いると、処理負担が減少してあまり高価でな
い装置により検査をオンラインで行うことができる。
【０００８】以下、添付図面を参照して本発明を実施例
につき詳細に説明する。
につき詳細に説明する。
【０００９】
【実施例】本発明を、プリント回路板の製造に用いる銅
積層パネルの検査装置１に利用するものとして説明す
る。しかしながら、本発明が、傷や検出すべき他の特徴
の反射率が部品の平らな面の残りの部分と検出可能な程
度異なる広い範囲の平らな部品の検査を含む広い用途を
もつことが当業者には明らかであろう。
積層パネルの検査装置１に利用するものとして説明す
る。しかしながら、本発明が、傷や検出すべき他の特徴
の反射率が部品の平らな面の残りの部分と検出可能な程
度異なる広い範囲の平らな部品の検査を含む広い用途を
もつことが当業者には明らかであろう。
【００１０】本発明の装置１は２つの検査ステーション
３Ａ、３Ｂを有し、それぞれのステーションが銅積層パ
ネル５の各面の検査を担当する。反転転送ステーション
７は、ステーション３Ｂで第２の面の検査を行うため第
１のステーション３Ａで第１の面の検査を完了した後パ
ネル５を反転させる。
３Ａ、３Ｂを有し、それぞれのステーションが銅積層パ
ネル５の各面の検査を担当する。反転転送ステーション
７は、ステーション３Ｂで第２の面の検査を行うため第
１のステーション３Ａで第１の面の検査を完了した後パ
ネル５を反転させる。
【００１１】各検査ステーション３Ａ及び３Ｂはそれぞ
れベルトコンベア９Ａ、９Ｂを具備する。パネル５はフ
ィーダ装置（図示せず）によりコンベアベルト９Ａ上に
載置され、反転転送ステーション７によりコンベアベル
ト９Ａから９Ｂへ転送される。公知の反転転送ステーシ
ョン７は、ローラーコンベア１３のローラーセクション
と介在配列された多数の軸方向に変位したディスク１１
を有する。これらのディスク１１は多数の角度変位した
スロット１５を有し、これらのスロットがコンベア９Ａ
からパネル５を受け取る。ディスク１１は、コンベア９
Ａ、９Ｂの作動と同期して割出されることによりパネル
を反転して第１の検査ステーション３Ａから第２の検査
ステーション３Ｂへパネルを転送する。
れベルトコンベア９Ａ、９Ｂを具備する。パネル５はフ
ィーダ装置（図示せず）によりコンベアベルト９Ａ上に
載置され、反転転送ステーション７によりコンベアベル
ト９Ａから９Ｂへ転送される。公知の反転転送ステーシ
ョン７は、ローラーコンベア１３のローラーセクション
と介在配列された多数の軸方向に変位したディスク１１
を有する。これらのディスク１１は多数の角度変位した
スロット１５を有し、これらのスロットがコンベア９Ａ
からパネル５を受け取る。ディスク１１は、コンベア９
Ａ、９Ｂの作動と同期して割出されることによりパネル
を反転して第１の検査ステーション３Ａから第２の検査
ステーション３Ｂへパネルを転送する。
【００１２】パネル５がコンベアベルト９Ａまたは９Ｂ
により搬送される際、パネルの前端部がそれぞれセンサ
ー１７Ａまたは１７Ｂにより検知される。実施例の装置
では、センサー１７Ａ、１７Ｂとしてオプトセンサーを
用いる。コンベア９Ａ、９Ｂはパネル５を前進させて光
データ収集手段１９Ａ、１９Ｂを通過させる。これらの
光データ収集手段は蛍光ストリップランプ２１Ａ、２１
Ｂを有し、これらのランプは縞状の光を、移動するパネ
ル上においてパネルの進行方向を横切る方向に向ける。
縞状の光はパネルに９０度以下の入射角で入射し、カメ
ラ２３Ａ、２３Ｂの方へ反射する。各カメラは、パネル
５の幅全体に亘って延び進行方向に１２ミルの長さを有
する領域に収束された単一列２０４８個のＣＣＤ（電荷
結合素子）より成る。パネル５がカメラの視線を横切る
と、パネルの画像に関するビデオ情報がラインごとに形
成される。このビデオ情報はデジタル化され、キャビネ
ット２７内のビジョンプロセッサの大きなメモリに蓄積
される。キャビネット２７はまた、ビデオモニター２
９、オペレータインターフェイス用のデータエントリー
・ターミナル３１、及びこの装置が発生する傷に関する
レポートのハードコピーを作成するプリンター３３を収
納している。
により搬送される際、パネルの前端部がそれぞれセンサ
ー１７Ａまたは１７Ｂにより検知される。実施例の装置
では、センサー１７Ａ、１７Ｂとしてオプトセンサーを
用いる。コンベア９Ａ、９Ｂはパネル５を前進させて光
データ収集手段１９Ａ、１９Ｂを通過させる。これらの
光データ収集手段は蛍光ストリップランプ２１Ａ、２１
Ｂを有し、これらのランプは縞状の光を、移動するパネ
ル上においてパネルの進行方向を横切る方向に向ける。
縞状の光はパネルに９０度以下の入射角で入射し、カメ
ラ２３Ａ、２３Ｂの方へ反射する。各カメラは、パネル
５の幅全体に亘って延び進行方向に１２ミルの長さを有
する領域に収束された単一列２０４８個のＣＣＤ（電荷
結合素子）より成る。パネル５がカメラの視線を横切る
と、パネルの画像に関するビデオ情報がラインごとに形
成される。このビデオ情報はデジタル化され、キャビネ
ット２７内のビジョンプロセッサの大きなメモリに蓄積
される。キャビネット２７はまた、ビデオモニター２
９、オペレータインターフェイス用のデータエントリー
・ターミナル３１、及びこの装置が発生する傷に関する
レポートのハードコピーを作成するプリンター３３を収
納している。
【００１３】各検査ステーション３Ａ、３Ｂはまた、関
連のコンベア９Ａ、９Ｂの駆動ロールに取り付けた光エ
ンコーダ３５Ａ、３５Ｂを有する。これらの光エンコー
ダはシャフト位置を介して間接的にベルト速度を測定す
る。パネル５の前端部がカメラ２３Ａまたは２３Ｂの視
線前方の一定距離のところに取り付けたオプトセンサー
１７Ａまたは１７Ｂの下を通過すると、パルスが発生す
る。パネルがオプトセンサーをトリガーした直後にこの
エンコーダの読みを取る。それに続いてパネルが視線の
近くまで来ているが未通過の時点で第２の読みを取る。
エンコーダの読みの差はその進行時間の平均速度に比例
する。計算した速度及び位置から、パネルがその視線に
到達する時間が計算によりおり求まる。その時点におい
て、ビデオプロセッサー２５が作動されてカメラ２３Ａ
または２３Ｂからのデータ入力を開始する。
連のコンベア９Ａ、９Ｂの駆動ロールに取り付けた光エ
ンコーダ３５Ａ、３５Ｂを有する。これらの光エンコー
ダはシャフト位置を介して間接的にベルト速度を測定す
る。パネル５の前端部がカメラ２３Ａまたは２３Ｂの視
線前方の一定距離のところに取り付けたオプトセンサー
１７Ａまたは１７Ｂの下を通過すると、パルスが発生す
る。パネルがオプトセンサーをトリガーした直後にこの
エンコーダの読みを取る。それに続いてパネルが視線の
近くまで来ているが未通過の時点で第２の読みを取る。
エンコーダの読みの差はその進行時間の平均速度に比例
する。計算した速度及び位置から、パネルがその視線に
到達する時間が計算によりおり求まる。その時点におい
て、ビデオプロセッサー２５が作動されてカメラ２３Ａ
または２３Ｂからのデータ入力を開始する。
【００１４】キャビネット２７に収納されたビデオプロ
セッサ２５のブロック図を図２に示す。この装置の種々
のコンポーネントはＶＭＥバス３７により相互接続され
ている。このプロセッサは、マイクロコンピュータ３
９、データエントリー・ターミナル３１、プリンタ３
３、ハードディスク・メモリ４１、フロッピーディスク
・メモリ４３及びそれらのコントローラ４５、光エンコ
ーダ３５Ａ、３５Ｂからの入力を与えるエンコーダ・イ
ンターフェイス４４、及びタイミング機能も有する並列
入力／出力ボード４７を有する。入力／出力ボード４７
はオプトアイソレータ・パネル４９とインターフェイス
し、このパネル４９がオプトセンサー１７Ａ、１７Ｂか
らの信号を隔離する。入力／出力ボード４７はまた、シ
ステムにより発生されるアラーム発生のための接点出力
をオプトアイソレータ・パネル４９を介して与えると共
に、コンベア９Ｂの下流においてリジェクトされたパネ
ルを分岐させるリジェクトステーション（図示せず）を
制御する信号を発生する。
セッサ２５のブロック図を図２に示す。この装置の種々
のコンポーネントはＶＭＥバス３７により相互接続され
ている。このプロセッサは、マイクロコンピュータ３
９、データエントリー・ターミナル３１、プリンタ３
３、ハードディスク・メモリ４１、フロッピーディスク
・メモリ４３及びそれらのコントローラ４５、光エンコ
ーダ３５Ａ、３５Ｂからの入力を与えるエンコーダ・イ
ンターフェイス４４、及びタイミング機能も有する並列
入力／出力ボード４７を有する。入力／出力ボード４７
はオプトアイソレータ・パネル４９とインターフェイス
し、このパネル４９がオプトセンサー１７Ａ、１７Ｂか
らの信号を隔離する。入力／出力ボード４７はまた、シ
ステムにより発生されるアラーム発生のための接点出力
をオプトアイソレータ・パネル４９を介して与えると共
に、コンベア９Ｂの下流においてリジェクトされたパネ
ルを分岐させるリジェクトステーション（図示せず）を
制御する信号を発生する。
【００１５】ビデオプロセッサー２５はまた画像処理パ
イプライン５１を有する。これらの画像処理パイプライ
ンはカメラ２３Ａ、２３Ｂを制御し、カメラからカメラ
コントローラ５３Ａ、５３Ｂを介してビデオ信号を受信
する。前述したように、画像処理パイプライン５１はＶ
ＭＥバス３７によりマイクロプロセッサ３９へ送信する
ため生のビデオデータを処理する。画像処理パイプライ
ンはまたビデオ信号をビデオモニター２９へ送る。
イプライン５１を有する。これらの画像処理パイプライ
ンはカメラ２３Ａ、２３Ｂを制御し、カメラからカメラ
コントローラ５３Ａ、５３Ｂを介してビデオ信号を受信
する。前述したように、画像処理パイプライン５１はＶ
ＭＥバス３７によりマイクロプロセッサ３９へ送信する
ため生のビデオデータを処理する。画像処理パイプライ
ンはまたビデオ信号をビデオモニター２９へ送る。
【００１６】画像処理パイプライン５１を図３において
ブロック図で示す。これらのパイプラインはすべてがＶ
ＭＥバス３７上にある多数の専用プロセッサーを有す
る。実施例の装置では、この専用プロセッサーはすべて
Ｄａｔｅ ＣｕｂｅＩｎｃ．により製造された画像処理
ボードである。各カメラ２３Ａ、２３Ｂは毎秒１０００
ラインの速度で直線列の素子をスイープして、図３でチ
ャンネル０及びチャンネル１信号として示したアナログ
電気信号を発生する。これらのアナログビデオ信号はラ
イン走査インターフェイスボード（ＭＡＸＳＣＡＮ）５
５Ａ、５５Ｂへ加えられ、これらのボードは捕捉ＲＯＩ
（ｒｅｇｉｏｎ ｏｆ ｉｎｔｅｒｅｓｔ）モジュール
５７Ａ、５７Ｂへの蓄積のためそのアナログ信号をデジ
タル化する。各捕捉ＲＯＩボード５７Ａ、５７Ｂは８ビ
ットの解像度をもち２０００×４０００のピクセルより
なるメモリアレーを有する。この装置が検査できる最大
のパネルは２０００×１５００のピクセル配列に対応し
たデータを発生するため、各捕捉ＲＯＩボード５７Ａ、
５７Ｂは２つの別個のパネルのデータを蓄積できる。従
って、前に検査したパネルのデータを読み出している間
次のパネルのデータを読み込むことができる。
ブロック図で示す。これらのパイプラインはすべてがＶ
ＭＥバス３７上にある多数の専用プロセッサーを有す
る。実施例の装置では、この専用プロセッサーはすべて
Ｄａｔｅ ＣｕｂｅＩｎｃ．により製造された画像処理
ボードである。各カメラ２３Ａ、２３Ｂは毎秒１０００
ラインの速度で直線列の素子をスイープして、図３でチ
ャンネル０及びチャンネル１信号として示したアナログ
電気信号を発生する。これらのアナログビデオ信号はラ
イン走査インターフェイスボード（ＭＡＸＳＣＡＮ）５
５Ａ、５５Ｂへ加えられ、これらのボードは捕捉ＲＯＩ
（ｒｅｇｉｏｎ ｏｆ ｉｎｔｅｒｅｓｔ）モジュール
５７Ａ、５７Ｂへの蓄積のためそのアナログ信号をデジ
タル化する。各捕捉ＲＯＩボード５７Ａ、５７Ｂは８ビ
ットの解像度をもち２０００×４０００のピクセルより
なるメモリアレーを有する。この装置が検査できる最大
のパネルは２０００×１５００のピクセル配列に対応し
たデータを発生するため、各捕捉ＲＯＩボード５７Ａ、
５７Ｂは２つの別個のパネルのデータを蓄積できる。従
って、前に検査したパネルのデータを読み出している間
次のパネルのデータを読み込むことができる。
【００１７】２つのカメラが捕らえた画像は、ラプラス
形フィルタとして構成したＭＡＸＳＩＧＭＡボード６３
へＲＳ−１７０ビデオフォーマットでライン６１を介し
て送信するため順番に並べられる。ＭＡＸＳＩＧＭＡボ
ード６３のフィルター済み出力はライン６５を介してＲ
Ｓ−１７０ビデオフォーマットでＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸ
ボード６７へ送られるが、このＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボ
ード６７は多レベルしきい値検出器である。ＦＥＡＴＵ
ＲＥＭＡＸボード６７はフィルター済みのグレースケー
ル値を多数の正及び負のしきい値と比較することができ
る。検出すべき傷の反射率はパネルの傷の無い部分と比
較して低いため、負のしきい値が用いられる。ＦＥＡＴ
ＵＲＥＭＡＸボード６７は、グレースケール値が所定の
負のしきい値よりも低いピクセルを同定するヒット表を
作成する。ヒット表はヒットのｘ、ｙ座標を記録し、ヒ
ットごとに到達した最も低いしきい値を示す２ビットの
情報を含む。ＭＡＸＳＩＧＭＡボード６３により実現さ
れるラプラス形フィルタ機能により、捕捉された像のグ
レースケール値のコントラストが増加するため、傷の端
縁の精細度が向上する。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６
７が用いるしきい値はこれらの端縁の特徴を検出する目
的で選択されるため、ヒット数、かくして処理すべきデ
ータ量が減少する。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７に
より作成されるヒット表に基づき、合格／不合格（リジ
ェクト）の決定がマイクロプロセッサ３９によりなされ
る。
形フィルタとして構成したＭＡＸＳＩＧＭＡボード６３
へＲＳ−１７０ビデオフォーマットでライン６１を介し
て送信するため順番に並べられる。ＭＡＸＳＩＧＭＡボ
ード６３のフィルター済み出力はライン６５を介してＲ
Ｓ−１７０ビデオフォーマットでＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸ
ボード６７へ送られるが、このＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボ
ード６７は多レベルしきい値検出器である。ＦＥＡＴＵ
ＲＥＭＡＸボード６７はフィルター済みのグレースケー
ル値を多数の正及び負のしきい値と比較することができ
る。検出すべき傷の反射率はパネルの傷の無い部分と比
較して低いため、負のしきい値が用いられる。ＦＥＡＴ
ＵＲＥＭＡＸボード６７は、グレースケール値が所定の
負のしきい値よりも低いピクセルを同定するヒット表を
作成する。ヒット表はヒットのｘ、ｙ座標を記録し、ヒ
ットごとに到達した最も低いしきい値を示す２ビットの
情報を含む。ＭＡＸＳＩＧＭＡボード６３により実現さ
れるラプラス形フィルタ機能により、捕捉された像のグ
レースケール値のコントラストが増加するため、傷の端
縁の精細度が向上する。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６
７が用いるしきい値はこれらの端縁の特徴を検出する目
的で選択されるため、ヒット数、かくして処理すべきデ
ータ量が減少する。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７に
より作成されるヒット表に基づき、合格／不合格（リジ
ェクト）の決定がマイクロプロセッサ３９によりなされ
る。
【００１８】デバッグの目的のため、ディスプレーＲＯ
Ｉボード６９は、選択したボード５７Ａまたは５７Ｂか
らのライン６１上の生のグレースケールデータあるいは
ライン６５上のＭＡＸＳＩＧＭＡボード６３のフィルタ
ー済み出力を選択して、その結果得られた画像をライン
７３を介してＭＡＸＧＲＡＰＨボード７１へ送る。ＭＡ
ＸＧＲＡＰＨボード７１は、デジタルプロセッサ３９か
らＶＭＥバス３７を介して受信した処理済みヒットデー
タをディスプレーＲＯＩボード６９から受信した画像の
上に重畳することができる。この複合画像はライン７５
を介してディスプレイモニター２９へ送られる。
Ｉボード６９は、選択したボード５７Ａまたは５７Ｂか
らのライン６１上の生のグレースケールデータあるいは
ライン６５上のＭＡＸＳＩＧＭＡボード６３のフィルタ
ー済み出力を選択して、その結果得られた画像をライン
７３を介してＭＡＸＧＲＡＰＨボード７１へ送る。ＭＡ
ＸＧＲＡＰＨボード７１は、デジタルプロセッサ３９か
らＶＭＥバス３７を介して受信した処理済みヒットデー
タをディスプレーＲＯＩボード６９から受信した画像の
上に重畳することができる。この複合画像はライン７５
を介してディスプレイモニター２９へ送られる。
【００１９】本発明の新規な特徴は、ＦＥＡＴＵＲＥＭ
ＡＸボード６７によるしきい値比較処理の実現にある。
画像のサイズ及び所望の解像度に基づき、パネル５の画
像を形成するには、２４インチ×１８インチの最も大き
いパネルについては、進行方向を横切る方向にほぼ２０
００個のピクセルを、また進行方向にはほぼ１５００個
のピクセルが必要である。しかしながら、ＦＥＡＴＵＲ
ＥＭＡＸボード６７の処理フレームは、進行方向に４８
３個のピクセル、またその進行方向を横切る方向では５
１２個のピクセルよりなる大きさに制限されている。パ
ネルの全体画像を所望の解像度で処理するためには、パ
ネル５をそれをカバーする多数のフレームに分割してこ
のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７により順次処理させ
る。また、本発明によれば、パネルの端縁部及びその背
景において多数のヒット、即ちしきい値到達箇所の発生
を回避することが重要である。その理由は、ＦＥＡＴＵ
ＲＥＭＡＸボード６７からヒット信号を受信するマイク
ロプロセッサにかかる処理負担が増加するからである。
従って、本発明によれば、しきい値比較処理はそのボー
ド上のピクセルだけに限定される。実施例の装置では、
パネルの端縁から０．２５インチ以上離れたピクセルだ
けが処理の対象となる。これは短所とはいえない。その
理由は、プリント回路板の端縁から１／４インチ以内の
所に部品を配置することはほとんどないからである。
ＡＸボード６７によるしきい値比較処理の実現にある。
画像のサイズ及び所望の解像度に基づき、パネル５の画
像を形成するには、２４インチ×１８インチの最も大き
いパネルについては、進行方向を横切る方向にほぼ２０
００個のピクセルを、また進行方向にはほぼ１５００個
のピクセルが必要である。しかしながら、ＦＥＡＴＵＲ
ＥＭＡＸボード６７の処理フレームは、進行方向に４８
３個のピクセル、またその進行方向を横切る方向では５
１２個のピクセルよりなる大きさに制限されている。パ
ネルの全体画像を所望の解像度で処理するためには、パ
ネル５をそれをカバーする多数のフレームに分割してこ
のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７により順次処理させ
る。また、本発明によれば、パネルの端縁部及びその背
景において多数のヒット、即ちしきい値到達箇所の発生
を回避することが重要である。その理由は、ＦＥＡＴＵ
ＲＥＭＡＸボード６７からヒット信号を受信するマイク
ロプロセッサにかかる処理負担が増加するからである。
従って、本発明によれば、しきい値比較処理はそのボー
ド上のピクセルだけに限定される。実施例の装置では、
パネルの端縁から０．２５インチ以上離れたピクセルだ
けが処理の対象となる。これは短所とはいえない。その
理由は、プリント回路板の端縁から１／４インチ以内の
所に部品を配置することはほとんどないからである。
【００２０】フレームサイズが５１２×４８３ピクセル
のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７を用いて大型パネル
を検査する方式を図４に示す。捕捉ＲＯＩボード５７に
蓄積される情報配列７７はピクセル２０４８個の幅があ
り、幅Ｗが２６．６インチの領域をカバーするため、解
像度は１インチ当り７７個のピクセルで、ピクセル当り
０．０１３インチである。情報配列７７はまたピクセル
２０４８個の高さを有し、コンベアに沿う長さＬが２
４．６インチであるため、解像度は１インチ当り８３．
３個のピクセルで、ピクセル当り０．０１２インチであ
る。実施例の装置により検査が可能な最大サイズのパネ
ルは、捕捉ＲＯＩボードの情報配列７７上に重畳した外
郭線７９により表される２４×２１センチの大きさであ
る。この装置により検査される最も小さいパネルは、図
４の外郭線８１で表される１２×１２インチの大きさで
ある。パネルがコンベア９Ａ上に装填されるとフィーダ
がパネルの左側の位置調整を行うため、パネルは捕捉Ｒ
ＯＩボードの情報配列７７内において左のマージンから
一定距離だけ全て離れた状態となる。加えて、オプトセ
ンサーとエンコーダにより上述したようなデータの捕獲
が開始され、そのため全てのパネルデータが捕捉ＲＯＩ
ボード情報配列の頂部から一定距離だけ離れた所でスタ
ートする。
のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７を用いて大型パネル
を検査する方式を図４に示す。捕捉ＲＯＩボード５７に
蓄積される情報配列７７はピクセル２０４８個の幅があ
り、幅Ｗが２６．６インチの領域をカバーするため、解
像度は１インチ当り７７個のピクセルで、ピクセル当り
０．０１３インチである。情報配列７７はまたピクセル
２０４８個の高さを有し、コンベアに沿う長さＬが２
４．６インチであるため、解像度は１インチ当り８３．
３個のピクセルで、ピクセル当り０．０１２インチであ
る。実施例の装置により検査が可能な最大サイズのパネ
ルは、捕捉ＲＯＩボードの情報配列７７上に重畳した外
郭線７９により表される２４×２１センチの大きさであ
る。この装置により検査される最も小さいパネルは、図
４の外郭線８１で表される１２×１２インチの大きさで
ある。パネルがコンベア９Ａ上に装填されるとフィーダ
がパネルの左側の位置調整を行うため、パネルは捕捉Ｒ
ＯＩボードの情報配列７７内において左のマージンから
一定距離だけ全て離れた状態となる。加えて、オプトセ
ンサーとエンコーダにより上述したようなデータの捕獲
が開始され、そのため全てのパネルデータが捕捉ＲＯＩ
ボード情報配列の頂部から一定距離だけ離れた所でスタ
ートする。
【００２１】この実施例の装置が検査するパネルが最も
小さいものであっても、そのパネルをカバーするに必要
なピクセル数はＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７のフレ
ームサイズよりも大きい。本発明によると、ＦＥＡＴＵ
ＲＥＭＡＸボード６７の５１２×４８３ピクセルのフレ
ームサイズに等しい大きさのセクション８３，８５，８
７，８９のようなセクションが次々にＦＥＡＴＵＲＥＭ
ＡＸボード６７へ転送されて処理される。上述したよう
に、また必要な処理量を減少するために、パネル画像の
端縁から１／４インチの距離Ｂ（図４）以上離れたセク
ションだけがＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７へ転送さ
れる。それぞれＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７のフレ
ームサイズに等しいセクションが順次、パネル全体の処
理が完了するまでＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７へ送
られる。右側または底部において完全なフレームよりも
小さい部分の処理が残る場合、フレームは画像のそれぞ
れ右及び／または底部から１／４インチ以内左または上
方へ移動され、セクション８５の左側部分９１、セクシ
ョン８７の上部９３及びセクション８９の部分９５，９
７で示す処理済みの領域とオーバラップする。その結果
生じる重畳性は全てデータを処理する際に除去されるこ
とが分かる。そのデータは一般的に極度にまばらである
ため、これが処理に負担をかけることはない。
小さいものであっても、そのパネルをカバーするに必要
なピクセル数はＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７のフレ
ームサイズよりも大きい。本発明によると、ＦＥＡＴＵ
ＲＥＭＡＸボード６７の５１２×４８３ピクセルのフレ
ームサイズに等しい大きさのセクション８３，８５，８
７，８９のようなセクションが次々にＦＥＡＴＵＲＥＭ
ＡＸボード６７へ転送されて処理される。上述したよう
に、また必要な処理量を減少するために、パネル画像の
端縁から１／４インチの距離Ｂ（図４）以上離れたセク
ションだけがＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７へ転送さ
れる。それぞれＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７のフレ
ームサイズに等しいセクションが順次、パネル全体の処
理が完了するまでＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７へ送
られる。右側または底部において完全なフレームよりも
小さい部分の処理が残る場合、フレームは画像のそれぞ
れ右及び／または底部から１／４インチ以内左または上
方へ移動され、セクション８５の左側部分９１、セクシ
ョン８７の上部９３及びセクション８９の部分９５，９
７で示す処理済みの領域とオーバラップする。その結果
生じる重畳性は全てデータを処理する際に除去されるこ
とが分かる。そのデータは一般的に極度にまばらである
ため、これが処理に負担をかけることはない。
【００２２】傷を突きとめるべくパネルを検査するにあ
たり、デジタル化されたビデオデータは、パネルが光デ
ータ収集手段の視線を通過するにつれてリアルタイムで
ボード５７Ａ，５７Ｂへ入力される。このデータ収集は
２つのチャンネル、即ちチャンネル０とチャンネル１で
それぞれ独立に行われ、このため検査ステーション３
Ａ，３Ｂでパネルの両側がそれぞれ検査される。
たり、デジタル化されたビデオデータは、パネルが光デ
ータ収集手段の視線を通過するにつれてリアルタイムで
ボード５７Ａ，５７Ｂへ入力される。このデータ収集は
２つのチャンネル、即ちチャンネル０とチャンネル１で
それぞれ独立に行われ、このため検査ステーション３
Ａ，３Ｂでパネルの両側がそれぞれ検査される。
【００２３】パネルの１つのチャンネルを処理するため
マイクロプロセッサ３９が実行する適当なプログラムの
フローチャートを図５に示す。フローチャートの参照番
号９９で示すように、オプトセンサー１７Ａまたは１７
Ｂからの割り込みによりパネルがカメラの視線に接近し
ていることが報告されると、そのパネルに識別のための
ディスクリプタ１０１が与えられる。次いで、入出力タ
イマーボード４７のタイマーが最初の速度測定を行うよ
うセットされ、エンコーダ３５Ａまたは３５Ｂにより発
生されるカウントが１０３で示すように全てクリアされ
る。タイマーがタイムアウトすると、エンコーダの読み
が取られ、１０５においてそれを用いてコンベア上のパ
ネル速度が計算される。次いで、１０７において、この
タイマーが、パネルがカメラの視線に到達する計算によ
り求めた時間にセットされる。このインターバルが終了
すると、信号がＭＡＸＳＣＡＮボード５５Ａまたは５５
Ｂへ送られて、１０９に示すように画像の捕捉が開始さ
れる。チャンネルの捕捉ＲＯＩボード５７Ａまたは５７
Ｂは、画像の捕捉が完了すると割り込み信号を発生す
る。１１１においてこの割り込み信号を受信するや否
や、捕捉された画像が１１３において順番に並べられ処
理可能な状態となる。１つのＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボー
ド６７が両方のチャンネルが発生する画像を処理するこ
とが分かる。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７の準備が
完了すると、画像のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７に
よる処理が１１５において開始される。前述したよう
に、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７はグレースケール
値が所定のしきい値よりも低いピクセルの数とこれらの
ピクセルのアドレス及び到達した最も低いしきい値を示
すヒット表を作成する。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６
７による処理が完了すると、処理された画像のヒット表
を表わすヒットディスクリプタが１１７において処理の
ため順番に並べられる。パネルをリジェクトすべきであ
るという指示のような、ヒットをこのように処理して得
た結果が１１９において受信され、そのチャンネルの最
終出力が１２１においてセットされる。例えば、そのパ
ネルをリジェクトすべきであるという指示が処理サブシ
ステムから受信されると、そのパネルを下流において分
岐させるようにとの出力がセットされる。チャンネル処
理が完了したことは１２３において指示され、プログラ
ムが１２５においてもう１つのパネルの検査ステーショ
ンへの接近するのを待つ。
マイクロプロセッサ３９が実行する適当なプログラムの
フローチャートを図５に示す。フローチャートの参照番
号９９で示すように、オプトセンサー１７Ａまたは１７
Ｂからの割り込みによりパネルがカメラの視線に接近し
ていることが報告されると、そのパネルに識別のための
ディスクリプタ１０１が与えられる。次いで、入出力タ
イマーボード４７のタイマーが最初の速度測定を行うよ
うセットされ、エンコーダ３５Ａまたは３５Ｂにより発
生されるカウントが１０３で示すように全てクリアされ
る。タイマーがタイムアウトすると、エンコーダの読み
が取られ、１０５においてそれを用いてコンベア上のパ
ネル速度が計算される。次いで、１０７において、この
タイマーが、パネルがカメラの視線に到達する計算によ
り求めた時間にセットされる。このインターバルが終了
すると、信号がＭＡＸＳＣＡＮボード５５Ａまたは５５
Ｂへ送られて、１０９に示すように画像の捕捉が開始さ
れる。チャンネルの捕捉ＲＯＩボード５７Ａまたは５７
Ｂは、画像の捕捉が完了すると割り込み信号を発生す
る。１１１においてこの割り込み信号を受信するや否
や、捕捉された画像が１１３において順番に並べられ処
理可能な状態となる。１つのＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボー
ド６７が両方のチャンネルが発生する画像を処理するこ
とが分かる。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７の準備が
完了すると、画像のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７に
よる処理が１１５において開始される。前述したよう
に、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７はグレースケール
値が所定のしきい値よりも低いピクセルの数とこれらの
ピクセルのアドレス及び到達した最も低いしきい値を示
すヒット表を作成する。ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６
７による処理が完了すると、処理された画像のヒット表
を表わすヒットディスクリプタが１１７において処理の
ため順番に並べられる。パネルをリジェクトすべきであ
るという指示のような、ヒットをこのように処理して得
た結果が１１９において受信され、そのチャンネルの最
終出力が１２１においてセットされる。例えば、そのパ
ネルをリジェクトすべきであるという指示が処理サブシ
ステムから受信されると、そのパネルを下流において分
岐させるようにとの出力がセットされる。チャンネル処
理が完了したことは１２３において指示され、プログラ
ムが１２５においてもう１つのパネルの検査ステーショ
ンへの接近するのを待つ。
【００２４】図５の１１５においてＦＥＡＴＵＲＥＭＡ
Ｘボード６７による処理が開始されると、図６に示した
ルーチンが実行される。このルーチンが１２７において
呼び出されると、捕捉ＲＯＩメモリーに蓄積されたピク
セル配列の各セクションの原点及びサイズ並びに任意の
オーバラップが１２９において計算され、１３１におい
てステートフラッグがＲＥＱＵＥＳＴへセットされる。
次いで、１３３で示すように捕捉ＲＯＩボードからの割
り込みを待つ。捕捉ＲＯＩボードは垂直帰線消去インタ
ーバルの開始時にこの割り込み信号を発生する。ＦＥＡ
ＴＵＲＥＭＡＸボード６７による処理は開始されたばか
りであるため、１３５でチェックをする時はヒットの処
理は進行中でない。１３７ではＲＥＱＵＥＳＴが存在す
るため、ステートフラッグは１３９においてＳＴＡＲＴ
にセットされ、そのためステートが１４１においてチェ
ックされるとプログラムが１４３においてピクセルのイ
ンデックスをフレームの最初のインデックスにセット
し、１４５においてしきい値をセットする。上述したよ
うに、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７には処理中のフ
レームの各ピクセルのグレースケール値と比較する４つ
のしきい値が与えられている。これらのしきい値がセッ
トされると、処理すべき入力チャンネルが１４７におい
てセットされ、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７が１４
９においてスタートする。次いで、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡ
Ｘボード６７がそのフレームの各ピクセルのグレースケ
ール値を４つのしきい値と比較してヒット、即ちグレー
スケール値が任意のしきい値よりも低いピクセルをヒッ
ト表に蓄積する。次いで、ステートフラッグが１５１に
おいてＭＩＤＤＬＥにセットされ、プログラムが次の割
り込みを待つ。捕捉ＲＯＩボードからの次の割り込み信
号が受信されるや否や、ピクセルインデックスが１５３
において次のフレームの最初のピクセルにセットされ、
次のフレームが１５５においてＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボ
ード６７により処理される。この間に、前のフレームの
ヒットカウントと前のフレームのヒットとがそれぞれ１
５７，１５９においてマイクロプロセッサへ送られる。
１６１においてさらに多くのフレームを処理すべきであ
ると判定された場合、ステートフラッグはＭＩＤＤＬＥ
のままでさらに別のフレームが同じように処理される。
パネルの捕捉ＲＯＩボードに蓄積された大型アレーを処
理するに必要な全てのフレームがＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸ
ボード６７により処理されると、ステートフラッグが１
６３においてＥＮＤにセットされる。次の捕捉ＲＯＩの
割り込みの後、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７の動作
が１６５で終了する。最後のボードのヒットカウントが
１６７において送られ、ステートフラッグが１７１でＤ
ＯＮＥにセットされる前に最後のフレームのヒットが１
６９で送られる。
Ｘボード６７による処理が開始されると、図６に示した
ルーチンが実行される。このルーチンが１２７において
呼び出されると、捕捉ＲＯＩメモリーに蓄積されたピク
セル配列の各セクションの原点及びサイズ並びに任意の
オーバラップが１２９において計算され、１３１におい
てステートフラッグがＲＥＱＵＥＳＴへセットされる。
次いで、１３３で示すように捕捉ＲＯＩボードからの割
り込みを待つ。捕捉ＲＯＩボードは垂直帰線消去インタ
ーバルの開始時にこの割り込み信号を発生する。ＦＥＡ
ＴＵＲＥＭＡＸボード６７による処理は開始されたばか
りであるため、１３５でチェックをする時はヒットの処
理は進行中でない。１３７ではＲＥＱＵＥＳＴが存在す
るため、ステートフラッグは１３９においてＳＴＡＲＴ
にセットされ、そのためステートが１４１においてチェ
ックされるとプログラムが１４３においてピクセルのイ
ンデックスをフレームの最初のインデックスにセット
し、１４５においてしきい値をセットする。上述したよ
うに、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７には処理中のフ
レームの各ピクセルのグレースケール値と比較する４つ
のしきい値が与えられている。これらのしきい値がセッ
トされると、処理すべき入力チャンネルが１４７におい
てセットされ、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７が１４
９においてスタートする。次いで、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡ
Ｘボード６７がそのフレームの各ピクセルのグレースケ
ール値を４つのしきい値と比較してヒット、即ちグレー
スケール値が任意のしきい値よりも低いピクセルをヒッ
ト表に蓄積する。次いで、ステートフラッグが１５１に
おいてＭＩＤＤＬＥにセットされ、プログラムが次の割
り込みを待つ。捕捉ＲＯＩボードからの次の割り込み信
号が受信されるや否や、ピクセルインデックスが１５３
において次のフレームの最初のピクセルにセットされ、
次のフレームが１５５においてＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボ
ード６７により処理される。この間に、前のフレームの
ヒットカウントと前のフレームのヒットとがそれぞれ１
５７，１５９においてマイクロプロセッサへ送られる。
１６１においてさらに多くのフレームを処理すべきであ
ると判定された場合、ステートフラッグはＭＩＤＤＬＥ
のままでさらに別のフレームが同じように処理される。
パネルの捕捉ＲＯＩボードに蓄積された大型アレーを処
理するに必要な全てのフレームがＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸ
ボード６７により処理されると、ステートフラッグが１
６３においてＥＮＤにセットされる。次の捕捉ＲＯＩの
割り込みの後、ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７の動作
が１６５で終了する。最後のボードのヒットカウントが
１６７において送られ、ステートフラッグが１７１でＤ
ＯＮＥにセットされる前に最後のフレームのヒットが１
６９で送られる。
【００２５】図６のフローチャートの１０９，１６９に
おいて要求されるＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７から
マイクロプロセッサへのヒットの転送を行うルーティー
ンのフローチャートを図７に示す。ヒットのｘ、ｙ座標
及び到達したしきい値のこの転送は極めて迅速に実行し
なければならず、処理中のデータが出る捕捉ＲＯＩボー
ドの垂直帰線消去インターバルの間に行われる。図７の
１７３で示すように、ＰＯＩＮＴＥＲがヒット表の蓄積
が開始されるマイクロプロセッサのメモリーの場所にセ
ットされ、コンピュータのメモリーへ転送されるヒット
数を追跡するパラメータＴＯＴＡＬが零で開始される。
次いで、１７５においてヒット表を送るループが入力さ
れるが、送られるヒット数は処理中のフレームのヒット
表に記録されたヒット数のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード
６７により作成されたカウントに等しい。そのヒットの
総数が送られるまで、ヒット表からの入力が１７７にお
いてフェッチされる。捕捉ＲＯＩピクセル配列のオーバ
ラップした部分においてヒットが二重に含まれるのを回
避するため、マイクロプロセッサは、ＦＥＡＴＵＲＥＭ
ＡＸボード６７により順次処理される捕捉ＲＯＩのフレ
ームサイズ部分を画定するにあたり、そのフレームの最
小ｘ、ｙ座標を特定してオーバーラップをなくする。従
って、考慮中のヒットのｘ、ｙ座標が１７９，１８１で
画定したオーバラップ領域内にない場合、そのヒットデ
ータはコンピュータのメモリー１８３にコピーされる。
次いで、パラメータＴＯＴＡＬ及びＰＯＩＮＴＥＲが１
８５においてインクリメントされる。次いで、捕捉ＲＯ
Ｉボードにより発生されるビデオアクティブ（ＶＡ）ビ
ットが１８７においてチェックされる。もしこのビデオ
アクティブビットにより捕捉ＲＯＩボードが垂直帰線消
去インターバル内にあることが示されると、ＣＯＵＮＴ
ＥＲが１９１においてデクリメントされ、ヒット表の追
加的なエントリーが同様にマイクロプロセッサのメモリ
ーへ送られる。ヒット表の全てのヒットの送信が完了し
たことが１７５で判定されると、あるいは捕捉ＲＯＩが
フィルタへ新しいフレームのデータを送信し始めたこと
が１８９において判定されると、マイクロプロセッサへ
実際に送られるヒット数を示すパラメータＡＣＴＵＡＬ
が１９３においてＴＯＴＡＬに等しい値にセットされ
る。さらに別のフレームの捕捉ＲＯＩ画像を処理すべき
ことを示すＲＥＳＴＡＲＴフラッグが１９５においてセ
ットされると、ルーティーンが１９９において呼び出し
プログラムに戻る前に、１９７においてＳＴＡＲＴ Ｎ
ＥＷ ＦＲＡＭＥフラッグがセットされる。
おいて要求されるＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７から
マイクロプロセッサへのヒットの転送を行うルーティー
ンのフローチャートを図７に示す。ヒットのｘ、ｙ座標
及び到達したしきい値のこの転送は極めて迅速に実行し
なければならず、処理中のデータが出る捕捉ＲＯＩボー
ドの垂直帰線消去インターバルの間に行われる。図７の
１７３で示すように、ＰＯＩＮＴＥＲがヒット表の蓄積
が開始されるマイクロプロセッサのメモリーの場所にセ
ットされ、コンピュータのメモリーへ転送されるヒット
数を追跡するパラメータＴＯＴＡＬが零で開始される。
次いで、１７５においてヒット表を送るループが入力さ
れるが、送られるヒット数は処理中のフレームのヒット
表に記録されたヒット数のＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード
６７により作成されたカウントに等しい。そのヒットの
総数が送られるまで、ヒット表からの入力が１７７にお
いてフェッチされる。捕捉ＲＯＩピクセル配列のオーバ
ラップした部分においてヒットが二重に含まれるのを回
避するため、マイクロプロセッサは、ＦＥＡＴＵＲＥＭ
ＡＸボード６７により順次処理される捕捉ＲＯＩのフレ
ームサイズ部分を画定するにあたり、そのフレームの最
小ｘ、ｙ座標を特定してオーバーラップをなくする。従
って、考慮中のヒットのｘ、ｙ座標が１７９，１８１で
画定したオーバラップ領域内にない場合、そのヒットデ
ータはコンピュータのメモリー１８３にコピーされる。
次いで、パラメータＴＯＴＡＬ及びＰＯＩＮＴＥＲが１
８５においてインクリメントされる。次いで、捕捉ＲＯ
Ｉボードにより発生されるビデオアクティブ（ＶＡ）ビ
ットが１８７においてチェックされる。もしこのビデオ
アクティブビットにより捕捉ＲＯＩボードが垂直帰線消
去インターバル内にあることが示されると、ＣＯＵＮＴ
ＥＲが１９１においてデクリメントされ、ヒット表の追
加的なエントリーが同様にマイクロプロセッサのメモリ
ーへ送られる。ヒット表の全てのヒットの送信が完了し
たことが１７５で判定されると、あるいは捕捉ＲＯＩが
フィルタへ新しいフレームのデータを送信し始めたこと
が１８９において判定されると、マイクロプロセッサへ
実際に送られるヒット数を示すパラメータＡＣＴＵＡＬ
が１９３においてＴＯＴＡＬに等しい値にセットされ
る。さらに別のフレームの捕捉ＲＯＩ画像を処理すべき
ことを示すＲＥＳＴＡＲＴフラッグが１９５においてセ
ットされると、ルーティーンが１９９において呼び出し
プログラムに戻る前に、１９７においてＳＴＡＲＴ Ｎ
ＥＷ ＦＲＡＭＥフラッグがセットされる。
【００２６】マイクロプロセッサ３９による画像及びヒ
ット表処理のフローチャートを図８に示す。２０１で示
すように検査モードの状態で、２０３においてオペレー
タがシステムとインターフェイス中であることを示すブ
レークキーが押されたと仮定すると、この検査モードは
メニューモードに入るため２０５で脱出する。もしオペ
レータがシステムとインターフェイス中でない場合、２
０７において画像が処理できる状態にあるか否かが判定
される。画像がかかる状態にある場合、画像内のパネル
の端縁の位置が２０９において決定される。次いで、パ
ネルの端縁のこの位置を用いてＭＡＸＧＲＡＰＨボード
７１上にボードの予想外郭線が描かれるが、これは、上
述したようにモニター２９上に表示を発生するのに用い
られる。オペレータが２１３においてプロットイネーブ
ルを選択している場合、測定したボードの外郭線もまた
２１５に示すようにＭＡＸＧＲＡＰＨ上にプロット可能
である。この測定したボードの外郭線は捕捉ＲＯＩボー
ドに蓄積した画像のグレースケール値からボード端縁の
位置を決定するルーティーンにより決定される。
ット表処理のフローチャートを図８に示す。２０１で示
すように検査モードの状態で、２０３においてオペレー
タがシステムとインターフェイス中であることを示すブ
レークキーが押されたと仮定すると、この検査モードは
メニューモードに入るため２０５で脱出する。もしオペ
レータがシステムとインターフェイス中でない場合、２
０７において画像が処理できる状態にあるか否かが判定
される。画像がかかる状態にある場合、画像内のパネル
の端縁の位置が２０９において決定される。次いで、パ
ネルの端縁のこの位置を用いてＭＡＸＧＲＡＰＨボード
７１上にボードの予想外郭線が描かれるが、これは、上
述したようにモニター２９上に表示を発生するのに用い
られる。オペレータが２１３においてプロットイネーブ
ルを選択している場合、測定したボードの外郭線もまた
２１５に示すようにＭＡＸＧＲＡＰＨ上にプロット可能
である。この測定したボードの外郭線は捕捉ＲＯＩボー
ドに蓄積した画像のグレースケール値からボード端縁の
位置を決定するルーティーンにより決定される。
【００２７】次に、ヒット表が順番待で処理可能状態に
あると２１７で判定された場合、パネルのヒットの総数
が２１９において決定される。このカウントが、グレー
スケール値が４つのしきい値のうち任意のものを越えた
ピクセルの数のカウントである。もしこの総ヒットカウ
ントが所定の値より大きいと２２１で判定された場合、
そのパネルはリジェクトされる。あるいは、近接するヒ
ットが集合または塊を形成するように互いに関連づけら
れ、２２３において各集合中のヒット数が計算により求
められる。次いで、２２５において最も大きい集合のサ
イズが決定され、もしこの最大集合のサイズがしきい値
を越えた場合、２２９においてリジェクトフラッグがセ
ットされる。次いで、これらのヒットが２３１に示すよ
うにパネルの外郭線上に重畳されたＭＡＸＧＲＡＰＨ上
にプロットされる。次に、２３３において示すように、
ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７から新しいヒット表の
データを受信するためメモリーが空にされ、その結果が
２３５においてプリンタ上に打ち出される。このループ
はマイクロプロセッサが検査モードにある限り繰り返さ
れる。
あると２１７で判定された場合、パネルのヒットの総数
が２１９において決定される。このカウントが、グレー
スケール値が４つのしきい値のうち任意のものを越えた
ピクセルの数のカウントである。もしこの総ヒットカウ
ントが所定の値より大きいと２２１で判定された場合、
そのパネルはリジェクトされる。あるいは、近接するヒ
ットが集合または塊を形成するように互いに関連づけら
れ、２２３において各集合中のヒット数が計算により求
められる。次いで、２２５において最も大きい集合のサ
イズが決定され、もしこの最大集合のサイズがしきい値
を越えた場合、２２９においてリジェクトフラッグがセ
ットされる。次いで、これらのヒットが２３１に示すよ
うにパネルの外郭線上に重畳されたＭＡＸＧＲＡＰＨ上
にプロットされる。次に、２３３において示すように、
ＦＥＡＴＵＲＥＭＡＸボード６７から新しいヒット表の
データを受信するためメモリーが空にされ、その結果が
２３５においてプリンタ上に打ち出される。このループ
はマイクロプロセッサが検査モードにある限り繰り返さ
れる。
【００２８】近接するヒットを互いに関連づけて集合を
形成し、各集合中のヒット数を計算により求めるルーテ
ィーンのフローチャートを、図９及び図１０に示す。こ
のルーティーンにより使用されるデータ構造を図１１乃
至図１３に示す。図１１は、ヒットに順次番号が付与さ
れ、それらのｘ、ｙ座標が蓄積されるヒット配列２３７
を示す。この配列には最大数のヒットまで蓄積が可能で
ある。この最大ヒット数は、許容可能な、しきい値を越
えるピクセルの上限に相当する。図１２の集合タッグ配
列２３９は、番号を付与されたヒットがいづれの集合に
属するかを示す関連集合の同定を可能にする。図１３の
集合配列２４１は識別記号をつけられた各集合の関連ヒ
ット数とどのヒットがその集合に関連するかの表示をリ
ストしたものである。“関連集合名”エントリー２４３
は、その集合がその上限まであと何個のヒットを含むこ
とができるかを示す表示を含ませるために図１３におい
て拡大されている。もし任意のパネルに上限のヒットを
含んだ集合がある場合、そのパネルはリジェクトされ
る。
形成し、各集合中のヒット数を計算により求めるルーテ
ィーンのフローチャートを、図９及び図１０に示す。こ
のルーティーンにより使用されるデータ構造を図１１乃
至図１３に示す。図１１は、ヒットに順次番号が付与さ
れ、それらのｘ、ｙ座標が蓄積されるヒット配列２３７
を示す。この配列には最大数のヒットまで蓄積が可能で
ある。この最大ヒット数は、許容可能な、しきい値を越
えるピクセルの上限に相当する。図１２の集合タッグ配
列２３９は、番号を付与されたヒットがいづれの集合に
属するかを示す関連集合の同定を可能にする。図１３の
集合配列２４１は識別記号をつけられた各集合の関連ヒ
ット数とどのヒットがその集合に関連するかの表示をリ
ストしたものである。“関連集合名”エントリー２４３
は、その集合がその上限まであと何個のヒットを含むこ
とができるかを示す表示を含ませるために図１３におい
て拡大されている。もし任意のパネルに上限のヒットを
含んだ集合がある場合、そのパネルはリジェクトされ
る。
【００２９】図９及び図１０にかえって、問題のヒット
を指すパラメータＩＮＤＥＸが２４５において２にイニ
シアライズされる。これによりヒット配列の第２組の
ｘ、ｙ座標による処理が開始される。ＰＯＩＮＴＥＲと
表示した別のポインタが、２４７に示すようにＩＮＤＥ
Ｘよりも１つ小さい数にセットされる。次に、２４９に
おいて、ＩＮＤＥＸが指すヒットのｙ座標とＰＯＩＮＴ
ＥＲが指すヒットのｙ座標との間の距離Ｄｙが計算され
る。この距離Ｄｙが１つの集合を形成するよう関連づけ
られたヒット間の最大許容距離、Ｄｓｐａｃｉｎｇ、よ
りも小さいことが２５１において判定されると、２５３
において、同じ２つのヒットの距離Ｄｘの絶対値が計算
により求められる。もしＤｘがＤｓｐａｃｉｎｇよりも
小さいかそれに等しいと２５５において判定されると、
２５７においてＣＯＮＮＥＣＴＥＤフラッグが真にセッ
トされ、ＩＮＤＥＸ及びＰＯＩＮＴＥＲが指すヒット間
の距離が１つの集合を形成するのに十分に近いものであ
ることを示す。間隔Ｄｘがこれらのヒットが１つの集合
を形成するには余りにも大きすぎる場合、２５９におい
てＰＯＩＮＴＥＲがデクリメントされてヒット表を後方
に移動させ、問題のヒットがそのヒット表の前の全ての
ヒットに対して評価されたと２６１で判定されるまでこ
の近接テストが繰り返される。
を指すパラメータＩＮＤＥＸが２４５において２にイニ
シアライズされる。これによりヒット配列の第２組の
ｘ、ｙ座標による処理が開始される。ＰＯＩＮＴＥＲと
表示した別のポインタが、２４７に示すようにＩＮＤＥ
Ｘよりも１つ小さい数にセットされる。次に、２４９に
おいて、ＩＮＤＥＸが指すヒットのｙ座標とＰＯＩＮＴ
ＥＲが指すヒットのｙ座標との間の距離Ｄｙが計算され
る。この距離Ｄｙが１つの集合を形成するよう関連づけ
られたヒット間の最大許容距離、Ｄｓｐａｃｉｎｇ、よ
りも小さいことが２５１において判定されると、２５３
において、同じ２つのヒットの距離Ｄｘの絶対値が計算
により求められる。もしＤｘがＤｓｐａｃｉｎｇよりも
小さいかそれに等しいと２５５において判定されると、
２５７においてＣＯＮＮＥＣＴＥＤフラッグが真にセッ
トされ、ＩＮＤＥＸ及びＰＯＩＮＴＥＲが指すヒット間
の距離が１つの集合を形成するのに十分に近いものであ
ることを示す。間隔Ｄｘがこれらのヒットが１つの集合
を形成するには余りにも大きすぎる場合、２５９におい
てＰＯＩＮＴＥＲがデクリメントされてヒット表を後方
に移動させ、問題のヒットがそのヒット表の前の全ての
ヒットに対して評価されたと２６１で判定されるまでこ
の近接テストが繰り返される。
【００３０】ポインタＩＮＤＥＸにより選択されたヒッ
トの、ヒット表内の前にエントリーされた全てのヒット
に関する評価が終り、図１０の２６３におけるＣＯＮＮ
ＥＣＴＥＤフラッグの真状態により示されるように、そ
のヒットが近接パラメータ内にあることが判明すると、
そのヒットが関連する集合の集合タッグが２６５におい
てその集合タッグ配列内にエントリーされる。次いで、
集合配列のその集合の“ヒット数”の値が２６７におい
てインクリメントされ、ＩＮＤＥＸが指すヒットが、２
６９で示されるように、“関連集合”配列の“ヒット
数”により指示される位置にエントリーされる。次い
で、ポインターＩＮＤＥＸが２７１において１つだけイ
ンクリメントされる。もしそのヒットが前にエントリー
したヒットとそれ程近くなくてそれらの任意のものと関
連付けて１つの集合を形成することができず、そのため
２６３においてＣＯＮＮＥＣＴＥＤフラッグがセットさ
れない場合、２７３に示すように、ＩＮＤＥＸが指すヒ
ットの集合タッグ表に新しい集合が指示され、２７５に
おいて、その集合配列の対応する“ヒット数”のエント
リーが１に初期化される。次いで、２７７に示すよう
に、ＩＮＤＥＸが指すヒットが“関連集合”配列の新し
い集合の最初の位置にコピーされる。次いで、２７９に
おいて、次の集合につきＮＥＷ ＢＬＯＢが１だけイン
クリメントされ、２７１において、ＩＮＤＥＸがヒット
配列の次のヒットを選択すべくインクリメントされる。
ヒット表の全てのヒットの評価がまだ済んでいないと２
８１において判定されると、プログラムループは２４７
へ戻るか、あるいはルーティーンが２８３において脱出
する。
トの、ヒット表内の前にエントリーされた全てのヒット
に関する評価が終り、図１０の２６３におけるＣＯＮＮ
ＥＣＴＥＤフラッグの真状態により示されるように、そ
のヒットが近接パラメータ内にあることが判明すると、
そのヒットが関連する集合の集合タッグが２６５におい
てその集合タッグ配列内にエントリーされる。次いで、
集合配列のその集合の“ヒット数”の値が２６７におい
てインクリメントされ、ＩＮＤＥＸが指すヒットが、２
６９で示されるように、“関連集合”配列の“ヒット
数”により指示される位置にエントリーされる。次い
で、ポインターＩＮＤＥＸが２７１において１つだけイ
ンクリメントされる。もしそのヒットが前にエントリー
したヒットとそれ程近くなくてそれらの任意のものと関
連付けて１つの集合を形成することができず、そのため
２６３においてＣＯＮＮＥＣＴＥＤフラッグがセットさ
れない場合、２７３に示すように、ＩＮＤＥＸが指すヒ
ットの集合タッグ表に新しい集合が指示され、２７５に
おいて、その集合配列の対応する“ヒット数”のエント
リーが１に初期化される。次いで、２７７に示すよう
に、ＩＮＤＥＸが指すヒットが“関連集合”配列の新し
い集合の最初の位置にコピーされる。次いで、２７９に
おいて、次の集合につきＮＥＷ ＢＬＯＢが１だけイン
クリメントされ、２７１において、ＩＮＤＥＸがヒット
配列の次のヒットを選択すべくインクリメントされる。
ヒット表の全てのヒットの評価がまだ済んでいないと２
８１において判定されると、プログラムループは２４７
へ戻るか、あるいはルーティーンが２８３において脱出
する。
【００３１】上述した実施例の検査装置は有効範囲の狭
いビジョン処理装置による大きな領域のパネルの検査を
可能にする。さらに、処理時間だけでなく、検査装置が
オンラインで検査を行うに必要な容量を減少するため、
特定の傷を示すデータを減少することが可能である。
いビジョン処理装置による大きな領域のパネルの検査を
可能にする。さらに、処理時間だけでなく、検査装置が
オンラインで検査を行うに必要な容量を減少するため、
特定の傷を示すデータを減少することが可能である。
【図１】図１は平らなパネルの検査を行う装置の概略図
である。
である。
【図２】図２は図１の装置の一部を構成するビジョンプ
ロセッサの概略図である。
ロセッサの概略図である。
【図３】図３は図２のビジョンプロセッサの一部を形成
する画像パイプラインの概略図である。
する画像パイプラインの概略図である。
【図４】図４は図３の画像パイプラインが小さなフレー
ムサイズを有するモデュラーユニットを用いて大きなパ
ネルのデータを処理する態様を示す。
ムサイズを有するモデュラーユニットを用いて大きなパ
ネルのデータを処理する態様を示す。
【図５】図５は図１乃至図３に示した装置が用いる適当
なプログラムのフローチャートである。
なプログラムのフローチャートである。
【図６】図６は図１乃至図３に示した装置が用いる適当
なプログラムのフローチャートである。
なプログラムのフローチャートである。
【図７】図７は図１乃至図３に示した装置が用いる適当
なプログラムのフローチャートである。
なプログラムのフローチャートである。
【図８】図８は図１乃至図３に示した装置が用いる適当
なプログラムのフローチャートである。
なプログラムのフローチャートである。
【図９】図９は図１乃至図３に示した装置が用いる適当
なプログラムのフローチャートである。
なプログラムのフローチャートである。
【図１０】図１０は図１乃至図３に示した装置が用いる
適当なプログラムのフローチャートである。
適当なプログラムのフローチャートである。
【図１１】図１１は図１乃至図３に示した装置が用いる
適当なプログラムのフローチャートである。
適当なプログラムのフローチャートである。
【図１２】図１２は図５乃至図１０に説明したプログラ
ムが用いる配列のダイヤグラムである。
ムが用いる配列のダイヤグラムである。
【図１３】図１３は図５乃至図１０に説明したプログラ
ムが用いる配列のダイヤグラムである。
ムが用いる配列のダイヤグラムである。
１ 検査装置 ３Ａ，３Ｂ 検査ステーション ５ 銅積層パネル ７ 反転転送ステーション ９Ａ，９Ｂ ベルトコンベヤ １７Ａ，１７Ｂ センサー １９Ａ，１９Ｂ データ収集手段 ２１Ａ，２１Ｂ 蛍光ストリップランプ ２３Ａ，２３Ｂ カメラ ２７ キャビネット ２９ ビデオモニター ３１ データーエントリー・ターミナル ３３ プリンタ ３５Ａ，３５Ｂ 光エンコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エドワード チャールス ボーゴイン アメリカ合衆国 ペンシルベニア州 ノ ース ブラッドック ウルフ アベニュ ー 1522 (56)参考文献 米国特許4570180（ＵＳ，Ａ) 米国特許4811410（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G06T H05K 3/00
Claims (8)
- 【請求項１】 ほぼ平らな反射面を有する部品の外観検
査装置であって、ほぼ平らな反射面へ光を向ける光源と
ほぼ平らな反射面により反射した光源からの光のグレー
スケール値をピクセル毎に発生するカメラとより成る光
データ収集手段、カメラが発生するグレースケール値の
ピクセル配列を蓄積する蓄積手段、所定のグレースケー
ル値を有するピクセル配列中のピクセルを同定する画像
処理ボード、及びビジョンプロセッサからなり、 ビジョンプロセッサが、 同定したピクセルを評価してその評価に基づき出力を発
生するプロセッサと、 ピクセル配列中のすべてのピクセルのグレースケール値
が画像処理ボードにより処理されるまで蓄積手段のピク
セル配列のフレームサイズ部分のグレースケール値を次
々に画像処理ボードへ順次転送する転送手段とからな
り、 転送手段が、部品の端縁から所定の距離以上離れたほぼ
平らな反射面部分に対応する蓄積手段のピクセル配列の
部分だけのグレースケール値を画像処理ボードへ転送す
ることを 特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】 ほぼ平らな反射面の前記部分が画像処理
ボードのフレームサイズの完全な倍数でない場合、転送
手段が画像処理ボードへ転送される蓄積手段のピクセル
配列のフレームサイズ部分をオーバーラップさせると共
に画像処理ボードにより処理されるピクセル配列のオー
バーラップ部分内の同定されたピクセルが二重に含まれ
るのを阻止することを特徴とする請求項１に記載の装
置。 - 【請求項３】 ほぼ平らな反射面の傷が前記面よりも低
い反射率を有し、画像処理ボードが所定のしきい値以下
のグレースケール値を有するピクセルを同定することを
特徴とする請求項２に記載の装置。 - 【請求項４】 ビジョンプロセッサが、画像処理ボード
へ転送されるグレースケール値のコントラストを増加さ
せると共に画像処理ボードにより同定されるピクセル数
を減少することにより必要な処理量を軽減するフィルタ
を含むことをことを特徴とする請求項１、２または３に
記載の装置。 - 【請求項５】 ほぼ平らな第１及び第２の反射面を有す
るパネルの検査装置であって、光データ収集手段が、パ
ネルのほぼ平らな第１の反射面より反射した光に対応す
るピクセル毎の第１組のグレースケール値を発生する第
１の部分と、パネルの第２のほぼ平らな反射面より反射
した第２組のグレースケール値を発生する第２の部分と
よりなり、ビジョンプロセッサの蓄積手段が、第１組の
グレースケール値の第１のピクセル配列を蓄積する第１
の蓄積モジュールと、第２組のグレースケール値の第２
のピクセル配列を蓄積する第２の蓄積モジュールとより
なり、転送手段が、一方のピクセル配列のフレームサイ
ズ部分を順次画像処理ボードへ転送した後もう一方のピ
クセル配列のフレームサイズ部分を画像処理ボードへ順
次転送してグレースケール値がしきい値以下のピクセル
が同定されるように作動し、プロセッサが第１及び第２
のピクセル配列の両方から同定されたピクセルを評価す
ることを特徴とする請求項１、２、３または４に記載の
装置。 - 【請求項６】 プロセッサが、所定数のピクセルの中で
同定されたピクセルを別のピクセルと関連させて一つの
集合を形成し、その集合のピクセル数が所定の数を超え
るとリジェクト信号を発生するよう作動することを特徴
とする請求項１、２、３、４または５に記載の装置。 - 【請求項７】 画像処理ボードがピクセルのグレースケ
ール値を複数のしきい値と比較してそれぞれのしきい値
を超えるピクセルを同定し、プロセッサが集合に含まれ
るピクセルをそれぞれのしきい値により重み付けして集
合中のピクセルの重み付けした数に基づきリジェクト信
号を発生することを特徴とする請求項６に記載の装置。 - 【請求項８】 画像処理ボードが蓄積手段に蓄積された
ピクセル配列よりも小さいピクセル配列をカバーするフ
レームサイズを有することを特徴とする請求項１乃至７
に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/549,570 US5325443A (en) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | Vision system for inspecting a part having a substantially flat reflective surface |
| US549570 | 1990-07-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04270950A JPH04270950A (ja) | 1992-09-28 |
| JP3041090B2 true JP3041090B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=24193542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3190812A Expired - Lifetime JP3041090B2 (ja) | 1990-07-06 | 1991-07-05 | 外観検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5325443A (ja) |
| EP (1) | EP0465233A3 (ja) |
| JP (1) | JP3041090B2 (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5586058A (en) * | 1990-12-04 | 1996-12-17 | Orbot Instruments Ltd. | Apparatus and method for inspection of a patterned object by comparison thereof to a reference |
| DE4217623B4 (de) * | 1992-05-27 | 2008-02-07 | Windmöller & Hölscher Kg | Verfahren zur Prüfung der Ausbildung kontinuierlich geförderter Werkstücke |
| GB2270227A (en) * | 1992-08-28 | 1994-03-02 | Surface Inspection Ltd | Linescan visual monitoring system |
| JP2585594Y2 (ja) * | 1993-03-10 | 1998-11-18 | 株式会社イナックス | 表面凹凸検査システム |
| JP3078685B2 (ja) * | 1993-08-06 | 2000-08-21 | 松下電器産業株式会社 | 位置認識方法 |
| US6181837B1 (en) * | 1994-11-18 | 2001-01-30 | The Chase Manhattan Bank, N.A. | Electronic check image storage and retrieval system |
| JP2985160B2 (ja) * | 1995-03-01 | 1999-11-29 | 三菱電線工業株式会社 | Ｏリング検査装置 |
| JPH08313223A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Ls Electro Galvanizing Co | 移動ストリップを監視する方法と装置 |
| US5913105A (en) * | 1995-11-29 | 1999-06-15 | Advanced Micro Devices Inc | Method and system for recognizing scratch patterns on semiconductor wafers |
| US5768443A (en) * | 1995-12-19 | 1998-06-16 | Cognex Corporation | Method for coordinating multiple fields of view in multi-camera |
| JP2885694B2 (ja) * | 1996-04-25 | 1999-04-26 | 山口日本電気株式会社 | 半導体基板表面の自動外観検査装置 |
| JP3975408B2 (ja) * | 1996-08-20 | 2007-09-12 | ウステル・テヒノロジーズ・アクチエンゲゼルシヤフト | 繊維面組織における欠陥を認識する方法及び装置 |
| US5987159A (en) * | 1996-09-24 | 1999-11-16 | Cognex Corporation | System or method for detecting defect within a semi-opaque enclosure |
| US5970166A (en) * | 1996-09-24 | 1999-10-19 | Cognex Corporation | System or method for identifying contents of a semi-opaque envelope |
| US5949905A (en) * | 1996-10-23 | 1999-09-07 | Nichani; Sanjay | Model-based adaptive segmentation |
| US5757473A (en) * | 1996-11-13 | 1998-05-26 | Noranda, Inc. | Optical strain sensor for the measurement of microdeformations of surfaces |
| US5912984A (en) * | 1996-12-19 | 1999-06-15 | Cognex Corporation | Method and apparatus for in-line solder paste inspection |
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