JP2870454B2 - カラーリニアイメージセンサ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラーリニアイメージセ
ンサに関し、特にカラーリニアイメージセンサのライン
間距離低減技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パソコンの普及や複写機の高性能
化の要求にともない、カラー画像を読取るためのカラー
リニアイメージセンサの需要が高まってきている。

【０００３】このようなカラーリニアイメージセンサ
は、通常、電荷転送機能を持つＣＣＤリニアイメージセ
ンサを３本並列に配置し、各ＣＣＤリニアイメージセン
サの受光部列上に異なる色の色フィルタ、例えばＲ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）フィルタ、を搭載すること
によって形成されている。

【０００４】図６は、従来のカラーリニアイメージセン
サの全体の構成の一例を示す図である。

【０００５】図６において、１ａ，１ｂ，１ｃはＲＧＢ
のカラーフィルタ（図示せず）がその上に載った各受光
部、２ａ1，２ａ2，２ｂ1，２ｂ2，２ｃ1，２ｃ2は、そ
れぞれ各受光部からの信号電荷を隣接した信号電荷転送
部３ａ1，３ａ2，３ｂ1，３ｂ2，３ｃ1，３ｃ2に読み出
す信号電荷読み出し部であり、各受光部の奇数列の信号
電荷Ｑ１，Ｑ３，Ｑ５…と偶数列の信号電荷Ｑ２，Ｑ
４，Ｑ６…をそれぞれ異なる信号電荷転送部に読み出す
（図中白矢印で示す）。

【０００６】信号電荷転送部３ａ1，３ａ2，３ｂ1，３
ｂ2，３ｃ1，３ｃ2は、通常、ＣＣＤリニアイメージセ
ンサの場合、イオン注入障害型２相駆動ＣＣＤからな
り、その２相駆動ＣＣＤを駆動するためのパルスライン
Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4が各信号電荷転送部の外側（受光部
のない側）に配置されている。パルスラインＬ1，Ｌ2，
Ｌ3，Ｌ4のクロックは２相クロックφ1，φ2からなりパ
ルスラインから各信号電荷転送部への接続は矢印で示し
ている。

【０００７】各信号電荷転送部３ａ1，３ａ2，…，３ｃ
1，３ｃ2によって転送された信号電荷は、浮遊拡散領域
によって形成され、信号電荷を信号電圧に変換する信号
電荷検出部とソースホロワ、インバータ等のアナログ回
路からなる出力回路４ａ1，４ａ2，４ｂ1，４ｂ2，４ｃ
1，４ｃ2によって外部に出力され、カラー信号を得る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述したようなカラー
リニアイメージセンサでは、カラーフィルタが載った３
本のＣＣＤリニアイメージセンサを平行に走査するた
め、被写体上の所定の場所の画像に対する色の情報（例
えばＲＧＢ）を得るためには、所定の場所を１相のライ
ン（例えばＲ）を走査してから３本目のライン（例えば
Ｂ）を走査し終わるまで、１本目と２本目のラインの色
情報を外部に記録し、３つの色情報をそろえてから信号
処理を行なうことが必要とされる。

【０００９】このため、かなりの容量の外部メモリが必
要となり、装置全体のコストアップにつながるという問
題点がある。

【００１０】例えばカラーＰＰＣ等に用いられる5000画
素×３列クラスのカラーリニアイメージセンサでは、必
要な外部メモリの容量Ｃは階長を８bitとる場合、次式
（１）のようになる。

【００１１】 Ｃ＝5000×８×３×（ｍ＋１）ビット …(1)

【００１２】ここで、ｍは各受光部列間のうち、隣り合
う２つの受光部列のライン間距離を走査回数で示したも
のであり、例えばＲ，Ｇ，Ｂの各受光部の１画素のサイ
ズが14μｍ×14μｍ、各受光部間のライン間距離がＲ−
Ｇ間、Ｇ−Ｂ間ともに168μｍである場合、ｍは次式
（２）のようになり、外部メモリの容量Ｃは1560000ビ
ットとなる。

【００１３】 ｍ＝168μｍ／14μｍ＝12 …(2)

【００１４】上式（１）からわかるように、外部メモリ
の容量を小さくするには３本の受光部列間の距離を短く
して、１本目（例えばＲ）が走査してから３本目（例え
ばＢ）が走査するまでの走査回数を少なくする必要があ
る。

【００１５】図７は、図６において破線Ｘ1で囲まれた
領域を拡大して示した図である。

【００１６】図７において、例えば１ａ，１ｂ等、図６
に示した要素と同一の要素には同一の参照符号が付され
ている。

【００１７】図７を参照して、５は２相のφ1，φ2クロ
ックが印加されるアルミニウム配線、６はアルミニウム
配線５と信号電荷転送部３ａ2および３ｂ1を形成するＣ
ＣＤレジスタの多結晶シリコン電極11ａを接続するため
のコンタクト、７は同じくＣＣＤレジスタの２種類の多
結晶シリコン電極11ａ，11ｂを接続するためのコンタク
トである。８は信号電荷読み出し部２ａ2，２ｂ2を駆動
するクロックが印加されるアルミニウム配線、９はアル
ミニウム配線８と信号電荷読み出し部を形成する多結晶
シリコン電極１０を接続するためのコンタクトである。

【００１８】図７からわかるように、ライン間距離（受
光部１ａの中心から受光部１ｂの中心までの距離）を定
める主な要因は、(1)受光部の１画素のサイズ、(2)２つ
ある信号電荷読み出し部のサイズ、(3)２つある信号電
荷転送部のサイズ、(4)パルスラインサイズからなる。

【００１９】例えば図７に示す例では、受光部の１画素
のサイズが14μｍ、信号電荷読み出し部のサイズが12μ
ｍ×２個、信号電荷転送部のサイズが30μｍ×２個、パ
ルスラインのサイズが45μｍあり、その他に(1)〜(4)そ
れぞれの部分の接続部分のサイズの合計25μｍを合わせ
てライン間距離は168μｍ（ｍ＝12）である。

【００２０】上記(1)〜(4)の要因のうち、(1)の受光部
の１画素のサイズは、定められた画素サイズであるた
め、変更できない。

【００２１】また、(2)の２つある信号電荷読み出し部
のサイズは、信号電荷読み出し部を駆動するクロック配
線と、信号電荷読み出し部を形成する多結晶シリコン電
極を接続するための領域が必要とされるため、10μｍ以
下にすることは容易ではない。

【００２２】(3)の２つある信号電荷転送部のサイズに
ついては、このサイズが小さくなれば小さくなるほど、
信号電荷転送部で取り扱える最大信号電荷量が小さくな
り、出力信号のダイナミックレンジも減少するため、こ
の部分の安易な縮小は特性劣化を招くことになる。

【００２３】(4)のパルスラインサイズについては、500
0画素×３列クラスのカラーリングイメージセンサで
は、信号電荷転送部の入力容量が500pF〜1000pF程度も
あるため、カラーＰＰＣに用いられる場合のように、デ
ータレート10MHz以上の高速駆動を可能にするために、
φ1，φ2クロックのアルミニウム配線はできるだけ幅を
大きくとり負荷抵抗を減らすことが必要とされ、変更
（縮小）は容易ではない。

【００２４】すなわち上記(1)〜(4)の要因はいずれも変
更が困難であり、図６、図７に示したような構成のカラ
ーリニアイメージセンサではこれ以上のライン間距離の
低減は望めない。

【００２５】このような構成のカラーリニアイメージセ
ンサにおいて、例えば特開平2−272769号公報には、隣
接する画素（例えばＲ−Ｇ）間の構成物の配置を工夫
し、ライン間距離を低減するようにした構成が提案され
ている。

【００２６】図８は、前記特開平2−272769号公報に記
載されたカラーリニアイメージセンサの構成を示す図
（前記公報第１図に対応）である。図８において、１
ａ，１ｂ等、図６に示した要素と同一の機能を有する要
素には同一の参照符号が付されている。

【００２７】図８を参照して、Ｌａ1，Ｌａ2，Ｌｂ1，
Ｌｂ2，Ｌｃ1，Ｌｃ2はそれぞれ信号電荷転送部３ａ1，
３ａ2，３ｂ1，３ｂ2，３ｃ1，３ｃ2を駆動するのに必
要なパルスを供給するためのパルスラインである。な
お、パルスラインから各信号電荷転送部への接続は矢印
および「×」印で示す。

【００２８】図９は、図８において破線で囲んだ領域Ｗ
の拡大図（前記公報第３図に対応）である。図９におい
て、図８に示した要素と同一の機能を有する要素には同
一の参照符号が付されている。

【００２９】図９を参照して、12はＬＯＣＯＳによる素
子分離領域、13はパルスラインＬａ2と信号電荷転送部
３ａ2を形成するＣＣＤレジスタの多結晶シリコン電極1
1ｂを接続するためのコンタクトである。

【００３０】図９に示す従来例では、Ｌａ2のパルスラ
インを信号電荷読み出し部２ａ2と信号電荷転送部３ａ2
の間に配置し、この信号電荷読み出し部と信号電荷転送
部の間でパルスラインと信号電荷転送部を接続している
（コンタクト13）。

【００３１】その結果、図７に示す前記従来例と比べ
て、パルスラインＬ2の一部分の幅（例えばφ1クロック
に関する部分）を減らすことができるが、新たにパルス
ラインＬａ2とＣＣＤレジスタの多結晶シリコン電極11
ｂを接続するための領域14が必要になり、両者を差し引
きするとライン間距離の大幅な低減は実現できない。

【００３２】従って、本発明は上記問題点を解消し、カ
ラーリニアイメージセンサにおいて、ＲＧＢ３色の受光
部間の距離（すなわちライン間距離）を低減するカラー
リニアイメージセンサを提供することを目的とする。

【００３３】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、半導体基板上に形成され、３列の受光部
と、前記受光部に隣接してそれぞれ配設される信号電荷
転送部と、前記受光部からの信号電荷を隣接した前記信
号電荷転送部にそれぞれ読み出す信号電荷読み出し部
と、を含むカラーリニアイメージセンサにおいて、前記
信号電荷転送部のうち両外側の受光部に対応する信号電
荷転送部が、前記３列の受光部の間には存在しないよう
に配置されたそれぞれ１列のＣＣＤレジスタからなり、
前記３列の受光部のうち中央の受光部に対応する信号電
荷転送部が、前記両外側の受光部との間に位置するＣＣ
Ｄレジスタからなることを特徴とするカラーリニアイメ
ージセンサを提供する。

【００３４】本発明においては、好ましくは、前記中央
の受光部に対応する信号電荷転送部は、一側が前記受光
部の奇数列の信号電荷を転送し、他側が前記受光部の偶
数列の信号電荷を転送することを特徴とする。

【００３５】本発明においては、好ましくは、前記中央
の受光部が、各画素に対してそれぞれ２個設けられた信
号電荷読み出し部により各画素の信号電荷を２分割して
両側の信号電荷転送部に読み出し、両側の信号電荷転送
部がそれぞれ２分割された信号電荷を転送することを特
徴とする。

【００３６】本発明においては、好ましくは、前記中央
の受光部が、各画素を２分割するように素子分離されて
いることを特徴とする。

【００３７】また、本発明は、半導体基板上に形成さ
れ、３列の受光部と、前記受光部に隣接した信号電荷転
送部と、前記受光部からの信号電荷を隣接したそれぞれ
の信号電荷転送部に読み出す信号電荷読み出し部と、を
備えたカラーリニアイメージセンサにおいて、前記３列
の受光部のうち中央の受光部に接続される２個の信号電
荷読み出し部及び２個の信号電荷転送部は、該中央の受
光部の両側にそれぞれ１個ずつ配置し、両外側の２列の
受光部にそれぞれ接続される信号電荷読み出し部と信号
電荷転送部とは、各受光部毎にそれぞれ１個ずつ配設さ
れると共に前記両外側の受光部の外側にそれぞれ配置さ
れてなることを特徴とするカラーリニアイメージセンサ
を提供する。

【００３８】

【作用】本発明によれば、３列の受光部のうち中央
（「真中」ともいう）の受光部に接続される２個の信号
電荷読み出し部及び２個の信号電荷転送部は、該真中の
受光部の両側にそれぞれ１個ずつ配置し、両外側の２列
の受光部にそれぞれ接続される信号電荷読み出し部と、
信号電荷転送部とは、各受光部毎にそれぞれ１個ずつ配
設され、且つ互いに隣接する２つの受光部の間に存在し
ないように両外側の受光部の外側にそれぞれ配置したこ
とにより、従来のカラーリニアイメージセンサに比べ、
感度、ダイナミックレンジ等の特性をほとんど劣化させ
ることなく、容易にライン間距離を大幅に縮減するもの
である。さらに、本発明（請求項３）によれば、請求項
１記載の発明よりも入力クロック数を減らすことができ
る。さらに、本発明（請求項４）によれば、真中の受光
部から両側の信号電荷転送部へ読み出される信号電荷を
ちょうど１／２ずつにできるという作用効果を有する。

【００３９】

【実施例】図面を参照して、本発明の実施例を以下に説
明する。

【００４０】

【実施例１】図１は本発明の一実施例に係るカラーリニ
アイメージセンサの全体構成を示す図である。

【００４１】図１において、図６および図７に示した前
記従来例と同一の機能を有する要素には同一の参照符号
が付されている。

【００４２】図１を参照して、本実施例においては、３
列の受光部１ａ，１ｂ，１ｃのうち真中（中央）に配置
された受光部１ｂとその両側に配置される信号電荷読み
出し部２ｂ1，２ｂ2および信号電荷転送部３ｂ1，３ｂ
2、出力回路４ｂ1，４ｂ2さらにパルスラインＬ2，Ｌ3
は、図６および図７に示す従来例と全く同一のサイズ及
び構成としている。

【００４３】また、本実施例においては、両外側の受光
部１ａ，１ｃに対する信号電荷読み出し部２ａ，２ｃ
と、信号電荷転送部３ａ，３ｃとを、隣接する受光部１
ａ−１ｂ間、および受光部１ｂ−１ｃ間に存在しないよ
うに、それぞれの受光部１ａ，１ｃの外側に配置し、受
光部１ａ，１ｃのすべての信号電荷をそれぞれ１列のＣ
ＣＤレジスタである信号電荷転送部３ａ，３ｃに読み出
し、パルスラインＬ1′およびＬ4′から給電される２相
クロックφ3，φ4によって転送を行ない、出力回路４
ａ，４ｃから出力する。

【００４４】ここで、真中に配置された受光部１ｂの信
号電荷はその奇数番目の信号と偶数番目の信号を２列の
信号電荷転送部３ｂ1，３ｂ2を用いてそれぞれ別々に転
送するが、受光部１ａ，１ｃの信号電荷は１列の信号電
荷転送部１ａ，１ｃにて転送を行なうため、パルスライ
ンＬ1′，Ｌ4′から信号電荷転送部３ａ，３ｃに給電す
る２相クロックφ3，φ4は、パルスラインＬ2，Ｌ3から
信号電荷転送部３ｂ1，３ｂ2に給電する２相クロックφ
1，φ2の２倍の周波数とし、３列の受光部からの出力が
同一時間内に完了するようにする。

【００４５】図２は、図１において破線Ｘ2で囲まれた
領域を拡大して示した図である。図２において、図１に
示す要素と同一の要素には同一の参照符号が付されてい
る。

【００４６】図２を参照して、５′は２相クロックφ
3，φ4が印加されるアルミニウム配線、６′はアルミニ
ウム配線５′と信号電荷転送部３ａを形成するＣＣＤレ
ジスタの多結晶シリコン電極11ａ′を接続するためのコ
ンタクト、７′は同じくＣＣＤレジスタの２種類の多結
晶シリコン電極11ａ′、11ｂ′を接続するためのコンタ
クトである。８′は信号電荷読み出し部２ａを駆動する
クロックが印加されるアルミニウム配線、９′はアルミ
ニウム配線８′と信号電荷読み出し部を形成する多結晶
シリコン電極10′を接続するためのコンタクトである。

【００４７】図２と、前記従来例を示す図７とを比較し
てわかるように、本実施例においては、ライン間距離を
決定する要因のうち、隣接する受光部間の信号電荷読み
出し部の数が２個から１個に、信号電荷転送部の数が２
個から１個にそれぞれ減っており、この分だけライン間
距離を縮減することができる。すなわち、図２に示すよ
うに、受光部１ａ−１ｂ間には、信号電荷読み出し部２
ｂ1と信号電荷転送部３ｂ1のみが配置されている（これ
に対して、図７では、受光部１ａ−１ｂ間には、信号電
荷読み出し部２ａ1，２ｂ1と信号電荷転送部３ａ2，３
ｂ1が配置されている）。

【００４８】具体的には、図６、図７を参照して説明し
た前記従来例の数字（データ）をもとにして、信号電荷
読み出し部のサイズが12μｍ、信号電荷転送部のサイズ
が30μｍであるから、本実施例においては、ライン間距
離は、図６、図７の前記従来例（ライン間距離168μ
ｍ；ｍ＝12）よりも42μｍ減少し、126μｍ（ｍ＝９）
となる（すなわち25％の減少）。

【００４９】

【実施例２】図３は本発明の第２の実施例に係るカラー
リニアイメージセンサの全体構成を示す図である。図３
において、図１に示す要素と同一の要素には同一の参照
符号が付されている。

【００５０】図３を参照して、本実施例においては、３
列の受光部１ａ，１ｂ，１ｃのうち両外側の受光部１
ａ，１ｃと、それに関係する信号電荷読み出し部２ａ，
２ｃ、信号電荷転送部３ａ，３ｃ、出力回路４ａ，４
ｃ、パルスラインＬ1′，Ｌ4′はすべて図１に示した前
記第１の実施例と同一である。

【００５１】本実施例では、真中の受光部１ｂの各画素
の信号電荷を信号電荷読み出し部２ｂ1′、２ｂ2′を通
してそれぞれ両側の信号電荷転送部３ｂ1′，３ｂ2′に
同時に読み出すようにする。

【００５２】すなわち、信号電荷転送部３ｂ1′には受
光部１ｂの１番目の画素から最終画素までの信号電荷の
約１／２が読み出されることになる（1/2Ｑ1，1/2Ｑ2，
1/2Ｑ3，…）。

【００５３】一方、信号電荷転送部３ｂ2′には同じく
受光部１ｂの１番目の画素から最終画素までの信号電荷
の残りの部分が読み出される。

【００５４】つづいて信号電荷転送部３ｂ1′，３ｂ2′
に読み出された信号電荷はパルスラインＬ2′，Ｌ3′か
ら給電される２相クロックφ3，φ4によって転送され、
出力回路４ｂの直前、もしくは出力回路の一部である浮
遊拡散領域によって形成された信号電荷検出部で合成さ
れ出力される。

【００５５】本実施例では、信号電荷転送部３ｂ1′，
３ｂ2′で転送する信号電荷の数が、信号電荷転送部３
ａ，３ｃで転送する信号電荷（Ｑ1，Ｑ2，Ｑ3，…）の
数と同一であるため、前記第１の実施例に比べてパルス
ラインＬ2′，Ｌ3′から給電される２相クロックをＬ
1′，Ｌ4′から給電される２相クロックφ3，φ4と同一
にでき、前記第１の実施例より入力クロック数を減らす
ことができるという利点を有する。

【００５６】図４は、図３において破線Ｘ3で囲まれた
部分を拡大して示した図である。図４において、図２に
示す要素と同一の要素には同一の参照符号が付されてい
る。

【００５７】図４を参照して、５″はパルスラインＬ
2′から２相クロックφ3，φ4が給電されるアルミニウ
ム配線、６″はアルミニウム配線５″と信号電荷転送部
３ｂ1′を形成するＣＣＤレジスタの多結晶シリコン電
極11ａ″とを接続するためのコンタクト、７″は同じく
ＣＣＤレジスタの２種類の多結晶シリコン電極11ａ″，
11ｂ″を接続するためのコンタクトである。

【００５８】そして、８″は信号電荷読み出し部２ｂ
1′，２ｂ2′を駆動するクロックが印加されるアルミニ
ウム配線、９″はアルミニウム配線８″と信号電荷読み
出し部を形成する多結晶シリコン10″を接続するための
コンタクトである。

【００５９】図４からわかるように、本実施例でも、前
記第１の実施例と同様に、ライン間距離を決定する要因
のうち、隣接する受光部間の信号電荷読み出し部および
信号電荷転送部の数が、前記従来例よりもそれぞれ１個
ずつ減っており、従って前記第１の実施例と同じライン
間距離の低減効果がある。

【００６０】

【実施例３】図５は、本発明の第３の実施例に係るカラ
ーリニアイメージセンサの全体構成を示す図である。

【００６１】本実施例は、図３に示した前記第２の実施
例と同一の構成をとり、図５は、図３の破線Ｘ3で囲ま
れた領域に相当する部分を拡大して示した図である。図
５において、図４に示した要素と同一の要素には同一の
参照符号が付されている。

【００６２】図５を参照して、本実施例においては、受
光部１ｂのちょうど真中（中央）にチャネルストップ15
を設け、受光部１ｂ1，１ｂ2の２つに分割している（す
なわち素子分離されている）点が前記第２の実施例と相
違している。

【００６３】すなわち、前記第２の実施例では、信号電
荷読み出し部２ｂ1′，２ｂ2′のサイズ（幅）の製造ば
らつきや、信号電荷読み出し部２ｂ1′，２ｂ2′に印加
されるクロックのタイミングのずれ等により、受光部１
ｂから信号電荷転送部３ｂ1′，３ｂ2′へ読み出される
信号電荷（Ｑ1，Ｑ2，Ｑ3，…）は正確に１／２ずつに
ならないため、信号電荷転送部３ｂ1′，３ｂ2′のサイ
ズ（幅）は所定の大きさより少し大きめにする必要があ
る。

【００６４】これに対して、本実施例においては、受光
部１ｂをチャネルストップ15で正確に２分割するため、
受光部１ｂから信号電荷転送部３ｂ1′，３ｂ2′へ読み
出される信号電荷（Ｑ1，Ｑ2，Ｑ3，…）をちょうど１
／２ずつにできるという利点を有する。

【００６５】以上、本発明を上記実施例に即して説明し
たが、本発明は上記態様にのみ限定されず、本発明の原
理に準ずる各種態様を含むことは勿論である。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体基板上に形成され、３列の受光部と、前記受光部
に隣接した信号電荷転送部と前記受光部からの信号電荷
を隣接したそれぞれの信号電荷転送部に読み出す信号電
荷読み出し部を持つカラーリニアイメージセンサにおい
て、信号電荷転送部のうち両外側の受光部に対応する信
号電荷転送部は３列の受光部の間にないそれぞれ１列の
ＣＣＤレジスタからなり、真中の受光部に対応する信号
電荷転送部は、真中の受光部の両側に位置するＣＣＤレ
ジスタからなるように各部分を配置したことにより、従
来のカラーリニアイメージセンサに比べ、感度、ダイナ
ミックレンジ等の特性をほとんど劣化させることなく、
容易にライン間距離を25％程度縮減することが可能とさ
れ、小型化を容易とする。請求項２〜４に記載される発
明によっても上記効果を同様に奏することができととも
に、請求項３に記載される発明によれば、請求項１に記
載される発明よりも入力クロック数を減らすことができ
るという利点を有し、さらに請求項４に記載される発明
によれば、真中の受光部から両側の信号電荷転送部へ読
み出される信号電荷をちょうど１／２ずつにできるとい
う効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るカラーリニアイメ
ージセンサの全体の構成を示す図である。

【図２】図１における破線Ｘ2で囲まれた領域を拡大し
て示した図である。

【図３】本発明の第２の実施例に係るカラーリニアイメ
ージセンサの全体の構成を示す図である。

【図４】図３における破線Ｘ3で囲まれた領域を拡大し
て示した図である。

【図５】本発明の第３の実施例に係るカラーリニアイメ
ージセンサの構成を示す図である。

【図６】従来のカラーリニアイメージセンサの全体の構
成を示す図である。

【図７】図６における破線Ｘ1で囲まれた領域を拡大し
て示した図である。

【図８】特開平2−272769号公報で記載されたカラーリ
ニアイメージセンサの全体の構成を示す図である。

【図９】図８における破線Ｗで囲まれた領域を拡大して
示した図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ，１ｃ 受光部 ２ａ，２ａ1，２ａ2，２ｂ1，２ｂ2，２ｂ1′，２ｂ
2′，２ｃ，２ｃ1，２ｃ2信号電荷読み出し部 ３ａ，３ａ1，３ａ2，３ｂ1，３ｂ2，３ｂ1′，３ｂ
2′，３ｃ，３ｃ1，３ｃ2信号電荷転送部 ４ａ，４ａ1，４ａ2，４ｂ，４ｂ1，４ｂ2，４ｃ，４ｃ
1，４ｃ2 出力回路 ５，５′，５″ 信号電荷転送部を駆動する２相クロッ
クが印加されるアルミニウム配線 11ａ，11ｂ，11ａ′，11ｂ′，11ａ″，11ｂ″ 信号電
荷転送部を形成する多結晶シリコン電極 ８，８′，８″ 信号電荷読み出し部を駆動するクロッ
クが印加されるアルミニウム配線 10，10′，10″ 信号電荷読み出し部を形成する多結晶
シリコン電極 ６，６′，６″，７，７′，７″，９，９′，９″ コ
ンタクト 15 チャネルストップ Ｌ1，Ｌ1′，Ｌ2，Ｌ2′，Ｌ3，Ｌ3′，Ｌ4，Ｌ4′ パ
ルスライン

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体基板上に形成され、 ３列の受光部と、 前記受光部に隣接してそれぞれ配設される信号電荷転送
   部と、 前記受光部からの信号電荷を隣接した前記信号電荷転送
   部にそれぞれ読み出す信号電荷読み出し部と、 を含むカラーリニアイメージセンサにおいて、 前記信号電荷転送部のうち両外側の受光部に対応する信
   号電荷転送部が、前記３列の受光部の間には存在しない
   ように配置されたそれぞれ１列のＣＣＤレジスタからな
   り、 前記３列の受光部のうち中央の受光部に対応する信号電
   荷転送部が、前記両外側の受光部との間に位置するＣＣ
   Ｄレジスタからなることを特徴とするカラーリニアイメ
   ージセンサ。
2. 【請求項２】前記中央の受光部に対応する信号電荷転送
   部は、一側が前記受光部の奇数列の信号電荷を転送し、
   他側が前記受光部の偶数列の信号電荷を転送することを
   特徴とする請求項１記載のカラーリニアイメージセン
   サ。
3. 【請求項３】半導体基板上に形成され、 ３列の受光部と 、前記受光部に隣接してそれぞれ配設される信号電荷転送
   部と 、前記受光部からの信号電荷を隣接した前記信号電荷転送
   部にそれぞれ読み出す信号電荷読み出し部と 、を含むカラーリニアイメージセンサにおいて 、前記信号電荷転送部のうち両外側の受光部に対応する信
   号電荷転送部が、前記３列の受光部の間には存在しない
   ように配置されたそれぞれ１列のＣＣＤレジスタからな
   り、 前記３列の受光部のうち中央の受光部に対応する信号電
   荷転送部が、前記中央の受光部の両側に位置するＣＣＤ
   レジスタからなり 、 前記中央の受光部が、各画素に対してそれぞれ２個設け
   られた信号電荷読み出し部により各画素の信号電荷を２
   分割して両側の前記信号電荷転送部に読み出し、両側の
   前記信号電荷転送部がそれぞれ２分割された信号電荷を
   転送することを特徴とするカラーリニアイメージセン
   サ。
4. 【請求項４】前記中央の受光部が、各画素を２分割する
   ように素子分離されていることを特徴とする請求項３記
   載のカラーリニアイメージセンサ。
5. 【請求項５】半導体基板上に形成され、３列の受光部
   と、前記受光部に隣接した信号電荷転送部と、前記受光
   部からの信号電荷を隣接したそれぞれの信号電荷転送部
   に読み出す信号電荷読み出し部と、を備えたカラーリニ
   アイメージセンサにおいて、 前記３列の受光部のうち中央の受光部に接続される２個
   の信号電荷読み出し部及び２個の信号電荷転送部は、該
   中央の受光部の両側にそれぞれ１個ずつ配置し、 両外側の２列の受光部にそれぞれ接続される信号電荷読
   み出し部と信号電荷転送部とは、各受光部毎にそれぞれ
   １個ずつ配設されると共に前記両外側の受光部の外側に
   それぞれ配置されてなることを特徴とするカラーリニア
   イメージセンサ。