JPH06167667A - 光偏向器 - Google Patents

光偏向器

Info

Publication number
JPH06167667A
JPH06167667A JP32030792A JP32030792A JPH06167667A JP H06167667 A JPH06167667 A JP H06167667A JP 32030792 A JP32030792 A JP 32030792A JP 32030792 A JP32030792 A JP 32030792A JP H06167667 A JPH06167667 A JP H06167667A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating body
fixed
rotary
electromagnet
rotating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP32030792A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoyuki Tada
直之 多田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP32030792A priority Critical patent/JPH06167667A/ja
Publication of JPH06167667A publication Critical patent/JPH06167667A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型で低コストな構成で、走査線密度を簡単
に切り替えられるようにする。 【構成】 固定軸2と、この固定軸2に回転可能に外嵌
された中空回転体4と、固定軸2の外周に形成された動
圧発生用溝5a、5bを有するラジアル動圧空気軸受
と、中空回転体4の軸方向の支持を行う磁気軸受(2
1、23)と、中空回転体4に取り付けられた面数の異
なる複数の回転多面鏡11a、11bと、中空回転体4
に取り付けられた磁性体よりなるリング26と、このリ
ング26との間で吸引力を発生する電磁石30とを備え
た光偏向器であって、電磁石30に流す電流を制御して
中空回転体4の軸方向の位置を制御し、レーザビーム1
3を複数の回転多面鏡のうちの一つに選択的に入射させ
るようにしたもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザプリンタやディ
ジタル複写機等の画像形成装置に用いられる光偏向器に
関する。
【0002】
【従来の技術】静電写真方式のディジタル複写機やレー
ザプリンタ等の画像形成装置は、一般にレーザ等を光源
として、この光源からの光ビームを偏向して感光体上を
走査させ、この感光体上に形成した静電潜像をトナーで
現像することによって画像を形成するものである。
【0003】図7は上述の画像形成装置において書き込
みを行う光走査装置の概略の構成を示す説明図である。
この図に示すように、光走査装置は、画像信号に応じて
変調された光ビームを出射する光源、例えばレーザ18
1と、このレーザ181からの光ビームを平行光とする
コリメートレンズ182と、このコリメートレンズ18
2通過後の光ビームを反射するミラー183と、このミ
ラー183で反射された光ビームを偏向する回転多面鏡
184と、この回転多面鏡184で偏向された光ビーム
の走査速度を補正し感光体186の近傍に光ビームを結
像させるfθレンズ185と、回転多面鏡184で偏向
された走査直前の光ビームを反射する検出ミラー187
と、この検出ミラー187で反射された光ビームを検出
するセンサ188とを備えている。
【0004】この光走査装置を含む画像形成装置では、
画像信号に応じて変調されたレーザ181からの光ビー
ムは、コリメートレンズ182によって平行光とされた
後、ミラー183で回転多面鏡184の鏡面に投射され
る。回転多面鏡184は、図中矢印A方向に高速回転し
ており、一つの鏡面で反射された光ビームは矢印B方向
に走査され、fθレンズ185で走査角によるラスタ位
置の歪みが補正されて、一様に帯電された感光体186
表面上に静電潜像を形成する。感光体186表面上の静
電潜像は、図示しない現像手段でトナーによって現像さ
れ、トナー像が用紙に転写され定着手段で固定されて画
像形成が成される。
【0005】なお、光ビームの走査開始位置は、検出ミ
ラー187、センサ188で走査直前の光ビームを検出
し、検出信号によって画像信号書き出し回路の書き出し
タイミングを調整する等の方法で制御される。
【0006】ところで、上記回転多面鏡184は電動機
で回転される回転軸に固定され、高速回転して光ビーム
を偏向させる光偏向器を構成する。
【0007】図8は従来のこの種の光偏向器の縦断面図
である。この光偏向器は、固定軸101を有し、この固
定軸101の一端は台座103に焼き嵌めあるいは圧入
により固着されており、台座103はねじ121により
下ケース117に固定されている。固定軸101の表面
には、ラジアル軸受として働くヘリングボーン状の動圧
発生用溝102が設けられている。このラジアル軸受
は、回転軸に対して直角の方向に力が働いても、回転の
中心が所定の位置よりずれないようにするための軸受で
ある。
【0008】光偏向器を構成する駆動部としての電動機
の回転部は、固定軸101と僅少間隙を隔てて嵌挿した
部分であり、回転スリーブ104とこの回転スリーブ1
04に圧入あるいは接着等により固着された回転マグネ
ット109およびバランスリング110で構成されてい
る。
【0009】この回転部を構成する回転スリーブ104
には、軸方向と直角な方向の平面を持つフランジ106
が形成されており、このフランジ106の上記平面に多
面鏡105が載置され、この多面鏡105をキャップ1
07のフランジ107aで押さえるようにして、多面鏡
105およびフランジ107aがねじ108によってフ
ランジ106上に固定されている。この固定は、多面鏡
105を貫通して形成した例えば3個の孔を上記フラン
ジ106に対応して形成した孔に合わせ、ねじ108を
挿通させて締めつけることによって行う。なお、固定軸
102と上端部とキャップ107と内壁との間には空気
溜まり122が形成されている。
【0010】一方、電動機のステータ部は、下ケース1
17にねじ121で固定された台座103に一端が固定
された固定軸101と、下ケース117にねじ116に
よって固定されたステータコア112と、このステータ
コア112に巻回されたステータコイル111とで構成
されている。
【0011】また、ステータコア112に対してねじ1
15にて固定された基板113上には、ホール素子を好
適とする磁気検出素子114が搭載され、この磁気検出
素子114によって回転スリーブ104の回転に伴うマ
グネット109の磁束を検出するようになっている。
【0012】マグネット109は永久磁石であり、対向
するステータコア112との間には磁気的吸引力が働い
ている。この吸引力は、マグネット109とステータコ
ア112との対向位置が電動機の軸方向(スラスト方
向)にずれないようにする作用をする。すなわち、図8
において、マグネット109が上に移動したときには前
記の吸引力に下方に下げる成分が生じて回転スリーブ1
04は引き下げられ、下に移動したときには、上方に引
き上げる成分が生じて回転スリーブ104は引き上げら
れる。
【0013】このようにしてマグネット109とステー
タコア112とは、磁気的吸引力により軸方向の所定位
置にて対向させられるようにされる。すなわち、マグネ
ット109とステータコア112により磁気的スラスト
軸受が構成されている。
【0014】磁気検出素子114としては、例えばホー
ル素子が用いられる。これは、マグネット109の漏れ
磁束を検出して、マグネット109が回転する際にN極
が通過したかS極が通過したかを検出する。この磁気検
出素子114の検出信号は、基板113に印刷された配
線を通して、図示しない制御回路部へ送られる。制御回
路部では、この検出信号を基に、ステータコア112の
各箇所に巻回されているステータコイル111に流す電
流の向きを決める。その結果、マグネット109との相
互作用により回転を持続する方向の力が発生させられ
る。
【0015】また、図8に示した構成において、回転ス
リーブ104が回転すると、動圧発生用溝102によ
り、固定軸101の周囲に高い圧力の空気層が発生す
る。この空気の圧力により、回転スリーブ104は固定
軸101から浮いた状態で非接触に支持される、いわゆ
る動圧空気軸受が構成される。なお、ここでは、動圧発
生用の溝102を固定軸101の外周に設けているが、
回転スリーブ104の内壁に設けるようにしても良い。
前記の空気層は回転部の回転中心を一定に保つ作用をす
る。例えば回転スリーブ104が図8の左方にずれたと
すると、右方の隙間は大となり、その部分の隙間の圧力
はずれる前より小となる。一方、左方の隙間は小となる
から、その部分の隙間の圧力はずれる前より大となる。
圧力の大小関係がこのようになると回転スリーブ104
は右方に押され、最終的には元の位置に戻されることに
なる。
【0016】また、下ケース117上には上ケース11
8が設けられ、この上ケース118の側部には、多面鏡
105に対向する位置に開口119が設けられ、この開
口119にはウィンドウガラス120が装着されてい
る。
【0017】このように構成された光偏向器では、図し
ないレーザ等から出射された光ビームは、上ケース11
8の開口119に装着されたウィンドウガラス120を
通して多面鏡105の鏡面151に入射し、鏡面151
で反射されて再びウィンドウガラス120から図7に示
すように感光体186方向に出射する。鏡面151に入
射した光ビームは、鏡面151で反射されて出射する際
に、多面鏡105が回転することにより、出射方向が除
々に変えられ、感光体186上で主走査方向の走査がな
される。そして、多面鏡105がさらに回転すると、次
の鏡面151により光ビームが上記と同様に偏向され
る。このようにして、光ビームは、感光体186上で一
定の角度範囲を走査することとなる。また、その走査速
度は多面鏡105の回転速度に依存する。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】ところで、昨今、情報
処理の多様化が叫ばれ、前述の光走査装置においては、
走査線密度の多様化が切望されている。従来の画像形成
装置では、走査線密度の多様化を、以下のような手段に
よって行っていた。 複数の光走査装置を備える。 複数の光偏向器を備える。 光偏向器の回転数を変更する。 感光体ドラムの回転速度を変更する。 光偏向器に面数の異なる回転多面鏡を複数個配置し、
個々の回転多面鏡に対応する光源装置を設け、所望の走
査線密度の組み合わせを選択する。
【0019】しかしながら、上記、およびの手段
は、部品点数やスペースが多く必要になる等の問題点が
あるため、およびの手段が一般的であった。しか
し、の手段では、回転多面鏡を駆動する駆動モータや
駆動制御回路が大掛かりになってコストアップにつなが
るという問題点がある。また、回転多面鏡の回転速度を
変換した後、回転速度が所定の値に達するまで時間を要
するため実用的でないという問題点もある。
【0020】また、の手段では、感光体ドラムの回転
速度を変化させるためには、動かしているものがドラム
という大きなものだけに、駆動機構が大きくなってしま
うという問題点、および用紙搬送制御の複雑化に伴い画
像形成装置が大型化し、また、電子写真プロセスの条件
が変わってしまうという問題点がある。
【0021】このような問題点を解決する手段として、
特開昭59−184319号公報には、異なった数の鏡
面を有する回転多面鏡を駆動モータの同一軸上に複数個
配置し、光源からの光ビームを一つの回転多面鏡に選択
的に入射させるようにした技術が示されている。そし
て、この公報の第2図には、光源からの光ビームを一つ
の回転多面鏡に選択的に入射させるために、複数の回転
多面鏡とその駆動モータ全体、すなわち光偏向器全体を
移動させる機構が示されている。
【0022】しかしながら、この機構では以下のような
問題点がある。 光を走査するための駆動用モータ以外に、光偏向器を
駆動するモータが必要である。 光偏向器の駆動機構としてシャフト、移動部材、ギヤ
等複雑な機構が必要である。 光偏向器の駆動機構部は、回転多面鏡が傾いて回転し
たりしないように高精度の移動機構である必要がある。 光偏向器の駆動機構部は、振動に対して十分な剛性を
備えていなければならない。
【0023】そして、上記ないしの問題点は、いず
れも低コスト化、小型化等に対する大きな障害となって
いる。
【0024】そこで本発明の目的は、小型で低コストな
構成で、走査線密度を簡単に切り替えることのできる光
偏向器を提供することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】本発明の光偏向器は、固
定体と、この固定体に対して回転可能に係合する回転体
と、固定体と回転体の一方に形成された動圧発生用溝を
有し、動圧によって回転体のラジアル方向の支持を行う
動圧空気軸受と、回転体の軸方向の支持を行う磁気軸受
と、回転体を回転させる駆動手段と、回転体に対して軸
方向に沿って配設され、光ビームを偏向するための反射
面の面数の異なる複数の回転多面鏡と、固定体と回転体
との間に磁気的な吸引力または反発力を発生させる電磁
石を有し、光ビームを入射させる回転多面鏡を選択する
ために、吸引力または反発力によって固定体に対する回
転体および回転多面鏡の軸方向の位置を変更する回転体
位置変更手段とを備えたものである。
【0026】この光偏向器では、複数の回転多面鏡が配
設された回転体は、動圧空気軸受および磁気軸受によっ
て回転中非接触に支持される。そして、位置変更手段の
電磁石による磁気的な吸引力または反発力によって固定
体に対する回転体および回転多面鏡の軸方向の位置を変
更することによって、光ビームを入射させる回転多面鏡
が選択される。
【0027】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図1ないし図5は本発明の第1実施例に係
るものである。本実施例は、従来の技術で説明した例と
同様にスラスト軸受を駆動用コイルのコアと回転体に固
着されたマグネットで兼用したタイプの光偏向器の例で
ある。
【0028】図1は本実施例の光偏向器の断面図であ
る。この図に示すように、本実施例の光偏向器は、ハウ
ジング3に固定された固定軸2を有し、この固定軸2に
は、僅少間隙を隔てて中空回転体4が回転可能に外嵌さ
れている。固定軸2の表面には、ヘリングボーン状の動
圧発生用溝5a、5bが設けられており、それぞれ中空
回転体4内面とによりラジアル空気軸受が形成されてい
る。
【0029】中空回転体4には磁気軸受回転側マグネッ
トを兼ねた駆動用マグネット21が固着されている。こ
のマグネット21の周りには、ハウジング3にねじ22
によって固定された駆動用コア23が配設され、このコ
ア23に駆動用のトロイダルコイルが巻回されている。
駆動用コア23は磁気軸受固定側マグネットを兼ねてい
る。
【0030】また、駆動用コア23には、ねじ24によ
って制御用基板25が固定され、この制御用基板25上
に磁気検出素子が搭載されている。この磁気検出素子
は、マグネット21の漏れ磁束を検出し、検出信号を制
御用基板25を介して図示しない制御回路部へ送出す
る。制御回路部では、この検出信号を基に、コア23に
巻回されている駆動用コイルに流す電流の向きを決め
る。その結果、マグネット21との相互作用により回転
を持続する方向の力が発生させられる。
【0031】また、中空回転体4には、軸方向と直角な
方向の平面を持ち回転多面鏡1を保持するためのフラン
ジ部が形成されており、このフランジ部と中空回転体4
上端部のミラーフランジ19の間に、光ビームを偏向す
るための反射面の面数の異なる複数の回転多面鏡11
a、11bが軸方向に沿って配設されている。
【0032】また、中空回転体4の下端部にはバランス
修正用リング26が固着されている。このバランス修正
用リング26は、中空回転体4等よりなるロータ20の
重心を回転中心に持ってくるためのおもりを載せるため
の部材である。本実施例では、このバランス修正用リン
グ26は磁性体で形成されている。
【0033】なお、ロータ20は中空回転体4、回転多
面鏡11a、11b、ミラーフランジ19、マグネット
21およびバランス修正用リング26で構成されてい
る。
【0034】また、ハウジング3上にはカバー12が設
けられ、このカバー12の側部には、回転多面鏡1に対
向する位置に開口27が設けられ、この開口27には図
示しないウィンドウガラスが装着されている。
【0035】本実施例では、固定軸2の固定側端部近傍
に、軟鉄心とコイルよりなるリング状の電磁石30が設
けられている。この電磁石30は、モータの回転を制御
する制御用基板25に接続され、この制御用基板25を
介して外部より、磁力の強弱や、オン/オフが制御され
るようになっている。
【0036】図3は駆動用コイルと電磁石の制御に関わ
る構成を示すブロック図である。この図に示すように、
駆動用コア23に巻回された駆動用コイル31と電磁石
30は、光偏向器の制御用基板25に接続されている。
この制御用基板25は、駆動用コイル31を制御するも
のであるが、電磁石30を制御する電磁石制御部32を
含んでいる。この制御用基板25は、光走査装置の制御
基板33によって制御されるようになっている。また、
光走査装置の制御基板33は、レーザビームを出射する
レーザビーム光源装置34も制御するようになってい
る。なお、図4に示すように、駆動用コイル31を制御
する制御用基板25とは別に、光走査装置の制御基板3
3の制御の下で電磁石30を制御する電磁石制御用基板
35を設けても良い。
【0037】次に、本実施例の動作について説明する。
電磁石30に電流を流さない状態では、図1に示すよう
に、開口27から入射するレーザビーム13は下側の回
転多面鏡11bに入射し、この回転多面鏡11bによっ
て偏向されて開口27から出射される。
【0038】一方、電磁石30に電流を流すと、図2に
示すように、磁性体で形成されたバランス修正用リング
26が電磁石30による磁気的吸引力によって図におけ
る下側に吸引される。これに伴い、回転多面鏡11a、
11bを含むロータ20が下側に吸引される。その結
果、レーザビーム13は上側の回転多面鏡11aに入射
するようになる。上側の回転多面鏡11aと下側の回転
多面鏡11bは反射面の面数が異なるので、回転多面鏡
を切り替えることによって走査線密度が切り替えられる
ことになる。
【0039】電磁石30に流す電流値とロータ20の移
動距離の関係は、例えば図5に示すようになる。このロ
ータ20の移動方式は、ソレノイド等に使用されている
機構と同等のものである。
【0040】なお、本実施例において、中空回転体4が
磁性体で形成されている場合は、バランス修正用リング
26は磁性体でも非磁性体でも良い。本実施例のような
タイプのモータでは、中空回転体4やバランス修正用リ
ング26を磁化させないのが一般的なため、ロータ20
の移動はロータ20が電磁石30に吸引される方向のみ
となる。
【0041】以上説明したように本実施例によれば、電
磁石30によって光偏向器の内部にある複数の回転多面
鏡が取り付けられたロータ20のみを移動させるように
したので、小型で低コストな構成で走査線密度を簡単に
切り替えることができる。
【0042】また、ラジアルの動圧空気軸受によって固
定軸2と中空回転体4が数ミクロンの精度で嵌合されて
いるため、必然的に軸方向の移動はミクロンオーダで実
施可能となる。
【0043】図6は本発明の第2実施例の光偏向器の断
面図である。本実施例は、磁気軸受を構成するマグネッ
トと駆動用のマグネットが別体のタイプのモータを用い
た例てある。本実施例では、スラスト磁気軸受は、中空
回転体4に固着された磁気軸受回転側マグネット41
と、このマグネット41の周りに配置されハウジング3
に固定されたリング状の磁気軸受固定側マグネット42
とで構成されている。
【0044】また、モータの駆動機構は、中空回転体4
に固着された駆動用マグネット43と、この駆動用マグ
ネット43の周りに配置されハウジング3に固定された
駆動用コイルアッセンブリ44と、その他、制御用基板
25や磁気検出素子等によって構成されている。駆動用
コイルアッセンブリ44は、駆動用コアと、この駆動用
コアに巻回された駆動用コイルとを含んでいる。
【0045】また、電磁石30はリング状で、磁気軸受
固定側マグネット42の真下に設けられ、その内側の孔
の内径は磁気軸受固定側マグネット42の内径と略同径
になっている。
【0046】本実施例では、電磁石30は磁気軸受回転
側マグネット41との間で磁気的な吸引力または反発力
を発生させて、ロータ20を軸方向に移動させる。
【0047】なお、本実施例では、中空回転体4に対し
て3つの回転多面鏡11a〜11cが取り付けられてお
り、ロータ20の移動によってレーザビーム13を入射
させる回転多面鏡が選択される。
【0048】ここで、各回転多面鏡11a〜11cの面
数をそれぞれ、“6”、“8”、“12”とした場合、
副走査方向の線密度は、例えば次の表1のように切り替
えられる。
【0049】
【表1】
【0050】なお、略同じ大きさの回転多面鏡を使用し
た場合、回転多面鏡の面数を変えることによって走査方
向の密度も変化するため、レーザビームの変調周波数を
適切な値に変更する必要があることは言うまでもない。
【0051】その他の構成、作用および効果は第1実施
例と同様である。
【0052】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、実施例では軸が固定されていて、この軸に
外嵌された中空回転体が回転するタイプのモータであっ
たが、本発明は、固定された中空のステータに回転軸が
挿入されたタイプのモータに適用することもできる。こ
の場合も、動圧を発生させる溝は、回転軸とステータの
どちらの面に形成されていても良い。
【0053】また、実施例では固定軸が垂直方向のモー
タであったが、本発明は、固定軸が横置のモータにも適
用することができる。
【0054】また、回転多面鏡に正しくレーザビームが
入射しているかどうかを判定する方法として、光偏向器
内部にポジションセンサを設け、ロータの位置を検出す
る方式を採用しても良い。
【0055】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
磁石によって、光偏向器の内部にある複数の回転多面鏡
が取り付けられた回転体のみを軸方向に移動させるよう
にしたので、小型で低コストな構成で、走査線密度を簡
単に切り替えることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例の光偏向器の断面図であ
る。
【図2】 図1の光偏向器において回転多面鏡を切り替
えた状態を示す断面図である。
【図3】 第1実施例における駆動用コイルと電磁石の
制御に関わる構成を示すブロック図である。
【図4】 第1実施例における駆動用コイルと電磁石の
制御に関わる構成の他の例を示すブロック図である。
【図5】 第1実施例において電磁石に流す電流値とロ
ータの移動距離の関係を示す特性図である。
【図6】 本発明の第2実施例の光偏向器の断面図であ
る。
【図7】 従来の画像形成装置において書き込みを行う
光走査装置の概略の構成を示す説明図である。
【図8】 従来の光偏向器の断面図である。
【符号の説明】
2…固定軸、4…中空回転体、5a、5b…動圧発生用
溝、11a、11b…回転多面鏡、21…駆動用マグネ
ット、23…駆動用コア、26…バランス修正用リン
グ、30…電磁石

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定体と、 この固定体に対して回転可能に係合する回転体と、 前記固定体と回転体の一方に形成された動圧発生用溝を
    有し、動圧によって回転体のラジアル方向の支持を行う
    動圧空気軸受と、 前記回転体の軸方向の支持を行う磁気軸受と、 前記回転体を回転させる駆動手段と、 前記回転体に対して軸方向に沿って配設され、光ビーム
    を偏向するための反射面の面数の異なる複数の回転多面
    鏡と、 前記固定体と回転体との間に磁気的な吸引力または反発
    力を発生させる電磁石を有し、光ビームを入射させる回
    転多面鏡を選択するために、前記吸引力または反発力に
    よって固定体に対する回転体および回転多面鏡の軸方向
    の位置を変更する回転体位置変更手段とを具備すること
    を特徴とする光偏向器。
JP32030792A 1992-11-30 1992-11-30 光偏向器 Pending JPH06167667A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32030792A JPH06167667A (ja) 1992-11-30 1992-11-30 光偏向器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32030792A JPH06167667A (ja) 1992-11-30 1992-11-30 光偏向器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06167667A true JPH06167667A (ja) 1994-06-14

Family

ID=18120035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32030792A Pending JPH06167667A (ja) 1992-11-30 1992-11-30 光偏向器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06167667A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6175174B1 (en) Axial load carrying magnetic bearing for a rotatable body
JPH06159361A (ja) 空気磁気軸受型モータ
JPH1172739A (ja) 光偏向走査装置
JPH06167667A (ja) 光偏向器
JP2008145952A (ja) 走査光学装置
US6392771B1 (en) Bearing device and deflecting-scanning apparatus using the same
JP3193539B2 (ja) 光偏向器
JP4474064B2 (ja) 駆動モータ
US6031650A (en) Light deflecting apparatus and deflection scanning apparatus using the same
JP2959137B2 (ja) 光偏向器
JP4560192B2 (ja) 動圧軸受装置、ブラシレスモータおよび偏向走査装置
JP3128975B2 (ja) 光偏向器
JP2006221001A (ja) 偏向走査装置
JP2006072038A (ja) 光偏向器、光走査装置及び画像形成装置
JPH071347B2 (ja) 空気・磁気軸受型光偏向器
JP2000356754A (ja) 光偏向走査装置
JP3341561B2 (ja) 光偏向装置
JP2001166246A (ja) 光偏向装置および書き込み光学装置
JPH06118326A (ja) 光偏向器
JPH05264921A (ja) 偏向走査装置
JP2000231071A (ja) 光偏向装置
JPH0764010A (ja) 光偏向器
JP2002311362A (ja) 光走査装置
JP2000231072A (ja) 光偏向装置
JPH0772412A (ja) 光偏向器