JPH0643383A - 光偏向器 - Google Patents

光偏向器

Info

Publication number
JPH0643383A
JPH0643383A JP4199431A JP19943192A JPH0643383A JP H0643383 A JPH0643383 A JP H0643383A JP 4199431 A JP4199431 A JP 4199431A JP 19943192 A JP19943192 A JP 19943192A JP H0643383 A JPH0643383 A JP H0643383A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
rotary
flange
polygon mirror
rotary polygon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4199431A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Takahashi
正弘 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP4199431A priority Critical patent/JPH0643383A/ja
Publication of JPH0643383A publication Critical patent/JPH0643383A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転体の動的不釣り合いを低減して高速回転
下でのモータ特性を改善し、偏向光学系全体を高精度に
維持する。 【構成】 回転多面鏡11の中心開孔を嵌合する回転ス
リーブ3の嵌合部3−2とキャップフランジ嵌合部12
−1の間に空隙24を形成し、ミラーフランジ3−1と
回転多面鏡11、キャップフランジ12と回転多面鏡1
1、および空隙24における回転多面鏡11の中心開口
とスリーブ3の3部分に接着層25−1を介在させると
共にネジ13で固着した。 【効果】 回転体の各部材の微少移動が防止され、回転
体の動的不釣り合いが抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、外周に複数の反射鏡面
を形成した回転多面鏡を回転させて光ビームを画像担体
あるいは記録部材上に偏向走査させる光偏向器に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、レーザ等の光源から出射された
光ビームで画像担体を走査してその画像を読み取る画像
読取装置、あるいは画像信号や文字信号で変調された光
ビームで記録媒体を走査して画像の記録を行う画像記録
装置では、上記光ビームを走査するための手段として多
数の反射鏡面を外周に有する回転多面鏡が用いられる。
【0003】この種の光偏向器として、相互に嵌合する
スリーブと軸の何れか一方を回転部材とし他方を固定部
材とする動圧空気軸受等を好適とする回転軸受と、回転
部材に取りつけた永久磁石と固定部材側に設置した環状
鉄心にコイルを巻回してなる磁気回路により回転トルク
を発生する,所謂駆動モータを構成すると共に軸方向に
回転体を保持する磁気軸受の機能を兼ね備えた磁気回路
を有する光偏向器が知られている。
【0004】図4はこの種の光偏向器を用いた画像記録
装置の概略構成の説明図であって、30はレーザ、31
はコリメータレンズ、32は集光光学系、33は記録媒
体である感光体、53は回転多面鏡、53−1は回転多
面鏡を構成する複数の反射鏡面、57は回転駆動機構
(駆動モータ)、58は防塵カバー、58−1は光ビー
ムが入出射する開口部である。
【0005】同図において、回転多面鏡53は駆動モー
タ57で矢印A方向に回転される。半導体レーザあるい
はガスレーザ等のレーザ30から出射される光ビーム
は、図示しない変調手段によって画像信号等で変調さ
れ、回転多面鏡53の反射鏡面53−1に入射する。回
転多面鏡53の反射鏡面53−1で反射された光ビーム
(反射光ビーム)は集光光学系32を通して感光体33
に投射される。
【0006】この反射光ビームは回転多面鏡53の矢印
A方向の回転に伴って矢印B方向に偏向されて感光体3
3上を主走査する。これと共に感光体33の矢印C方向
の回転により副走査が行われて当該感光体33上に2次
元の画像書込みがなされる。また、回転多面鏡53の反
射鏡面53−1に塵埃が付着するのを防止するために光
ビームの入出射窓58−1を有する防塵カバー58が取
付けられているものもある。
【0007】図5は従来の光偏向器の構造を説明する断
面図であって、1は固定軸、1−1は動圧発生用溝、2
はハウジング、3は回転スリーブ、3−1はミラーフラ
ンジ、4はカバー、4−1は入出射窓、5はマグネツト
ヨーク、6はマグネット、7はステータコア、8はスタ
ッド、9は回路基板、10は磁気検出素子、11は回転
多面鏡、12はキャップフランジ、13,17,18,
20はネジ、14はウインドウガラス、15は隙間、1
6は軸フランジ、19はカラー、21はバランスリン
グ、22は空気だまり、23は反射鏡面、26は微細穴
である。
【0008】同図において、固定軸1の一端は軸フラン
ジ16に固着されており、それらはネジ17によりハウ
ジング2に固定されている。固定軸1の周表面には、ラ
ジアル軸受として働く動圧発生用溝1−1が設けられて
いる。このラジアル軸受は、回転軸に対して直角の方向
に力が働いても、回転の中心が所定の位置よりズレない
ようにするための軸受である。
【0009】駆動モータを構成するロータ部は固定軸1
に隙間15を隔てて嵌挿した部分であり、回転スリーブ
3とこの回転スリーブ3に圧入あるいは接着等により固
着されたマグネツトヨーク5、マグネット6およびバラ
ンスリング21で構成されている。このロータ部に回転
多面鏡11が取り付けられる。回転多面鏡11の取り付
けは、多面鏡11の中心孔を回転スリーブ3に篏挿し、
その上方からキャップフランジ12を当て、ネジ13に
よって回転スリーブ3に固定することによって行う。固
定軸1の上端とキャップフランジ12の間には、スラス
ト方向(軸方向)のダンピングを抑制する空気だまり2
2が形成され、また、このキャップフランジ12の一部
には上記空気溜まりを外部と連通する微細孔26が設け
られている。
【0010】一方、駆動モータを構成するステータ部
は、ハウジング2と、このハウジング2にネジ17で固
定された軸フランジ16に一端が圧入等によって固着さ
れた固定軸1、ハウジング2にカラー19を介しネジ2
0によって固定されたステータコア7(なお、図示され
ていないが、ステータコア7にはコイルが巻回されてい
る)、ステータコア7に取り付けられたスタッド8によ
って支持される回路基板9、回路基板9上に植立設置さ
れたホール素子を好適とする磁気検出素子10等から構
成されている。
【0011】マグネット6は永久磁石であり、これと対
向するステータコア7との間には磁気的吸引力が働いて
いる。この吸引力は、マグネット6とステータコア7と
の対向位置がモータの軸方向(スラスト方向)にズレな
いようにする作用をする。つまり、図5において、マグ
ネット6が上方に移動した時には、前記吸引力に下方へ
引き下げる成分が現れ、外マグネツト6は引き下げられ
る。
【0012】かくして、マグネット6とステータコア7
とは、前記磁気吸引力により、軸方向の所定位置にて対
向せしめられるようにされる。すなわち、マグネット6
とステータコア7により、磁気的スラスト軸受が構成さ
れている。磁気検出素子10として使用される例えばホ
ール素子は、マグネット6の漏れ磁束を検出して、該マ
グネット6が回転する際に、N極が通過したかS極が通
過したかを検出する。この検出信号は、回路基板9に印
刷された配線を通して図示しない制御回路部へ送られ
る。制御回路部では、この検出信号を基にステータコア
7の各個所に巻回されているコイルに流す電流の向きを
決める。その結果、マグネット6との相互作用により回
転を持続する方向の力が発生させられる。
【0013】さて、回転スリーブ3が回転すると、動圧
発生用溝1−1により、固定軸1の周囲(隙間15の部
分)に高い圧力の空気層が発生する。この空気層により
回転スリーブ3は軸1より浮いた状態で支持され、所謂
動圧空気軸受が構成される。なお、同図では、動圧発生
用溝1−1を固定軸1の外周に設けているが、これに代
えて回転スリーブ3の内壁に設けてもよい。
【0014】前記したように、上記空気層はロータ部の
回転中心を一定に保つ作用をする。例えば、回転スリー
ブ3が図5の左方にズレると、右方の隙間は小となり、
その部分の隙間の圧力はズレる前より大となる。圧力の
大小関係が上記のようになると、回転スリーブ3は右方
に押され、最終的には元の位置へ戻されることになる。
【0015】回転多面鏡11は、軸方向の上方から見た
場合、多角形を成しており、その周側面には多数の鏡面
を有している。そして、入出射窓4−1のウインドウガ
ラス14を通って入射したレーザー等の光ビームは、回
転多面鏡11の反射鏡面23で反射され、再び入出射窓
4−1のウインドウガラス14を通って外部へ出て行
く。
【0016】第1の鏡面に光ビームが入射されていて、
回転多面鏡11が回転すると、該光ビームの反射光ビー
ムは徐々に向きを変えさせられる。つまり、偏向され
る。回転が進んで、次の第2の鏡面が回転して来ると、
光ビームは今度はこれに入射する。この第2の鏡面で
も、第1の鏡面と同様にして変更が行われる。従って、
反射光ビームは、一定の角度範囲を走査する形となる。
走査速度は、多面鏡11の回転速度に依存する。
【0017】図6は従来技術における回転多面鏡の固着
手段の一例を説明する要部断面図であって、駆動モータ
の回転軸50に固定したミラーフランジ51と押さえ板
52で回転多面鏡53を固定する際に、ミラーフランジ
51の回転多面鏡53の中心口を挿通する端面部に面取
り部54を形成し、この面取り部54と回転多面鏡53
の中心口に接着材55を介在させて固着している。
【0018】また、図7は従来技術における回転多面鏡
の固着手段の他の例を説明する要部断面図であって、駆
動モータ57の回転軸50に固定したミラーフランジ5
1に溝56を形成し、回転多面鏡53と上記ミラーフラ
ンジ51と接する面に接着剤を介在させて接着する際に
上記溝56に接着剤55が封入されるようにしている。
【0019】なお、この種の回転多面鏡の固着について
は、実開平4−31113号公報、あるいは実開昭59
−123822号公報などに開示がなされている。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回転多
面鏡の固着手段として、ミラーフランジにネジを用いた
前記図5で説明した形式のものでは、回転多面鏡の高速
回転時にネジ部に応力が集中して回転多面鏡に大きな歪
みが生じたり、遠心力や温度上昇等によって、当該回転
多面鏡を含む回転体を構成する各部材に微小移動が起こ
り、動的不釣り合いが変化して時間と共に振動が増加
し、これが光ビームの偏向精度を低下させるという問題
があった。
【0021】また、接着剤を用いる前記図6、図7で説
明したものでは、接着剤の適用部分が回転多面鏡の一方
の面側にあるために、高速回転時にこの接着剤部分に応
力がかかり、回転多面鏡に大きな歪みが生じ、結果的に
反射鏡面の倒れがおこるという問題があった。この種の
光偏向器は高速回転環境下での高性能が要求されるもの
であり、特にレーザ等から発射した光ビームを偏向する
重要部品であるため、回転多面鏡の精度のみならず、光
ビームを感光体や記録媒体状に高精度に偏向走査するた
めには光学装置全体の位置移動や振動が光学装置性能に
大きく影響する。
【0022】前記の従来技術のように回転多面鏡をネジ
のみで固定した場合、あるいは一部に接着剤を適用した
ものでは、高速回転での遠心力や温度上昇等の要因で、
回転体を構成している各部材の線膨張係数や熱膨張係
数,あるいは接触摩擦抵抗等の違いから各構成部材に位
置の微小移動あるいは振動が起こり、これが回転体の動
的不釣り合いをもたらす。
【0023】このことは回転初期に高精度な動不釣り合
いを保っていて駆動モータの振動が小さいにも関わら
ず、回転の上昇と共に動的不釣り合いが増加して振動が
増加してしまうことを意味する。振動の増加は高速回転
での駆動モータのモータ特性を低下させるだけでなく、
レンズ等を構成している光学装置全体の性能も低下させ
てしまう。
【0024】動的不釣り合いは慣性モーメントが大きい
もので位置変動が著しく大きいほど影響しやすい。上記
した構造の光偏向器は回転多面鏡の慣性モーメントが大
きいために、回転多面鏡の位置変動を抑制しなければな
らない。本発明の目的は、上記従来技術の諸問題を解消
し、回転体の動的不釣り合いを低減して高速回転下での
モータ特性を改善し、偏向光学系全体を高精度に維持す
ることのできる光偏向器を提供することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、中心開口を有する回転多面鏡を回転駆動
する駆動モータの軸受に動圧空気軸受を具備し、前記回
転多面鏡11とこの回転多面鏡11の台座であるミラー
フランジ3−1と前記回転スリーブ3と前記多面鏡11
を押さえるキャップフランジ12を少なくとも備える光
偏向器において、前記回転スリーブ3の前記回転多面鏡
11の前記中心開孔を嵌合する嵌合部3−2と前記キャ
ップフランジ嵌合部12−1の間に空隙24を形成し、
前記ミラーフランジ3−1と前記回転多面鏡11、前記
キャップフランジ12と前記回転多面鏡11、および前
記空隙24における回転多面鏡11の中心開口とスリー
ブ3の3部分に接着剤を介在させてこれらの各部材を固
着した構造としたことを特徴とする。
【0026】すなわち、本発明は、マグネット6を備
え、回転スリーブ3に固定されたマグネットヨーク5
と、前記回転スリーブ3に挿通された固定軸1と、固定
軸を保持する軸フランジ16と、前記軸フランジ16に
固着したハウジング2と、前記ハウジングに固定され前
記マグネットヨーク5と磁気的に結合して回転トルクを
発生させるための磁気回路を構成するステータコア7
と、外周に複数の反射鏡面23を有し、中心に前記回転
スリーブ3に挿通する中心開口をもつ回転多面鏡11と
を少なくとも有する光偏向器において、前記回転多面鏡
11の前記中心開口に挿通して固定する嵌合部3−2と
前記回転多面鏡11を載置するミラーフランジ3−1と
を有する回転スリーブ3と、前記回転多面鏡11を前記
ミラーフランジ3−1との間で挟持固定する前記キャッ
プフランジ嵌合部12−1をもつキャップフランジ12
と、前記回転スリーブ3の前記回転多面鏡11の前記中
心開孔を嵌合する嵌合部3−2と前記キャップフランジ
嵌合部12−1の間に形成した空隙24を備え、前記ミ
ラーフランジ3−1と前記回転多面鏡11、前記キャッ
プフランジ12と前記回転多面鏡11、および前記空隙
24における回転多面鏡11の中心開口とスリーブ3の
3個所に介在させた接着剤25による接着層25−1
と、前記キャップフランジ12と前記ミラーフランジ3
−1との間で前記回転多面鏡11を固定する複数のネジ
13とを有し、前記回転多面鏡11を前記接着層25−
1と前記ネジ13とで前記回転フランジ3に固着したこ
とを特徴とするとする。
【0027】なお、本発明は上記したような固定軸方式
の回転駆動機構を備えたものに限らず、駆動モータの回
転軸に回転多面鏡を固着する回転軸方式の光偏向器にも
適用できるものであることは言うまでもない。
【0028】
【作用】上記したように、回転多面鏡11とこの回転多
面鏡11の台座であるミラーフランジ3−1と前記回転
スリーブ3と前記多面鏡11を押さえるキャップフラン
ジ12の部材からなる回転多面鏡固着構造に前記空隙2
4を形成し、接着剤を用いて上記回転多面鏡11の下面
11−1とミラーフランジ3−1の間、上記回転多面鏡
11の上面11−2とキャップフランジ12の間、およ
び前記空隙24における回転多面鏡11の中心開口とス
リーブ3の3個所に接着剤を介在させると共に、キャッ
プフランジ12からミラーフランジ3−1とで回転多面
鏡11を挟持して締結するネジ13を用いることによ
り、回転多面鏡11は回転スリーブ3に一体的に固着さ
れ、かつ空隙24が回転多面鏡11の遠心力が作用する
軸線上に位置していることから、高速回転時の遠心力に
よる反射鏡面23の面倒れの発生もなく、回転体の各部
材の微少移動や振動が防止され、回転体の動的不釣り合
いの発生が抑制され。
【0029】
【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。図1は本発明による光偏向器の一実
施例の構造を説明する断面図であって、1は固定軸、1
−1は動圧発生用溝、2はハウジング、3は回転スリー
ブ、3−1はミラーフランジ、3−2はミラーフランジ
嵌合部、4はカバー、4−1は入出射窓、5はマグネツ
トヨーク、6はマグネット、7はステータコア、8はス
タッド、9は回路基板、10は磁気検出素子、11は回
転多面鏡、11−1は回転多面鏡の下面、11−2は回
転多面鏡の上面、11−3は回転多面鏡の中心口内壁、
12はキャップフランジ、12−1はキャップフランジ
嵌合部、13,17,18,20はネジ、14はウイン
ドウガラス、15は隙間、16は軸フランジ、19はカ
ラー、21はバランスリング、22は空気だまり、23
は反射鏡面、24は空隙、25は接着剤、25−1は接
着層、26は微細穴である。
【0030】なお、キャップフランジ12の微細孔26
は空気溜まり22と外気とを連絡して回転スリーブ3の
軸方向位置を安定させるためのものである。同図の構成
の作用とその動作は前記図5で説明した従来の光偏向器
と基本的には同様のものであるが、構成上で前記図5と
異なる点は、ミラーフランジ篏合部3−2で回転多面鏡
11が間挿され空隙24に接着剤25による接着層25
−1を介在させた点と、ミラーフランジ3−1とキャッ
プフランジ12間に回転多面鏡11を挟持してネジ13
を用いて固着した点である。
【0031】図2は図1に示した実施例の要部構造を説
明する部分断面図であって、図1と同一符号は同一部分
に対応する。同図において、回転多面鏡11の下面11
−1は回転スリーブ3と一体のミラーフランジ3−1の
上面に載置され、回転多面鏡11の上面11−2はキャ
ップフランジ12の下面に当接されており、回転多面鏡
11の中心開口内壁11−3はミラーフランジ嵌合部3
−2とキャップフランジ嵌合部12−1に嵌合されてい
る。そして、ミラーフランジ嵌合部3−2とキャップフ
ランジ嵌合部12−1はその固定軸1の軸方向と平行な
方向に離間されており、回転多面鏡11の中心開口内壁
11−3と共に空隙24を形成している。
【0032】この空隙24と、上記回転多面鏡11の下
面および上面において、それぞれミラーフランジ3−1
とキャップフランジ嵌合部12−1間に、これら3箇所
を連続するように接着剤25による接着層25−1が介
在されている。したがって、回転多面鏡11は接着剤2
5による接着層25−1によって3面(3点)で固着さ
れている。
【0033】図3は図1の光偏向器の上面図であって、
カバー4の上部を省略して回転多面鏡を含む回転体を露
出して示したものである。同図に示したように、前記し
た接着剤25による固着に加えて、等角度に配置した複
数本(図では3本)のネジ13を用いて回転多面鏡11
を回転スリーブ3に固着している。
【0034】上記の構成を備えたことにより、回転多面
鏡11とこの回転多面鏡11の台座であるミラーフラン
ジ3−1のミラーフランジ嵌合部3−2と前記回転スリ
ーブ3と前記多面鏡11を押さえるキャップフランジ1
2のキャップフランジ嵌合部12−1との間に形成した
空隙24の3箇所に接着層25−1を介在させると共
に、ネジ13と併用することで、回転多面鏡11の高速
回転によって発生する回転体の各部材の微少移動や振
動、あるいは反射鏡面23の面倒れを防止し、回転体の
動不釣り合いの増加が抑制されて低振動が保たれる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回転多面鏡とミラーフランジ、回転スリーブとキャップ
フランジおよびこれらの部材で構成される回転多面鏡の
中心開口内壁の形成した空隙に接着層を介在させて3点
で固着し、かつ上記ミラーフランジとキャップフランジ
との間でネジを用いて締結したことによって、回転によ
って発生する回転多面鏡を含む回転体の各部材の微少移
動が防止され、回転体の動的不釣り合いが抑制されて、
高速回転時での駆動モータ特性、レンズ等を構成してい
る光学装置全体の性能を高精度に維持することが可能と
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による光偏向器の一実施例の構造を説
明する断面図である。
【図2】 本発明による光偏向器の一実施例の要部構造
を説明する図1の部分断面図である。
【図3】 本発明による光偏向器の一実施例を説明する
図1の上面図であって、カバーの上部を省略して回転多
面鏡を含む回転体を露出して示したものである。
【図4】 回転多面鏡を有する光偏向器を用いた画像記
録装置の概略構成の説明図である。
【図5】 従来の光偏向器の構造を説明する断面図であ
る。
【図6】 回転多面鏡の従来の固着手段の一例を説明す
る要部断面図である。
【図7】 回転多面鏡の従来の固着手段の他の例を説明
する要部断面図である。
【符号の説明】
1・・・・固定軸 1−1・・・・動圧発生用溝 2・
・・・ハウジング 3・・・・回転スリーブ 3−1・
・・・ミラーフランジ 3−2・・・・ミラーフランジ
嵌合部 4・・・・カバー 4−1・・・・入出射窓
5・・・・マグネツトヨーク 6・・・・マグネット
7・・・・ステータコア 8・・・・スタッド 9・・
・・回路基板 10・・・・磁気検出素子 11・・・
・回転多面鏡 11−1・・・・回転多面鏡の下面 1
1−2・・・・回転多面鏡の上面11−3・・・・回転
多面鏡の中心口内壁 12・・・・キャップフランジ 12−1・・・・キャップフランジ嵌合部 13,1
7,18,20・・・・ネジ 14・・・・ウインドウ
ガラス 15・・・・隙間 16・・・・軸フランジ
19・・・・カラー 21・・・・バランスリング 2
2・・・・空気だまり 23・・・・反射鏡面 24・
・・・空隙 25・・・・接着剤 25−1・・・・接
着層 26・・・・微細穴。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マグネットを備えて回転スリーブに固定さ
    れたマグネットヨークと、回転スリーブに挿通された固
    定軸と、固定軸を保持する軸フランジと、軸フランジに
    固着したハウジングと、ハウジングに固定されマグネッ
    トヨークと磁気的に結合して回転トルクを発生させるた
    めの磁気回路を構成するステータコアと、外周に複数の
    反射鏡面を有し、中心に前記回転スリーブに挿通する中
    心開口をもつ回転多面鏡とを少なくとも有する光偏向器
    において、 前記回転多面鏡の前記軸穴に挿通して固定する嵌合部
    と、前記回転多面鏡を載置するミラーフランジとを有す
    る回転スリーブと、 前記回転多面鏡を前記ミラーフランジとの間で挟持固定
    するキャップフランジ嵌合部をもつキャップフランジ
    と、 前記回転スリーブの前記回転多面鏡の前記中心開口を嵌
    合する嵌合部と前記キャップフランジ嵌合部の間に形成
    した空隙を備え、 前記ミラーフランジと前記回転多面鏡、前記キャップフ
    ランジと前記回転多面鏡および前記空隙における回転多
    面鏡の中心開口とスリーブの3個所に介在させた接着剤
    による接着層と、 前記キャップフランジと前記ミラーフランジとの間で前
    記回転多面鏡を固定する複数のネジとを有し、 前記回転多面鏡を前記接着層と前記ネジとで前記回転フ
    ランジに固着したことを特徴とする光偏向器。
JP4199431A 1992-07-27 1992-07-27 光偏向器 Pending JPH0643383A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4199431A JPH0643383A (ja) 1992-07-27 1992-07-27 光偏向器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4199431A JPH0643383A (ja) 1992-07-27 1992-07-27 光偏向器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0643383A true JPH0643383A (ja) 1994-02-18

Family

ID=16407707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4199431A Pending JPH0643383A (ja) 1992-07-27 1992-07-27 光偏向器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0643383A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000031618A1 (fr) * 1998-11-20 2000-06-02 Fujitsu Limited Ecran tactile a balayage optique
US8359712B2 (en) 2009-05-21 2013-01-29 Kabushiki Kaisha Honda Lock Vehicle door outer handle device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000031618A1 (fr) * 1998-11-20 2000-06-02 Fujitsu Limited Ecran tactile a balayage optique
US6664952B2 (en) 1998-11-20 2003-12-16 Fujitsu Limited Optical scanning-type touch panel
EP1837740A2 (en) * 1998-11-20 2007-09-26 Fujitsu Limited Optical scanning-type touch panel
EP1837740A3 (en) * 1998-11-20 2008-07-02 Fujitsu Limited Optical scanning-type touch panel
US8359712B2 (en) 2009-05-21 2013-01-29 Kabushiki Kaisha Honda Lock Vehicle door outer handle device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4512626A (en) Rotating mirror scanner
JP3306933B2 (ja) 空気磁気軸受型モータ
JP3141547B2 (ja) 光偏向器
JPH0749463A (ja) 光偏向器
JPH0643383A (ja) 光偏向器
JPS63100416A (ja) 光偏向装置
JP4474064B2 (ja) 駆動モータ
US6031650A (en) Light deflecting apparatus and deflection scanning apparatus using the same
JP3128975B2 (ja) 光偏向器
JPH06130314A (ja) 光偏向器
JP3193539B2 (ja) 光偏向器
JP3166437B2 (ja) 光偏向器
JPH06137985A (ja) 回転不釣合調整装置
JPH06118326A (ja) 光偏向器
JPH06130315A (ja) 光偏向器
JP2959137B2 (ja) 光偏向器
JP3671708B2 (ja) 光偏向装置
JPH06118327A (ja) 光偏向器
JPH07244250A (ja) 光偏向器
JPH06110004A (ja) 光偏向器
JP3313941B2 (ja) 偏向走査装置
JPH0772412A (ja) 光偏向器
JP3608327B2 (ja) 磁気軸受装置
JPH06167665A (ja) 光偏向器およびその製造方法
JPH11212018A (ja) 光偏向器