JP2753114B2 - 半導体ペレットのダイボンディング方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置の製造における半導体ペレット
のダイボンディング方法に関するもので、特に１枚のウ
ェーハに多数（例えば数千個）の素子ペレットが配列さ
れている場合、マスクアライナの合わせマーク（アライ
メントマークと呼ぶこともある）等の素子未形成領域や
あらかじめ形状と位置とがわかっている不良ペレット集
団に、ピックアップ作業が直面した時、これらの領域を
飛び越して効率の良いペレットのピックアップ作業をす
る方法に係るものである。

（従来の技術） 半導体ペレットのダイボンディングに際しては、ダイ
ボンディング装置のXYステージ上に２次元に配列された
多数のペレットを載置し、この中から１個ずつ良品ペレ
ットを拾い上げて（ピックアップ）、多連のリードフレ
ームの個々のリードフレームの所定位置にマウント作業
を行なう。上記２次元に配列された多数のペレットは、
通常は、トランジスタやダイオードなどの素子を形成し
た後の１枚の半導体ウェーハを粘着シート上に貼り付け
た状態で多数のペレットに分割し、粘着シートを全体的
に引き伸ばし、各ペレット間に若干の隙間が生じるよう
に形成されたもので、上記ペレットの２次元配列にはか
なりの乱れが生じており、又２次元に配列された多数の
ペレットの中には、良品ペレットのほかに素子特性が不
合格のものや、分割時に破損などが生じたものなどの不
良ペレットがかなり存在している。従って、ペレットの
ピックアップに際しては、不良ペレットを含み且つ配列
の乱れた２次元配列の多数のペレットから効率的に良品
ペレットのみをピックアップすることが重要である。

他方、テレビやラジオのチューナ用として使用される
可変容量ダイオードのように、その電気的特性（容量対
電圧特性）が揃っていることが要求される場合がある。
一般にウェーハ上の配列位置が互いに近いペレット同士
は、その材料や形成工程がほぼ同一条件と考えられるの
で、電気的特性が極めて似たものとなる。従ってウェー
ハ上の多数のペレット群から電気的特性が似た良品ペレ
ットをピックアップする際、近接して配置されるペレッ
トから順序よくピックアップすることが重要となる。

このような事情に鑑み、本願発明者は、特開昭59-542
36号（第１の先願と略記する）により、２次元配列の多
数のペレットから効率的に良品ペレットのみをピックア
ップすることのできるペレット認識方法を提案した。

しかしこのペレット認識方法に基づくダイボンディン
グ方法は、次に述べるような問題点がある。すなわち、
この従来のダイボンディング方法では、ペレットのピッ
クアップ順序は、優先順位テーブルにより指定され、通
常は、ウェーハ上で互いに隣接する電気的特性の似たペ
レットが、リードフレーム上に一列に並ぶようにダイボ
ンディングされる。しかし優先順位テーブルの指定に従
って配列されるペレットが、連続して不良ペレットの場
合には、この不良ペレット群の前後でピックアップされ
た良品ペレットの電気的特性が大きく異なることがあ
る。このため、電気的特性がよく似た（ペア性のよい）
ペレットを順次ピックアップしてマウントし、連続的に
電気的特性の揃った半導体装置を得ることができなくな
る。

又この従来のダイボンディング方法は、ウェーハの周
辺部でピックアップ位置をＵターン状に切り換えるが、
このＵターン状の切り換えの前後でピックアップしたペ
レットの電気的特性が異なることがあって、やはり連続
的に電気的特性の揃った半導体装置を得ることができな
くなる。

このような問題点に鑑み、本願発明者は、さらに特願
昭63-328167号（第２の先願と略記する）により、不良
ペレットが数個連続して存在した場合やウェーハの周辺
部でピックアップ位置をＵターン状に切り換える場合に
おいても、連続的に電気的特性の揃った半導体装置を製
造できる半導体ペレットのダイボンディング方法を提案
した。このダイボンディング方法では、半導体ウェーハ
内で、電気的特性がよく似たペア性のよいペレットを、
順序よくピックアップするために、複数段のペレットを
ジグザグ状に順次ピックアップすると共に、連続的に配
列される不良ペレット数の最大個数を制限する飛び越し
許可ペレット数及びペレット選択の移動方向を指定する
データをあらかじめ設定しておき、このデータを参照し
ながらピックアップ作業を進めるようにした。又半導体
ウェーハの周辺部のペレットをピックアップする際、不
良ペレットが連続的に検出された場合には、一連のピッ
クアップの最後にピックアップされた良品ペレットのピ
ックアップ位置から最短距離の位置に残っている良品ペ
レットを検出し、このペレットから引き続きピックアッ
プするようにした。

これにより第１の先願の課題は、概ね解決されたが、
なお次のような課題がある。

ウェーハ上のアライメントマークは通常ウェーハ中央
部を使用しているため、その近傍には電気的特性の揃っ
た良品ペレットが集中している場合が多い。その場所に
アライメントマークを設けると、ペレットの大きさで表
わし、例えば可変容量ダイオードで15×15＝225個分の
素子未形成の不良ペレット集団が存在することになる。
第２の先願によるダイボンディング方法では、ピックア
ップ作業がこのような不良ペレット集団に当面すると別
の場所を例えばＵターンをしてピックアップを進めるた
め、良品ペレットの取り残しが生じ、収得率の低下をも
たらすという課題がある。第10図はこの状態を模式的に
示すものである。引き伸ばされた半導体ウェーハ３上
に、アライメントマーク2a及び2bが形成され、又例えば
数十個の不良ペレットの集団2cが存在している。この場
合、斜線を施した領域4a,4b及び4cは、ピックアップ作
業が行なわれず、良品ペレットが取り残される領域とな
る。第２の先願によるダイボンディング方法の第２の課
題は、ある不良数（例えば50個）のペレットを繰り返し
検索する場合、ダイボンディング作業が中断されること
があり、稼働率が低下する。又ウエーハ周辺では、ペレ
ット未形成領域へ処理を実行する場合があり、作業能率
が極端に低下する。

（発明が解決しようとする課題） 上記したように、ウェーハが分割されてなる２次元配
列のペレット群から、電気的特性の類似した良品ペレッ
トのみを順序よく連続的にピックアップすることは重要
であり、前述の第１及び第２の先願により提案した半導
体ペレットのダイボンディング方法により、この目的は
ほぼ達成された。しかしながら従来の技術では、例えば
マスクアライメントマークやウェーハの周縁のような素
子未形成領域や、不良ペレットの集団が存在する場合、
良品ペレットの取り残しを生じ、それにより収得率を下
げたり、ダイボンディング作業の中断などによる稼働率
の低下が起こるという問題がある。

本発明の目的は、前記半導体ペレットのダイボンディ
ング方法において、電気的特性の類似性をくずすことな
く、良品ペレットを順序よくピックアップすると共に、
特に不良ペレット集団（素子未形成の領域を含む）が存
在する場合における、ペレットの収得率及びダイボンデ
ィング作業能率の向上が得られる半導体ペレットのダイ
ボンディング方法を提供することである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段とその作用） 本発明は、素子形成後の１枚の半導体ウェーハが複数
個に分割されてなる２次元に配列されたペレット群の内
から電気的特性のよく似たペレットを順序よくピックア
ップしてリードフレームの所定位置にマウントする半導
体ペレットのダイボンディング方法において、 前記２次元配列のペレット群のうち同時に撮像される
複数ペレットの画像から、ペレットそれぞれの形状判別
による良否判別処理と位置検出処理とを行ない、ペレッ
トのピックアップ順序を指定している手順に従って良品
ペレットをピックアップする第１の工程と、前記ペレッ
トのピックアップ順序の指定手順に従って、前記同時に
撮像される撮像領域を間欠的に移動し、移動ごとに第１
工程を行ない、前記２次元配列のペレット群を走査する
第２の工程とを有し、第２工程中、前記同時撮像領域
が、あらかじめ形状と位置とがわかっている素子未形成
又は不良ペレット集団からなる走査不適領域に及ぶ場
合、前記走査不適領域を除外して走査することを特徴と
する半導体ペレットのダイボンディング方法である。な
お前記同時撮像領域の移動は、撮像領域を固定し、ペレ
ット群を移動しても、あるいはペレット群を固定し、撮
像領域を移動しても、いずれでも良い。

上記ダイボンディング方法は、２次元に配列されたペ
レット群の内から電気的特性のよく似たペレット、すな
わち互いに近傍に配置されている良品ペレットのみを順
序よくピックアップし、その順序をくずさないで、多連
のリードフレームにダイボンディングする方法である。

第１工程では、同時に撮像される複数ペレット（例え
ば３段×３列の９個）の画像から、それぞれのペレット
の良否判別処理と位置検出処理が行なわれ、少なくとも
１個の良品ペレットがピックアップされる。第２工程に
より、前記２次元配列のペレット群（１枚のウェーハに
形成される素子ペレット数と同じで、例えば数千個）の
うち、走査不適領域のペレットを除くすべてのペレット
に対し第１工程により処理が行なわれる。

ペレットのピックアップ順序を指定している手順は、
第１及び第２工程において、電気的特性のよく似たペレ
ットを検索する順序を指定するもので、例えば特願昭63
-328167号に開示されている左取り指定テーブルLT、右
取り指定テーブルRT、飛び越し数指定テーブルJTなどか
ら成るピックアップ優先順位テーブルを参照する手順及
び本発明の特徴である同時撮像領域が走査不適領域に及
ぶ場合、該領域を除外して走査する手順等を含むもので
ある。

本発明の半導体ペレットのダイボンディング方法にお
いては、上述の手段により、電気的特性の類似性をくず
すことなく、良品ペレットを順序よくピックアップする
と共に走査不適領域が存在する場合、良品ペレットの取
り残しや該領域に処理を実行する無駄がなくなる。

（実施例） 以下、図面を参照して、本発明方法の一実施例を説明
する。第１図は、半導体ペレットのダイボンディング装
置の構成の一例を示すものである。符号１はXYステー
ジ、２はこのXYステージ１上に載置されたペレット群で
ある。ペレット群２は、素子形成後の１枚の半導体ウェ
ーハを粘着シート上に貼り付けた状態で多数のペレット
に分割し、粘着シートを全体的に引き伸ばし、各ペレッ
ト間に若干の隙間が生じるように形成されたものであ
る。第４図は、その状態を模式的に示す平面図で、符号
３は前記引き伸ばされたウェーハ、3aはウェーハ用カセ
ットリング、符号Ｐは分割された素子形成後の個別ペレ
ット、Ｄは引き伸ばされたウェーハの径である。なおペ
レットＰのｘ方向の並びを段、ｙ方向の並びを列と呼
ぶ。

第１図において符号５は、ペレット群２の中から１個
ずつペレットをピックアップし、図示してないが多連の
リードフレームの個々のリードフレームの所定位置にマ
ウントするピックアップ・ダイボンディング機構であ
る。符号６は、工業用テレビジョンカメラで、ペレット
群２の内の複数ペレットを同時に撮像する。第５図は、
一例として、３段×３列の９個のペレットを同時に撮像
する場合の画像を示し、符号14は同時撮像領域を表わ
す。第１図の符号８は、カメラ６のアナログ画像信号を
デジタル量に変換するA/D変換器である。符号９は画像
処理装置で、電子計算機を主構成とし、後述の各種画像
処理機能を持つ。モータ駆動回路10は、XYステージ１の
Ｘ方向駆動用モータ11及びＹ方向駆動用モータ12を駆動
し、XYステージ１の位置合わせ等を実行する。ダイボン
ディング制御装置13は、主として画像処理装置９の出力
データを参照し、ピックアップダイボンディング機構５
の動作を制御する。

次に上記ダイボンディング装置を使用したダイボンデ
ィング方法を説明する。

まずペレット群２の内の良品ペレットP₁が、ピックア
ップ・ダイボンディング機構５の良品ペレットピックア
ップ位置（基準位置）に位置合わせされてから、該機構
５によりピックアップされて（第１工程）から、次にピ
ックアップされる良品ペレットP₂が、前記ピックアップ
位置に移動、位置合わせされる（第２工程の一部）まで
の動作の概要を説明する。

良品ペレットP₁を前記ピックアップ位置に移動する
と、同時撮像領域14が相対的に移動したことになる。同
時撮像領域14に新しく含まれたペレットに対し、本願発
明者の特開昭57-137978号に開示されている方法によ
り、形状判別処理を行なって、ペレットそれぞれの良否
判別を行なうと共に各ペレットの位置検出処理を行な
う。この結果、良品と判別されたペレットに対して、第
６図に示すペレット配列テーブルPATに、前記ペレット
ピックアップ位置の座標を基準（0,0）としたときの良
品ペレットの位置ずれ量を、該当する配列要素に格納す
る。又、第７図に示すペレット記憶テーブルPMT、Ｘテ
ーブル座標、及びＹテーブル座標の該当記憶場所に、良
品ペレットを表わすフラッグ“1"と、ピックアップ未済
を示すフラッグ“0"と、現在のXYステージの座標値を前
記位置ずれ量に加算した前記良品ペレットのX,Y座標値
とを、それぞれ格納する。この間にピックアップ位置に
ある良品ペレットP₁はピックアップ・ダイボンディング
機構５によりピックアップされる。

良品ペレットP₁の次にピックアップされるペレットの
検索はピックアップ優先順位テーブルを参照して行なわ
れる。第８図は、ピックアップ優先順位テーブルの一例
を示すもので、左取り指定テーブルLT、右取り指定テー
ブルRT、ポインタPT及び飛び越し数指定テーブルJTより
成る。テーブルLT,RTの配列要素に記入される矢線は、
次に検索されるペレットの位置を示す。テーブルJTの配
列要素に記載されている数字は、飛び越しペレット数を
示す。テーブルJTで指定された所までに良品ペレットが
無い場合には、連続不良数の限界値まで検索をすすめ
る。ペレットP₁をピックアップした後のペレット記憶テ
ーブルPMTの記憶データの一例を第９図に示す。ただし
同時撮像領域が第５図に示す３段×３列で、その中心ペ
レットの位置とペレットピックアップ位置とは一致し、
良品ペレットの検索は第８図に示すピックアップ優先順
位テーブルに従うものとする。配列要素に記入された数
字は第７図に示す内容を持つ。即ち“1,1"はピックアッ
プ済みの良品ペレット、“0,1"はピックアップ未済の良
品ペレット、“0,0"はピックアップ未済の不良ペレット
を表わす。第10図の斜線部分は良否判別処理及び位置検
出処理が未実施の領域を示す。第９図の配列要素内の矢
線は、参考のためテーブルRTの矢線を転記したもので、
PMTの記憶内容とは無関係である。同図は、ペレット検
索順序が、（ｎ＋０）段目から（ｎ＋４）段目までの５
段をジグザグ状に右取りであることを示し、ペレットP₁
の次にピックアップされるペレットP₂は、同列、直下段
のペレットであることを示している。次に第６図に示す
ペレット配列テーブルを参照し、ペレットP₂のペレット
ピックアップ位置（0,0）からのずれ量を読み、駆動回
路10を介して、Ｘ方向及びＹ方向の駆動用モータ11及び
12を駆動し、ペレットP₂をペレットピックアップ位置に
移動し、位置合わせする。このような動作を繰り返し、
ペレット群２のうち、走査不適領域を除く領域のペレッ
ト群を走査する。

この実施例では、同時撮像領域を固定して、ペレット
群２（即ちXYステージ）を間欠的に移動したが、同時撮
像領域を間欠的に移動しペレット群２を走査するとして
も、相対的な変位は同じで、同一動作と考えてよい。な
お前記の第１及び第２工程の詳細については、前記第１
及び第２先願に添付した明細書を参照されたい。

本発明の特徴は、同時撮像領域が、あらかじめ形状と
位置とがわかっている素子未形成又は不良ペレット集団
からなる走査不適領域に及ぶ場合、この走査不適領域を
除外して走査する手段を、従来のペレットピックアップ
順序の指定手順に付加したことである。

第２図に示すように、ウェーハ３には、マスクアライ
メントマーク2a及び2bが設けられるのが一般的であり、
ウェーハ処理工程を通過すると用済みとなる領域であ
る。この領域にピックアップ作業が当面すると、前述の
ように従来の方法では良品ペレットの取り残しによるペ
レット収得率の低下や、組み立て工程のダイボンディン
グでは作業能率の低下を招く。ペレットの電気的特性を
調査した結果、アライメントマーク2aの左側ａ点と右側
ｂ点との特性は大きく違わないことがわかった。アライ
メントマーク2bの左側ｃ点と右側ｄ点とについても同様
である。このためａ点までのペレットとｂ点からのペレ
ットを連続してダイボンディングしたいという要求があ
り、ピックアップ作業をａ点からｂ点へ、さらにｃ点か
らｄ点へ飛び越して進めることにより、作業の連続化が
はかられた。

第３図を参照して、上記アライメントマークの飛び越
し走査の一例を説明する。ピックアップ作業は、ｎ段取
り、ジグザグ状に左から右に進められているものとす
る。

手順（ａ）、まずダイボンディング作業前に、アライ
メントマーク2a及び2bの中心の位置と形状を、第１図に
示す画像処理装置９へ入力する。このため、XYステージ
の原点（0,0）と光学系の中心とが一致するようにして
おき、次にXYステージを移動させて被測定点（例えばア
ライメントマーク2aの中心C₁）を光学系の中心に合わせ
ると、XYステージの原点（0,0）を基準にした被測定点
の位置座標（x,y）をパルス数として画像処理装置へ入
力できる。即ちＸ及びＹ方向の駆動用モータ11及び12
に、それぞれ単位パルスの駆動信号を加えたとき、Ｘ方
向又はＹ方向のステージの移動量を距離の単位とする。
そして被測定点を光学系の中心に合わせるために駆動用
モータ11及び12に加えたパルス数を、被測定点の座標ｘ
及びｙとする。第３図に示すアライメントマーク2aの中
心C₁（Rx₁,Ry₁）、横幅Dx₁及び縦幅Dy₁は、上記方法に
より、アライメントマークの４つの頂点を順次光学系の
中心に合わせることにより直接又は計算により求めたも
のである。アライメントマーク2bの中心C₂（Rx₂,R
y₂）、横幅Dx₂及び縦幅Dy₂についても同様である。

手順（ｂ）、次にダイボンディング作業を開始するわ
けであるが、あらかじめ画像処理装置に設けられたペレ
ットのピックアップ順序の指定手順に、次の手順を付加
しておく。即ち画像処理装置は、同時撮像領域のXYステ
ージ上即ちペレット群上の現在位置（Cx,Cy）を常に認
識するようにしておく。この場合、同時撮像領域の位置
（Cx,Cy）は、例えば該領域が第５図に示す３段×３列
の場合には、中央ペレット、左上隅ペレット、右上隅ペ
レット等のいずれか特定ペレットの位置座標であらわ
す。同時撮像領域を移動するごとに、現在位置（Cx,C
y）が次の２式を満足するかどうかを調べる。

|Cx-Rx₁｜−Dx₁/2≦０ |Cy-Ry₁｜−Dy₁/2≦０ 同時撮像領域の現在位置が上式を満足した場合には、
同時撮像領域をDx₁量、ｘ方向に移動させる。結果的に
は、同時撮像領域は、ａ点からｂ点に飛び越し走査をす
ることになる。同様に|Cx-Rx₂｜−Dx₂/2≦0,|Cy-Ry₂｜
−Dy₂/2≦０の条件を満足する場合には、ｃ点からｄ点
に同時撮像領域は飛び越し走査する。

手順（ｃ）、次に第４図を参照して、ペレットピック
アップ作業がウェーハ外部に出ないようにする手順の一
例について説明する。引き伸ばされたウェーハの中心点
Ｑ（x₀,y₀）の位置座標x₀及びy₀は、点ＱがXYステージ
の原点（0,0）と一致しているときは０となるが、一般
にはオフセット量x₀,y₀を有する。このオフセット量
は、アライメントマーク2a及び2bの中心C₁（Rx₁,Ry₁）
及びC₂（Rx₂,Ry₂）の座標を画像処理装置に入力すると
次式によって求められる。

x₀＝（Rx₁＋Rx₂）/2,y₀＝（Rx₁＋Ry₂）/2、又引き伸
ばしたウェーハの径Ｄを画像処理装置に入力しておく。

手順（ｄ）、同時撮像領域を移動するごとに、同時撮
像領域の現在位置（Cx,Cy）が次式 を満足するかどうかを調べ、満足する領域（即ちウェ
ーハ外部）における良品ペレットの検索を禁止させ、一
連のピックアップの最後にピックアップされた良品ペレ
ットのピックアップ位置から最短距離の位置に残ってい
る良品ペレットを検出して、その位置に同時撮像領域を
移動する。

手順（ｅ）、次に第10図に示すような不良ペレット集
団2cに対してもあらかじめその形状と位置座標を測定し
て、上記と同様飛び越し走査を行なうことができる。こ
の場合、前述のアライメントマークの場合と同様に、作
業開始前に、XYステージを移動させ、XYステージの原点
（0,0）から移動点まで移動する間のパルス数を、画像
処理装置に入力し、不良ペレット集団2cの形状と位置座
標を求めることができる。

不良ペレット集団の形状は、通常、正方形、長方形、
円形等、又はこれらを複数個合成した形状に近似して、
その形状及び位置座標を指定することが望ましい。

なお上記飛び越し走査後においては、例えば第８図に
示すポインタPTの内容も飛び越しペレット個数分更新し
て、第６図及び第７図に示すペレット配列テーブルPAT
及びペレット記憶テーブルPMTと、ウェーハ上のペレッ
ト群との関係がずれないように注意する必要がある。

上記の手順（ａ）ないし（ｅ）は、ペレットのピック
アップ順序の指定手順に付加され、これにより同時撮像
領域が、アライメントマークやウェーハ外部のように、
素子が形成されていない領域又は不良ペレットの集団が
存在する領域等の走査不適領域に当面すると、該領域を
除外して走査することができるようになった。これによ
り第10図に示すような、アライメントマーク2a,2b及び
不良ペレット集団2cに同時撮像領域が当面すると、飛び
越し走査するので、良品ペレットの取り残しを生ずるこ
ともなく、又ウェーハ外部にピックアップ作業が及ぶの
を禁止することができる。

［発明の効果］ これまで述べたように、本発明は、２次元に配列され
たペレット群から、電気的特性の類似性をくずすことな
く、良品ペレットを順序よくピックアップすると共に、
特に不良ペレット集団（素子未形成のペレットを含む）
が存在する場合における、ペレットの収得率及びダイボ
ンディングの作業能率の向上が得られる半導体ペレット
のダイボンディング方法である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の半導体ペレットのダイボンディング方
法で使用される半導体ペレットのダイボンディング装置
の一例を示す構成説明図、第２図はウェーハ上のマスク
アライナー用アライメントマークの配置を示す平面図、
第３図はアライメントマーク飛び越し走査の説明図、第
４図は引き伸ばされたウェーハの径、オフセンター及び
ペレットの配列を説明する平面図、第５図は同時撮像領
域の画像の一例を示す図、第６図はペレット配列テーブ
ルを示す図、第７図はペレット記憶テーブル等を示す
図、第８図はペレットピックアップ優先順次テーブルを
示す図、第９図はペレット記憶テーブルの内容の一例を
示す図、第10図は従来技術の問題点を説明する図であ
る。 １……XYステージ、２……ペレット群、2a,2b,2c……走
査不適領域、３……引き伸ばされたウェーハ、５……ペ
レットピックアップ・ダイボンディング機構、６……工
業用テレビジョンカメラ、11,12……Ｘ方向及びＹ方向
駆動用モータ、14……同時撮像領域、PAT……ペレット
配列テーブル、PMT……ペレット記憶テーブル、LT,RT…
…左取り及び右取り指定テーブル、JT……飛び越し数指
定テーブル、PT……ポインタ、Ｐ……ペレット。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】素子形成後の１枚の半導体ウェーハが複数
   個に分割されてなる２次元に配列されたペレット群の内
   から電気的特性のよく似たペレットを順序よくピックア
   ップしてリードフレームの所定位置にマウントする半導
   体ペレットのダイボンディング方法において、 前記２次元配列のペレット群のうち同時に撮像される複
   数ペレットの画像から、ペレットそれぞれの形状判別に
   よる良否判別処理と位置検出処理とを行ない、ペレット
   のピックアップ順序を指定している手順に従って良品ペ
   レットをピックアップする第１の工程と、前記ペレット
   のピックアップ順序の指定手順に従って、前記同時に撮
   像される撮像領域を間欠的に移動し、移動ごとに第１工
   程を行ない、前記２次元配列のペレット群を走査する第
   ２の工程とを有し、第２工程中、前記同時撮像領域が、
   あらかじめ形状と位置とがわかっている素子未形成又は
   不良ペレット集団からなる走査不適領域に及ぶ場合、前
   記走査不適領域を除外して走査することを特徴とする半
   導体ペレットのダイボンディング方法。