JP2818361B2 - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

多層プリント配線板の製造方法

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JP2818361B2
JP2818361B2 JP20144293A JP20144293A JP2818361B2 JP 2818361 B2 JP2818361 B2 JP 2818361B2 JP 20144293 A JP20144293 A JP 20144293A JP 20144293 A JP20144293 A JP 20144293A JP 2818361 B2 JP2818361 B2 JP 2818361B2
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0097Processing two or more printed circuits simultaneously, e.g. made from a common substrate, or temporarily stacked circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits

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  • Laminated Bodies (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、連続工法による多層プ
リント配線板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】多層プリント配線板を製造するにあたっ
て従来は、内層回路を設けて作成した所定寸法の内層用
回路板の表面に、内層用回路板とほぼ同寸法に作成した
樹脂含浸基材と銅箔等の金属箔を重ね、これらを加熱加
圧成形して積層一体化するバッチ工法が一般的であっ
た。しかしこのバッチ工法では内層用回路板と樹脂含浸
基材と金属箔を重ねたものを一々成形装置にセットして
成形をおこなう必要があるために、生産性が非常に悪い
という問題があった。
【0003】そこで、多層プリント配線板を連続的に製
造するようにした技術が特開昭60−119796号公
報で提供されるに至っている。すなわちこの方法は、内
層回路を設けた内層用回路板を連続的に供給しつつ内層
用積層板の表面に長尺帯状の樹脂含浸基材及び長尺帯状
の金属箔を重ねて連続的に積層し、これらを連続的に移
行させつつ加熱することによって、多層プリント配線板
を連続的に製造するようにしたものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のように多層プリ
ント配線板を連続的に製造することによって、生産性を
高く得ることができる。しかし、内層用回路板は表面に
内層回路が形成されているために、内層回路板の表面は
内層回路が凸、内層回路間が凹となる凹凸面になってお
り、内層回路板の表面に樹脂含浸基材を介して金属箔を
積層して多層プリント配線板を製造するにあたって、金
属箔の表面にこの凹凸が現れて金属箔の表面が凹凸にな
り、この結果、金属箔にファインパターンで微細回路を
形成することが困難になるという問題があった。また同
様に内層回路板の表面に樹脂含浸基材を介して金属箔を
積層して多層プリント配線板を製造する際に、内層回路
間に気泡が入って加熱処理時に多層プリント配線板にフ
クレ等が発生するおそれがあるという問題もあった。
【0005】このために、特開昭61−120736号
公報において、内層用回路板の表面を樹脂被覆すること
がおこなわれているが、内層用回路板の表面を樹脂で被
覆しておくと、内層用回路板に樹脂含浸基材を積層して
多層プリント配線板を製造するにあたって、被覆樹脂の
表面と樹脂含浸基材の含浸樹脂との間の密着不足によっ
て多層プリント配線板の層間剥離が発生し易くなり、こ
の層間剥離によって加熱処理時にフクレ等が発生するお
それがあった。
【0006】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、金属箔を表面平滑にして積層することができ、し
かも層間剥離が発生するおそれのない多層プリント配線
板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る多層プリン
ト配線板の製造方法は、内層回路1が設けられた内層用
回路板2の表面に内層回路1の表面からの厚みが1〜4
0ミクロンの樹脂層3を設けると共に樹脂層3の表面を
粗面に形成し、この内層用回路板2を供給しつつ内層用
回路板2の表面に長尺の樹脂含浸基材4を連続して送り
ながら重ねると共に、さらにこの樹脂含浸基材4の表面
に長尺の金属箔5を連続して送りながら重ね、これらを
連続して送りつつ樹脂含浸基材4中の含浸樹脂を硬化さ
せることによって内層用回路板2に金属箔5を積層する
ことを特徴とするものである。
【0008】また本発明に係る多層プリント配線板の製
造方法は、内層回路1が設けられた内層用回路板2の表
面に内層回路1の表面からの厚みが1〜40ミクロンの
樹脂層3を設けると共に樹脂層3の表面を粗面に形成
し、この内層用回路板2を供給しつつ内層用回路板2の
表面に長尺の金属箔5を連続して送りながらボンディン
グ樹脂7を介して重ね、これらを連続して送りつつボン
ディング樹脂7を硬化させることによって内層用回路板
2に金属箔5を積層することを特徴とするものである。
【0009】本発明にあって、内層用回路板2の表面に
樹脂層3を設けると共に粗化面を表面に設けた離型シー
ト6をその粗化面側で樹脂層3に重ね、次に樹脂層3を
半硬化乃至硬化させた後に樹脂層3から離型シート6を
離型することによって樹脂層3の表面に粗面を転写形成
することができる。また本発明では、内層用回路板2の
表面に樹脂層3を設け、樹脂層3を半硬化乃至硬化させ
た後に樹脂層3の表面を粗面化処理するようにしてもよ
い。
【0010】さらに本発明では、コロナ放電処理、レー
ザー照射処理、サンディング処理のいずれかの方法で粗
面化処理することもできる。また本発明は、内層用回路
板2として長尺のものを用い、内層用回路板2を連続し
て送るようにすることができる。さらに本発明では、内
層用回路板2として短尺のものを用い、内層用回路板2
を一枚ずつ送るようにすることもできる。
【0011】
【作用】内層回路1が設けられた内層用回路板2の表面
内層回路1の表面からの厚みが1〜40ミクロンの
脂層3を設けるようにしているために、内層回路1間に
樹脂層3が充填されて内層用回路板2の表面を平滑面に
することができ、内層用回路板2に金属箔5を積層する
にあたって、内層回路1による内層用回路2の表面の凹
凸が金属箔5の表面に現れることがなく、金属箔5を表
面平滑に積層することができる。また、樹脂層3の表面
を粗面に形成しているために、樹脂層3の表面と樹脂含
浸基材4の含浸樹脂やボンディング樹脂7との間の密着
性を粗面によって高めることができ、多層プリント配線
板の層間密着性を高く得ることができる。
【0012】
【実施例】以下本発明を実施例によって詳述する。図1
は本発明の一実施例を示すものであり、この実施例では
内層用回路板2として長尺帯状のものを用い、ロール1
0に巻いて使用するようにしてある。この内層用回路板
2の上下両面(片面でもよい)には銅箔のエッチング加
工等によって内層回路1が設けてあり、内層回路1の表
面には黒化処理等の粗面化処理をしておいてもよい。そ
してこの内層用回路板2としては、ガラス布基材ポリエ
ステル樹脂銅張積層板、又はエポキシ、PPO、ポリイ
ミド、フッ素樹脂銅張積層板、あるいはポリエステル樹
脂、ポリイミド樹脂をベースとするフレキシブル銅張積
層板等であって、片面金属箔張りあるいは両面金属箔張
りのものを加工して形成したものを使用することができ
る。またこのような長尺帯状の内層用回路板2に用いる
金属箔張り積層板は、長尺帯状の樹脂含浸基材を複数枚
連続して送りつつ重ね、その片面あるいは両面に長尺帯
状の金属箔を連続して送りつつ重ね、これらを加熱硬化
炉に通して樹脂含浸基材の含浸樹脂を硬化させることに
よって、連続工法で作成することができる。
【0013】そしてこの長尺帯状の内層用回路板2をロ
ール10から繰り出して連続して送り、上下一対の塗布
装置11a,11b間に通すことによって、樹脂ワニス
12を内層用回路板2の上下両面に塗布し、図2(a)
に示すように、内層回路1を被覆するように内層用回路
板2の表面に樹脂層3を形成する。図1の実施例では、
内層用回路板2の表面に樹脂層3を塗布形成する際に、
同時に樹脂層3の表面に離型シート6を張るようにして
ある。すなわち、塗布装置11a,11bは塗布ロール
30と送りロール31とで形成してあり、長尺帯状に形
成される上下一対の離型シート6を連続して送りながら
各塗布装置11a,11bの塗布ロール30と送りロー
ル31との間に通すことによって、塗布ロール30で樹
脂ワニス12を各離型シート6の片面に塗布し、そして
この一対の離型シート6間に内層用回路板2を供給しな
がら上下の塗布装置11a,11bの送りロール31間
に通すことによって、各離型シート6に塗着した樹脂ワ
ニス12を内層用回路板2の表面に付着させると共に樹
脂ワニス12を内層用回路板2に付着させて形成される
樹脂層3の表面に図2(b)のように離型シート6を張
ることができるものである。
【0014】この樹脂層3を形成する樹脂ワニス12と
しては、後述する樹脂含浸基材4に含浸するものと同じ
ものを用いることができる。また、樹脂層3の厚みは、
内層回路1間が樹脂層3で充填される程度であれば所期
の目的は達成できるが、内層回路1の表面からの厚みt
=1〜40ミクロンで樹脂層3を形成するのが好まし
い。樹脂層3の厚みが1ミクロン未満であると、樹脂層
3を形成することによる内層用回路板2の表面の平滑効
果が十分に得られないことがあり、また樹脂層3の厚み
が40ミクロンを超えると、内層用回路板2に波打ち状
の変形が発生するおそれがある。またこのように樹脂層
3を形成するにあたって、内層用回路板2の表裏の樹脂
層3の厚みに差があると層構成のバランスがくずれて反
りや変形が発生するおそれがあるので、内層用回路板2
の表裏の樹脂層3の厚みの差は小さい程良いが、少なく
ともその差が15ミクロン以下になるようにするのが好
ましい。
【0015】また、内層用回路板2の表面に樹脂ワニス
12を塗着するだけでは、樹脂ワニス12は内層用回路
板2から流れたり垂れ落ちたりして樹脂層3を所定厚み
で形成することが難しいが(内層用回路板2の下面では
特に難しい)、上記のように樹脂層3に離型シート6を
重ねて張ることによって、樹脂ワニス12が流れたり垂
れ落ちたりすることを防ぐことができるのである。そし
てこのように樹脂層3に離型シート6を張った状態で内
層用回路板2を乾燥炉14に通して樹脂層3を半硬化乃
至硬化させるものである。
【0016】ここで、離型シート6としては、PETな
どのポリエステル、ポリイミド、ポリ塩化ビニリデン、
フッ素等の任意の樹脂で作成したものを用いることがで
きるが、樹脂ワニス12が流れたり垂れ落ちたりするこ
とを防ぐためにはある程度の腰の強さを有するものを用
いる必要がある。従って離型シート6としては厚みが
0.1〜0.4mmのものが好ましく、より好ましくは
0.1〜0.3mmのものがよい。内層用回路板2に設
けた内層回路1の間隔が狭い場合は樹脂ワニス12の流
れや垂れは小さくなるので離型シート6の厚みは薄めの
ものでよく、逆に内層回路1の間隔が広い場合は樹脂ワ
ニス12の流れや垂れは大きくなるので離型シート6の
厚みは厚めのものがよい。
【0017】そして本発明において図1の実施例では、
離型シート6として表面を粗化して形成したものを用い
るものであり、離型シート6の粗化面に塗布ロール30
で樹脂ワニス12を塗布することによって、離型シート
6はその粗化面を樹脂層3に重ねて張り付けるようにし
てある。従って、内層用回路板2を乾燥炉14に通して
樹脂層3を半硬化乃至硬化させた後に、剥離ロール15
で内層用回路板2を押さえながら樹脂層3の表面から剥
離シート6を剥離すると、剥離シート6に設けた粗化面
の微細な凹凸が樹脂層3の表面に転写され、樹脂層3の
表面を粗面に形成することができるものである。
【0018】一方、長尺帯状の基材17をロール10か
ら繰り出して連続して送りつつ含浸槽18に通すことに
よって、基材17に樹脂ワニス12を含浸させ、樹脂含
浸基材4を調製する。基材17としては紙、ガラス織
布、ガラス不織布、ガラスマットなどを用いることがで
きるものであり、ガラス布等を用いる場合には予めアク
リルシラン等で表面処理しておくのが好ましい。また樹
脂ワニス12としては、不飽和ポリエステル樹脂、ジア
リルフタレート樹脂、ビニルエステル樹脂等の不飽和結
合を有する不飽和樹脂を架橋剤となるビニルモノマーな
どで希釈すると共に重合開始剤を加えて調製したものを
用いることができ、さらに無溶剤型エポキシ樹脂に硬化
剤や硬化促進剤を配合したものなどを用いることもでき
る。これらの樹脂は縮合水など実質的に揮発分がない無
溶剤タイプとして使用することができるので、高い加圧
力を用いない本発明のような連続工法に適しているもの
である。尚、さらにこれらの樹脂に必要に応じてタル
ク、クレー、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、シ
リカ等の無機質粉末充填剤や、ガラス繊維、アスベスト
繊維、パルプ繊維、合成繊維、セラミック繊維等の繊維
質充填剤を添加したものを用いることもできる。
【0019】このように基材17に樹脂ワニス12を含
浸して調製した長尺帯状の樹脂含浸基材4を連続して送
りつつ、内層用回路板2の上下の両面(片面でもよい)
に所要枚数ずつ重ねる。樹脂含浸基材4を内層用回路板
2と共にラミネートロール19,19間に通すことによ
って、内層用回路板2に樹脂含浸基材4を張り合わせる
ことができるものであり、さらに同時に長尺帯状の銅箔
やアルミニウム箔等の金属箔5をロール10から繰り出
しつつ連続して送り、樹脂含浸基材4の外側に重ねてラ
ミネートロール19,19間に通すことによって、内層
用回路板2に重ねた樹脂含浸基材4の表面に金属箔5を
重ねることができる。
【0020】次に、この重ね合わせた内層用回路板2と
樹脂含浸基材4と金属箔5の積層帯状体20を連続して
送りつつ加熱硬化炉21に通し、樹脂含浸基材4の含浸
樹脂を加熱硬化させることによって、内層用回路板2の
両面に樹脂含浸基材4の硬化樹脂層を介して金属箔5を
積層した積層硬化体22を得ることができるものであ
る。この積層硬化体22をさらに連続して送りつつカッ
ター等の切断装置23で所定寸法に切断し、そして両面
の金属箔5をエッチング加工等して外層回路を形成した
り、スルーホール加工したりすることによって、多層プ
リント配線板Aとして仕上げることができるものであ
る。尚、上記のようにして得た積層硬化体22は切断せ
ず、もしくは切断して、金属箔5によって回路形成した
後、これを内層用回路2として用いて、上記と同様の方
法で多層プリント配線板を製造するようにすることも可
能である。
【0021】ここで、多層プリント配線板Aは図3に示
すように、内層用回路板2の表面に塗布形成した樹脂層
3の表面に、樹脂含浸基材4中の含浸樹脂を硬化させた
ボンディング層25を積層すると共に金属箔5を積層し
て形成してあり、内層用回路板2の表面は内層回路1間
に樹脂層3が充填されて平滑面になっており、内層用回
路板2に金属箔5を積層するにあたって内層回路1によ
る内層用回路2の表面の凹凸が金属箔5の表面に現れる
ことがなく、金属箔5を表面平滑に積層することができ
るものである。従って、金属箔5をエッチング処理等し
て回路形成をするにあたって、ファインパターンで微細
回路を形成することが容易になるものである。また上記
のように内層回路1間に樹脂層3が充填されているため
に、内層用回路板2に樹脂含浸基材4を積層する際に、
内層回路1間に気泡が入るようなことがなくなり、多層
プリント配線板Aにフクレ等が発生するようなことがな
くなるものである。また、多層プリント配線板Aではス
ルーホールを穿設すると共にスルーホールの内周にスル
ーホールメッキを設けて内層回路1に導通させることが
おこなわれており、内層回路1の表面と樹脂含浸基材4
によるボンディング層25との間の密着性が不十分であ
ると、この隙間からメッキ液が侵入することによって発
生するピンクリング(ハローイング)が問題になる。特
に内層回路1間の凹の部分に樹脂含浸基材4の含浸樹脂
が流れることによって、内層回路1の表面に付着する樹
脂量が不足し、ピンクリングが発生し易くなるが、本発
明のように、内層用回路板2の表面に樹脂層3を塗布形
成して樹脂層3で内層回路1を覆うようにしておけば、
このような樹脂不足の問題がなくなってピンクリングの
発生を防ぐことができるものである。
【0022】さらに、内層用回路板2に塗布形成した樹
脂層3の表面には粗面が形成してあるので、内層用回路
板2に樹脂含浸基材4を積層するにあたって、樹脂層3
の表面と樹脂含浸基材4の含浸樹脂との間の密着性を粗
面によって高めることができ、多層プリント配線板Aの
層間密着性を高く得ることができるものであり、多層プ
リント配線板Aにフクレ等が発生するようなことがなく
なるものである。
【0023】図4は本発明の他の実施例を示すものであ
り、この実施例では、離型シート6として粗化面を設け
ていない通常のものを用いてあり、離型シート6を樹脂
層3から剥離しても樹脂層3の表面には粗面は形成され
ていない。従ってこのものでは、乾燥炉14で樹脂層3
を半硬化乃至硬化させて離型シート6を剥離した後、粗
面化装置33に通して樹脂層3の表面を粗面化処理す
る。この粗面化装置33としては、コロナ放電装置やレ
ーザー照射装置、サンディング装置などを用いることが
でき、コロナ放電処理やレーザー照射処理、サンディン
グ処理によって樹脂層3の表面を粗面化処理することが
できるものである。
【0024】またこの実施例では、図1のような樹脂含
浸基材4を用いずに、内層用回路板2に樹脂付きの金属
箔5を積層するようにしてある。すなわち、塗布ロール
36と送りロール35を具備して形成される上下一対の
塗布装置37a,37bを用い、長尺帯状に形成される
上下一対の金属箔5を連続して送りながら各塗布装置3
7a,37bの塗布ロール36と送りロール35との間
に通すことによって、塗布ロール36で樹脂ワニス12
を各金属箔5の片面に塗布し、そしてこの一対の金属箔
5間に内層用回路板2を供給しながら上下の塗布装置3
7a,37bの送りロール35間に通すことによって、
各金属箔5を樹脂ワニス12で内層用回路板2の表面に
張り付けることができる。そしてこの重ね合わせた内層
用回路板2と金属箔5の積層帯状体20を連続して送り
つつ加熱硬化炉21に通し、樹脂ワニス12を加熱硬化
させることによって、内層用回路板2の両面に樹脂ワニ
ス12が硬化したボンディング樹脂7を介して金属箔5
を積層した積層硬化体22を作成することができ、図5
に示すような多層プリント配線板Aを得ることができる
ものである。
【0025】尚、上記各実施例では内層用回路板2とし
て長尺帯状のものを用い、これをロール10から繰り出
して連続して送りながら内層用回路板2の表面に樹脂層
3を設けるようにしたが、内層用回路板2の表面に予め
別途の工程で樹脂層3を設けておくと共に樹脂層3の表
面を粗面に形成しておいてこれを使用するようにしても
よい。また上記各実施例では内層用回路板2として長尺
帯状のものを用いて多層プリント配線板Aを製造するよ
うにしたが、内層用回路板2として所定寸法に裁断され
た短寸法のものを用い、内層用回路板2の表面に予め別
途の工程で樹脂層3を設けておくと共に樹脂層3の表面
を粗面に形成しておいてこれを使用するようにしてもよ
い。この場合には短寸法の内層回路板2を一枚ずつ送る
ようにして多層プリント配線板Aを製造するようにして
もよい。
【0026】
【発明の効果】上記のように本発明は、内層回路が設け
られた内層用回路板の表面に樹脂層を設けるようにした
ので、内層回路間に樹脂層が充填されて内層用回路板の
表面を平滑面にすることができるものであり、内層用回
路板に金属箔を積層するにあたって、内層回路による内
層用回路の表面の凹凸が金属箔の表面に現れることがな
く、金属箔を表面平滑に積層することができるものであ
る。また、樹脂層の表面を粗面に形成したので、樹脂層
の表面と樹脂含浸基材の含浸樹脂やボンディング樹脂と
の間の密着性を粗面によって高めることができるもので
あり、多層プリント配線板の層間密着性を高く得ること
ができるものである。しかも、樹脂層は内層回路の表面
からの厚みが1〜40ミクロンになるように設けたの
で、内層回路板に波打ち状の変形が発生するようなおそ
れなく、内層用回路板の表面を平滑化する効果を十分に
得ることができるものである。
【0027】また、内層用回路板の表面に樹脂層を設け
ると共に粗化面を表面に設けた離型シートをその粗化面
側で樹脂層に重ね、次に樹脂層を半硬化乃至硬化させた
後に樹脂層から離型シートを離型することによって樹脂
層の表面に粗面を転写形成するようにしたので、内層用
回路板に設けた樹脂層の流れや垂れを防ぐための離型シ
ートを利用して樹脂層に粗面を形成することができ、粗
面の形成のための特別な工数が不要になるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の概略図である。
【図2】同上の一部を示すものであり、(a),(b)
はそれぞれ拡大した断面図である。
【図3】同上により製造した多層プリント配線板の拡大
した断面図である。
【図4】本発明の他の実施例の概略図である。
【図5】同上により製造した多層プリント配線板の拡大
した断面図である。
【符号の説明】
1 内層回路 2 内層用回路板 3 樹脂層 4 樹脂含浸基材 5 金属箔 6 離型シート 7 ボンディング樹脂
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05K 3/46 B32B 15/08 105

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内層回路が設けられた内層用回路板の表
    面に内層回路の表面からの厚みが1〜40ミクロンの
    脂層を設けると共に樹脂層の表面を粗面に形成し、この
    内層用回路板を供給しつつ内層用回路板の表面に長尺の
    樹脂含浸基材を連続して送りながら重ねると共に、さら
    にこの樹脂含浸基材の表面に長尺の金属箔を連続して送
    りながら重ね、これらを連続して送りつつ樹脂含浸基材
    中の含浸樹脂を硬化させることによって内層用回路板に
    金属箔を積層することを特徴とする多層プリント配線板
    の製造方法。
  2. 【請求項2】 内層回路が設けられた内層用回路板の表
    面に内層回路の表面からの厚みが1〜40ミクロンの
    脂層を設けると共に樹脂層の表面を粗面に形成し、この
    内層用回路板を供給しつつ内層用回路板の表面に長尺の
    金属箔を連続して送りながらボンディング樹脂を介して
    重ね、これらを連続して送りつつボンディング樹脂を硬
    化させることによって内層用回路板に金属箔を積層する
    ことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
  3. 【請求項3】 内層用回路板の表面に樹脂層を設けると
    共に粗化面を表面に設けた離型シートをその粗化面側で
    樹脂層に重ね、次に樹脂層を半硬化乃至硬化させた後に
    樹脂層から離型シートを離型することによって樹脂層の
    表面に粗面を転写形成することを特徴とする請求項1又
    は2に記載の多層プリント配線板の製造方法。
  4. 【請求項4】 内層用回路板の表面に樹脂層を設け、樹
    脂層を半硬化乃至硬化させた後に樹脂層の表面を粗面化
    処理することを特徴とする請求項1又は2に記載の多層
    プリント配線板の製造方法。
  5. 【請求項5】 コロナ放電処理、レーザー照射処理、サ
    ンディング処理のいずれかの方法で粗面化処理すること
    を特徴とする請求項4に記載の多層プリント配線板の製
    造方法。
  6. 【請求項6】 内層用回路板として長尺のものを用い、
    内層用回路板を連続して送るようにしたことを特徴とす
    る請求項1乃至5に記載の多層プリント配線板の製造方
    法。
  7. 【請求項7】 内層用回路板として短尺のものを用い、
    内層用回路板を一枚ずつ送るようにしたことを特徴とす
    る請求項1乃至5に記載の多層プリント配線板の製造方
    法。
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