JPH06118327A - 光偏向器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スキャナーモータのマグネットの着磁に起因
する軸と回転体との間の接触摩擦を低減し、長寿命の光
偏向器を提供する。 【構成】 スリーブ３とこのスリーブ３を挿着する軸１
の一方を回転部材とし他方を固定部材とする動圧空気軸
受と、回転部材に固定されて４極以上に着磁された回転
駆動用のマグネット６と、固定部材に設けたステータコ
ア７と、回転部材に固定された回転多面鏡１１とからな
る。 【効果】 ４極以上偶数個の着磁マグネットを備えるこ
とで、ステータコア７とマグネットとの間に働く力は、
マグネット回転によって変動することがなくなり、２倍
波形磁気不平衡力は略々零となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外周に複数の反射鏡面
を形成した回転多面鏡を回転させ、前記反射鏡面に入射
する光ビームを反射させて画像担体あるいは記録部材上
に偏向走査させる光偏向器に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、レーザ等の光源から出射された
光ビームで画像担体等を走査してその画像を読み取る画
像読取装置、あるいは画像信号や文字信号で変調された
光ビームで記録媒体を走査して画像の記録を行う画像記
録装置では、上記光ビームを走査するための手段として
複数の反射鏡面を外周に有する回転多面鏡が用いられ
る。

【０００３】この種の光偏向器として、相互に挿着する
スリーブと軸の何れか一方を回転部材とし他方を固定部
材とする動圧空気軸受等を好適とする回転軸受と、回転
部材に取りつけた永久磁石（マグネット）と固定部材に
設置した環状鉄心（ステータコア）に電磁コイルを巻回
してなる磁気回路により回転トルクを発生する回転トル
ク発生機能，所謂スキャナーモータを構成すると共に軸
方向に回転体を保持する磁気軸受の機能を兼ね備えた磁
気回路を有する光偏向器が知られている。

【０００４】図７はこの種の光偏向器を用いた画像記録
装置の概略構成の説明図であって、３０はレーザ、３１
はコリメータレンズ、３２は集光光学系、３３は記録媒
体である感光体、５３は回転多面鏡、５３−１は回転多
面鏡を構成する複数の反射鏡面、５７は回転駆動機構
（スキャナーモータ）、５８は防塵カバー（以下、単に
カバーという）、５８−１は光ビームが入出射する開口
部（入出射窓）である。

【０００５】同図において、回転多面鏡５３はスキャナ
ーモータ５７で矢印Ａ方向に回転される。半導体レーザ
あるいはガスレーザ等のレーザ３０から出射される光ビ
ームは、図示しない変調手段によって画像信号等で変調
され、回転多面鏡５３の反射鏡面５３−１に入射する。
回転多面鏡５３の反射鏡面５３−１で反射された光ビー
ム（反射光ビーム）は集光光学系３２を通して感光体３
３に投射される。

【０００６】この反射光ビームは回転多面鏡５３の矢印
Ａ方向の回転に伴って矢印Ｂ方向に偏向されて感光体３
３上を主走査する。これと共に感光体３３の矢印Ｃ方向
の回転により副走査が行われて当該感光体３３上に２次
元の画像書込みがなされる。なお、光ビームの入出射窓
５８−１を有する防塵カバー５８は回転多面鏡５３の反
射鏡面５３−１に塵埃が付着するのを防止するために取
付けられるものである。

【０００７】図８は従来の光偏向器の構造を説明する断
面図、図９は図８のスキャナーモータを構成するマグネ
ットの着磁状態を示すマグネット部分の要部平面図であ
って、１は固定軸、１−１は動圧発生用溝、２はハウジ
ング、３は回転スリーブ、３−１はフランジ、４はカバ
ー、４−１は入出射窓、５はヨーク、６はマグネット、
７はステータコア、８はスタッド、９は回路基板、１０
は磁気検出素子、１１は回転多面鏡、１２はキャップフ
ランジ、１３，１７，１８，２０はネジ、１４はウイン
ドウガラス、１５は隙間、１６は軸フランジ、１９はカ
ラー、２１はバランスリング、２２は反射鏡面、２３は
空気だまり、２４は電磁コイル、２５は微細孔である。

【０００８】この光偏向器は軸１が固定され、この軸１
に挿着したスリーブが回転する固定軸形式のものであ
り、ここでは軸１を固定軸、スリーブ３を回転スリーブ
として説明する。図８と図９において、固定軸１の一端
は軸フランジ１６に固着されており、それらはネジ１７
によりハウジング２に固定されている。

【０００９】固定軸１の周表面には、ラジアル軸受とし
て働く動圧発生用溝１−１が設けられている。このラジ
アル軸受は、軸方向に対して直角の方向に力が働いて
も、回転の中心が所定の位置よりズレないようにするた
めの軸受である。スキャナーモータを構成するロータ部
は固定軸１に隙間１５を隔てて挿着した部分であり、回
転スリーブ３とこの回転スリーブ３に圧入あるいは接着
等により固着されたヨーク５、ヨーク５に固着したマグ
ネット６、およびバランスリング２１で構成されてい
る。

【００１０】このロータ部に回転多面鏡１１が取り付け
られる。回転多面鏡１１の取り付けは、当該多面鏡１１
の中心孔を回転スリーブ３に挿着し、その上方からキャ
ップフランジ１２を当て、ネジ１３によって回転スリー
ブ３に固定することによって行う。固定軸１の上端とキ
ャップフランジ１２の間には、スラスト方向（軸方向）
のダンピングを抑制する空気だまり２３が形成される。
なお、微細孔２５は空気だまり２３と外気とを連通して
上記空気だまり２３によるダンピング効果を安定化させ
る。

【００１１】一方、スキャナーモータを構成するステー
タ部は、ハウジング２と、このハウジング２にネジ１７
で固定された軸フランジ１６に一端が圧入等によって固
着された固定軸１、ハウジング２にカラー１９を介しネ
ジ２０によって固定されたステータコア７、ステータコ
ア７に巻回されたトロイダル形式を好適とする電磁コイ
ル２４、ステータコア７に取り付けられたスタッド８に
よって支持される回路基板９、回路基板９上に植立設置
されたホール素子を好適とする磁気検出素子（センサ
ー）１０等から構成されている。

【００１２】回転多面鏡を回転駆動する所謂スキャナー
モータ部を構成するマグネット６は永久磁石であり、図
９に示したように２極着磁されており、対向するステー
タコア７との間には磁気的吸引力が働いている。この吸
引力は、マグネット６とステータコア７との対向位置
が、モータの軸方向（スラスト方向）にズレないように
する作用をする。つまり、マグネット６が右方に移動し
た時には、前記吸引力に左方へ引き戻す成分が現れて引
き戻されるし、左方に移動したときには右方に引き戻さ
れる成分が現れて引き戻される。かくして、マグネット
６とステータコア７とは、前記磁気吸引力により、軸方
向の所定位置にて対向せしめられるようにされる。すな
わち、マグネット６とステータコア７により、磁気的ス
ラスト軸受が構成されている。

【００１３】磁気検出素子１０としては、例えば、ホー
ル素子が用いられる。これは、マグネット６の漏れ磁束
を検出して、マグネット６が回転する際、Ｎ極が通過し
たかＳ極が通過したかを検出する。磁気検出素子１０の
検出信号は、回路基板９に印刷された配線を通して図示
しない制御回路部へ送られる。制御回路部では、この検
出信号を基に、ステータコア７の各個所に巻回されてい
る電磁コイルに流す電流の向きを決める。その結果、マ
グネット６との相互作用により回転を持続する方向の力
が発生させられる。

【００１４】回転スリーブ３が回転すると、動圧発生用
溝１−１により、軸１の周囲（隙間１５の部分）に高い
圧力の空気層が生ぜしめられる。この圧力により、回転
スリーブ３は軸１より浮いた状態で支持される動圧空気
軸受が構成される。なお、同図では、動圧発生用溝１−
１を固定軸１の外周に設けているが、これに代えて回転
スリーブ３の内壁に動圧発生用溝１−１を設けるように
してもよいものである。

【００１５】上記隙間１５の空気層はロータ部の回転中
心を一定に保つ作用をする。例えば、回転スリーブ３が
同図の左方にズレたとすると、右方の隙間１５の隙間が
大となり、この部分の隙間の圧力はズレる前より小とな
る。一方、左方の隙間は小となるから、この部分の隙間
の圧力はズレる前より大となる。圧力の大小関係が上記
のようになると、回転スリーブ３は右方に押され、最終
的には元の位置へ戻されることになる。

【００１６】図１０は回転多面鏡とその偏向動作の説明
図であって、図８のカバー４を取り去った上面図を示し
ている。回転多面鏡１１は同図に示したように、軸方向
の上方から見た場合、正多角形を成しており、その外周
（側面）には多数の反射鏡面２２を有している。同図に
おいて、入射窓４−１のウインドウガラス１４を通って
入射したレーザー等の光ビームは、回転多面鏡１１の反
射鏡面２２で反射され、再び入射窓４−１のウインドウ
ガラス１４を通って出射される。

【００１７】光ビームが入射窓４−１の位置にある反射
鏡面に入射して回転多面鏡１１が回転すると、該光ビー
ムの反射光ビームは徐々に向きが変えさせられ、偏向が
なされる。回転が進んで、次の反射鏡面が回転して来る
と、光ビームは今度はこれに入射する。この反射鏡面で
も、前の反射鏡面と同様にして偏向が行われる。従っ
て、反射光ビームは、一定の角度範囲を走査する形とな
り、その走査速度は回転多面鏡１１の回転速度に依存す
る。

【００１８】上記の光偏向器は軸１を固定した固定軸型
であるが、スリーブをハウジングに固定し、これに回転
軸を挿着した回転軸型も知られている。なお、この種の
光偏向器に関する従来技術は、例えば特開昭６２−２３
１９２２号公報に開示されている。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
て、回転多面鏡を回転させる駆動機構，所謂スキャナー
モータを構成するマグネット６が２極であるために、該
駆動機構の回転に伴って３つの磁気不平衡力（基本波形
力と２倍波形力とオフセット力）が発生する。モータに
は動圧空気軸を使用しているがために回転起動時と停止
時には回転体の軸と回転スリーブの特定位置が接触し、
この磁気不平衡力が軸受を摩耗させ寿命を低下させると
いう問題があった。

【００２０】図５はスキャナーモータを構成するマグネ
ットが２極着磁の場合の磁気不平衡力の基本波形磁気不
平衡力の説明図であって、横軸はマグネットの回転量
（回転角度）、縦軸は磁束密度Ｂｇを示す。スキャナー
モータを構成するマグネット６が前記図９に示したよう
な２極着磁の場合、軸受軸（固定軸１）の中心とマグネ
ット６の外径中心との偏心によって、軸受軸の任意の１
点（同図では軸受軸にかかる力をステータコア７で測定
できるようにしているので、ステータコア７に固定した
磁気不平衡力検知センサー部：磁気検出素子１０）にか
かる磁気不平衡力の１つとして、回転体すなわちマグネ
ット６の１回転につき１回発生する磁気不平衡力Ｆ１が
存在する。これを基本波形磁気不平衡力と言う。

【００２１】図６はスキャナーモータを構成するマグネ
ットが２極着磁の場合の磁気不平衡力の２倍波形磁気不
平衡力とオフセット力の説明図であって、横軸はマグネ
ットの回転量（回転角度）、縦軸は磁束密度Ｂｇを示
す。スキャナーモータを構成するマグネット６の着磁が
２極の場合、軸受軸（固定軸１）の中心と環状のステー
タコア７の内径中心との偏心によって、軸受軸の上記任
意の１点にかかる磁気不平衡力は、回転体であるマグネ
ット６の１回転につき２回発生する磁気不平衡力と該回
転体の回転に関係なく常に一定の磁気不平衡力が働いて
いる。

【００２２】この回転体１回転につき２回の磁気不平衡
力を２倍波形磁気不平衡力と言い、回転に関係なく常に
働く磁気不平衡力をオフセット力と言う。動圧空気軸受
は回転起動時と停止時には軸受隙間における圧力が小さ
く固定軸１と回転スリーブ３とが接触しながら回転して
いる。そして、回転速度が速くなるに伴って上記圧力が
上昇し、固定軸１と回転スリーブ３とが非接触となる。

【００２３】軸受の隙間１５の圧力は半径方向に均一で
あるため、回転起動時や停止時に半径方向に対し特定方
向の外力が加わっている場合、その接触時間や接触力が
増加し軸受の摩耗をさらに促進し寿命が低下する。した
がって２極のマグネットとからなる磁気不平衡力が寿命
に大きな影響を与えるという問題がある。本発明の目的
は、上記従来技術の問題点を解消し、スキャナーモータ
のマグネットの着磁に起因する軸と回転体との間の接触
摩擦を低減し、長寿命の光偏向器を提供することにあ
る。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、回転多面鏡を有するスキャナーモータと
その軸受に動圧空気軸受構造を具備する光偏向器におい
て、スキャナーモータを構成するマグネットの極数を４
極以上の偶数個にすることによって、軸受に作用する磁
気不平衡力を大幅に低減させたものである。

【００２５】すなわち、本発明は、相互に挿着したスリ
ーブ３とこのスリーブ３を挿着する軸１の一方を回転部
材とし他方を固定部材とする動圧空気軸受と、上記回転
部材に固定されて外周に複数の反射鏡面２２を形成した
回転多面鏡１１と、上記回転部材に固定された回転駆動
用のマグネット６と、上記固定部材に設けた電磁コイル
２４を巻回したステータコア７とで構成された回転トル
ク発生機能と上記回転部材を上記軸１の軸方向に保持す
る磁気軸受機能とを兼ね備えた磁気回路とを有し、上記
回転多面鏡１１を回転させることにより、入射する光ビ
ームを上記回転多面鏡１１の反射鏡面２２で反射させて
偏向を行う光偏向器において、前記マグネット６の着磁
を４極以上としたことを特徴とする。

【００２６】なお、本発明は、軸受の軸を固定した固定
軸形式に限らず、スリーブ側を固定部材とし、これに挿
着した回転軸に回転多面鏡を固定した回転軸形式の動圧
空気軸受を備える光偏向器にも同様に適用できることは
言うまでもない。さらに、本発明は、ステータコアの内
周に回転マグネットを配置した，所謂インナーローター
型スキャナーモータに限るものではなく、回転マグネッ
トをステータコアの外周に配置した，所謂アウターロー
タ型のスキャナーモータをもつ光偏向器にも適用でき、
また、光偏向器以外の駆動用モータにも同様に適用でき
るものである。

【００２７】

【作用】磁気不平衡力の内、２倍波形の磁気力の差は軸
受の軸中心とステータコアの外径中心との偏心によって
発生する。４極以上偶数個の着磁マグネットを備えた場
合では、ステータコアとマグネットとの間に働く力は、
マグネット回転によって変動することがなくなるので、
この２倍波形磁気不平衡力は略々零となる。

【００２８】したがって、軸受における軸と回転体との
間の接触が略々解消され、長寿命の軸受機構をもつ光偏
向器を構成することが可能となる。

【００２９】

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。図１は本発明による光偏向器の１実
施例の説明図であって、（ａ）は光偏向器の一部を破断
した断面図、（ｂ）はその要部を示す平面図である。同
図において、１は固定軸、１−１は動圧発生用溝、２は
ハウジング、３は回転スリーブ、３−１はフランジ、４
はカバー、４−１は入出射窓、５はヨーク、６はマグネ
ット、７はステータコア、８はスタッド、９は回路基
板、１０は磁気検出素子、１１は回転多面鏡、１２はキ
ャップフランジ、１３，１７，１８，２０はネジ、１４
はウインドウガラス、１５は隙間、１６は軸フランジ、
１９はカラー、２１はバランスリング、２２は反射鏡
面、２４は電磁コイル、２５は微細孔である。

【００３０】図示の光偏向器は前記従来技術の項で説明
したものと概略構造において略々同一のものであるが、
以下では構造理解の都合上説明が重複する部分もある。
この光偏向器は軸１が固定され、この軸１に挿着したス
リーブが回転する固定軸形式のものであり、ここでは軸
１を固定軸、スリーブ３を回転スリーブとして説明す
る。

【００３１】同図（ａ）に示したように、固定軸１の一
端は軸フランジ１６に固着されており、それらはネジ１
７によりハウジング２に固定されている。固定軸１の周
表面には、ラジアル軸受として働く動圧発生用溝１−１
が設けられている。このラジアル軸受は、軸方向に対し
て直角の方向に力が働いても、回転の中心が所定の位置
よりズレないようにするための軸受である。

【００３２】スキャナーモータを構成するロータ部は固
定軸１に隙間１５を隔てて挿着した部分であり、回転ス
リーブ３とこの回転スリーブ３に圧入あるいは接着等に
より固着されたヨーク５、ヨーク５に固着したマグネッ
ト６、およびバランスリング２１で構成されている。一
方、スキャナーモータを構成するステータ部は、ハウジ
ング２と、このハウジング２にネジ１７で固定された軸
フランジ１６に一端が圧入等によって固着された固定軸
１、ハウジング２にカラー１９を介しネジ２０によって
固定されたステータコア７、ステータコア７に巻回され
たトロイダル形式を好適とする電磁コイル２４、ステー
タコア７に取り付けられたスタッド８によって支持され
る回路基板９、回路基板９上に植立設置されたホール素
子を好適とする磁気検出素子１０等から構成されてい
る。

【００３３】回転多面鏡を回転駆動する所謂スキャナー
モータ部を構成するマグネット６は永久磁石であり、同
図（ｂ）に示したように４極着磁されており、対向する
ステータコア７との間には磁気的吸引力が働いている。
この吸引力は、マグネット６とステータコア７との対向
位置が、モータの軸方向（スラスト方向）にズレないよ
うにする作用をする。つまり、マグネット６が右方に移
動した時には、前記吸引力に左方へ引き戻す成分が現れ
て引き戻されるし、左方に移動したときには右方に引き
戻される成分が現れて引き戻される。かくして、マグネ
ット６とステータコア７とは、前記磁気吸引力により、
軸方向の所定位置にて対向せしめられるようにされる。
すなわち、マグネット６とステータコア７により、磁気
的スラスト軸受が構成されている。

【００３４】磁気検出素子１０としては、例えば、ホー
ル素子が用いられる。これは、マグネット６の漏れ磁束
を検出して、マグネット６が回転する際、Ｎ極が通過し
たかＳ極が通過したかを検出する。磁気検出素子１０の
検出信号は、回路基板９に印刷された配線を通して図示
しない制御回路部へ送られる。制御回路部では、この検
出信号を基に、ステータコア７の各個所に巻回されてい
る電磁コイルに流す電流の向きを決める。その結果、マ
グネット６との相互作用により回転を持続する方向の力
が発生させられる。

【００３５】回転スリーブ３が回転すると、動圧発生用
溝１−１により、軸１の周囲（隙間１５の部分）に高い
圧力の空気層が生ぜしめられる。この圧力により、回転
スリーブ３は軸１より浮いた状態で支持される動圧空気
軸受が構成される。なお、同図では、動圧発生用溝１−
１を固定軸１の外周に設けているが、これに代えて回転
スリーブ３の内壁に動圧発生用溝１−１を設けるように
してもよい。

【００３６】上記隙間１５の空気層はロータ部の回転中
心を一定に保つ作用をする。例えば、回転スリーブ３が
同図の左方にズレたとすると、右方の隙間１５の隙間が
大となり、この部分の隙間の圧力はズレる前より小とな
る。一方、左方の隙間は小となるから、この部分の隙間
の圧力はズレる前より大となる。圧力の大小関係が上記
のようになると、回転スリーブ３は右方に押され、最終
的には元の位置へ戻されることになる。

【００３７】本実施例においてその構成上従来の光偏向
器と異なる点は、固定軸１の中心に対して回転スリーブ
３に固着されたマグネット６の着磁を４極とした点であ
る。以下、マグネット６を４極着磁とした場合の２倍波
形について軸の中心（マグネット６外径の中心）に対し
てステータコア７の内径中心が偏心したときの回転体の
基準位置が０度，３０度，４５度を例として説明する。

【００３８】図２は４極着磁のマグネットにおける基準
位置が０度の時の磁気不平衡力の説明図であって、図１
と同一符号は同一部分に対応する。同図において、軸の
中心ａ（マグネット６外径の中心）に対してステータコ
ア７の内径中心ｂが偏心したときの基準位置が０度の場
合は、ＮまたはＳ極が磁気不平衡力検知センサー１０の
設置方向（Ｘ方向）に向いている状態である。

【００３９】ステータコア７の内径中心ｂとマグネット
６外径中心ａとの偏心量がｒであるときに発生する２倍
波形の大きさをＦとする。この回転体が３０度回転した
ときの状態が図３である。図３は４極着磁のマグネット
における基準位置が３０度の時の磁気不平衡力の説明図
であって、この場合ステータコア７の内径に近いＳ極で
は、図２のときよりもマグネット６の外径とステータコ
ア７の内径の隙間が（２／√３）だけ広がる。したがっ
て、磁気力は（√３／２）弱くなるので、磁気力は、
（√３／２）Ｆとなる。

【００４０】また、図３において、ステータコア７の内
径に近いＮ極では、図２の状態にあるときよりもマグネ
ット６の外径とステータコア７の内径の隙間が（２／
１）だけ広がる。したがって、磁気力は（１／２）だけ
弱くなるので（１／２）Ｆとなる。ここで、磁気力を測
定するセンサー１０には、（√３／２）Ｆと（１／２）
Ｆの合力がかかる。その磁気力はＦである。この力は３
０度回転前のものと変化していないことがわかる。

【００４１】この状態からさらに１５度回転させた状態
が図４である。図４は４極着磁のマグネットにおける基
準位置が４５度の時の磁気不平衡力の説明図であって、
ステータコア７の内径に近いＳ，Ｎ極ともにマグネット
６の外径とステータコア７の内径は図２の状態での隙間
より（√２／１）広がっている。したがって、前述同様
磁気力は、（１／√２）Ｆとなり、センサー１０にかか
る磁気力はやはり回転前と同じＦである。

【００４２】このように、回転体の回転角度にかかわら
ず磁気力は変化しない。すなわち、マグネット６を４極
にすることで前記従来技術で問題となっている図５の２
倍波形は零にすることができる。そして、上記磁気力Ｆ
は、図６で説明した前述のオフセット力である。なお、
以上はマグネットの着磁を４極として説明したが、６
極，８極，・・の偶数極に着磁することで上記と同様の
効果が得られる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マグネットの着磁を４極以上の偶数極とすることによっ
て、２極着磁のマグネットで発生する２倍波形磁気不平
衡力を零とすることができ、２倍波形磁気不平衡力の影
響による軸受の接触力を極小として駆動立上り／立下り
時の接触時間を低減し、かつ回転時の接触を無くして軸
受の摩耗を低減した長寿命の光偏向器を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による光偏向器の１実施例の説明図で
あって、（ａ）は光偏向器の一部を破断した断面図、
（ｂ）はその要部を示す平面図である。

【図２】 ４極着磁のマグネットにおける基準位置が０
度の時の磁気不平衡力の説明図である。

【図３】 ４極着磁のマグネットにおける基準位置が３
０度の時の磁気不平衡力の説明図である。

【図４】 ４極着磁のマグネットにおける基準位置が４
５度の時の磁気不平衡力の説明図である。

【図５】 スキャナーモータを構成するマグネットが２
極着磁の場合の磁気不平衡力の基本波形磁気不平衡力の
説明図である。

【図６】 スキャナーモータを構成するマグネットが２
極着磁の場合の磁気不平衡力の２倍波形磁気不平衡力と
オフセット力の説明図である。

【図７】 光偏向器を用いた画像記録装置の概略構成の
説明図である。

【図８】 従来の光偏向器の構造を説明する断面図であ
る。

【図９】 従来の光偏向器のスキャナーモータを構成す
るマグネットの着磁状態を示すマグネット部分の要部平
面図である。

【図１０】 回転多面鏡とその偏向動作の説明図であ
る。

【符号の説明】

１・・・・固定軸、１−１・・・・動圧発生用溝、２・
・・・ハウジング、３・・・・回転スリーブ、３−１・
・・・フランジ、４・・・・カバー、４−１・・・・入
出射窓、５・・・・ヨーク、６・・・・マグネット、７
・・・・ステータコア、８・・・・スタッド、９・・・
・回路基板、１０・・・・磁気検出素子、１１・・・・
回転多面鏡、１２・・・・キャップフランジ、１３，１
７，１８，２０・・・・ネジ、１４・・・・ウインドウ
ガラス、１５・・・・隙間、１６・・・・軸フランジ、
１９・・・・カラー、２１・・・・バランスリング、２
２・・・・反射鏡面、２３・・・・空気だまり、２４・
・・・電磁コイル、２５・・・・微細孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 相互に挿着したスリーブとこのスリーブ
   を挿着する軸の一方を回転部材とし他方を固定部材とす
   る動圧空気軸受と、上記回転部材に固定されて外周に複
   数の反射鏡面を形成した回転多面鏡と、上記回転部材に
   固定された回転駆動用のマグネットと、上記固定部材に
   設けた電磁コイルを巻回したステータコアとで構成され
   た回転トルク発生機能と上記回転部材を上記軸の軸方向
   に保持する磁気軸受機能とを兼ね備えた磁気回路とを有
   し、上記回転多面鏡を回転させることにより、入射する
   光ビームを上記回転多面鏡の反射鏡面で反射させて偏向
   を行う光偏向器において、前記マグネットの着磁を４極
   以上としたことを特徴とする光偏向器。