JP2959137B2 - 光偏向器 - Google Patents

光偏向器

Info

Publication number
JP2959137B2
JP2959137B2 JP1680991A JP1680991A JP2959137B2 JP 2959137 B2 JP2959137 B2 JP 2959137B2 JP 1680991 A JP1680991 A JP 1680991A JP 1680991 A JP1680991 A JP 1680991A JP 2959137 B2 JP2959137 B2 JP 2959137B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polygon mirror
mirror
flange
rotating sleeve
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1680991A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04243211A (ja
Inventor
正弘 高橋
直之 多田
貞二 佐田
大典 吉野
友晴 野中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP1680991A priority Critical patent/JP2959137B2/ja
Publication of JPH04243211A publication Critical patent/JPH04243211A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2959137B2 publication Critical patent/JP2959137B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、静電写真方式の複写機
やレーザープリンタの光書き込み系に使用される光偏向
器に係り、特に光偏向器を構成する回転多面鏡とこの回
転多面鏡を回転させる回転体とを固定し、上記回転多面
鏡の高速回転に伴う偏向歪みを低減した固定構造を有す
る光偏向器に関する。
【0002】
【従来の技術】静電写真方式の複写機やレーザープリン
タは、一般にレーザー等を光源として該光源からの光ビ
ームを感光体上に走査させ、該感光体上に形成した静電
潛像をトナーで現像することによって画像を形成するも
のである。図8は静電写真方式の複写機やレーザープリ
ンタにおける書き込み光学系の模式図であって、081
はレーザー等の光源、082はコリメートレンズ、08
3はミラー、084は回転多面鏡、085はfθレン
ズ、086は感光体、087は検出ミラー、088は光
センサーである。
【0003】同図において、画像信号に応じて変調され
たレーザー081からの光ビームは、コリメートレンズ
082によって平行光とされた後、ミラー083で回転
多面鏡084の鏡面に投写される。回転多面鏡084
は、矢印A方向に高速回転しており、一つの鏡面で反射
された光ビームは矢印B方向に走査され、fθレンズ0
85で走査角によるラスター位置の歪みが補正されて、
一様に帯電された感光体086表面上に静電潛像を形成
する。感光体086表面上の静電潛像は、図示しない現
像手段でトナーによって現像され、定着手段で固定され
て画像形成がなされる。
【0004】なお、光ビームの走査開始位置は、検出ミ
ラー087,センサー088で走査直前の光ビームを検
出し、検出信号を画像信号書き出し回路の書き出しタイ
ミングを調整する等の方法で制御される。上記回転多面
鏡は電動機で回転される回転軸に固定され、高速回転し
て光ビームを偏向させる光偏向器を構成する。
【0005】図9は従来のこの種の光偏向器を説明する
縦断面図であって、01は固定軸、02は動圧発生用の
ヘリングボーン状の動圧発生用溝、03は固定軸01を
固定する台座、04は固定軸01に回転自在に嵌挿した
回転スリーブ、05は多面鏡、06は回転スリーブのフ
ランジ、07はキャップフランジ、08は多面鏡固定用
ネジ、09は回転スリーブ04に固定した回転マグネツ
ト、010はバランスリング、011はステータコイ
ル、012はステータコア、013は基板、014は磁
気検出素子、015と016はステータおよび基板固定
用ネジ、017は下ケース、018は上ケース、019
は開口、020はウインドウガラス、021は下ケース
017と台座03を固定するネジ、022は空気溜まり
である。
【0006】同図において、固定軸01の一端は台座0
3に焼き嵌めあるいは圧入により固着されており、台座
03はネジ021により下ケース017に固定されてい
る。固定軸04の表面には、ラジアル軸受として働く動
圧発生用溝02が設けられている。ラジアル軸受は回転
軸に対して直角の方向に力が働いても、回転の中心が所
定の位置よりズレないようにするための軸受である。光
偏向器を構成する駆動部としての電動機の回転部は、固
定軸01と僅少間隙を隔てて嵌挿した部分であり、回転
スリーブ04とこの回転スリーブに圧入あるいは接着等
により固着された回転マグネット0およびバランスリン
グ010で構成されている。この回転部を構成する回転
スリーブ04には、軸方向と直角な面に平面を持つフラ
ンジ06が形成されており、このフランジ06の上記平
面に多面鏡05が載置され、キャップフランジ07で押
さえるようにネジ08を用いて固定される。この固定
は、多面鏡を貫通して形成した例えば3個の孔を上記フ
ランジ06に対応して形成した孔に合わせ、ネジ08を
挿通させて締めつけることによって行う。
【0007】一方、電動機のステータ部は、下ケース0
17にネジ17で固定された台座02に一端が固着され
た回転軸01、下ケース017にネジ020によって固
定されたステータコア012、ステータコアに巻回され
たステータコイル011からなる。ステータコア012
に支持される基板013上にはホール素子を好適とする
磁気検出素子014が搭載され、回転スリーブ04の回
転に伴うマグネツト09の磁束を検出する。マグネツト
09は永久磁石であり、対向するステータコア0との間
には磁気的吸引力が働いている。この吸引力は、マグネ
ット09とステータコア012との対向位置がモータの
軸方向(スラスト方向)にずれないようにする作用をす
る。つまり、図9において、マグネット09が上に移動
した時には前記吸引力に下方へ下げる成分が生じて回転
スリーブ04は引き下げられ、下に移動したときには、
上方に引き上げられる成分が生じて回転スリーブ04は
引き上げられる。かくして、マグネット09とステータ
コア012とは、磁気吸引力により軸方向の所定位置に
て対向せしめられるようにされる。即ち、マグネット0
9とステータコア012により、磁気的スラスト軸受が
構成されている。磁気検出素子014としては、例え
ば、ホール素子が用いられる。これは、マグネット09
の漏れ磁束を検出して、マグネット09が回転する際、
N極が通過したかS極が通過したかを検出する。
【0008】この検出信号は、基板013に印刷された
配線を通して、図示しない制御回路部へ送られる。制御
回路部では、この検出信号を基に、ステータコア012
の各個所に巻回されているステータコイルに流す電流の
向きを決める。その結果、マグネット09との相互作用
により回転を持続する方向の力が発生させられる。同図
に示した構成において、回転スリーブ04が回転する
と、動圧発生用溝02により、固定軸01の周囲に高い
圧力の空気層が発生する。この空気の圧力により、回転
スリーブ04は固定軸01から浮いた状態で非接触に支
持される、所謂動圧空気軸受が構成される。
【0009】なお、ここでは、動圧発生用の溝02を固
定軸01の外周に設けているが、回転スリーブ04の固
定軸01の内壁に設けるようにしてもよい。前記空気層
は回転部の回転中心を一定に保つ作用をする。例えば回
転スリーブ04が同図の左方にずれたとすると、右方の
隙間は大となり、その分の隙間の圧力はズレる前より少
となる。一方、左方の隙間は小となるから、その部分の
隙間の圧力はズレる前より大となる。圧力の大小関係が
このようになると回転スリーブ3は左方に押され、最終
的には元の位置へ戻されることになる。
【0010】図10は多面鏡の上面図であって、該多面
鏡05は、軸方向の上方から見て多角形(同図では正8
角形)を成しており、中心部に回転スリーブ04に挿通
する中心孔052を有し、その周側面には多数(同図で
は8つ)の鏡面051を有している。図示しないレーザ
ー等から発射された光ビームは、上ケース018に開け
た開口に設けられたウインドウガラス020を通して多
面鏡05の鏡面051に入射し、鏡面051で反射され
て再びウインドウガラス020から前記図8に示した感
光体086方向に出射する。鏡面051に入射した光ビ
ームは、鏡面051で反射されて出射する際に、該多面
鏡05が回転することにより、出射方向が除々に偏向さ
れ、感光体上で主走査方向の走査がなされる。多面鏡0
5がさらに回転し、次の鏡面により光ビームが上記と同
様に偏向される。
【0011】このようにして、光ビームは、感光体上で
一定の角度範囲を走査する形となる。その走査速度は多
面鏡05の回転速度に依存する。なお、この種の従来技
術を開示したものとしては、例えば特開昭59−914
13号公報、特開昭63−274352号公報を挙げる
ことができる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の光偏向器では、回転スリーブ04のフランジ0
6は、該多面鏡05に開けた取り付け用の穴053と、
フランジ06の対応位置に設けたネジ穴にネジ08を挿
通して締めつけることによって固定している。そのた
め、この締めつけ応力による鏡面の歪みが発生し、ま
た、高速回転により多面鏡05にかかる遠心力によって
ネジ固定部に歪みが集中して鏡面の倒れ(所謂面倒れ)
等を含む動的な鏡面歪みが発生して、鏡面毎の光ビーム
の走査速度が変化したり、走査線(ラスター)に乱れが
生ずるという問題点があった。すなわち、多面鏡05は
例えばアルミ材等の比較的柔らかい材料で形成される。
そして、多面鏡05の鏡面051は高精度な平面とし
て、光ビームの走査速度が一定になるようにしている。
【0013】ところが、この多面鏡の中心孔052以外
に、上記で説明した如く、回転スリーブと固定するため
の数個のネジ穴053を設けてネジ08により回転スリ
ーブ04に多面鏡を固定すると、ネジ08の締め付けト
ルクによりネジ穴周辺に応力が集中して歪み、そのまま
多面鏡の鏡面を歪ませるということがある。特に、ネジ
穴が鏡面の近傍であったり、多面鏡の半径が小さい場合
は歪みが著しい。また、多面鏡05が高速回転する際に
動的な鏡面歪みが発生し、結果として感光体上に形成さ
れる静電潜像の再現性を阻害するという問題があった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、多面
鏡05の回転スリーブ04への固定手段による鏡面歪み
や高速回転時に発生する面倒れを無くした光偏向器を提
供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、固定軸(1)と、固定軸(1)の廻りに
回転可能に装着された回転スリーブ(4)と、回転スリ
ーブ(4)に固定された多面鏡(5)と、前記固定軸
(1)上端周囲に空気溜まり(22)を形成し且つ前記
多面鏡(5)上面に固定されるキャップフランジ(7)
とを備えた光偏向器において、上記多面鏡(5)は、上
記固定軸(1)と直交する方向に形成された平面(5
0)と、この平面(50)に垂直な外周面に形成された
複数の鏡面(51)と、上記回転スリーブ(4)を上記
固定軸(1)の軸方向に挿通する中心孔(52)とを有
し、上記回転スリーブ(4)は上記固定軸(1)と直交
する面に平面(60)を形成したフランジ(6)を有
し、上記フランジ(6)の平面(60)と上記多面鏡
(5)の平面(50)との間および前記回転スリーブ
(4)と前記中心孔(52)との空いたに接着剤(2
3)を介在させて前記回転スリーブ(4)上に前記多面
鏡(5)を接着し、上記多面鏡(5)上面に前記キャッ
プフランジ(7)を接着したことを特徴とする光偏向
器。
【0015】
【作用】前記本発明では、回転スリーブ(4)と多面鏡
(5)とを固定する接着剤(23)は、回転スリーブ
(4)のフランジ(6)に形成した平面(60)と多面
鏡(5)の平面(50)の間、および、多面鏡(5)の
中心孔(52)の内壁と回転スリーブ(4)との間に介
在させて、それらの結合を接着剤のみにより行ってい
る。回転スリーブ(4)と多面鏡(5)とを接着剤によ
り固定することにより、多面鏡(5)と回転スリーブ
(4)との接着固定面に均一な応力が作用し、固定手段
の存在に起因する鏡面(51)の歪みが小さく押さえら
れる。また、多面鏡(5)には、その中心位置に中心孔
(52)を形成するのみで、従来のようにネジ止め用の
孔を設けていないため、多面鏡(5)を高速回転させた
ときに、その遠心力により固定部に生じる応力は均一に
分散するため、鏡面毎に歪みが異なることがない。さら
に、接着剤(23)による接着力はその接着面と平行な
方向の剪断力に対して極めて強力であるため、上記フラ
ンジ(6)の平面(60)と上記多面鏡(5)の平面
(50)との間に接着剤(23)を介在させて両者を固
定したことにより、回転スリーブ(4)を高速度で回転
させても、多面鏡(5)はフランジ(6)から剥離する
ようなことはない。また、キャップフランジ(7)と多
面鏡(5)の間も接着されており、ネジ止めを行ってい
ないので、多面鏡(5)に不均一な応力による歪みが発
生することがない。これにより、多面鏡(5)の鏡面
(51)で反射する光ビームの走査速度の変化を極小と
することが可能となる。
【0016】
【実施例】以下、本発明による光偏向器の一実施例を図
面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明による光偏
向器の一実施例を説明するための縦断面図であって、1
は固定軸、2は動圧発生用のヘリングボーン状の動圧発
生用溝、3は固定軸1を固定する台座、4は固定軸1に
回転自在に嵌挿した回転スリーブ、5は多面鏡、50は
多面鏡の平面、6は回転スリーブのフランジ、60はフ
ランジの平面、7はキャップフランジ、9は回転スリー
ブ4に固定した回転マグネツト、10はバランスリン
グ、11はステータコイル、12はステータコア、13
は基板、14は磁気検出素子、15と16はステータお
よび基板固定用ネジ、17は下ケース、18は上ケー
ス、19は開口、20はウインドウガラス、21は下ケ
ース17と台座3を固定するネジ、22は空気溜まり、
23は接着剤である。
【0017】また、図2は本発明による光偏向器を構成
する多面鏡の平面図であって、5は多面鏡、50は平
面、51は鏡面、52は中心孔である。図1の構成およ
び動作は、多面鏡5の形状および回転フランジ4と多面
鏡5との固定構造を除いて前記図9,図10に示した従
来技術のものと同様なので、それらについての説明は省
略する。
【0018】本発明においては、回転スリーブ4と多面
鏡5とを接着剤23により固定することにより、多面鏡
5と回転スリーブ4との接着固定面に均一な応力が作用
する。固定手段の存在に起因する鏡面51の歪みは小さ
く押さえられる。回転スリーブ4にはその軸方向と直交
する平面と平行な方向に平面60を有するフランジ6を
備えており、この平面60に接着剤23を塗布し、塗布
した接着剤上に多面鏡5を、その中心孔52を回転スリ
ーブ4に挿通して載置して固定する。多面鏡5には、そ
の中心位置に中心孔52を形成するのみで、従来のよう
にネジ止め用の孔を設けていないため、多面鏡5を高速
回転させたときに、その遠心力により固定部に生じる応
力は均一に分散するため、鏡面毎に歪みが異なることが
ない。回転スリーブ4のフランジ6の平面60と上記多
面鏡5の平面50との間に例えばエポキシ系樹脂を主成
分とする接着剤23を介在させて両者を固定したことに
より、回転スリーブ4を高速度で回転させても、多面鏡
5はフランジ6から剥離するようなことはない。これに
より、多面鏡5の鏡面51で反射する光ビームの走査速
度の変化を極小とすることが可能となる。
【0019】図3〜図7は、回転スリーブと多面鏡の接
着態様を説明する部分断面図であって、図5は本発明の
実施例の接着方法を説明する図、図3、図4、図6、図
7は、本発明の実施例に対する比較例を示す図である。
図3〜7において、23は接着剤、24は必要に応じて
設ける回転バランス部材、上記図1,図2と同一部分に
は同一符号を付している。(回転スリーブと多面鏡の接
着方法の実施例)図5は図1に示した実施例の回転スリ
ーブと多面鏡の接着方法の実施例の説明図である。図5
において接着剤23−1は回転スリーブ4のフランジ6
に形成した平面60と多面鏡5の下側の平面50との間
に介在している。フランジ6の平面60と多面鏡5の下
側の平面50との間に介在した接着剤23−1には、回
転スリーブ4の高速回転により回転面の半径方向に剪断
力が働く。また、図5に示す本発明の実施例は、多面鏡
5の上面とキャップフランジ7の下面との間にも接着剤
23−1を介在させ、回転スリーブ4と多面鏡5の中心
孔52の内壁間にも接着剤23−2を介在させており、
回転スリーブ4、多面鏡5およびキャップフランジ7を
互いに非常に強固に固定している。前記したように、接
着面の強度はその剪断方向に極めて強力であるため、前
記接着剤23−1により回転スリーブ4に対する多面鏡
5の固定および多面鏡5に対するキャップフランジ7の
固定を強固に行い、さらに、接着剤23−2により回転
スリーブ4に対する多面鏡5の固定を行うことが可能と
なる。本実施例の、キャップフランジ7を接着剤により
多面鏡5に固定することにより、固定用ネジを使用せず
に回転スリーブ、多面鏡5およびキャップフランジを一
体的に構成すると、固定用ネジを使用した場合に生じる
応力による多面鏡の歪みの発生を防止することができ
る。(回転スリーブと多面鏡の接着方法の比較例)図3
は図5の回転スリーブと多面鏡の接着方法に対する比較
例1の説明図である。図3において、接着剤23−1は
回転スリーブ4のフランジ6に形成した平面60と多面
鏡5の下側の平面50との間に介在している。この比較
例1では、キャップフランジ7の固定にネジを使用した
場合、ネジによる連結工程やネジ孔の加工工程等が必要
になる。また、ネジ締め時に発生する応力により多面鏡
5に歪みが生じるおそれがある。図4は図5の回転スリ
ーブと多面鏡の接着方法に対する比較例2の説明図であ
る。図4において、多面鏡5の上面とキャップフランジ
7の下面との間に接着剤23−1を介在させてキャップ
フランジ7および多面鏡5の固定を行なっている。図6
は図5の回転スリーブと多面鏡の接着方法に対する比較
例3の説明図である。図6において多面鏡5の上面とキ
ャップフランジ7の下面との間、および回転スリーブ4
と多面鏡5の中心孔52の内壁間に接着剤23−1,2
3−2を介在させたている。
【0020】図7は図5の回転スリーブと多面鏡の接着
方法に対する比較例4の説明図である。図7は回転スリ
ーブ4と多面鏡5の中心孔52の内壁にのみ接着剤23
−2を介在させて固定する方法である。この図7の方法
は、多面鏡5を低速回転で使用する場合に使用可能であ
る。以上の図3〜図7のうち図5に示す実施例の接着態
様が最も強固な固定を得ることができるものであり、特
に多面鏡5を超高速で回転させる場合は図5の方法以外
は接着力が十分でない。前記図5に示すように、回転ス
リーブ4、多面鏡5およびキャップフランジ7を接着剤
により固定することによって固定手段による応力の発生
を回避し、回転時に多面鏡5の平面50と回転スリーブ
4のフランジ6の平面60との接着固定面に均一に応力
が作用し、鏡面51の非平面歪みの発生や面倒れ歪みの
発生をを小さく押さえ、反射光ビームの走査速度の変化
を極小とすることが可能となる。
【0021】なお、上記実施例では、動圧空気軸受を用
いるものを示したが、他の軸受を有するモータ、例えば
玉軸受、滑り軸受等を有するモータを用いた光偏向器、
あるいは電動機を別体とした光偏向機に対しても本発明
が適用できることは勿論である。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回転スリーブ、多面鏡およびキャップフランジを接着剤
により固定することで、多面鏡固定面に均一に応力が働
き、固定手段および動作中に発生する鏡面の歪みを小さ
く押さえ、反射光ビームの走査速度の変化を極小とする
ことが可能となる。
【0023】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光偏向器の一実施例を説明するた
めの縦断面図である。
【図2】本発明による光偏向器を構成する多面鏡の平面
図である。
【図3】本発明による回転スリーブと多面鏡の接着態様
の比較例1を説明する部分断面図である。
【図4】本発明による回転スリーブと多面鏡の接着態様
の比較例2を説明する部分断面図である。
【図5】本発明による回転スリーブと多面鏡の接着態様
の実施例1を説明する部分断面図である。
【図6】本発明による回転スリーブと多面鏡の接着態様
の比較例3を説明する部分断面図である。
【図7】本発明による回転スリーブと多面鏡の接着態様
の比較例4を説明する部分断面図である。
【図8】従来技術における静電写真方式の複写機やレー
ザープリンタにおける書き込み光学系の模式図である。
【図9】従来技術における光偏向器を説明する縦断面図
である。
【図10】従来技術における多面鏡の上面図である。
【0024】
【符号の説明】
1 固定軸 2 動圧発生用溝 3 固定軸1固定する台座 4 固定軸1に回転自在に嵌挿した回転スリーブ 5 多面鏡 50 多面鏡5の平面 6 回転スリーブ4のフランジ 60 フランジの平面 7 キャップフランジ 9 回転スリーブ4に固定した回転マグネツト 10 バランスリング 11 ステータコイル 12 ステータコア 13 基板 14 磁気検出素子 15,16 ステータおよび基板固定用ネジ 17 下ケース 18 上ケース 19 開口 20 ウインドウガラス 21 下ケース17と台座3を固定するネジ 22 空気溜まり 23 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉野 大典 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (72)発明者 野中 友晴 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (56)参考文献 特開 昭63−173016(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 26/10

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定軸と、固定軸の廻りに回転可能に装
    着された回転スリーブと、回転スリーブに固定された多
    面鏡と、前記固定軸上端周囲に空気溜まりを形成し且つ
    前記多面鏡上面に固定されるキャップフランジとからな
    る光偏向器において、 上記多面鏡は、上記固定軸と直交する方向に形成された
    平面と、この平面に垂直な外周面に形成された複数の鏡
    面と、上記回転スリーブを上記固定軸の軸方向に挿通す
    る中心孔とを有し、 上記回転スリーブは上記固定軸と直交する面に平面を形
    成したフランジを有し、 上記フランジの平面と上記多面鏡の平面との間および前
    記回転スリーブと前記中心孔との間に接着剤を介在させ
    て前記回転スリーブ上に前記多面鏡を接着し、 上記多面鏡上面に前記キャップフランジを接着したこと
    を特徴とする光偏向器。
JP1680991A 1991-01-18 1991-01-18 光偏向器 Expired - Fee Related JP2959137B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1680991A JP2959137B2 (ja) 1991-01-18 1991-01-18 光偏向器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1680991A JP2959137B2 (ja) 1991-01-18 1991-01-18 光偏向器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04243211A JPH04243211A (ja) 1992-08-31
JP2959137B2 true JP2959137B2 (ja) 1999-10-06

Family

ID=11926486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1680991A Expired - Fee Related JP2959137B2 (ja) 1991-01-18 1991-01-18 光偏向器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2959137B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10976649B2 (en) 2016-03-31 2021-04-13 Sony Corporation Light source apparatus, image display apparatus, and optical unit

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04243211A (ja) 1992-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5642150A (en) Light deflector
JPH06159361A (ja) 空気磁気軸受型モータ
EP1031867A2 (en) Optical rotary deflection device having noise preventing means and image forming apparatus therewith
JP2959137B2 (ja) 光偏向器
JP3193539B2 (ja) 光偏向器
JP3166437B2 (ja) 光偏向器
US6031650A (en) Light deflecting apparatus and deflection scanning apparatus using the same
JP4474064B2 (ja) 駆動モータ
JP2006221001A (ja) 偏向走査装置
JPH0772412A (ja) 光偏向器
JPH0792418A (ja) 光偏向器
JP3671708B2 (ja) 光偏向装置
JP2000047130A (ja) 光偏向装置
JPH06167665A (ja) 光偏向器およびその製造方法
JP3702676B2 (ja) 光偏向装置
JP2002267992A (ja) 偏向走査装置
JP2004093831A (ja) 偏向走査装置
JPH0643383A (ja) 光偏向器
JP2001021828A (ja) 偏向走査装置
JPH06167667A (ja) 光偏向器
JPH10221632A (ja) 光偏向走査装置
JPH11249059A (ja) 光偏向装置
JPH11101237A (ja) 軸受装置および偏向走査装置
JPH1123994A (ja) 走査光学装置
JPH0764007A (ja) 光偏向器

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees