JP2987577B2 - 鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り方法及び装置 - Google Patents
鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り方法及び装置Info
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- Storing, Repeated Paying-Out, And Re-Storing Of Elongated Articles (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は鋸ワイヤの巻き戻し
又は巻き取り方法及び装置に関する。更に詳しくは、こ
の装置はリールが回転するとき、鋸ワイヤが偏向ローラ
を介してリールから又は該リールに向かって延び、鋸ワ
イヤをリールから巻き戻すか又はリール上に巻き取るよ
うに構成されている。
又は巻き取り方法及び装置に関する。更に詳しくは、こ
の装置はリールが回転するとき、鋸ワイヤが偏向ローラ
を介してリールから又は該リールに向かって延び、鋸ワ
イヤをリールから巻き戻すか又はリール上に巻き取るよ
うに構成されている。
【０００２】
【従来の技術】前記の型の装置はワイヤソー、特に半導
体結晶のウェーハを切断するためのワイヤソーに使用さ
れる。かかるワイヤソーは、二つ又はそれ以上のワイヤ
案内ローラを備えた鋸ヘッドを有し、鋸ワイヤがそのヘ
ッドの周りに巻回される。鋸ワイヤは、隣接するワイヤ
案内ローラ間で、ワイヤゲートを形成している。該ワイ
ヤゲートは、張力装置と協力することによって切断工具
として使用され得る。結合された砥粒で被覆された鋸ワ
イヤが使用されるときは、張力装置なしで行うことがで
きる。
体結晶のウェーハを切断するためのワイヤソーに使用さ
れる。かかるワイヤソーは、二つ又はそれ以上のワイヤ
案内ローラを備えた鋸ヘッドを有し、鋸ワイヤがそのヘ
ッドの周りに巻回される。鋸ワイヤは、隣接するワイヤ
案内ローラ間で、ワイヤゲートを形成している。該ワイ
ヤゲートは、張力装置と協力することによって切断工具
として使用され得る。結合された砥粒で被覆された鋸ワ
イヤが使用されるときは、張力装置なしで行うことがで
きる。
【０００３】切断作業の間中、鋸ワイヤは貯蔵リールか
ら、偏向ローラからなる装置を経由して、ワイヤ案内ロ
ーラへ延びる。そしてこれらから、再び偏向ローラから
なる装置を経由して保持リールへ戻る。貯蔵リール及び
保持リールはこれらが数百キロメーターの長さを有する
鋸ワイヤを保持し得るように寸法付けられる。かかる非
常に長い鋸ワイヤは特に大径の結晶をウェーハに分割す
るために必要となる。巻回された状態においては、リー
ルは鋸ワイヤの長さに対応して高い重量を有している。
一般に、使用される鋸ワイヤは、切断されるべき結晶の
直径が大きくなれば、より長くする必要がある。
ら、偏向ローラからなる装置を経由して、ワイヤ案内ロ
ーラへ延びる。そしてこれらから、再び偏向ローラから
なる装置を経由して保持リールへ戻る。貯蔵リール及び
保持リールはこれらが数百キロメーターの長さを有する
鋸ワイヤを保持し得るように寸法付けられる。かかる非
常に長い鋸ワイヤは特に大径の結晶をウェーハに分割す
るために必要となる。巻回された状態においては、リー
ルは鋸ワイヤの長さに対応して高い重量を有している。
一般に、使用される鋸ワイヤは、切断されるべき結晶の
直径が大きくなれば、より長くする必要がある。
【０００４】２００ｍｍ及びそれ以上の直径を有するシ
リコンの様な、特に大きな直径の単一結晶を取り扱うと
き、ワイヤソーは、ワイヤ案内ローラの往復回転により
作動 され得る。この作動の型においては、以前に貯蔵リ
ールから巻き戻された鋸ワイヤの幾らかは、ワイヤ案内
ローラの回転方向が逆にされた後、貯蔵リール上に巻き
戻される。そしてこの往復作動が周期的に繰り返され
る。この方法においては、一定方向の回転を有するワイ
ヤソーを使用するときに可能であろう期間よりも、より
長い期間の使用が（貯蔵された利用し得るワイヤを使用
したとき）可能である。貯蔵及び保持リールのリール本
体ができるだけ長く、かつできるだけ小さい直径を有す
るように設計される。そのように設計することによっ
て、回転方向の変化の間中、生起する慣性モーメントは
より短く及びより大きい直径を有するリールの慣性モー
メントよりも低くなる。
リコンの様な、特に大きな直径の単一結晶を取り扱うと
き、ワイヤソーは、ワイヤ案内ローラの往復回転により
作動 され得る。この作動の型においては、以前に貯蔵リ
ールから巻き戻された鋸ワイヤの幾らかは、ワイヤ案内
ローラの回転方向が逆にされた後、貯蔵リール上に巻き
戻される。そしてこの往復作動が周期的に繰り返され
る。この方法においては、一定方向の回転を有するワイ
ヤソーを使用するときに可能であろう期間よりも、より
長い期間の使用が（貯蔵された利用し得るワイヤを使用
したとき）可能である。貯蔵及び保持リールのリール本
体ができるだけ長く、かつできるだけ小さい直径を有す
るように設計される。そのように設計することによっ
て、回転方向の変化の間中、生起する慣性モーメントは
より短く及びより大きい直径を有するリールの慣性モー
メントよりも低くなる。
【０００５】一般に、保持リールに向かってのびる鋸ワ
イヤは偏向ローラを経由し、その偏向ローラを、予め定
められたプログラムに従って、リール軸線に対して平行
に動かすことが有用である。これはワイヤ巻線が、これ
らが製造される過程で、リール軸線に沿って配置される
ことを保証する。往復作動において、ワイヤを保持リー
ルから巻き戻すとき、偏向ローラは逆の順序で精密に動
かされる。
イヤは偏向ローラを経由し、その偏向ローラを、予め定
められたプログラムに従って、リール軸線に対して平行
に動かすことが有用である。これはワイヤ巻線が、これ
らが製造される過程で、リール軸線に沿って配置される
ことを保証する。往復作動において、ワイヤを保持リー
ルから巻き戻すとき、偏向ローラは逆の順序で精密に動
かされる。
【０００６】往復作動において、鋸ワイヤを貯蔵リール
上へ巻付ける際に、鋸ワイヤは、ワイヤソーを制御する
コンピュータに予め入力されているプログラムに基づい
て、貯蔵リール上に分布巻回される。このことは、鋸ワ
イヤが貯蔵リール上に巻き付けられる前に、鋸ワイヤが
走行する偏向ローラを用いて行われる。偏向ローラは、
貯蔵リールの軸に対して平衡に動くように、前記プログ
ラムに基づいて自動制御される。
上へ巻付ける際に、鋸ワイヤは、ワイヤソーを制御する
コンピュータに予め入力されているプログラムに基づい
て、貯蔵リール上に分布巻回される。このことは、鋸ワ
イヤが貯蔵リール上に巻き付けられる前に、鋸ワイヤが
走行する偏向ローラを用いて行われる。偏向ローラは、
貯蔵リールの軸に対して平衡に動くように、前記プログ
ラムに基づいて自動制御される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この巻き戻し及び巻き
取り方法の欠点は、偏向ローラ装置以外のローラが偏向
ローラの運動に追随しないため、鋸ワイヤが偏向ローラ
の運動によって横方向に偏向されるということである。
鋸ワイヤの偏向は作用を受けた偏向ローラに過度の磨耗
を生じさせる。この現象は細長いリール本体を備えたリ
ールを使用するとき特に強調される。更に、この方法に
おいては鋸ワイヤの均一な予備緊張を達成するために、
複雑な方法によってリールの回転速度を調整する必要が
ある。偏向ローラがリール軸線に対して平行に動かされ
るとき、この偏向ローラと不動の追随偏向ローラとの間
のワイヤ長さが一定に変化し、かつそれゆえ鋸ワイヤの
予備緊張を行う。鋸ワイヤのリールからの巻き戻し又は
リール上への巻き取りに関する他の欠点は、巻回された
リールの大きい重量のため、関連のリール取り付け及び
取り外しが、前もって主に手で実施される必要があり、
かつ複雑であるということである。
取り方法の欠点は、偏向ローラ装置以外のローラが偏向
ローラの運動に追随しないため、鋸ワイヤが偏向ローラ
の運動によって横方向に偏向されるということである。
鋸ワイヤの偏向は作用を受けた偏向ローラに過度の磨耗
を生じさせる。この現象は細長いリール本体を備えたリ
ールを使用するとき特に強調される。更に、この方法に
おいては鋸ワイヤの均一な予備緊張を達成するために、
複雑な方法によってリールの回転速度を調整する必要が
ある。偏向ローラがリール軸線に対して平行に動かされ
るとき、この偏向ローラと不動の追随偏向ローラとの間
のワイヤ長さが一定に変化し、かつそれゆえ鋸ワイヤの
予備緊張を行う。鋸ワイヤのリールからの巻き戻し又は
リール上への巻き取りに関する他の欠点は、巻回された
リールの大きい重量のため、関連のリール取り付け及び
取り外しが、前もって主に手で実施される必要があり、
かつ複雑であるということである。
【０００８】それゆえ、本発明の目的は上述した欠点を
回避し、かつ鋸ワイヤのリールからの巻き戻し又はリー
ル上への巻き取りを簡単化することにある。
回避し、かつ鋸ワイヤのリールからの巻き戻し又はリー
ル上への巻き取りを簡単化することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】リールが回転し、かつ、
鋸ワイヤが偏向ローラを介してリールから又は該リール
に向かってのび、かつ、リール上の軸方向の所定の位置
を占め、前記鋸ワイヤが前記リールと前記偏向ローラと
の間の領域において、前記リールの回転軸に対し垂直に
整列されるように、前記リールが巻き戻されているか又
は巻き取られている間中、前記リールが前記回転軸に沿
って動かされ、かつ、前記偏向ローラに結合されたセン
サによって前記鋸ワイヤの前記回転軸の方向への偏移が
検出された場合に、前記偏向ローラが当該偏移に伴って
枢動運動することことにより達成される。
鋸ワイヤが偏向ローラを介してリールから又は該リール
に向かってのび、かつ、リール上の軸方向の所定の位置
を占め、前記鋸ワイヤが前記リールと前記偏向ローラと
の間の領域において、前記リールの回転軸に対し垂直に
整列されるように、前記リールが巻き戻されているか又
は巻き取られている間中、前記リールが前記回転軸に沿
って動かされ、かつ、前記偏向ローラに結合されたセン
サによって前記鋸ワイヤの前記回転軸の方向への偏移が
検出された場合に、前記偏向ローラが当該偏移に伴って
枢動運動することことにより達成される。
【００１０】実際には、巻き戻し又はリールに巻き取る
とき、偏向ローラよりむしろ、リールをその回転軸に沿
って動かす方がより好都合である。この方法は、結果と
して鋸ワイヤの横方向の偏向によって生じる偏向ローラ
の磨耗の増大を回避することができる。ワイヤ長さに影
響を及ぼす偏向ローラの運動がないので、鋸ワイヤの予
備緊張を維持するためにリール回転速度を調整するのが
かなり容易になる。
とき、偏向ローラよりむしろ、リールをその回転軸に沿
って動かす方がより好都合である。この方法は、結果と
して鋸ワイヤの横方向の偏向によって生じる偏向ローラ
の磨耗の増大を回避することができる。ワイヤ長さに影
響を及ぼす偏向ローラの運動がないので、鋸ワイヤの予
備緊張を維持するためにリール回転速度を調整するのが
かなり容易になる。
【００１１】本発明は、そのうえ、鋸ワイヤが偏向ロー
ラを介してリールから又は該リールに向かってのび、そ
して前記リール上の定義された軸方向位置を採る、回転
リー ルに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装置に
おいて該装置が、 ａ）前記リールがそれらの間に回転の中心軸をとり、か
つ、締め付けられる２つの締め付け要素を備えた締め付
け装置と、 ｂ）鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取りの間中、前記リー
ルをその回転軸に沿って動かすキャリッジ装置と、ｃ）前記キャリッジ装置の運動を制御するコンピュータ
と、 ｄ）前記リールから延びる前記鋸ワイヤの前記回転軸方
向に対する位置変化を検出するための感知装置と、 ｅ）前記回転軸に対する前記鋸ワイヤの運動によって偏
移され、かつ、コンピュータに記録された該偏移に対応
する信号を送信する位置送信機に接続されるセンサとを
備え、 ｆ）前記偏向ローラが、前記センサに結合され、かつ、
前記センサが偏移した場合に前記鋸ワイヤの前記回転軸
方向運動に対応する枢動運動を行なうことを特徴とする
回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装
置にも関する。
ラを介してリールから又は該リールに向かってのび、そ
して前記リール上の定義された軸方向位置を採る、回転
リー ルに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装置に
おいて該装置が、 ａ）前記リールがそれらの間に回転の中心軸をとり、か
つ、締め付けられる２つの締め付け要素を備えた締め付
け装置と、 ｂ）鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取りの間中、前記リー
ルをその回転軸に沿って動かすキャリッジ装置と、ｃ）前記キャリッジ装置の運動を制御するコンピュータ
と、 ｄ）前記リールから延びる前記鋸ワイヤの前記回転軸方
向に対する位置変化を検出するための感知装置と、 ｅ）前記回転軸に対する前記鋸ワイヤの運動によって偏
移され、かつ、コンピュータに記録された該偏移に対応
する信号を送信する位置送信機に接続されるセンサとを
備え、 ｆ）前記偏向ローラが、前記センサに結合され、かつ、
前記センサが偏移した場合に前記鋸ワイヤの前記回転軸
方向運動に対応する枢動運動を行なうことを特徴とする
回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装
置にも関する。
【００１２】本装置は、本方法を、特にリールの重量を
考慮して、リールの関連の取り付け及び取り外しを実施
し易いことを保証する。
考慮して、リールの関連の取り付け及び取り外しを実施
し易いことを保証する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下で、本発明について図面を参
照してより詳細に説明する。
照してより詳細に説明する。
【００１４】まず、図１を参照する。リール１は締め付
け装置４の２つの締め付け要素２及び３の間で両端から
締め付けられながら、リール１の回転軸線上を中心とし
て位置付けられる。締め付け装置４は、好ましくは空
気、油圧、磁気又は電気で作動され得る。リール１の回
転によって巻き戻される又は巻き取られる鋸ワイヤ５が
リール１のまわりに巻回される。巻き取り又は巻き戻し
の間中、鋸ワイヤは機枠６上の固定位置に取り付けられ
ている偏向ローラ７を介して延びる。リール１の回転運
動は、キャリッジ装置９上に載置されるモータ８によっ
て行われる。キャリッジ装置９はスピンドル駆動装置１
０を有し、その結果リール１はその回転軸に平行して移
動され得る。キャリッジ装置９が動かされるとき、接続
された枢動アーム１１がキャリッジ装置９とともに移動
される。枢動アーム１１は締め付け装置４の締め付け要
素２を支持する角度付き端部片を有している。枢動アー
ム１１はリールの回転軸に対して平行に延びる軸線のま
わりに枢動され得る。リール１、キャリッジ装置９及び
枢動アーム１１の運動は、好ましくはコンピュータ１２
によって制御される。
け装置４の２つの締め付け要素２及び３の間で両端から
締め付けられながら、リール１の回転軸線上を中心とし
て位置付けられる。締め付け装置４は、好ましくは空
気、油圧、磁気又は電気で作動され得る。リール１の回
転によって巻き戻される又は巻き取られる鋸ワイヤ５が
リール１のまわりに巻回される。巻き取り又は巻き戻し
の間中、鋸ワイヤは機枠６上の固定位置に取り付けられ
ている偏向ローラ７を介して延びる。リール１の回転運
動は、キャリッジ装置９上に載置されるモータ８によっ
て行われる。キャリッジ装置９はスピンドル駆動装置１
０を有し、その結果リール１はその回転軸に平行して移
動され得る。キャリッジ装置９が動かされるとき、接続
された枢動アーム１１がキャリッジ装置９とともに移動
される。枢動アーム１１は締め付け装置４の締め付け要
素２を支持する角度付き端部片を有している。枢動アー
ム１１はリールの回転軸に対して平行に延びる軸線のま
わりに枢動され得る。リール１、キャリッジ装置９及び
枢動アーム１１の運動は、好ましくはコンピュータ１２
によって制御される。
【００１５】リール１を取り外すためには、キャリッジ
装置９は外方位置に移動される。締め付け要素２は次い
で締め付け装置４によって引っ込められ、締め付け要素
によって保持されたリール端が取り外され、かつ任意に
移動し得るベンチの、リール１の下に配置された、載置
面１３上に落下する。次いで、枢動アーム１１がリール
保持位置から、およそ９０°回転して、リール開放位置
に枢動され、そしてキャリッジ装置９が外方位置から逆
に移動される。ベンチの載置面１３は、好ましくは、リ
ール１が移動されるときに、ベンチの載置面１３に載置
されたリール端が保持されるように形作られる。締め付
け要素３によって更に保持されるリール端は、キャリッ
ジ装置９の移動によって締め付け要素３から引き下ろさ
れ、かつ待機ベンチ上に落下する。
装置９は外方位置に移動される。締め付け要素２は次い
で締め付け装置４によって引っ込められ、締め付け要素
によって保持されたリール端が取り外され、かつ任意に
移動し得るベンチの、リール１の下に配置された、載置
面１３上に落下する。次いで、枢動アーム１１がリール
保持位置から、およそ９０°回転して、リール開放位置
に枢動され、そしてキャリッジ装置９が外方位置から逆
に移動される。ベンチの載置面１３は、好ましくは、リ
ール１が移動されるときに、ベンチの載置面１３に載置
されたリール端が保持されるように形作られる。締め付
け要素３によって更に保持されるリール端は、キャリッ
ジ装置９の移動によって締め付け要素３から引き下ろさ
れ、かつ待機ベンチ上に落下する。
【００１６】リール１の取り付けは、取り外しの順序と
逆の順序で行われる。取り付けは、適切であるならば、
締め付け要素へのリール端の挿入を容易にするためのマ
ニュピュレータ（図示せず）を使用することが可能であ
る。
逆の順序で行われる。取り付けは、適切であるならば、
締め付け要素へのリール端の挿入を容易にするためのマ
ニュピュレータ（図示せず）を使用することが可能であ
る。
【００１７】予め緊張された鋸ワイヤ５をリール１から
巻き戻す又はリール１上に巻き取るとき、リール１の回
転軸に向けて大きな力が作用し、リール１の内径を減少
させ、かつその軸方向長さを増加する。これはリール１
の軸中心取りをより困難にする。本発明のとくに好適な
実施例によれば、図２に示すように、軸中心取りを行い
易いリール１が使用される。リール１の回転軸を取り囲
む弾性的に変形可能なリング１４がリール１の内部に配
置される。リング１４は圧縮ピストン１５によって軸方
向に圧縮され、その過程の間中、リングは、リール１が
鋸ワイヤ５から生じる力により精密に軸中心取りされる
ように、変形される。
巻き戻す又はリール１上に巻き取るとき、リール１の回
転軸に向けて大きな力が作用し、リール１の内径を減少
させ、かつその軸方向長さを増加する。これはリール１
の軸中心取りをより困難にする。本発明のとくに好適な
実施例によれば、図２に示すように、軸中心取りを行い
易いリール１が使用される。リール１の回転軸を取り囲
む弾性的に変形可能なリング１４がリール１の内部に配
置される。リング１４は圧縮ピストン１５によって軸方
向に圧縮され、その過程の間中、リングは、リール１が
鋸ワイヤ５から生じる力により精密に軸中心取りされる
ように、変形される。
【００１８】巻き戻し又は巻き取り作業の間中、鋸ワイ
ヤ５は、リール１と偏向ローラ７との間の領域におい
て、リール１の回転軸に対して垂直に整列するように向
けられる。これに関連して、リール１は、キャリッジ装
置９によって、その回転軸に沿って動かされる。この運
動はリール１から又はリール１に向かって延びる鋸ワイ
ヤ５がリール１上で採る軸方向位置を変化させる。
ヤ５は、リール１と偏向ローラ７との間の領域におい
て、リール１の回転軸に対して垂直に整列するように向
けられる。これに関連して、リール１は、キャリッジ装
置９によって、その回転軸に沿って動かされる。この運
動はリール１から又はリール１に向かって延びる鋸ワイ
ヤ５がリール１上で採る軸方向位置を変化させる。
【００１９】鋸ワイヤ５を、保持リールとして使用され
るリール１上に巻き取るとき、ワイヤ巻線はリール１上
で互いに並び、かつ互いに層状に適宜に配置される。こ
れは軸をなすリール１が周期的に方向を変えながら運動
することによって起こる。鋸ワイヤ５が巻回されている
とき、保持リールは、コンピュータ１２に記憶されたプ
ログラムの結果に従い、その回転軸に沿って往復運動す
ることが好ましい。鋸ワイヤ５を保持リールから巻き戻
すとき、リール１はワイヤ５を巻回するときの移動に対
して逆の手順で動かされる。巻き取りのときのリール１
の移動手順はコンピュータ１２に記憶され、かつ巻き戻
し時のリール１の運動を制御するのに使用され得る。
るリール１上に巻き取るとき、ワイヤ巻線はリール１上
で互いに並び、かつ互いに層状に適宜に配置される。こ
れは軸をなすリール１が周期的に方向を変えながら運動
することによって起こる。鋸ワイヤ５が巻回されている
とき、保持リールは、コンピュータ１２に記憶されたプ
ログラムの結果に従い、その回転軸に沿って往復運動す
ることが好ましい。鋸ワイヤ５を保持リールから巻き戻
すとき、リール１はワイヤ５を巻回するときの移動に対
して逆の手順で動かされる。巻き取りのときのリール１
の移動手順はコンピュータ１２に記憶され、かつ巻き戻
し時のリール１の運動を制御するのに使用され得る。
【００２０】貯蔵リールとして使用されるリール１から
巻き戻すとき、リール１から延びる鋸ワイヤ５の軸方向
位置がどのように変化するかは精密には知られていな
い。巻き戻し時、鋸ワイヤ５によって実施される軸方向
移動は貯蔵リール上の鋸ワイヤ５の配置から結果として
生じる。それゆえ、リール１の回転軸に対しての鋸ワイ
ヤ５の運動を記録し、かつ貯蔵リールの回転軸方向の反
対の運動を引き起こす感知装置を設けることが提案され
る。
巻き戻すとき、リール１から延びる鋸ワイヤ５の軸方向
位置がどのように変化するかは精密には知られていな
い。巻き戻し時、鋸ワイヤ５によって実施される軸方向
移動は貯蔵リール上の鋸ワイヤ５の配置から結果として
生じる。それゆえ、リール１の回転軸に対しての鋸ワイ
ヤ５の運動を記録し、かつ貯蔵リールの回転軸方向の反
対の運動を引き起こす感知装置を設けることが提案され
る。
【００２１】図３は好適な感知装置１６を示している。
該感知装置１６は鋸ワイヤ５の軸方向移動を記録し、か
つ位置送信機１８に接続するセンサ１７からなる。鋸ワ
イヤ５の軸方向位置の変化を検出するとき、位置送信機
はコンピュータ１２に信号を送信する。信号によって、
コンピュータ１２は、鋸ワイヤ５がリール１の回転軸に
対して垂直に整列されるようにリール１の軸方向運動を
制御する。図示のセンサ１７は鋸ワイヤ５自体の軸方向
移動によって偏向される。センサ１７の枢動運動は、コ
ンピュータ１２に接続される錠止装置１９によって自動
的に位置規制される。特に好適な実施例によれば、偏向
ローラ７はセンサ１７に結合される。そして偏向ローラ
７はセンサ１７の偏向の場合に、鋸ワイヤ５の軸方向移
動に対応する枢動運動を実施する。これにより偏向ロー
ラ上の負荷増加及び偏向ローラの早期磨耗を回避するこ
とができる。
該感知装置１６は鋸ワイヤ５の軸方向移動を記録し、か
つ位置送信機１８に接続するセンサ１７からなる。鋸ワ
イヤ５の軸方向位置の変化を検出するとき、位置送信機
はコンピュータ１２に信号を送信する。信号によって、
コンピュータ１２は、鋸ワイヤ５がリール１の回転軸に
対して垂直に整列されるようにリール１の軸方向運動を
制御する。図示のセンサ１７は鋸ワイヤ５自体の軸方向
移動によって偏向される。センサ１７の枢動運動は、コ
ンピュータ１２に接続される錠止装置１９によって自動
的に位置規制される。特に好適な実施例によれば、偏向
ローラ７はセンサ１７に結合される。そして偏向ローラ
７はセンサ１７の偏向の場合に、鋸ワイヤ５の軸方向移
動に対応する枢動運動を実施する。これにより偏向ロー
ラ上の負荷増加及び偏向ローラの早期磨耗を回避するこ
とができる。
【００２２】鋸ワイヤ５を貯蔵リール上に巻き取ると
き、センサ１７は自動的に位置規制され、かつ鋸ワイヤ
案内としてのみ作用する。貯蔵リールはコンピュータ１
２に記憶された特別なプログラムに従って軸方向に動か
される。この場合に、鋸ワイヤはリール１と偏向ローラ
との間の領域において貯蔵リールの回転軸に対して垂直
に整列されている。
き、センサ１７は自動的に位置規制され、かつ鋸ワイヤ
案内としてのみ作用する。貯蔵リールはコンピュータ１
２に記憶された特別なプログラムに従って軸方向に動か
される。この場合に、鋸ワイヤはリール１と偏向ローラ
との間の領域において貯蔵リールの回転軸に対して垂直
に整列されている。
【００２３】以下に、本発明の実施形態を要約する。
【００２４】（１） リール１が回転し、かつ、鋸ワイ
ヤ５が偏向ローラ７を介してリール１から又は該リール
１に向かってのび、かつ、リール上の軸方向の所定の位
置を占め、鋸ワイヤ５をリール１から巻き戻すか又はリ
ール１上に巻き取る鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り
方法において、鋸ワイヤ５がリール１と偏向ローラ７と
の間の領域において、リール１の回転軸に対し垂直に整
列されるように、リール１が巻き戻されているか又は巻
き取られている間中、リール１が前記回転軸に沿って動
かされ、かつ、偏向ローラ７に結合されたセンサ１７に
よって前記鋸ワイヤの前記軸方向への偏移が検出された
場合に、偏向ローラ７が当該偏移に伴って枢動運動す
る、鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り方法。
ヤ５が偏向ローラ７を介してリール１から又は該リール
１に向かってのび、かつ、リール上の軸方向の所定の位
置を占め、鋸ワイヤ５をリール１から巻き戻すか又はリ
ール１上に巻き取る鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り
方法において、鋸ワイヤ５がリール１と偏向ローラ７と
の間の領域において、リール１の回転軸に対し垂直に整
列されるように、リール１が巻き戻されているか又は巻
き取られている間中、リール１が前記回転軸に沿って動
かされ、かつ、偏向ローラ７に結合されたセンサ１７に
よって前記鋸ワイヤの前記軸方向への偏移が検出された
場合に、偏向ローラ７が当該偏移に伴って枢動運動す
る、鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り方法。
【００２５】（２） 巻き戻しの間中、リール１から延
びる鋸ワイヤ５の軸方向位置の変化が感知装置によって
記録され、かつ、リール１が記録された変化の結果とし
てその回転軸に沿って動かされる、上記（１）に記載の
鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り方法。
びる鋸ワイヤ５の軸方向位置の変化が感知装置によって
記録され、かつ、リール１が記録された変化の結果とし
てその回転軸に沿って動かされる、上記（１）に記載の
鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り方法。
【００２６】（３） リール１がコンピュータ１２に記
憶されたプログラムの結果として巻き戻し又は巻き取り
作業の間中、その回転軸に沿って往復運動をする、上記
（１）に記載の鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り方
法。
憶されたプログラムの結果として巻き戻し又は巻き取り
作業の間中、その回転軸に沿って往復運動をする、上記
（１）に記載の鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り方
法。
【００２７】（４） 鋸ワイヤ５が偏向ローラ７を介し
てリール１から又はリール１に向かってのび、そして前
記リール１上の定義された軸方向位置を採る、回転リー
ル１に対する鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り装置に
おいて該装置が、 ａ）リール１がそれらの間に回転の中心軸をとり、か
つ、締め付けられる２つの締め付け要素２，３を備えた
締め付け装置４と、 ｂ）鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取りの間中、リール
１をその回転軸に沿って動かすキャリッジ装置９と、ｃ）キャリッジ装置９の運動を制御するコンピュータ１
２と、 ｄ）リール１から延びる鋸ワイヤ５の回転軸方向に対す
る位置変化を検出するための感知装置１６と、 ｅ）回転軸に対する前記鋸ワイヤ５の運動によって偏移
され、かつ、コンピュータ１２に記録された該偏移に対
応する信号を送信する位置送信機に接続されるセンサ１
７とを備え、 ｆ）偏向ローラ７が、センサ１７に結合され、かつ、セ
ンサ１７が偏移した場合に鋸ワイヤ５の前記回転軸方向
運動に対応する枢動運動を行なう、回転リール１に対す
る鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り装置。
てリール１から又はリール１に向かってのび、そして前
記リール１上の定義された軸方向位置を採る、回転リー
ル１に対する鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り装置に
おいて該装置が、 ａ）リール１がそれらの間に回転の中心軸をとり、か
つ、締め付けられる２つの締め付け要素２，３を備えた
締め付け装置４と、 ｂ）鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取りの間中、リール
１をその回転軸に沿って動かすキャリッジ装置９と、ｃ）キャリッジ装置９の運動を制御するコンピュータ１
２と、 ｄ）リール１から延びる鋸ワイヤ５の回転軸方向に対す
る位置変化を検出するための感知装置１６と、 ｅ）回転軸に対する前記鋸ワイヤ５の運動によって偏移
され、かつ、コンピュータ１２に記録された該偏移に対
応する信号を送信する位置送信機に接続されるセンサ１
７とを備え、 ｆ）偏向ローラ７が、センサ１７に結合され、かつ、セ
ンサ１７が偏移した場合に鋸ワイヤ５の前記回転軸方向
運動に対応する枢動運動を行なう、回転リール１に対す
る鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取り装置。
【００２８】（５） 締め付け装置４が空気、油圧、磁
石又は電気で作動される、上記（４）に記載の鋸ワイヤ
５の巻き戻し又は巻き取り装置。
石又は電気で作動される、上記（４）に記載の鋸ワイヤ
５の巻き戻し又は巻き取り装置。
【００２９】（６） 枢動アーム１１を有し、枢動アー
ム１１がキャリッジ装置９によって付随して動かされ、
締め付け要素２，３の１つに接続され、そしてリール保
持位置からリール解放位置へ枢動され得る、上記（４）
または（５）に記載の鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取
り装置。
ム１１がキャリッジ装置９によって付随して動かされ、
締め付け要素２，３の１つに接続され、そしてリール保
持位置からリール解放位置へ枢動され得る、上記（４）
または（５）に記載の鋸ワイヤ５の巻き戻し又は巻き取
り装置。
【００３０】（７） リール１の内部に配置され、か
つ、リール１の回転軸を取り囲む弾性的に変形可能なリ
ング１４を有し、そしてリング１４がそれによって軸方
向に圧縮される圧縮ピストン１５を有する、上記（４）
〜（６）のいずれか１つに記載の鋸ワイヤ５の巻き戻し
又は巻き取り装置。
つ、リール１の回転軸を取り囲む弾性的に変形可能なリ
ング１４を有し、そしてリング１４がそれによって軸方
向に圧縮される圧縮ピストン１５を有する、上記（４）
〜（６）のいずれか１つに記載の鋸ワイヤ５の巻き戻し
又は巻き取り装置。
【００３１】
【発明の効果】上述のように、本発明は、リールが回転
し、かつ、鋸ワイヤが偏向ローラを介してリールから又
は該リールに向かってのび、かつ、リール上の軸方向の
所定の位置を占め、鋸ワイヤをリールから巻き戻すか又
はリール上に巻き取り、前記鋸ワイヤが前記リールと前
記偏向ローラとの間の領域において、前記リールの回転
軸に対し垂直に整列されるように、前記リールが巻き戻
されているか又は巻き取られている間中、前記リールが
前記回転軸に沿って動かされ、かつ、前記偏向ローラに
結合されたセンサによって前記鋸ワイヤの前記回転軸の
方向への偏移が検出された場合に、前記偏向ローラが当
該偏移に伴って枢動運動することを特徴とする鋸ワイヤ
の巻き戻し又は巻き取り方法。、および鋸ワイヤが偏向
ローラを介してリールから又は該リールに向かっての
び、そして前記リール上の定義された軸方向位置を採
る、回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取
り装置において、該装置が、ａ）前記リールがそれらの
間に回転の中心軸をとり、かつ、締め付けられる２つの
締め付け要素を備えた締め付け装置と、ｂ）鋸ワイヤの
巻き戻し又は巻き取りの間中、前記リールをその回転軸
に沿って動かすキャリッジ装置と、ｃ）前記キャリッジ
装置の運動を制御するコンピュータと、ｄ）前記リール
から延びる前記鋸ワイヤの前記回転軸方向に対する位置
変化を検出するための感知装置と、ｅ）前記回転軸に対
する前記鋸ワイヤの運動によって偏移され、かつ、コン
ピュータに記録された該偏移に対応する 信号を送信する
位置送信機に接続されるセンサとを備え、ｆ）前記偏向
ローラが、前記センサに結合され、かつ、前記センサが
偏移した場合に前記鋸ワイヤの前記回転軸方向運動に対
応する枢動運動を行なうことを特徴とする回転リールに
対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装置である。こ
れにより従来技術の欠点を回避し、かつ、鋸ワイヤをリ
ールから巻き戻すか又はリール上に巻き取りを簡単化
し、回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取
り方法及び装置を提供することができる。
し、かつ、鋸ワイヤが偏向ローラを介してリールから又
は該リールに向かってのび、かつ、リール上の軸方向の
所定の位置を占め、鋸ワイヤをリールから巻き戻すか又
はリール上に巻き取り、前記鋸ワイヤが前記リールと前
記偏向ローラとの間の領域において、前記リールの回転
軸に対し垂直に整列されるように、前記リールが巻き戻
されているか又は巻き取られている間中、前記リールが
前記回転軸に沿って動かされ、かつ、前記偏向ローラに
結合されたセンサによって前記鋸ワイヤの前記回転軸の
方向への偏移が検出された場合に、前記偏向ローラが当
該偏移に伴って枢動運動することを特徴とする鋸ワイヤ
の巻き戻し又は巻き取り方法。、および鋸ワイヤが偏向
ローラを介してリールから又は該リールに向かっての
び、そして前記リール上の定義された軸方向位置を採
る、回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取
り装置において、該装置が、ａ）前記リールがそれらの
間に回転の中心軸をとり、かつ、締め付けられる２つの
締め付け要素を備えた締め付け装置と、ｂ）鋸ワイヤの
巻き戻し又は巻き取りの間中、前記リールをその回転軸
に沿って動かすキャリッジ装置と、ｃ）前記キャリッジ
装置の運動を制御するコンピュータと、ｄ）前記リール
から延びる前記鋸ワイヤの前記回転軸方向に対する位置
変化を検出するための感知装置と、ｅ）前記回転軸に対
する前記鋸ワイヤの運動によって偏移され、かつ、コン
ピュータに記録された該偏移に対応する 信号を送信する
位置送信機に接続されるセンサとを備え、ｆ）前記偏向
ローラが、前記センサに結合され、かつ、前記センサが
偏移した場合に前記鋸ワイヤの前記回転軸方向運動に対
応する枢動運動を行なうことを特徴とする回転リールに
対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装置である。こ
れにより従来技術の欠点を回避し、かつ、鋸ワイヤをリ
ールから巻き戻すか又はリール上に巻き取りを簡単化
し、回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取
り方法及び装置を提供することができる。
【図１】本発明による装置の好適な実施例を示す概略断
面図である。
面図である。
【図２】好適な設計のリールを備えた図１による装置を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図３】鋸ワイヤを巻き戻すとき使用され得る感知装置
を備えた、図１による装置を示す概略図である。
を備えた、図１による装置を示す概略図である。
１ リール ２ 締め付け要素 ３ 締め付け要素 ４ 締め付け装置 ５ 鋸ワイヤ ６ 機枠 ７ 偏向ローラ ８ モータ ９ キャリッジ装置 １０ スピンドル駆動装置 １１ 枢動アーム １２ コンピュータ １３ ベンチの載置面 １４ リング １５ 圧縮ピストン １６ 感知装置 １７ センサ １８ 位置送信機 １９ 錠止装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−135158（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04 B65H 54/28
Claims (2)
- 【請求項１】 リールが回転し、かつ、鋸ワイヤが偏向
ローラを介してリールから又は該リールに向かっての
び、かつ、リール上の軸方向の所定の位置を占め、鋸ワ
イヤをリールから巻き戻すか又はリール上に巻き取る鋸
ワイヤの巻き戻し又は巻き取り方法において、 前記鋸ワイヤが前記リールと前記偏向ローラとの間の領
域において、前記リー ルの回転軸に対し垂直に整列され
るように、前記リールが巻き戻されているか又は巻き取
られている間中、前記リールが前記回転軸に沿って動か
され、かつ、前記偏向ローラに結合されたセンサによっ
て前記鋸ワイヤの前記回転軸の方向への偏移が検出され
た場合に、前記偏向ローラが当該偏移に伴って枢動運動
することを特徴とする鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り
方法。 - 【請求項２】 鋸ワイヤが偏向ローラを介してリールか
ら又は該リールに向かってのび、そして前記リール上の
定義された軸方向位置を採る、回転リールに対する鋸ワ
イヤの巻き戻し又は巻き取り装置において該装置が、 ａ）前記リールがそれらの間に回転の中心軸をとり、か
つ、締め付けられる２つの締め付け要素を備えた締め付
け装置と、 ｂ）鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取りの間中、前記リー
ルをその回転軸に沿って動かすキャリッジ装置と、ｃ）前記キャリッジ装置の運動を制御するコンピュータ
と、 ｄ）前記リールから延びる前記鋸ワイヤの前記回転軸方
向に対する位置変化を検出するための感知装置と、 ｅ）前記回転軸に対する前記鋸ワイヤの運動によって偏
移され、かつ、コンピュータに記録された該偏移に対応
する信号を送信する位置送信機に接続されるセンサとを
備え、ｆ）前記偏向ローラが、前記センサに結合され、かつ、
前記センサが偏移した場合に前記鋸ワイヤの前記回転軸
方向運動に対応する枢動運動を行なうことを特 徴とする
回転リールに対する鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE197-23-630-8 | 1997-06-05 | ||
| DE19723630A DE19723630A1 (de) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | Verfahren und Vorrichtung zum Ab- oder Aufwickeln eines Sägedrahtes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1128655A JPH1128655A (ja) | 1999-02-02 |
| JP2987577B2 true JP2987577B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=7831515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10154785A Expired - Lifetime JP2987577B2 (ja) | 1997-06-05 | 1998-06-03 | 鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6073878A (ja) |
| JP (1) | JP2987577B2 (ja) |
| DE (1) | DE19723630A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6929210B2 (en) * | 2002-09-19 | 2005-08-16 | Berkeley Process Control, Inc. | Fiber payout follower |
| DE102006015030B3 (de) | 2006-03-31 | 2007-10-25 | Siemens Ag | Wickelmaschine zum Wickeln von fadenförmigem Wickelgut |
| DE102006018428B8 (de) * | 2006-04-20 | 2015-12-17 | Maschinenfabrik Niehoff Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Verlegen von langgestrecktem Wickelgut |
| US7878440B2 (en) * | 2008-11-05 | 2011-02-01 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Winder with pitch modulation at transverse limits |
| US8490658B2 (en) * | 2009-02-26 | 2013-07-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Automatic winding of wire field in wire slicing machine |
| EP2583777A1 (en) * | 2011-10-22 | 2013-04-24 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Clamping assembly for a wire guide of a wire saw |
| CN104828655A (zh) * | 2015-03-31 | 2015-08-12 | 攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 | 一种电缆收放装置 |
| CN113120690A (zh) * | 2021-04-13 | 2021-07-16 | 宜昌佳润纺织有限公司 | 一种涤纶丝牵伸设备 |
| CN117584301A (zh) * | 2021-11-01 | 2024-02-23 | 青岛高测科技股份有限公司 | 硅棒切割系统 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1140924A (en) * | 1913-10-20 | 1915-05-25 | Acme Wire Company | Winding-machine. |
| US3544035A (en) * | 1968-07-24 | 1970-12-01 | Kaiser Aluminium Chem Corp | Apparatus for coiling a web of rod-like material |
| FR2263970B1 (ja) * | 1974-03-13 | 1980-06-20 | Stein Kg Drahtzug Drahtfab | |
| US4422590A (en) * | 1981-09-17 | 1983-12-27 | Champion International Corporation | Stub shaft |
| JP3074007B2 (ja) * | 1990-09-25 | 2000-08-07 | 株式会社日平トヤマ | ワイヤーソー装置におけるリール駆動装置 |
| DE4243595A1 (de) * | 1992-12-22 | 1994-06-23 | Mag Masch App | Verfahren und Vorrichtung zum Aufwickeln von Rundmaterial auf eine mit Endflanschen versehene Spule |
| US5839514A (en) * | 1997-05-23 | 1998-11-24 | Fleet Cementers, Inc. | Method and apparatus for injection of tubing into wells |
-
1997
- 1997-06-05 DE DE19723630A patent/DE19723630A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-05-29 US US09/086,852 patent/US6073878A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-03 JP JP10154785A patent/JP2987577B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1128655A (ja) | 1999-02-02 |
| DE19723630A1 (de) | 1998-12-10 |
| US6073878A (en) | 2000-06-13 |
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