JPH06159361A - 空気磁気軸受型モータ - Google Patents

空気磁気軸受型モータ

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JPH06159361A
JPH06159361A JP4320305A JP32030592A JPH06159361A JP H06159361 A JPH06159361 A JP H06159361A JP 4320305 A JP4320305 A JP 4320305A JP 32030592 A JP32030592 A JP 32030592A JP H06159361 A JPH06159361 A JP H06159361A
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    • H02K7/086Structural association with bearings radially supporting the rotor around a fixed spindle; radially supporting the rotor directly

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成で、回転中の振動や、起動停止時
に軸受に与えるダメージを軽減する。 【構成】 固定軸2と、この固定軸2に回転可能に外
嵌された中空回転体4と、固定軸2の外周に形成された
動圧発生用溝5a、5bを有する2つのラジアル空気軸
受と、マグネット8、9からなり中空回転体4の軸方向
の支持を行うスラスト磁気軸受とを備えたモータであっ
て、2つのラジアル空気軸受が中空回転体4を支持する
ために固定軸2に垂直な方向に発生させている圧力のモ
ーメントが等しくなる平衡点Pとスラスト磁気軸受
(8、9)の中空回転体2の支持位置とを略一致させた
もの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ラジアル軸受を動圧空
気軸受とし、スラスト軸受を磁気軸受とした空気磁気軸
受型モータに関する。
【0002】
【従来の技術】空気磁気軸受を用いたモータは、ボール
ベアリングや滑り軸受を使用したモータと比較して、遙
かに高速回転領域に適用することができるため、レーザ
プリンタ等における光偏向器や、ビデオテープレコーダ
(VTR)の磁気シリンダヘッド駆動用モータや、遠心
分離機の駆動モータ等の高速回転を必要とする分野で利
用されている。
【0003】図3は従来の空気磁気軸受を使用したモー
タを利用したレーザプリンタ用光偏向器を示す断面図で
ある。この光偏向器は、固定軸101を有し、この固定
軸101の一端は台座103に焼き嵌めあるいは圧入に
より固着されており、台座103はねじ121により下
ケース117に固定されている。固定軸101の表面に
は、ラジアル軸受として働くヘリングボーン状の動圧発
生用溝102が設けられている。このラジアル軸受は、
回転軸に対して直角の方向に力が働いても、回転の中心
が所定の位置よりずれないようにするための軸受であ
る。
【0004】光偏向器を構成する駆動部としての電動機
の回転部は、固定軸101と僅少間隙を隔てて嵌挿した
部分であり、回転スリーブ104とこの回転スリーブ1
04に圧入あるいは接着等により固着された回転マグネ
ット109およびバランスリング110で構成されてい
る。
【0005】この回転部を構成する回転スリーブ104
には、軸方向と直角な方向の平面を持つフランジ106
が形成されており、このフランジ106の上記平面に多
面鏡105が載置され、この多面鏡105をキャップ1
07のフランジ107aで押さえるようにして、多面鏡
105およびフランジ107aがねじ108によってフ
ランジ106上に固定されている。この固定は、多面鏡
105を貫通して形成した例えば3個の孔を上記フラン
ジ106に対応して形成した孔に合わせ、ねじ108を
挿通させて締めつけることによって行う。なお、固定軸
102と上端部とキャップ107と内壁との間には空気
溜まり122が形成されている。
【0006】一方、電動機のステータ部は、下ケース1
17にねじ121で固定された台座103に一端が固定
された固定軸101と、下ケース117にねじ116に
よって固定されたステータコア112と、このステータ
コア112に巻回されたステータコイル111とで構成
されている。
【0007】また、ステータコア112に対してねじ1
15にて固定された基板113上には、ホール素子を好
適とする磁気検出素子114が搭載され、この磁気検出
素子114によって回転スリーブ104の回転に伴うマ
グネット109の磁束を検出するようになっている。
【0008】マグネット109は永久磁石であり、対向
するステータコア112との間には磁気的吸引力が働い
ている。この吸引力は、マグネット109とステータコ
ア112との対向位置が電動機の軸方向(スラスト方
向)にずれないようにする作用をする。すなわち、図3
において、マグネット109が上に移動したときには前
記の吸引力に下方に下げる成分が生じて回転スリーブ1
04は引き下げられ、下に移動したときには、上方に引
き上げる成分が生じて回転スリーブ104は引き上げら
れる。
【0009】このようにしてマグネット109とステー
タコア112とは、磁気的吸引力により軸方向の所定位
置にて対向させられるようにされる。すなわち、マグネ
ット109とステータコア112により磁気的スラスト
軸受が構成されている。
【0010】磁気検出素子114としては、例えばホー
ル素子が用いられる。これは、マグネット109の漏れ
磁束を検出して、マグネット109が回転する際にN極
が通過したかS極が通過したかを検出する。この磁気検
出素子114の検出信号は、基板113に印刷された配
線を通して、図示しない制御回路部へ送られる。制御回
路部では、この検出信号を基に、ステータコア112の
各箇所に巻回されているステータコイル111に流す電
流の向きを決める。その結果、マグネット109との相
互作用により回転を持続する方向の力が発生させられ
る。
【0011】また、図3に示した構成において、回転ス
リーブ104が回転すると、動圧発生用溝102によ
り、固定軸101の周囲に高い圧力の空気層が発生す
る。この空気の圧力により、回転スリーブ104は固定
軸101から浮いた状態で非接触に支持される、いわゆ
る動圧空気軸受が構成される。なお、ここでは、動圧発
生用の溝102を固定軸101の外周に設けているが、
回転スリーブ104の内壁に設けるようにしても良い。
前記の空気層は回転部の回転中心を一定に保つ作用をす
る。例えば回転スリーブ104が図3の左方にずれたと
すると、右方の隙間は大となり、その部分の隙間の圧力
はずれる前より小となる。一方、左方の隙間は小となる
から、その部分の隙間の圧力はずれる前より大となる。
圧力の大小関係がこのようになると回転スリーブ104
は右方に押され、最終的には元の位置に戻されることに
なる。
【0012】また、下ケース117上には上ケース11
8が設けられ、この上ケース118の側部には、多面鏡
105に対向する位置に開口119が設けられ、この開
口119にはウィンドウガラス120が装着されてい
る。
【0013】このように構成された光偏向器では、図し
ないレーザ等から出射された光ビームは、上ケース11
8の開口119に装着されたウィンドウガラス120を
通して多面鏡105の鏡面151に入射し、鏡面151
で反射されて再びウィンドウガラス120から感光体方
向に出射する。鏡面151に入射した光ビームは、鏡面
151で反射されて出射する際に、多面鏡105が回転
することにより、出射方向が除々に変えられ、感光体上
で主走査方向の走査がなされる。そして、多面鏡105
がさらに回転すると、次の鏡面151により光ビームが
上記と同様に偏向される。このようにして、光ビーム
は、感光体上で一定の角度範囲を走査することとなる。
また、その走査速度は多面鏡105の回転速度に依存す
る。
【0014】この種の光偏向器は例えば特開昭59−1
7023号公報に示されている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】前記公報に示される回
転体支持装置は、シリンダ内側に設けられたジャーナル
空気軸受(ラジアル軸受)とシリンダ外側に設けられた
スラスト磁気軸受とが軸方向に少なくとも一部重なるよ
うに配置されたことを特徴としている。
【0016】しかしながら、この構成では、スラスト磁
気軸受の部品精度や組立精度によるアンバランスがジャ
ーナル軸受の片側のみに影響することになり、回転時の
振動の要因となったり、起動停止時に軸受に与えるダメ
ージが大きくなり、軸受の寿命が著しく低下する等の問
題が発生する。
【0017】この欠点を解消するものとして、実開昭6
3−70532号公報には、中空回転軸の上下端部に磁
気軸受を設ける技術が示されている。
【0018】しかしながら、この技術においても以下の
ような問題点がある。 高価なマグネットを最低4個も必要とする。 上下の磁気軸受の性能を同一にするために物理的な位
置出しとして、マグネット、中空回転軸外形、そして固
定軸を高精度に加工する必要がある。 マグネットの着磁力、着磁パターンの均一化のために
磁束密度の全数検査や選別が不可欠となる。 高精度の部品が多数あるため、組み立てにも多大な工
数を必要とする。
【0019】そこで本発明の目的は、簡単な構成で、回
転中の振動や、起動停止時に軸受に与えるダメージを軽
減できるようにした空気磁気軸受型モータを提供するこ
とにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明の空
気磁気軸受型モータは、固定軸と、この固定軸に対して
回転可能に外嵌された中空回転体と、固定軸と中空回転
体の一方に形成された動圧発生用溝を有し動圧によって
中空回転体のラジアル方向の支持を行うラジアル空気軸
受と、中空回転体のスラスト方向の支持を行うスラスト
磁気軸受と、中空回転体を回転させる駆動手段とを備
え、ラジアル空気軸受が中空回転体を支持するために固
定軸に垂直な方向に発生させている圧力のモーメントが
等しくなる平衡点とスラスト磁気軸受の中空回転体の支
持位置とが略一致しているものである。
【0021】この空気磁気軸受型モータでは、スラスト
磁気軸受のラジアル方向への影響は、ラジアル空気軸受
に対して均等に作用する。
【0022】請求項2記載の発明の空気磁気軸受型モー
タは、請求項1記載の発明における駆動手段が、中空回
転体に固着されたマグネットと、このマグネットの周囲
に配設された環状のコアと、このコアに巻回されたトロ
イダルコイルとを有し、コアとマグネットがスラスト磁
気軸受を兼ねているものである。
【0023】請求項3記載の発明の空気磁気軸受型モー
タは、請求項1または2記載の発明におけるスラスト磁
気軸受の中空回転体の支持位置と中空回転体の重心位置
とを略一致させたものである。
【0024】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図1は本発明の第1実施例の空気磁気軸受
型モータを用いた光偏向器の断面図である。
【0025】本実施例のモータは駆動機構部とスラスト
磁気軸受が別部材で構成されているタイプのモータの例
である。このモータは、フランジ1に圧入された固定軸
2を有している。フランジ1はハウジング3に固定され
ている。固定軸2には、僅少間隙を隔てて中空回転体4
が回転可能に外嵌されている。固定軸2の表面には、上
側と下側の2箇所に、ヘリングボーン状の動圧発生用溝
5a、5bが設けられており、それぞれ中空回転体4内
面とによりラジアル空気軸受が形成されている。
【0026】モータの駆動機構は、中空回転体4に固着
された駆動用マグネット6と、この駆動用マグネット6
の周りに配置されハウジング3に固定された駆動用コイ
ル7と、その他、制御基板や磁気検出素子等によって構
成されている。図示しない磁気検出素子は、駆動用マグ
ネット6の漏れ磁束を検出し、検出信号を図示しない制
御回路部へ送出する。制御回路部では、この検出信号を
基に、駆動用コイル7に流す電流の向きを決める。その
結果、駆動用マグネット6との相互作用により回転を持
続する方向の力が発生させられる。
【0027】スラスト磁気軸受は、中空回転体4に固着
されたリング状の磁気軸受回転側マグネット8と、この
マグネット8の周りに配置されハウジング3に固定され
た磁気軸受固定側マグネット9とで構成されている。
【0028】また、中空回転体4には、光偏向器を構成
する回転多面鏡11が取り付けられている。また、ハウ
ジング3上には、カバー12が設けられ、このカバー1
2の側部には、回転多面鏡11に対向する位置に図示し
ない開口が設けられ、この開口には図示しないウィンド
ウガラスが装着されている。なお、回転多面鏡11の代
わりに、ホログラムディスク等、同等の効果を発揮する
走査体を設けても良い。
【0029】本実施例では、スラスト磁気軸受(8、
9)による中空回転体4の支持位置は、ラジアル空気軸
受が中空回転体4を支持するために固定軸2に垂直な方
向に発生させている圧力のモーメントが等しくなる平衡
点Pと一致している。本実施例では、上側の動圧発生用
溝5aによるラジアル軸受の剛性K1 を下側の動圧発生
用溝5bによるラジアル軸受の剛性K2 の2倍に設計し
ており、平衡点Pは上側のラジアル軸受の中心位置より
2つのラジアル軸受の中心間距離の1/3だけ下側に離
れた所に位置している。
【0030】また、本実施例では、中空回転体4、回転
多面鏡11、マグネット6、8を含むロータの重心位置
15を平衡点Pに一致させてある。
【0031】このような構成により、本実施例によれ
ば、スラスト磁気軸受のラジアル方向への影響は2つの
ラジアル空気軸受に対して均等に作用する。従って、ス
ラスト磁気軸受のラジアル方向に対するアンバランスに
よる回転中の振動や、起動停止時に軸受に与えるダメー
ジを軽減でき、軸受の寿命を伸ばすことができる。
【0032】また、一対のマグネット8、9でスラスト
磁気軸受を構成できるので、磁気軸受を構成するのに必
要な部品点数が削減される。
【0033】また、ロータの重心位置15を平衡点Pに
一致させているので、ロータのまわりのモーメントの中
心が軸受の中心と一致することによって、回転中の振動
や、起動停止時に軸受に与えるダメージをより一層軽減
することができる。なお、ロータのまわりのモーメント
の中心と軸受の中心とが一致していないと、軸受の中心
を中心として軸に直交する方向のモーメントが働いて、
回転中の振動や、起動停止時に軸受に与えるダメージの
原因となる。
【0034】図2は本発明の第2実施例の空気磁気軸受
型モータを用いた光偏向器の断面図である。
【0035】本実施例では、中空回転体4に、磁気軸受
回転側マグネットを兼ねた駆動用マグネット21が固着
されている。このマグネット21の周りには、ハウジン
グ3にねじ22によって固定された駆動用コア23が配
設され、このコア23に駆動用のトロイダルコイルが巻
回されている。駆動用コア23は磁気軸受固定側マグネ
ットを兼ねている。
【0036】また、駆動用コア23には、ねじ24によ
って制御用基板25が固定され、この制御用基板25上
に磁気検出素子が搭載されている。
【0037】また、中空回転体4には、回転多面鏡11
と、バランス修正用リング26が固着されている。
【0038】本実施例では、ラジアル軸受として、動圧
発生用溝5a、5bによって上下に2つの空気軸受を設
け、これら2つの空気軸受の剛性が等しくなるように設
計されている。従って、このラジアル空気軸受が中空回
転体4を支持するために固定軸2に垂直な方向に発生さ
せている圧力のモーメントが等しくなる平衡点Pは、2
つのラジアル空気軸受のちょうど中央部になる。そし
て、この平衡点Pは、スラスト磁気軸受(21、23)
による中空回転体4の支持位置と一致し、さらに中空回
転体4、回転多面鏡11、マグネット21、バランス修
正用リング26を含むロータの重心位置15とも一致し
ている。
【0039】本実施例では、駆動用マグネット21およ
び駆動用コア23がスラスト磁気軸受を兼ねているの
で、磁気軸受を構成するのに必要な部品点数をより一層
削減することができる。
【0040】その他の構成、作用および効果は第1実施
例と同様である。
【0041】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば動圧発生用溝は中空回転体4の内面に形成し
ても良い。
【0042】また、本発明は光偏向器以外にも適用で
き、他の分野に利用する場合には回転多面鏡11をVT
Rのシリンダヘッド等に置き換えれば良い。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
によれば、簡単な構成で、スラスト磁気軸受のラジアル
方向に対するアンバランスによる回転中の振動や、起動
停止時に軸受に与えるダメージを軽減でき、軸受の寿命
を伸ばすことができるという効果がある。また、磁気軸
受を構成するのに必要な部品点数を削減することができ
るという効果がある。
【0044】また、請求項2記載の発明によれば、駆動
用のコアとマグネットがスラスト磁気軸受を兼ねている
ので、上記効果に加え、磁気軸受を構成するのに必要な
部品点数をより一層削減することができるという効果が
ある。
【0045】また、請求項3記載の発明によれば、スラ
スト磁気軸受の中空回転体の支持位置と中空回転体の重
心位置とを略一致させたので、上記各効果に加え、回転
中の振動や、起動停止時に軸受に与えるダメージをより
一層軽減することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例の空気磁気軸受型モータ
を用いた光偏向器の断面図である。
【図2】 本発明の第2実施例の空気磁気軸受型モータ
を用いた光偏向器の断面図である。
【図3】 従来の空気磁気軸受を使用したモータを利用
したレーザプリンタ用光偏向器を示す断面図である。
【符号の説明】
2…固定軸、4…中空回転体、5a、5b…動圧発生用
溝、6…駆動用マグネット、7…駆動用コイル、8…磁
気軸受回転側マグネット、9…磁気軸受固定側マグネッ
ト、11…回転多面鏡、15…ロータの重心位置、P…
平衡点

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定軸と、 この固定軸に対して回転可能に外嵌された中空回転体
    と、 前記固定軸と中空回転体の一方に形成された動圧発生用
    溝を有し、動圧によって中空回転体のラジアル方向の支
    持を行うラジアル空気軸受と、 前記中空回転体のスラスト方向の支持を行うスラスト磁
    気軸受と、 前記中空回転体を回転させる駆動手段とを具備し、前記
    ラジアル空気軸受が中空回転体を支持するために固定軸
    に垂直な方向に発生させている圧力のモーメントが等し
    くなる平衡点と前記スラスト磁気軸受の中空回転体の支
    持位置とが略一致していることを特徴とする空気磁気軸
    受型モータ。
  2. 【請求項2】 前記駆動手段は、前記中空回転体に固着
    されたマグネットと、このマグネットの周囲に配設され
    た環状のコアと、このコアに巻回されたトロイダルコイ
    ルとを有し、前記コアとマグネットが前記スラスト磁気
    軸受を兼ねていることを特徴とする請求項1記載の空気
    磁気軸受型モータ。
  3. 【請求項3】 前記スラスト磁気軸受の中空回転体の支
    持位置と中空回転体の重心位置とが略一致していること
    を特徴とする請求項1または2記載の空気磁気軸受型モ
    ータ。
JP32030592A 1992-11-30 1992-11-30 空気磁気軸受型モータ Expired - Fee Related JP3306933B2 (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0794344A1 (en) * 1995-06-02 1997-09-10 Fuji Xerox Co., Ltd. High-speed rotary body
US6133667A (en) * 1998-06-09 2000-10-17 Fanuc Ltd. Method for coiling a wire around a stator core
US6397123B1 (en) 1998-06-02 2002-05-28 Fanuc Ltd. Numerical control apparatus
JP2007074839A (ja) * 2005-09-08 2007-03-22 Fujitsu Ltd 動圧軸受を有するモータ及びそれを有するディスク装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5834870A (en) * 1994-04-28 1998-11-10 Hitachi, Ltd. Oil impregnated porous bearing units and motors provided with same
US5961218A (en) * 1996-02-20 1999-10-05 Ebara Corporation Water lubricated machine component having contacting sliding surfaces
GB2322915B (en) * 1997-03-06 2001-06-06 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Hydrodynamic type porous oil-impregnated bearing
JP2000314421A (ja) * 1999-04-30 2000-11-14 Sumitomo Electric Ind Ltd ラジアル/アキシャル複合軸受構造、及び同構造を持つスピンドルモータ
JP2001188192A (ja) * 1999-12-28 2001-07-10 Toshiba Corp 光偏向用モータ
ITMI20060191A1 (it) * 2006-02-03 2007-08-04 Abb Service Srl Macchina elettrica a provas di esplosione
DE102017103622A1 (de) * 2017-02-22 2018-08-23 Rieter Cz S.R.O. Verfahren zur Lagerung eines Spinnrotors sowie Lagerung, Spinnrotor und Stützlager
CN108869540A (zh) * 2018-01-12 2018-11-23 至玥腾风科技投资集团有限公司 一种推力轴承、转子系统及推力轴承的控制方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5843421A (ja) * 1981-09-09 1983-03-14 Toshiba Corp 回転鏡光偏向器
US4523800A (en) * 1982-07-20 1985-06-18 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Polygonal mirror optical deflector
JPS5917023A (ja) * 1982-07-20 1984-01-28 Toshiba Corp 回転体支持装置
US4726640A (en) * 1985-09-24 1988-02-23 Ricoh Company, Ltd. Optical deflector with a pneumatic and a magnetic bearing
JPS6370532A (ja) * 1986-09-12 1988-03-30 Hitachi Ltd 半導体装置
US4820950A (en) * 1987-03-03 1989-04-11 Copal Company Limited Fluid Bearing
JPH02217610A (ja) * 1989-02-17 1990-08-30 Ntn Corp 動圧軸受装置
JPH03213712A (ja) * 1990-01-19 1991-09-19 Nippon Seiko Kk 軸受装置
JPH03256546A (ja) * 1990-03-05 1991-11-15 Ebara Corp スピンドルモータ
US5273368A (en) * 1990-11-13 1993-12-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Hydrodynamic gas bearing
US5142176A (en) * 1991-06-28 1992-08-25 Fuji Xerox Co., Ltd. Motor with rotor magnet thrust bearing
US5172021A (en) * 1991-07-03 1992-12-15 Fuji Xerox Co., Ltd. Deflector motor with gas bearing and magnet thrust bearing
US5289067A (en) * 1992-01-31 1994-02-22 Nsk Ltd. Bearing device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0794344A1 (en) * 1995-06-02 1997-09-10 Fuji Xerox Co., Ltd. High-speed rotary body
EP0794344A4 (en) * 1995-06-02 1999-03-17 Fuji Xerox Co Ltd HIGH SPEED ROTATING BODY
US6397123B1 (en) 1998-06-02 2002-05-28 Fanuc Ltd. Numerical control apparatus
US6133667A (en) * 1998-06-09 2000-10-17 Fanuc Ltd. Method for coiling a wire around a stator core
US6239528B1 (en) 1998-06-09 2001-05-29 Fanuc Ltd. Method for coiling a wire around a stator core
JP2007074839A (ja) * 2005-09-08 2007-03-22 Fujitsu Ltd 動圧軸受を有するモータ及びそれを有するディスク装置

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US5448121A (en) 1995-09-05

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