JP2934561B2

JP2934561B2 - 水性着色レジスト材、その現像方法及びカラーフィルターの製造方法

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Publication number: JP2934561B2
Application number: JP34982892A
Authority: JP
Inventors: 宏文森; 孝市森島
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 1992-03-19
Filing date: 1992-12-02
Publication date: 1999-08-16
Anticipated expiration: 2014-08-16
Also published as: JPH05323607A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、水性着色レジスト
材、その現像方法及びカラーフィルターの製造方法に関
するものである。さらに詳述すれば、この発明は、着色
した感光性樹脂の塗布面にマスクを重ねて光を照射し、
照射部分を硬化させたのち未硬化部分を取り除いて、着
色画像を現出させるための水性着色レジスト材、及びこ
のような着色レジスト材による現像方法、並びにこの現
像方法によってカラーフィルターを製造する方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】レジスト材は、感光性樹脂とも呼ばれる
ものであって、今日の電子用機械器具を作るのに広く使
用されている。そのうちでも着色レジスト材は、液晶表
示素子のカラーフィルター、又は印刷の色分解用フィル
ター等を作るのに必要だとされている。

【０００３】上述のカラーフィルターは、透明基板の上
に色相の異なる多数の微細な領域を接近して設けること
によって、作られている。このような色の異なる微細な
領域を多数密接して設けるには、各色ごとに透明基板上
に感光性塗料すなわちレジスト材を塗布し、着色すべき
領域だけを透明にしたマスクを当接し、光を照射して、
光の照射された部分と照射されない部分との間に溶解性
の差を生じさせ、その後これを現像液に接触させて溶解
し易い部分を取り去り、着色すべき領域だけに樹脂膜を
生成させる、という方法によっている。

【０００４】以前は、画像を現出させるのに、こうして
生成させた樹脂膜をあとから染色する方法が用いられ
た。しかし、樹脂膜を生成させたあとで、染色すること
は煩瑣であるというだけでなく、樹脂膜をあとから着色
するには、特殊な染料を使用しなければならないし、ま
たあとからの着色では着色を濃くすることが困難であ
る、という欠点があった。とくに樹脂膜は、本来１〜２
ミクロンというような厚みの薄いものでなければなら
ず、そのうちでもできるだけ薄いことが好まれるので、
このような薄い樹脂膜をあとから濃く着色することは極
めて困難であった。

【０００５】そこで、硬化後に皮膜をあとから染色しな
いで、初めからレジスト材に顔料を分散させておいて、
これを硬化させるという方法が用いられるに至った。そ
の方法は、例えば特開昭６０−１２９７３８号公報に記
載されている。この公報は、光硬化性樹脂としてスチル
バゾリニウム基を含んだアルデヒドとポリビニルアルコ
ールとの混合物を使用し、この混合物中に顔料を分散さ
せておいて、これを基材上に塗布し、光を照射して樹脂
を部分的に不溶化し、着色画像を得ることを教えてい
る。

【０００６】特開昭６０−１２９７３８号公報の教える
方法は、あとからの着色を不要にし、濃色に着色できる
という利点のほかに、光硬化性樹脂の溶剤として水が使
用できる、という利点を持っている。水が使用できると
いうことは、溶剤費が安価につくというだけでなく、作
業環境を良好にし、また溶剤の回収装置が不要になると
いう点で、大きな利益をもたらす。ところが、この方法
では、硬化した樹脂を現像するのに、水とイソプロピル
アルコールとの混合溶媒を使用することとしているの
で、溶剤として水が使用できるという利点が半減してい
る。

【０００７】また、特開昭６４−３５４１７号公報は、
アクリロイル基を有する感光性樹脂と顔料とからなる組
成物をレジスト材として使用することを提案している。
この提案は、トリエチレングリコールジアクリレートの
ような化合物を感光性樹脂として用い、これにアントラ
キノンのような重合開始剤と微粉末顔料とを加えて、着
色レジスト材とすることを教えている。しかし、この提
案では、着色レジスト材を基材に塗布する際に有機溶剤
を使用しなければならない、という欠点があった。

【０００８】また、特開平１−２００３５３号公報は、
４価の共有結合性窒素を有する重合体溶液と、顔料と、
感光性架橋剤とからなる光硬化性の着色組成物を開示し
ている。この公報が開示している重合体溶液は、溶媒と
して水が使用でき、また硬化後の現像にも水が使用でき
るという長所を持っている。ところが、この溶液は、そ
の中に顔料を分散させにくいという欠点を持ち、またガ
ラス基板に対する接着性が劣り、さらに高温例えば２０
０℃以上に加熱すると、褐色に着色するという欠点を持
っていた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このように、これまで
に提案された着色レジスト材は、これを製造する過程、
これを塗布する過程及びこれを現像する過程の何れかで
有機溶剤を使用しなければならないことが多く、まれに
有機溶剤を使用しないものが提案されても、それは着色
レジスト材としての性能に欠けるものであった。そこ
で、この発明者は有機溶剤を用いないで使用でき、しか
も性能も充分な着色レジスト材を提供しようと企てた。
すなわち、着色レジスト材を製造する際に溶剤として水
が使用できるだけでなく、これを塗布する際にも溶剤と
して水が使用でき、さらに光を照射して硬化させたあと
で現像する際にも現像液として水が使用でき、さらに顔
料の分散も容易で濃色に着色できる着色レジスト材を提
供しようと企てた。

【００１０】

【課題解決のための手段】この発明者は、光硬化性樹脂
として何を用いるべきかを探索した。そのために色々な
組成の共重合体を作って、これをレジスト材として用い
る実験を繰り返した。その結果、水溶性アクリル系重合
体をレジスト材の原料に用いるのが適していることに気
付いた。とくに、２−ヒドロキシエチルメタクリレート
と、（メタ）アクリルアミドと、ジアルキルアミノプロ
ピル（メタ）アクリルアミドとの少なくとも３種の単量
体を共重合させて得られた共重合体で、２−ヒドロキシ
エチルメタクリレートが共重合体中の７０重量％以上を
占めている共重合体をレジスト材に用いると、上記の課
題を満足するものが得られることを見出した。

【００１１】とくに、上記３種の単量体を共重合させる
ときに、そこにアクリル酸のようなカルボキシル基含有
の単量体を第４成分として存在させ、少なくとも４種の
単量体を共重合させることとし、２−ヒドロキシエチル
メタクリレートが共重合体中の７０重量％以上を占める
ようにすると、この共重合体がレジスト材として一層好
適なものとなることを見出した。

【００１２】また、上述の共重合体をレジスト材として
用いるときは、顔料を分散させるのに、鹸化度が７０−
８５モル％の部分鹸化ポリ酢酸ビニル（Ｘ）を分散剤と
し、この分散剤で微粉状の顔料を分散させることが、良
好な着色レジスト材を得るのに必要であることを見出し
た。

【００１３】さらに、上述の水性着色レジスト材を現像
する際には、現像液としてクエン酸のような常温で固体
状の炭素数２〜６個のカルボン酸の水溶液を用いること
ができることを見出した。とくに、上述のカルボン酸水
溶液中に界面活性剤を加えたものを現像液として用いる
と、界面活性剤がカルボン酸と協同して働き、未硬化の
着色レジスト材が完全に除去された鮮明な画像の得られ
ることを見出した。また、この現像液にさらにアセチレ
ングリコールを加えると、画像部分も非画像部分も何れ
も表面が清浄になって画像が一層鮮明となるだけでな
く、現像工程で発生する多量の気泡が消されて現像が容
易となることを見出した。この発明は、このような知見
に基づいて完成されたものである。

【００１４】この発明は、（ａ）２−ヒドロキシエチル
メタクリレートと、（ｂ）アクリルアミド又はメタクリ
ルアミドと、（ｃ）ジアルキルアミノプロピルアクリル
アミド又はジアルキルアミノプロピルメタクリルアミド
とからなる共重合体（Ｖ）であって、その中で２−ヒド
ロキシエチルメタクリレート（ａ）が７０重量％以上を
占めている共重合体（Ｖ）をレジスト材とし、これに鹸
化度が７０−８５モル％の部分鹸化ポリ酢酸ビニル
（Ｘ）で水中に分散した微粉末状の顔料（Ｙ）と、光反
応性付与剤（Ｚ）とを加えてなる水性着色レジスト材を
要旨とするものである。

【００１５】また、この発明は、上記（ａ）（ｂ）
（ｃ）の３種の単量体にさらに不飽和カルボン酸を加え
て４種の単量体を共重合させて得られる共重合体（Ｗ）
であって、その中で２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト（ａ）が７０重量％以上を占めている共重合体（Ｗ）
をレジスト材とし、これに上述の部分鹸化ポリ酢酸ビニ
ル（Ｘ）で水中に分散した微粉状の顔料（Ｙ）と、光反
応性付与剤（Ｚ）とを加えてなる水性着色レジスト材を
要旨とするものである。

【００１６】さらに、この発明は、上述の水性着色レジ
スト材を用いて現像する方法をも含んでいる。その方法
は、上述の共重合体（Ｖ又はＷ）をレジスト材として、
これに部分鹸化ポリ酢酸ビニル（Ｘ）で水中に分散させ
た微粉状の顔料（Ｙ）と、光反応性付与剤（Ｚ）とを加
えてなる水性着色レジスト材を用い、これを基板上に塗
布し、塗布面をマスクで覆い光を照射して着色レジスト
材を部分的に硬化させたのち、炭素数が２〜６個の常温
で固体のカルボン酸含有水溶液により未硬化のレジスト
材を除去して、現像することを特徴とする、着色レジス
ト材の現像方法である。

【００１７】また、この発明は、上記の現像方法におい
て、現像液として用いるカルボン酸含有水溶液中に界面
活性剤を加えて、これにより未硬化のレジスト材を除去
して現像することを特徴とする、着色レジスト材の現像
方法をも含んでいる。さらに、この発明は、現像液とし
て用いるカルボン酸含有水溶液中に界面活性剤とともに
アセチレングリコールを加え、得られた現像液により未
硬化のレジスト材を除去して現像することを特徴とす
る、着色レジスト材の現像方法をも含んでいる。

【００１８】この発明に係る水性着色レジスト材は、少
なくとも３種のアクリル系単量体で構成された共重合体
（Ｖ）をレジスト材として含んでいる。ここで、３種の
アクリル系単量体とは、（ａ）２−ヒドロキシエチルメ
タクリレート、（ｂ）アクリルアミド又はメタクリルア
ミド、（ｃ）ジアルキルアミノプロピルアクリルアミド
又はジアルキルアミノプロピルメタクリルアミドであ
る。共重合体のうちでは、上記（ａ）の２−ヒドロキシ
エチルメタクリレートが７０重量％以上を占めているこ
とが必要とされる。

【００１９】また、この発明に係る水性着色レジスト材
は、上記３種のアクリル系単量体のほかに、さらに不飽
和カルボン酸を第４成分として含んだ共重合体（Ｗ）を
レジスト材とするとき、一層良好な着色レジスト材とな
る。

【００２０】上記（ａ）の２−ヒドロキシエチルメタク
リレートは、

【００２１】

【化１】で表される化合物である。この化合物は、水溶性の化合
物で、水中で容易に重合する特性を持っている。

【００２２】上記（ｂ）のアクリルアミド又はメタクリ
ルアミドは、一般式

【００２３】

【化２】で表される化合物である。ここで、R₁はＨ又はCH₃であ
る。この化合物も水溶性であって、水中で容易に重合す
る特性を持っている。

【００２４】上記（ｃ）のジアルキルアミノプロピルア
クリルアミド又はジアルキルアミノプロピルメタクリル
アミドは、一般式

【００２５】

【化３】で表される化合物である。ここで、R₂は前述の（式２）
と同じくＨ又はCH₃を表し、Ｑは

【００２６】

【化４】を表し、R₃はCH₃又はC₂H₅を表している（式３）で表さ
れる化合物も水溶性であって、水中で重合する特性を持
っている。

【００２７】この発明では、上記（ａ）（ｂ）及び
（ｃ）に属するアクリル系単量体は必須とされるが、そ
れ以外に第４成分として少量の他の水溶性単量体を含ん
だ共重合体をレジスト材とすることができる。第４成分
のうちでは、不飽和カルボン酸（ｄ）がとくに顕著な効
果を発揮する。ここで、不飽和カルボン酸（ｄ）とは、
一般式

【００２８】

【化５】で表される化合物である。式中R₄はＨ又はカルボキシル
基であり、R₅は水素又はメチル基である。すなわち、不
飽和カルボン酸とは、アクリル酸、メタクリル酸、マレ
イン酸、フマール酸である。これらの酸は何れも水溶性
であって、水中で重合する特性を持っている。

【００２９】上述の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）のアクリ
ル系単量体又はこれに（ｄ）の不飽和カルボン酸を加え
たものを共重合させるには、これらの単量体を適当な溶
剤に溶解して重合させる。溶剤としては、メチルセロソ
ルブ、ジメチルホルムアミドのような有機溶剤を使用す
ることもできるが、好ましいのは水を使用することであ
る。共重合させるには重合開始剤を用いるが、水中で共
重合させる場合の重合開始剤としては、過硫酸アンモニ
ウム、２、２′−アゾビス（Ｎ、Ｎ′−ジメチレンイソ
ブチルアミン）ハイドロクロライド、２、２′−アゾビ
ス（２−アミジノプロパン）ハイドロクロライド、４、
４′−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシド）、
２、２′−アゾビス｛２−メチル−Ｎ〔１、１−ビス
（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル〕プロピ
オンアミド｝などを用いることができる。

【００３０】共重合体中で必要とされる共重合比は、
（ａ）の２−ヒドロキシエチルメタクリレートが共重合
体中で７０重量％以上を占めていることである。従っ
て、（ｂ）（ｃ）及び（ｄ）の単量体はこれをすべて合
わせても３０重量％以下である。その理由は、（ａ）の
単量体が７０重量％より少ないと、得られる共重合体の
水溶性、光硬化性、基材への接着力が低下するからであ
る。

【００３１】また、上記（ａ）の単量体が共重合体中で
９０重量％よりも多くなると、共重合体の水溶性が低下
するので、重合の際には水に有機溶媒を添加する必要が
あり、とくに酢酸を添加するのがよい。しかし、酢酸を
添加すると酢酸が強い臭気を発して作業環境を悪くする
という欠点が生じる。

【００３２】アクリル系単量体のうちで（ｂ）のアクリ
ルアミド又はメタクリルアミドは、共重合体中で５〜２
０重量％を占めるようにすることが好ましい。そのうち
でも、１０〜１５重量％を占めるようにすることがとく
に好ましい。その理由は、（ｂ）の単量体が５重量％よ
りも少なくなると、共重合体を光で照射して硬化させる
ときの現像性が悪くなり、また共重合体中へ顔料を分散
させにくくなるからである。また、逆に（ｂ）の単量体
が２０重量％よりも多くなると、得られた共重合体を硬
化させたあとの耐熱性と耐薬品性とが悪くなるからであ
る。

【００３３】アクリル系単量体のうちで、（ｃ）のジア
ルキルアミノプロピルアクリルアミド又はジアルキルア
ミノプロピルメタクリルアミドは、共重合体のうちで１
〜２０重量％を占めることが好ましく、とりわけ３〜１
０重量％を占めることが好ましい。その理由は、（ｃ）
の単量体が１重量％よりも少なくなると、共重合体中に
顔料を分散させにくくなり、水溶性も低下するからであ
り、逆に２０重量％よりも多くなると、共重合体を硬化
させたあとの耐熱性と耐薬品性とが悪くなるからであ
る。

【００３４】この発明で用いられるレジスト材は、上記
（ａ）（ｂ）及び（ｃ）のアクリル系単量体のほかに、
第４成分として他の単量体を含めて、共重合させたもの
であってもよい。第４成分としての他の単量体は、その
量が共重合体の５重量％以下とする必要がある。その理
由は、５重量％以下であれば、普通には第４成分が共重
合体の性質を大きく変えることが少ないからである。

【００３５】第４成分として（式５）で表わされるカル
ボン酸を用いると、得られた共重合体はとくに水性着色
レジスト材とするに適したものとなる。それは、（式
５）で表わされるカルボン酸が導入された共重合体は、
その中に微粉状顔料を分散し易く、またこれを加熱した
とき、褐色などに着色し難いという利点をもたらすから
である。

【００３６】（式５）で表されるカルボン酸は、共重合
体のうちで０．１−５重量％を占めることが好ましく、
とりわけ０．５−３重量％を占めることが好ましい。そ
の理由は、（式５）のカルボン酸が０．１重量％よりも
少なくなると、共重合体中に顔料を分散させ易いという
利点が現れなくなるからであり、逆に５重量％よりも多
くなると、共重合体の水溶性が低下し、例えば光を照射
して硬化させたあとで、水溶液で未硬化物を除去しよう
としても、とくにカルボン酸水溶液で除去しようとして
も、容易に除去できなくなるからである。

【００３７】また、共重合体は、その分子量が小さ過ぎ
ると、これをカラーフィルターとして使用した場合に、
解像度が悪くなる。また、逆に分子量が大き過ぎると、
光を照射して硬化させたあとで、未硬化部分を溶解して
硬化部分から除くのが困難となる。そこで、共重合体
は、その分子量を重量平均分子量で10,000ないし200,00
0 とするのが適している。

【００３８】この発明では、顔料として有機質からなる
ものも無機質からなるものも、何れも使用することがで
きる。但し、カラーフィルターを作ろうとする場合に
は、透過光スペクトルの選択の広い有機質から成る顔料
を用いるのが好ましい。有機質から成る顔料としては、
フタロシアニン系、アゾ系、ペリノン系、アントラキノ
ン系、キナクリドン系、インダンスロン系、ジオキサジ
ン系、チオインジゴ系など各種のものを用いることがで
きる。

【００３９】顔料は、これを微粉状として共重合体中に
分散させる。微粉状としては０．５ミクロン以下の粒子
大とすることが好ましい。その理由は、顔料粒子の大き
さが色の光の波長よりも大きいと、透過して来る光が濁
って見えることになるからである。

【００４０】微粉状の顔料を共重合体に分散させるに
は、分散剤が含まれている水溶液中に顔料微粉末を予め
分散させておき、この分散物を水溶液中に添加して混合
するのが好ましい。混合には、ターボミキサー、ボール
ミル、アトライタ、ビーズミルなどを用いる。分散剤と
しては一般に、水溶性重合体及び界面活性剤を用いるの
が普通である。水溶性重合体としては、部分鹸化ポリ酢
酸ビニル、カチオン性基が部分的に導入されたポリビニ
ルアルコール、ポリビニルピロリドン等が一般に用いら
れるが、この発明では特に鹸化度が７０−８５モル％の
部分鹸化ポリ酢酸ビニルを選んで用いる。

【００４１】一般に部分鹸化ポリ酢酸ビニルを分散剤と
して用いる場合には、鹸化度が５０〜９０モル％の範囲
内のものであればよいとして、格別に鹸化度に注意を向
けないで使用している。しかし、この発明では鹸化度が
７０〜８５モル％の範囲内のものをとくに選んで用い
る。その理由は、鹸化度が７０モル％に達しないものを
用いると、曇点が低いため使用温度の制約が大きくなる
ばかりでなく、共重合体の皮膜を形成し光を照射したあ
とで、未硬化の共重合体を水溶液で除去して現像しよう
とするとき、現像しにくくなることが確認されたからで
ある。また、鹸化度が８５モル％を越えたものを用いる
と、顔料が分散された共重合体溶液の貯蔵安定性の悪く
なることが確認されたからである。

【００４２】また、分散剤として用いられる部分鹸化ポ
リ酢酸ビニルは、一般に20,000〜100,000 の重量平均分
子量を持つものであればよいとされる。しかし、この発
明では40,000〜100,000 の重量平均分子量を持つものを
選んで用いるのが好ましい。その理由は、重量平均分子
量が40,000に達しない部分鹸化ポリ酢酸ビニルを用いる
と、部分鹸化ポリ酢酸ビニルと共重合体との相溶性が悪
くなり、従って顔料分散液の貯蔵安定性が悪くなると共
に、ジアゾ樹脂による光架橋の効率が悪くなるからであ
る。

【００４３】顔料を分散させるのに分散剤として界面活
性剤を用いる場合には、そこに共存する共重合体がアク
リル系単量体だけから作られているときには、分散剤と
して非イオン性又はイオン性のものを用いることができ
るが、共重合体がアクリル系単量体とカルボン酸とで作
られているときには、分散剤として非イオン性のものを
用いなければならない。その理由は、共重合体中にカチ
オン性成分が含まれているので、アニオン活性剤はあま
り好ましくなく、非イオン性の方がよいからである。

【００４４】共重合体（Ｖ又はＷ）に対する顔料の添加
量は、共重合体１００重量部に対し、５０−２００重量
部とする。顔料が少な過ぎると、当然のことながら着色
度が不足し、逆に多過ぎると、感光性が低下する上に、
共重合体の不足によって皮膜形成能が低下するため、微
細な画像を作りにくくなる。

【００４５】この発明では、共重合体（Ｖ又はＷ）に光
反応性を与えるものとして、水溶性ジアゾ樹脂又は水溶
性多官能芳香族アジド化合物を用いる。ジアゾ樹脂は、
芳香族ジアゾニウム化合物にホルムアルデヒドを付加し
縮合させることによって作られる樹脂である。芳香族ジ
アゾニウム化合物の例を挙げると、ｐ−ジアゾジフェニ
ルアミン、２、５−ジメトキシ−４−ｐ−トリルメルカ
プトベンゼンジアゾニウム、２、５−ジメトキシ−４−
モルホリノベンゼンジアゾニウムなどである。

【００４６】また、多官能芳香族アジド化合物は、１分
子中に２個以上のアジド基を有する芳香族化合物であ
る。例を挙げると、４、４′−ジアジドスチルベン−
２、２′−ジスルホン酸ナトリウム、２、６−ビス（４
−アジドベンザール）アセトン−２−スルホン酸、２、
６−ビス（４−アジドベンザール）シクロヘキサノン−
２、２′−ジスルホン酸などである。これら水溶性ジア
ゾ樹脂又は水溶性多官能芳香族アジド化合物は、共重合
体１００重量部に対し、５−３０重量部用いるのが好ま
しい。

【００４７】この発明に係る水性着色レジスト材は、上
述の部分鹸化ポリ酢酸ビニルを用いて水中に分散させた
微粉末の顔料分散液を上述の共重合体（Ｖ又はＷ）水溶
液に加えてよく混合するとともに、そこへさらに光反応
性付与剤を加えて溶解させて作られる。こうして作られ
た水性着色レジスト材は、これをスピンコータ、ロール
コータ等によってガラスその他の基板上に塗布して使用
される。

【００４８】この発明に係る着色レジスト材の現像方法
は、上述のようにして着色レジスト材を塗布したのち、
塗布物の表面にマスクを重ねて表面をマスクで覆い、こ
の上から光を照射して、光の当たった部分を硬化させ、
光の当たらない部分を未硬化の状態としたのち、塗布物
を現像液に接触させて塗布物を現像液で洗い、未硬化の
共重合体を取り除いて、硬化部分だけに着色した部分を
残して現像する。ここで説明した範囲内の操作は、従来
から行われて来たことである。

【００４９】この発明に係る着色レジスト材の現像方法
が特に異なっているのは、そこで用いられる現像液の組
成である。すなわち、現像液が水を溶剤とするものであ
るということ、及び現像液が炭素数２〜６個の常温で固
体のカルボン酸を含んだものであるということである。
また、その現像液が、さらに界面活性剤を含んでいても
よい、ということである。その上に、その現像液がさら
にアセチレングリコールを含んでもよい、ということで
ある。

【００５０】現像液中に含めることのできるカルボン酸
は、炭素数が２〜６個の常温で固体のものである。炭素
数が２〜６個に限定した理由は、このような範囲内のも
のは一般に水によく溶解して、その水溶液が上記共重合
体をよく溶解させることが確認できたからである。ま
た、常温で固体のものに限定した理由は、固体のものは
揮発して刺激臭を発したりして作業環境を悪くすること
がないからである。

【００５１】現像液中に含めるカルボン酸の濃度は、共
重合体の塗布物に現像液を接触させる方法によって変え
ることが必要とされる。例えば塗布物を現像液中に浸漬
して振盪するだけというような浸漬方法によって現像す
るときは、現像液の濃度を濃くする必要があるが、現像
液をスプレーで塗布物に吹きつけるというようなスプレ
ー方法によるときは、現像液の濃度を薄くすることがで
きる。総じて云えば、現像液中のカルボン酸の濃度は
０．０１〜３重量％とするのが好ましい。

【００５２】使用できるカルボン酸の例を挙げると、リ
ンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、酒石酸、マロン酸、アジ
ピン酸、マレイン酸、フマル酸、コハク酸等である。

【００５３】現像液中に加える界面活性剤としては、ア
ニオン系、ノニオン系のものを用いるのが好ましい。そ
の中でもとくに、芳香族アニオン系のものを用いるのが
好ましい。好ましい界面活性剤の例を挙げると、アニオ
ン系のものとしては、ドデシルベンゼンスルホン酸ソー
ダ、イソプロピルナフタレンスルホン酸ソーダ、ジフェ
ニルエーテルジスルホン酸ソーダ等であり、ノニオン系
のものとしては、ポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオ
キシエチレンオレイルエーテル等である。

【００５４】上述の界面活性剤だけが溶解している水溶
液を現像液として用いると、未硬化部分は殆ど溶解しな
い。上述のカルボン酸だけが溶解している水溶液を現像
液として用いたときも、未硬化部分は大部分溶解される
が部分的に不溶物が残ることもあり画像の汚れとして現
れる。これに対し、界面活性剤とカルボン酸とが共存し
ている現像液を用いると、未硬化部分が鱗片状に剥がれ
て容易に現像できる。この点でカルボン酸と界面活性剤
との併用は顕著な効果をもたらすこととなる。

【００５５】上述の現像液にさらにアセチレングリコー
ルを添加すると、アセチレングリコールの持つ強い浸透
作用と洗滌作用によって、極く僅か付着している顔料微
粒子や未硬化の樹脂膜が完全に除去されて、画像部分も
非画像部分も表面が清浄になり、画像が一層鮮明とな
る。それとともに、アセチレングリコールの消泡作用に
よって、以下に述べるように現像が容易且つ確実にでき
るようになる。

【００５６】一般に、現像を工業的に行う場合には、ス
プレー方式が採用される。なぜならば、スプレー方式に
よると、低濃度の現像液が使用できて、表面の荒れの少
ない画像が得られるからである。ところが、スプレー方
式によって現像を行う場合、現像液中に界面活性剤を含
めると、現像液が多量の気泡を発生し、そのため現像が
しにくくなるばかりでなく、洗滌効果が低下して鮮明な
画像が得られなくなる。このことは、とくにアニオン活
性の表面活性剤を用いた場合に顕著となる。これを防ぐ
ために、これまで消泡剤が使用されて来たが、消泡剤を
使用すると、これが画像の表面に付着して残留するの
で、画像が不鮮明となるなどの弊害を生じた。例えば、
消泡剤としてシリコーン化合物を用いた場合に、そのよ
うな弊害を生じた。

【００５７】これに対し、上述の現像液中にアセチレン
グリコールを加えると、アセチレングリコールが洗滌作
用のほかに消泡作用を発揮するので、現像過程において
現像液が発泡するのを防ぐことができ、従って現像が容
易となりまた確実にできることとなる。

【００５８】アセチレングリコールは、

【００５９】

【化６】の分子式を持つものであるが、その中の水酸基をエチレ
ンオキサイドの付加によりエーテル化した誘導体をも含
んでいる。従って、この発明で用いることのできるアセ
チレングリコールは、一般式

【００６０】

【化７】で表される化合物である。ここでｍとｎとは０又は正の
整数であり、ｍ＋ｎは３０以下とされる。このうちで
は、ｍ＋ｎが３以上であることが好ましい。アセチレン
グリコールは、現像液中で濃度が０．０１〜１重量％と
なる程度に添加することが好ましい。

【００６１】固体カルボン酸、界面活性剤及びアセチレ
ングリコールの好ましい具体的な添加割合は、現像方法
の如何によって異なる。例えば、塗布物を現像液中で振
動させて現像する方法では、現像液中の上記添加物の濃
度を何れも高くするが、スプレー法では濃度を低くす
る。しかし、それらをすべて含めて大体の濃度範囲を述
べると、現像液１００重量部に対し、固体カルボン酸を
０．１〜１重量部とし、界面活性剤を０．１〜１重量部
とし、アセチレングリコールを０．００２〜０．１重量
部とするのが好ましい。

【００６２】

【発明の効果】この発明によると、上述の（ａ）、
（ｂ）及び（ｃ）のアクリル系単量体から成る共重合体
を用い、（ａ）の単量体が共重合体中で７０重量％以上
を占めることとしているので、水を溶剤としてこれに重
合開始剤を加え加温することにより、容易に共重合体を
作ることができる。こうして作られた共重合体は、光硬
化性を有し、水溶液として塗布することができる。しか
も、この重合体は、ヒドロキシル基、アミド基、置換さ
れたアミノ基、又は第４級アンモニウム基を含み、さら
に場合によってはカルボキシル基をも含んでいるので、
顔料に対して親和性が大きく、従ってこの共重合体水溶
液には顔料を容易に分散させることができ、また多量の
顔料を含ませることができる。従って、これを塗布する
だけで容易に濃く着色することができ、従って塗膜の厚
みを薄くすることができる。このことは、上述の
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）のアクリル系単量体に、上記
（ｄ）の不飽和カルボン酸を加えて得られた共重合体に
ついても同じである。

【００６３】また、この発明によると、上記の共重合体
に顔料を分散させるのに鹸化度が７０−８５モル％の部
分鹸化ポリ酢酸ビニルを用いているので、顔料が水中に
長期間にわたって安定に分散されることとなり、従って
着色分散物の寿命が長いという利点を持つこととなる。
また、この分散物は、光反応性付与剤を含んでいるの
で、光の照射によって光反応性付与剤が共重合体に対し
て硬化剤として働くこととなり、従ってレジスト材とし
て使用できるものとなっている。

【００６４】しかも、この共重合体は、上述のように水
を溶剤として製造できるので、この着色レジスト材を作
るに際し、溶剤費が安価になるというだけでなく、火災
などの危険がなくなり、作業環境が良好となり、また溶
剤の回収装置が不要である、などの利益が得られる。こ
の発明に係る着色レジスト材は、上述のような利益をも
たらす。

【００６５】また、この発明に係る現像方法によると、
上述のような着色レジスト材そのものに由来する利益の
ほかに、溶剤として水が使用できるという利益が一層大
きくなる。すなわち、この発明方法によると、着色レジ
スト材を塗布する際にも溶剤として水が使用でき、さら
に光の照射後に現像する際にも現像液として水が使用で
きるので、現像に至るまで全く有機溶剤を使用しないで
おくことができ、従って上述のように作業環境の向上、
溶剤回収装置の不要などの利益が一層大きく現われる。

【００６６】その上に、現像の際に、炭素数が２〜６個
の常温で固体のカルボン酸を含んだ水溶液を用いるの
で、現像の際の作業環境が良好であり、現像が容易且つ
確実に行うことができることとなり、さらに画像が鮮明
なものとなる。詳しく云えば、カルボン酸を炭素数が２
〜６個のものに限定したので、一般に水に溶解し易く
て、未硬化の着色レジスト材を容易に取り除くことがで
き、またカルボン酸を常温で固体のものに限定したの
で、現像液からのカルボン酸の揮散が少なく、従って作
業環境が良好になる。また、上述のカルボン酸を用いた
ので、硬化した塗膜は熱安定性が良好となり、加熱して
も塗膜の着色が少なく、従って鮮明な画像を与えること
となる。この発明方法では、現像の際に上述のような利
益がもたらされる。

【００６７】また、この発明に係る現像方法では、現像
液の中に上述のカルボン酸と併わせて界面活性剤を添加
すると、未硬化の着色レジスト材を除去することが一層
容易となり、良好な画像が得られる。すなわち、カルボ
ン酸と界面活性剤とは、それぞれが単独で現像液として
用いられる場合には、未硬化の着色レジスト材が徐々に
溶解されるに過ぎないが、これらが併用されると未硬化
の着色レジスト材が鱗片状に剥れて、容易に現像でき、
しかもこれによって得られた画像が鮮明で安定なものと
なる。

【００６８】さらに、この発明に係る現像方法におい
て、現像液の中にカルボン酸と界面活性剤とともにアセ
チレングリコールを添加すると、画像部分も非画像部分
も何れも表面が一層清浄となり画像が鮮明となる。ま
た、現像液中に界面活性剤を添加したにも拘わらず、現
像の過程で現像液が発泡しなくなり、従って現像操作が
容易となり、また現像を効率よく行うことができる。こ
の発明は、このうよな利益をもたらすものである。

【００６９】

【実施例】以下に実施例を挙げて、この発明の具体的詳
細を説明する。以下で、単に部又は％と云うのは、重量
部又は重量％を意味している。

【００７０】

【実施例１】この実施例は、アクリル系単量体だけから
なる共重合体を用いた例である。

【００７１】

【着色レジスト材の調整】１０％の酢酸水２００部の入
ったフラスコに、窒素ガスを通しながら、７０℃でよく
攪拌しつつ、下記の単量体水溶液を４時間かけて滴下し
た。２−ヒドロキシエチルメタクリレート８５部メタクリルアミド１０ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド５重合開始剤（和光純薬社製商品名Ｖ−５０）１酢酸２０水１８０その後、さらに７０℃で４時間攪拌を続け反応させた。
この反応液７５部に水２５部を加え、孔径０．２μｍの
フィルターで濾過して、得られた水溶液を光硬化性の共
重合体とした。赤外吸収スペクトルで組成を調べたとこ
ろ、２−ヒドロキシエチルメタクリレートを８４．２重
量％含んでいた。

【００７２】別に顔料分散物を作るために、下記の配合
物を作った。鹸化度７８モル％、平均重合度１０００の部分鹸化ポリ酢酸ビニル（日本合成化学社製、ゴーセノールＫＭ−１１）の１０％水溶液１００部ポリオキシエチレンモノオレイルエーテル５青色顔料（フタロシアニンブルー）２０ジルコニアビーズを充填したビーズミルに上記配合物を
入れ、２時間攪拌した。泡が消えてから、孔径１μｍの
フィルターで濾過して顔料分散物を得た。

【００７３】上で得られた光硬化性共重合体の水溶液１
０部に顔料分散物１５部を加え、また水３５部を加え、
さらに水溶性ジアゾ樹脂０．１５部を加え、得られた混
合物をミキサー中でゆるやかに攪拌した。こうしてこの
発明に係る着色レジスト材を得た。

【００７４】

【画像作製】上述の着色レジスト材をガラス板上に注
ぎ、１０００ｒｐｍでスピンコートとし、７０℃で３分
間乾燥したのち、フォトマスクで覆い、その上から高圧
水銀灯で１００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。

【００７５】その後、現像液に浸漬し、３０℃で３分間
揺動して現像した。現像液としては、クエン酸１部、脱
イオン水９９部の水溶液を用いた。水洗し、乾燥する
と、膜厚０．６μｍの青色透明画像が得られた。この画
像では、線幅が１０μｍの凹像と凸像とが、ともに鮮明
に形成されていた。

【００７５】

【実施例２】

【着色レジスト材の調整】この実施例では、実施例１に
おいて共重合体を作るのに下記の単量体混合物を用いる
こととした以外は、実施例１と全く同様に処理して着色
レジスト材を作った。２−ヒドロキシエチルメタクリレート８０部メタクリルアミド８ジメチルアミノプロピルアクリルアミド６ジメチルアクリルアミド６得られた共重合体の組成を赤外吸収スペクトルで調べた
ところ、共重合体は２−ヒドロキシエチルメタクリレー
トを７９．５重量％含んでいた。

【００７６】

【画像作製】この実施例では、実施例１において現像液
の組成を下記のものとし、現像操作を下記のようにした
以外は実施例１と全く同様に処理して画像を得た。

【００７７】現像液としては、ＤＬ−リンゴ酸０．０５
部、脱イオン水１００部の水溶液を用いた。また、現像
操作としては、上記の現像液を３０℃に加熱し、スプレ
ーで２分間吹きつけて現像した。

【００７８】その結果、実施例１と殆ど同質の画像が得
られた。

【００７９】

【実施例３】この実施例は、アクリル系単量体と不飽和
カルボン酸とから成る共重合体を用いた例である。

【００８０】

【着色レジスト材の調整】酢酸３０部、脱イオン水１７
０部の入ったフラスコに、窒素ガスを通しながら８０℃
でよく攪拌しつつ、下記の単量体水溶液を４時間かけて
滴下した。２−ヒドロキシエチルアクリレート８５部メタクリルアミド１０ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド４アクリル酸１重合開始剤〔４、４′−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）〕１酢酸３０脱イオン水１７０その後さらに８０℃で４時間攪拌を続けて反応させた。
この反応液６０部に脱イオン水４０部を加え、孔径０．
２μｍのフィルターで濾過して得られた水溶液を光硬化
性の共重合体とした。得られた共重合体を赤外吸収スペ
クトルで調べたところ、共重合体は２−ヒドロキシエチ
ルアクリレートを８４．２重量％含んでいた。

【００８１】別に顔料分散物を作るために、下記の配合
物を作った。鹸化度７８モル％、平均重合度１０００の部分鹸化酢酸ビニル（日本合成化学社製、ゴーセノールＫＭ−１１）６％水溶液５０部ポリオキシエチレンオレイルエーテル（ＨＬＢ２０）０．５青色顔料（フタロシアニンブルー）６上記の配合物をビーズミルに入れて２時間攪拌したの
ち、遠心分離によって粗大粒子を除去して顔料分散物を
得た。

【００８２】上で得られた光硬化性共重合体の水溶液４
０部に、顔料分散物１００部を加え、また脱イオン水３
４部と、１０％ジアゾ樹脂水溶液（シンコー技研社、Ｄ
−０１３）６部とを加え、得られた混合物をミキサー中
で２時間ゆっくりと攪拌して、この発明に係る着色レジ
スト材を得た。

【００８３】

【画像作製】上記の着色レジスト材をガラス板上に注
ぎ、１０００ｒｐｍでスピンコートし、乾燥して膜厚
０．７μｍの塗膜を得た。この塗膜上に解像度テスト用
フォトマスクを重ね、超高圧水銀灯を用いて８０ｍＪ／
cm²の紫外線を照射した。

【００８４】その後、現像液に浸漬し、２分間振り動か
してのち、引上げて脱イオン水で洗浄した。現像液とし
ては、リンゴ酸１．５部、界面活性剤（花王社製、ペレ
ックスＮＢＬ）１．５部、脱イオン水９７部からなる水
溶液を用いた。現像時に未硬化部分は現像液中で鱗片状
に剥がれ未硬化部分の除去は容易であった。こうして現
像したものは、線幅１０μｍの凹像と凸像とが明確に区
別できる画像となっており、凹部の汚れは認められなか
った。

【００８５】

【実施例４】この実施例では、実施例３と全く同じ条件
で着色レジスト材をガラス面上にスピンコートし、紫外
線を照射したのち、現像工程だけを変えて実施した。

【００８６】現像液としては、クエン酸０．０２部、界
面活性剤（花王社製、ペレックスＳＳＨ）０．０２部、
脱イオン水１００部からなる水溶液を用いた。また、現
像操作は、３０℃の現像液をスプレーで２分間吹きつけ
て行った。現像時に未硬化部分は現像液中で鱗片状に剥
がれ、未硬化部分の除去は容易であった。こうして得ら
れた画像は、実施例３と同質の鮮明で良好なものであっ
た。

【００８７】

【実施例５】この実施例では、実施例１で得られた共重
合体を用い、これに赤色顔料分散物、緑色顔料分散物、
及び青色顔料分散物を別々に加えて、これをガラス板上
に別々に塗布し、上記３色の着色画像を別々の層として
形成して、カラーフィルターを作った。その詳細は次の
とおりである。

【００８８】赤色顔料としてはクロモフタルレッドとジ
スアゾイエローとの配合物を用い、緑色顔料としては塩
化フタロシアニンとジスアゾイエローとの配合物を用
い、青色顔料としてはフタロシアニンブルーとオキサジ
ンバイオレットとの配合物を用いた。

【００８９】実施例１で使用した青色顔料のフタロシア
ニンブルーの代わりに、上記の緑色顔料を用いることと
した以外は、実施例１と全く同様にして緑色レジスト材
を得た。この緑色レジスト材を直径が７０ｍｍのガラス
板上に注ぎ、８００ｒｐｍで９０秒間スピンコートし、
７０℃で３分間乾燥した。その後、画素寸法８０×８０
μｍ、画素間寸法１０μｍのフォトマスクを重ね、コン
タクトアライナー（ＳＵＳＳＭＪＢ３ＨＰ）を用い
て、５００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した。

【００９０】次いで、２５℃の現像液（ペレックスＮ
ＢＬ１％、リンゴ酸１％を含む水溶液）に浸し、２分
間振り動かした。水洗し、１００℃で１０分間乾燥し
て、膜厚０．７０μｍの緑色透明画像を得た。

【００９１】また、緑色顔料の代わりに上述の青色顔料
を用いることとした以外は、緑色レジスト材を作った場
合と全く同様にして青色レジスト材を作り、この青色レ
ジスト材を上で得た緑色透明画像の上に注ぎ、緑色レジ
スト材の場合と同様にしてスピンコートし乾燥したが、
露光量だけを変えて１００ｍＪ／ｃｍ²として膜厚０．
６０μｍの青色透明画像を得た。

【００９２】さらに、緑色顔料の代わりに上述の赤色顔
料を用いることとした以外は、緑色レジスト材を作った
場合と全く同様にして赤色レジスト材を作り、この赤色
レジスト材を上で得た青色透明画像の上に注ぎ、緑色レ
ジスト材の場合と同様にしてスピンコートし乾燥した
が、露光量だけを変えて３００ｍＪ／ｃｍ²として、膜
厚０．６８の赤色透明画像を得た。こうしてガラス板上
に三色の透明画像を付設したものをカラーフィルターと
した。

【００９３】このカラーフィルターは、透過光スペクト
ル及び光度が良好であった。このフィルターの画像面上
に幅２４ｍｍのセロファン粘着テープを貼り付け、１８
０度方向に引き剥がすテストを５回繰り返したが、画像
は剥離しなかった。これにより、画像が強固にガラス板
上に付着していることが確認できた。

【００９４】また、上記画像の上に保護コート材（チッ
ソ社製ポリイミドコーティング材ＰＳＩ−Ｇ−４６３
０）を注ぎ、１０００ｒｐｍでスピンコートしたのち、
１８０℃でベーキングした。さらにこの表面に２００℃
でＩＴＯを厚さ約１５００オングストロームにスパタリ
ングしたところ、全く異常がなかった。これにより、得
られたものは、カラーフィルターとしてすぐれているこ
とが確認された。

【００９５】

【実施例６】この実施例では、実施例１で得られた紫外
線照射物をアセチレングリコール含有の現像液で処理し
て画像を得た。詳細は次のとおりである。

【００９６】現像液としては下記組成の水溶液を用い
た。ＤＬ−リンゴ酸０．１部界面活性剤〔花王（株）製、ペレックスＮＢＬ〕０．１アセチレングリコール（日信化学工業社製、０．０１サーフィノール１０４、前記式６で表される化合物であり、式７ではｍ＝ｎ＝０にあたる化合物である。）脱イオン水１００

【００９７】実施例１で得られた着色レジスト材をガラ
ス板上に注ぎ、実施例１と全く同様にスピンコートし、
乾燥し、紫外線を照射したのち、上記の現像液を液圧２
Ｋｇ／ｃｍ²で２分間スプレーして現像した。

【００９８】これを実施例１の場合と比べると、実施例
１では現像過程で現像液が発泡し、時間の経過とともに
気泡が多くなり、最後には気泡が現像槽から溢れること
となったが、この実施例６の場合には現像液が発泡しな
かったので、現像が容易であった。また、この実施例６
で得られた現像物は、実施例１で得られた現像物に比べ
ると、画像の切れが一層良好で非画像部のガラス面には
全く汚れが認められず、また画像表面がより艶のある面
となった。

【００９９】

【実施例７】この実施例では、実施例３と同じ条件で着
色レジスト材をガラス面上にスピンコートし、紫外線を
照射したのち、現像工程だけを変えて実施した。

【０１００】現像液としては、カルボン酸と、界面活性
剤とアセチレングリコールとを含んだ水溶液を用いた。
詳述すれば、現像液としてＤＬ−リンゴ酸１部、界面活
性剤（花王社製、ペレックスＮＢＬ）１部、アセチレン
グリコール（日信化学社製、サーフィノール１０４、前
記式６で表される化合物であり、式７ではｍ＝ｎ＝０に
あたる化合物である。）０．１部、脱イオン水９７．９
部からなる水溶液を用い、この現像液中に上記紫外線照
射物を浸漬し、２分間振り動かしてのち、引き上げて脱
イオン水で洗浄した。

【０１０１】現像後の画像を顕微鏡で観察したところ、
線幅１０μｍの凹線、凸線が鮮明に形成されており、未
硬化部分に着色レジスト材の残っている形跡は全く認め
られなかった。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平４−31406（ＪＰ，Ａ) 特開平１−200353（ＪＰ，Ａ) 特開平１−283503（ＪＰ，Ａ) 特開平４−32849（ＪＰ，Ａ) 特開平１−300247（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−129739（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−199342（ＪＰ，Ａ) 特開平４−179954（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートと、（ｂ）アクリルアミド又はメタクリルアミド
と、（ｃ）ジアルキルアミノプロピルアクリルアミド又
はジアルキルアミノプロピルメタクリルアミドを含んだ
共重合体（Ｖ）であって、その中で２−ヒドロキシエチ
ルメタクリレート（ａ）が７０重量％以上を占めている
共重合体（Ｖ）をレジスト材とし、これに鹸化度が７０
−８５モル％の部分鹸化ポリ酢酸ビニル（Ｘ）を用いて
水中に分散させた微粉状の顔料（Ｙ）と、光反応性付与
剤（Ｚ）とを加えてなる水性着色レジスト材。
【請求項２】（ａ）２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートと、（ｂ）アクリルアミド又はメタクリルアミド
と、（ｃ）ジアルキルアミノプロピルアクリルアミド又
はジアルキルアミノプロピルメタクリルアミドと、
（ｄ）不飽和カルボン酸を含んだ共重合体（Ｗ）であっ
て、その中で２−ヒドロキシエチルメタクリレート
（ａ）が７０重量％以上を占めている共重合体（Ｗ）を
レジスト材とし、これに鹸化度が７０−８５モル％の部
分鹸化ポリ酢酸ビニル（Ｘ）により水中に分散させた微
粉状の顔料（Ｙ）と、光反応性付与剤（Ｚ）とを加えて
なる水性着色レジスト材。
【請求項３】請求項１に記載の共重合体（Ｖ）又は請
求項２に記載の共重合体（Ｗ）をレジスト材とし、これ
に鹸化度が７０−８５モル％の部分鹸化ポリ酢酸ビニル
（Ｘ）により水中に分散させた微粉状の顔料（Ｙ）と、
光反応性付与剤（Ｚ）とを加えてなる水性着色レジスト
材を用い、これを基材表面に塗布し、塗布面をマスクで
覆い、光を照射して着色レジスト材を部分的に硬化させ
たのち、炭素数が２〜６個の常温で固体のカルボン酸を
含んだ水溶液により未硬化のレジスト材を除去すること
を特徴とする、着色レジスト材の現像方法。
【請求項４】請求項１に記載の共重合体（Ｖ）又は請
求項２に記載の共重合体（Ｗ）をレジスト材とし、これ
に鹸化度が７０−８５モル％の部分鹸化ポリ酢酸ビニル
（Ｘ）により水中に分散させた微粉状の顔料（Ｙ）と、
光反応性付与剤（Ｚ）とを加えてなる水性着色レジスト
材を用い、これを基材表面に塗布し、塗布面をマスクで
覆い光を照射して着色レジスト材を部分的に硬化させた
のち、界面活性剤と炭素数２〜６個の常温で固体状のカ
ルボン酸とが含まれた水溶液で未硬化のレジスト材を除
去することを特徴とする、着色レジスト材の現像方法。
【請求項５】請求項１に記載の共重合体（Ｖ）又は請
求項２に記載の共重合体（Ｗ）をレジスト材とし、これ
に鹸化度が７０−８５モル％の部分鹸化ポリ酢酸ビニル
（Ｘ）により水中に分散させた微粉状の顔料（Ｙ）と、
光反応性付与剤（Ｚ）とを加えてなる水性着色レジスト
材を用い、これを基材表面に塗布し、塗布面をマスクで
覆い光を照射して着色レジスト材を部分的に硬化させた
のち、界面活性剤と炭素数２〜６個の常温で固体状のカ
ルボン酸とアセチレングリコールとが含まれた水溶液で
未硬化のレジスト材を除去することを特徴とする、着色
レジスト材の現像方法。
【請求項６】特許請求の範囲第３−５項の何れか１つ
の項に記載する現像方法により、ガラス基板上に赤色、
緑色、青色のレジスト材層を次々に形成することを特徴
とする、カラーフィルターの製造方法。