JP2742329B2 - キャパシタンス湿度センサ - Google Patents

キャパシタンス湿度センサ

Info

Publication number
JP2742329B2
JP2742329B2 JP2513837A JP51383790A JP2742329B2 JP 2742329 B2 JP2742329 B2 JP 2742329B2 JP 2513837 A JP2513837 A JP 2513837A JP 51383790 A JP51383790 A JP 51383790A JP 2742329 B2 JP2742329 B2 JP 2742329B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polymer
conductive
film
conductive layer
humidity sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2513837A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05500568A (ja
Inventor
ソーマ，ポール・イー
コツラ，ジーニーン・オー
Original Assignee
ジヨンソン・サービス・カンパニー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ジヨンソン・サービス・カンパニー filed Critical ジヨンソン・サービス・カンパニー
Publication of JPH05500568A publication Critical patent/JPH05500568A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2742329B2 publication Critical patent/JP2742329B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/005—Electrodes
    • H01G4/008—Selection of materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/018—Dielectrics
    • H01G4/06—Solid dielectrics
    • H01G4/14—Organic dielectrics
    • H01G4/18—Organic dielectrics of synthetic material, e.g. derivatives of cellulose
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00—Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/43—Electric condenser making
    • Y10T29/435—Solid dielectric type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はキャパシタンス湿度センサ、特に１対の導体
の間に挿入された感湿誘電層を有する湿度センサに係
る。
発明の背景 ある種の既知の湿度センサは、湿度の関数として変化
する誘電定数を有するコンデンサを含む。このようなキ
ャパシタンス湿度センサは、ポリイミドのようなポリマ
ーから構成される誘電層と、多くの場合金から構成され
る薄い金属電極導電層とから形成されている。Chen名義
の1988年８月２日発行米国特許第4761710号、Abadie et
al.名義の1986年７月29日発行米国特許第4603372号、K
uisma et al.名義の1985年２月19日発行米国特許第4500
940号、Chambaz et al.名義の1984年３月20日発行米国
特許第4438480号、Heywang et al.名義の1981年12月８
日発行米国特許第4305112号、Nelson名義の1982年８月1
7日発行米国特許第4345310号、Mills名義の1982年７月
６日発行米国特許第4337658号、及びSuntola名義の1979
年８月21日発行米国特許第4164868号参照。このような
装置を良好に機能させようとする場合、少なくとも１個
の電極は透水性であり、電気抵抗が低く、腐食に対して
比較的不感受性でなければならない。超薄型金電極を使
用する場合、良好な導電率及び良好な透過性が得られ
る。しかしながら、このようなコンデンサは耐腐食性が
劣る。薄型金電極は、硫黄をベースとする汚染物質や水
泳用プールの周囲の空気中の塩素により迅速に破壊され
得る。
ポリイミドは誘電定数がその含水量に線形的に比例す
るので、このようなセンサに特に有用な誘電体である。
更に、ポリイミドは熱抵抗が優れているので、キャパシ
タンス湿度センサで有用である。しかしながら、金属と
プラスチックとの非類似性により、接着剤を使用せずに
ポリイミドと金属電極層との間の結合を得るのは困難で
ある。
ポリイミドのような樹脂中に分散した銀又はカーボン
ブラックのような導電性粒子を含む導電性組成物は一般
に知られている。例えば、Takenaka名義の1972年10月10
日発行米国特許第3697450号は抵抗フィルムを記載して
いる。他の既知の湿度センサは、ユリアホルムアルデヒ
ド樹脂と架橋結合したセルロースアセテートブチレート
のような架橋ポリマー樹脂材料の連続層を使用してい
る。このようなセンサの一例によると、炭素のような導
電性粒子を含む架橋セルロースアセテートブチレートコ
アが、炭素粒子を含まない１対の外側樹脂層の間にサン
ドイッチされている。Thoma名義の1969年７月29日発行
米国特許第3458845号参照。他の容量性湿度センサによ
ると、外側樹脂層は導電性粒子を含み、内側樹脂層は導
電性粒子を含まない。Thoma名義の1971年６月１日発行
米国特許第3582728号、同1974年４月９日発行米国特許
第3802268号、及びIEEE Transactions on Components,
Hybrids, and Manufacturing Technology, Vol.CHMT-2,
No.3,1979,pages 321-323参照。Baxter et al.名義の19
86年１月14日発行米国特許第4564882号は、誘電層がセ
ルロースアセテートブチレート又はポリイミドから形成
され得る湿度感知エレメントを記載している。
ポリパラバン酸は種々の用途で使用されている既知の
ポリマーである。これらのポリマーは一般に下式： として規定され、式中、Ｒは芳香族、脂肪族又は脂環式
であり得る有機部分である。Henderson et al.,“Poly
（parabanic）Acids-A New Family of Thermoplastics"
pp.660-674参照。ポリ（イミノイミダゾリジンジオ
ン）及び構造においてPBAに関連する他の複素環式ポリ
マーも知られており、フィルムを作成するために使用さ
れている。例えば、Patton名義の1970年12月15日発行米
国特許第3547897号、同1978年８月８日発行米国特許第4
105616号、Johnson et al.名義の1976年２月17日発行米
国特許第3939116号、及びPolymer Preprints,Vol.12,N
o.1,March 1971, pp.162-169参照。Hawkins名義の1982
年６月１日発行米国特許第4332976号は、同軸ケーブル
で使用されるPBAテープを記載している。
湿度センサで所定の型の層を形成するための方法とし
ては、スクリーン印刷が提案されている。Mills名義198
1年11月３日発行米国特許第4298855号は、このような方
法によりポリマーフィルムに分散された炭素粒子を含む
電気抵抗を形成する方法を記載している。Djorup名義の
1988年12月27日発行米国特許第4793182号は、抵抗性導
体がシルクスクリーン印刷により形成される恒温湿度計
を記載している。
本発明は上記既知のキャパシタンス湿度センサの種々
の欠点を解決し、多数の予想外の優れた特性を有する湿
度センサを提供するものである。
発明の要約 本発明のキャパシタンス湿度センサは、１対の導体に
接触する誘電コアを有する。本発明の好適実施態様によ
ると、１対の導電層がコアの両面に接着されている。誘
電コアは湿度と共に実質的に線形に変化する誘電定数
（誘電率）を有するプラスチック材料から作成され、導
電層は、導電性粒子を分散させたプラスチック材料から
作成される。このような導電層は従来技術で一般に使用
されている金属フィルムに比較して優れた性能及び耐腐
食性を提供する。
本発明の別の実施態様によると、湿度センサエレメン
トの製造方法は、実質的に非導電性のポリマーと、導電
性粒子と、キャリヤー液体とを含む液体組成物を誘電フ
ィルムの両面に塗布することからなる。このような方法
はフィルムの両面に直接スクリーン印刷することにより
簡便に実施される。
図面の簡単な説明 添付図面中、図１は本発明の湿度感知フィルムエレメ
ントの断面図であり、図２は本発明の湿度センサの平面
図であり、図３は本発明の湿度センサの相対湿度と静電
容量（ピコファラド）とをプロットしたグラフであり、
図４は４種類の異なる温度における本発明の湿度センサ
の相対湿度と静電容量（ピコファラド）とをプロットし
たグラフであり、図５は実施例５に後述するような腐食
条件下における本発明の湿度センサ及び比較センサの時
間と静電容量（ピコファラド）とをプロットしたグラフ
である。
発明の詳細 本発明は、薄い可撓性フィルム形状のキャパシタンス
湿度センサエレメントを提供する。第１図に示すよう
に、本発明の湿度センサエレメント10は誘電性フィルム
11と、その両面に１つずつ具備された一対の導電層12、
13とを含んでいる。このセンサエレメントは、層12、13
上の銀接触子14、16によって電流源に接続される。本発
明の特徴の１つとして、センサエレメント10には、フィ
ルム11及び層12、13を構成している特定プラスチックに
より、先行技術では達成できなかったやり方で有利な特
性が与えられる。
誘電性フィルム11は、相対湿度の関数として予想通り
に（好ましくは本質的に直線的に）変化する誘電率を有
する吸水性材料である。本発明の湿度センサの誘電層と
して有用な特定のポリマー類はいずれも複素環単位を含
む主鎖を有し、前記複素環単位の１つ以上の原子が窒素
であり、前記複素環単位の１つ以上の炭素原子がこれに
二重結合した酸素原子を有しており（即ちこの単位は１
つ以上のケト基を有する）、この複素環単位が複素環の
１つ以上の窒素原子を介してポリマー主鎖に結合してい
る。
フィルム11は、下記の一般式： −（Ａ−Ｂ）ｎ− で示されるプラスチックで形成するのが好ましい。
前記式中、Ａは−Ｎ−Ｃ＝Ｏ結合を少なくとも１つ有
する複素環単位を含む単位であり、Ｂは芳香族、脂環式
又は脂肪族の置換又は未置換炭化水素単位、例えば置換
又は未置換のアルキレン、アリーレン又はアラルキレン
基であり、ｎは約10より大きく、好ましくは約1000より
大きく、Ａ及びＢは両方とも実質的にヒドロキシル（−
OH）基を含まない。ｎの値、即ち当該ポリマーの分子量
は、鎖が可撓性フィルムの形成に十分な長さを有してい
る限り重要ではない。先行技術で使用されている酢酸酪
酸セルロース誘電層は、センサの長期劣化に関与し得る
−OH基を有する。そこで本発明では、ポリマー製誘電コ
アが本質的にヒドロキシル基を含まないようにする。
前記式のポリマーは特に誘電性フィルム材料として有
用である。なぜなら、この種のプラスチックのヒステリ
シス曲線は広範囲にわたる条件で実質的に直線状だから
である（第３図参照）。所与の湿度変化に応じて生じる
キャパシタンス（静電容量）の変化は−29〜52℃の温度
範囲では極めて一定しており、従ってこの湿度センサは
極限条件でも使用することができる。
単位Ａとしては、下記の式 で示されるフタルイミド又はイミダゾリジントリオン環
構造を１つ以上含むものが好ましい。この種の単位とし
ては例えば下記のものが挙げられる： 単位Ｂとしては、下記の式 −Ph−Ｘ−Ph− で示されるものが好ましい。前記式中、Phはフェニレン
基であり、Ｘは酸素原子又は低級アルキレン基、特に−
CH2−である。
誘電性フィルムとして有用な特定のポリマーには、ポ
リイミド、ポリ（アミド−イミド）、ポリ（パラバン
酸）、ポリ（イミノイミダゾリジンジオン）等がある。
特に好ましいのは、下記の特定の式： で示される単位からなるポリマーである。
導電層12、13はポリマーマトッリクス中に導電性粒子
を懸濁させたものからなる。導電層12、13には極めて多
様なポリマーを使用することができる。これらのポリマ
ーは透湿性即ち湿気を誘電層まで透過させる性質を有
し、誘電性フィルムにしっかり結合し、且つより大きい
強度及び耐久性を得るために架橋できるようなものでな
ければならない。そのために、好ましい実施態様では、
導電層のポリマー結合剤を誘電層に使用するポリマーと
同じものにする。このようにすれば、導電層と誘電層と
の間に最大の接着親和性（bonding affinity）が得られ
るからである。
ある種の架橋ポリマーも有用である。これらの架橋ポ
リマーは、グルコシド鎖を含む化合物、例えばセルロー
ス系材料と、グルコシドのヒドロキシル基に対して反応
できるモノマー又は部分ポリマーとの反応によって生成
し得る。グルコシド含有化合物は、エステル化する酸が
炭素原子を20個まで、好ましくは６個まで含むセルロー
ス又はセルロースエステルであり得る。特定具体例とし
ては、硝酸セルロース、トリ酢酸セルロース、酪酸セル
ロース、プロピオン酸セルロース、コハク酸セルロー
ス、フタル酸セルロース等が挙げられる。酢酸酪酸セル
ロース、酢酸プロピオン酸セルロースのような混合セル
ロースエステル、エステル化するアルコールが８個以下
の炭素原子を含むセルロースエーテル、例えばエチルセ
ルロース、メチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチ
ルセルロース及びヒドロキシブチルメチルセルロースも
使用できる。安定化用モノマー又は部分ポリマーは、ウ
レアホルムアルデヒド、フェノールホルムアルデヒド、
メラミン−ホルムアルデヒド、トリアジンホルムアルデ
ヒド、ヘキサメトキシメチルメラミン、グリオキサル、
２−ヒドロキシアジポアルデヒド等の形態を有し得る。
導電層と誘電性コアとを一体的に接着させるために、
層間に物理的及び／または化学的結合を存在させる必要
がある。このためには、導電層の高分子マトリックスと
して、酢酸酪酸セルロースポリマー及び尿素−ホルムア
ルデヒドまたはメラミン−ホルムアルデヒドで架橋した
酢酸酪酸セルロースポリマーが極めて有効であることが
判明した。これらのポリマーは、誘電層で使用される複
素環ポリマーと同程度の熱膨張率を有し、従って、使用
中の温度変化による層剥離に大して耐性であることが知
見された。
また、酢酸酪酸セルロースのごとき非架橋ポリマーを
ポリイミド誘電性コアに接着するためには、酢酸酪酸セ
ルロースを溶媒溶液としてコア層に塗布し、次いでポリ
イミドまたは別のコアプラスチック上で乾燥した酢酸酪
酸セルロースを約177℃以上の温度で数分間（例えば15
分間）加熱することによって酢酸酪酸セルロースとポリ
イミドコアとの間に強力な接着層を形成させ得ることも
判明した。
本発明で使用される導電性粒子は、層12、13を導電性
にする。誘電性フィルム11が概して、25℃、50％相対湿
度で約1013ohm-cm、好ましくは約1015ohm-cm以上の抵抗
率を有しているのに対して、層12、13の各々は、500,00
0ohm-cm以下、好ましくは125,000ohm-cm以下の抵抗率を
有していなければならない。好ましい導電性粒子は、任
意に酸化、脱酸素または黒鉛化されている炭素、特に長
鎖型炭素、タングステン、ジルコニウム、タンタル、ニ
オブ、チタンの炭化物、五価のニオブをドープしたRe
O3、TiO、NbO、MoO2、RuO2、SrVO3、LaNiO3、TiO2のよ
うな金属酸化物の粒子、及びそれらの組み合わせから成
る。導電性粒子の粒度は重要条件ではないが、平均粒度
（粒径）10μ以下、特に１μ以下の粒子が好ましい。導
電性粒子は概して約５〜50重量％の範囲の量で使用さ
れ、残分（50〜95重量％）は高分子マトリックスから成
る。
本発明で使用するために鎖形成炭素粒子が極めて好ま
しい。その理由は、これらの粒子が、高分子マトリック
ス中に導電性ブリッジを形成するからである。炭素粒子
の電気伝導度は、粒子を脱酸素すべく十分な温度まで粒
子を加熱することによって更に増強される。このため
に、例えば、粒子を減圧下に1093℃（2000°Ｆ）で１時
間加熱する。炭素の脱酸素は必須ではない。Cabot Corp
oration製のVulcan XC-72のような炭素ペレットが極め
て好ましい。
導電層12、13は高レベルの水透過性を与える分子構造
を有している。これにより、空気中の水分子は導電層を
経由して誘電層に速やかに移動する。この結果、湿度セ
ンサのレスポンス時間は短い。
層12、13の厚みも湿度変化に対するセンサのレスポン
ス時間に影響を与える。例えば15分以下の十分に速いレ
スポンス時間を得るためには、層12、13の厚みが0.01イ
ンチ以下、特に0.001インチ以下でなければならない。
所望のキャパシタンス及びフィルム強度に対して誘電性
フィルムをできるだけ薄くすることができ、多くの公知
センサと違ってフィルムの厚みを導電層の1/2よりも薄
くすることができる。フィルム11の厚みは、例えば0.00
5インチ以下、特に0.0005インチ以下である。
得られたエレメント10は極めて軽量薄型であり、剛性
基板を使用する多くの従来センサとは違っている。詳細
に後述する本発明の方法によれば、誘電層から成るフィ
ルムの形成を、一体的に接着される外側導電層の形成よ
りも前に行なう。誘電性コアを別のフィルムとして製造
するので、該フィルムの厚み、電気的特性及び組成を厳
密に制御し得る。
図２は、本発明の湿度センサ21を示す。センサ21は、
前記のごとき高分子材料から成る誘電性フィルム22と、
フィルム22の両面に形成された１対の導電層23、24と、
ホルダ26とを含む。外側導電層23、24がコンデンサプレ
ートを形成する。層23、24は、誘電性フィルム22の両面
の選択された領域を被覆する。導電層23、24の重畳した
領域は、キャパシタンス湿度センサの作用部を構成す
る。銀ペイントのような導電性材料のスポット27、28
が、導電層23、24の非重畳領域、例えばホルダ26内に延
びる細長いタブ部分31、32に設けられている。湿度セン
サの装着に使用されるホルダ26の部分を形成する１つ以
上の導電性金属プレート33によってスポット27、28に対
する電気接触が得られる。
湿度センサを形成するために湿度感知エレメント21を
従来の種々の回路部品と組み合わせて使用し得る。例え
ば、Thomaの米国特許第3,582,728号及び第3,802,268
号、並びにCarusilloの米国特許第4,558,274号及び第4,
661,768号に記載の回路を参照するとよい。これらの文
献の記載内容はすべて本明細書に含まれるものとする。
かかるシステムは概して、湿度感知エレメント21と、湿
度計のような湿度インジケータと、電源と、感知エレメ
ント、電源、インジケータを相互接続する回路部品とを
含む。インジケータは、誘電性フィルム内の誘電定数の
変化に応じて相対湿度の変化を視覚的に表示する。加湿
器、エアコンディショナー、または除湿器などの装置の
動作を制御するためにセンサを使用する場合には、イン
ジケータを制御素子に代えてもよい。
本発明の湿度センサエレメントは、誘電性フィルム片
に導電層を直接形成することによって製造できる。ま
ず、電気非伝導性ポリマー、導電性粒子及びポリマー用
溶媒のようなキャリヤー液体とを含む液体組成物を可撓
性の薄い誘電性フィルム片に塗布する。導電層が特定の
形状を有する必要があるときは、組成物をフィルムの片
面の所定領域に選択的に塗布する。次に、フィルムに一
体的に接着した水透過性導電層を形成するための有効な
条件下に組成物を乾燥する。導電層は、層を導電性にす
る電気伝導性粒子を内部に分散させた非導電性ポリマー
から製造される。
第１の液体組成物を乾燥させ、次いで必要な場合には
ポリマーを架橋させるべく硬化させた後で、電気非伝導
性ポリマーと電気伝導性粒子とキャリヤー液体とを含む
第２の液体組成物を前記フィルムの他方の面に塗布す
る。この第２組成物は通常は第１組成物と同じであり、
従って、得られる導電層をできるだけ均等にすることが
できる。第１導電層の反対側のフィルム面に一体的に接
着した水透過性の第２導電層を形成するための有効な条
件下に第２組成物を乾燥させる。
実施例１で後述するように、スクリーン印刷は、液体
組成物をフィルムに塗布するための特に有用な方法であ
る。フィルム下方に位置決めされた薄いスクリーンホル
ダ越しに吸引を作用させることによって、可撓性の極め
て薄い誘電性フィルムを所定位置に保持する。フィルム
の上方に適当なステンシルを配置し、次いで、従来の厚
膜スクリーンプリンタを用いてフィルムにスクリーン印
刷する。次いでプリンタからフィルムを取り外し、例え
ばオーブンにいれて乾燥して溶媒を除去し、架橋可能ポ
リマーを使用した場合にはポリマーを硬化させる。その
ために、少量の架橋用触媒と乾燥段階までポリマーの架
橋を阻止する触媒安定化剤とを導電性液体組成物に配合
してもよい。
スクリーンプリンタ上でフィルムを裏返し、第１層と
は反対のフィルムの他方の側面上に第２伝導層をプリン
トすることにより、上述の手順を繰り返すことができ
る。第２層は図２に示したように第１層と重なり合って
おり、この重なり合った領域がコンデンサーを形成す
る。次いで第１層と同じように、第２層を乾燥し、硬化
させる。このプロセスにより、通常の設備を使用して容
易に且つ安価に湿度センサエレメントが提供される。更
に上述のプロセスを使用し、図２に示した構造を有する
任意のタイプの薄形湿度センサエレメントを製造するこ
とができるが、それは、誘電体がポリイミド、ポリパラ
バン酸などであるエレメントに限定されない。
本発明の湿度感知エレメントは、従来の同等のエレメ
ントによっては得られない多数の長所をもたらす。誘電
層として酢酸酪酸セルロースを有し且つ導電層として炭
素充填酢酸酪酸セルロースを有する湿度感知エレメント
は、誘電性ポリマー中の−OH基の存在に起因して長期的
には劣化するという欠点を有する。また、金属導電層及
びポリイミドコアを使用する湿度感知エレメントは、腐
食性環境において金属層が腐食したり、また多くの場合
に、下層をなすプラスチックに対する金属の親和性が乏
しいことから導電層が分離するという欠点を有する。特
に、金属とプラスチックの膨張率の相違によって、ある
期間にわたって実質的な温度変化を受けた後には両層が
分離し得る。
本発明は、耐劣化性（deterioration-resistant）誘
電層を耐食性導電層と組合せることにより上記欠点を解
消する。後述の実施例が示すように、かかるエレメント
は、屋内水泳プールに一般に使用されるような塩素を含
む空気中であってさえも、正確に湿度を読取ることがで
きる。本発明の導電層は、特に架橋した場合には、多く
の形態の化学腐食に対して高い耐性を示し、従って（強
力消毒薬のような）化学物質が空気に浸透している病院
のような環境に適している。更に、本発明のエレメント
は薄い導電層を有する可撓性フィルムであるので、相対
湿度の変化に迅速に応答する。更に本発明のフィルムエ
レメントは、多くの通常のセンサエレメントと比較して
単純で、小さく、しかも安価である。
本発明の湿度感知エレメントの更に予想外の利点は、
90％以上の相対湿度において正確な湿度測定値を与え得
ることである。最も一般的な湿度センサは、このような
レベルにおいて正確ではなく、即ち、広範囲に変化し得
る“バナナ”状のヒステリシス曲線を与えるほどに劣化
し得る。
本発明の別の利点は、キャパシタンス湿度センサ内の
誘電体としてポリパラバン酸を使用することにある。ポ
リパラバン酸及びポリイミドはいずれも直線に近いヒス
テリシス曲線を与え、従って正確で再現可能な湿度測定
値をもたらす。
前記説明及び以下の実施例は本発明の好ましい形態の
ものであり、本発明は、示された特定の形態に制限され
ない。請求の範囲に記載したように、本発明の範囲から
逸脱することなく本発明の態様及び組成の変更を行ない
得る。本発明の幾つかの実施態様を以下の実施例におい
て説明する。
実施例１ 以下の手順を使用してフィルムタイプキャパシタンス
湿度センサを製造した。この実施例における誘電性ポリ
マーはKapton（登録商標）ポリイミドであり、伝導性湿
度伝達層は、酢酸酪酸セルロースエステル及び伝導性の
脱酸素した炭素からなっていた。
以下の手順を使用し、本発明に従うセンサの伝導層を
形成するのに使用する材料の液体調合物を調製した。調
合物は以下の化学組成（重量％）を有していた。
42.5％ メチルエチルケトン（溶剤） 37.2％ ブチロフェノン（溶剤） 1.6％ トリプロピルアミン（触媒安定剤） 9.3％ Beckamine 21-511（尿素−ホルムアルデヒド樹
脂,60％尿素−ホルムアルデヒド,40％ｎ−ブチルアルコ
ール） 5.2％ 酢酸酪酸セルロース（EAB-381-20） 2.3％ Deoxidized Vulcan XC-72炭素ペレット 上記組成物を合わせてボールミルにおいて７日間混合
した。このことで炭素ペレットはより小さな粒子とな
り、粒子は液体中に分散するようになって液体−固体懸
濁液を形成した。次いで混合物を、Brookfield Synchro
-lectric Viscometerで測定して粘度14,000〜18,000cps
となるまで真空蒸発した。1.6％のトリプロピルアミン
及び0.3％の50/50 p−トルエンスルホン酸/n−ブチルア
ルコールを含むよく混合した溶液を調製した。これらの
成分を真空蒸発した組成物に加え、得られた組成物をボ
ールミルにおいて約16時間以上混合した。これで、誘電
性フィルムに適用する伝導性組成物の準備が整った。
第１の伝導層を作製するために、0.5milの含像（imag
ed）写真乳剤付き325メッシュステンレススチールスク
リーンを厚膜スクリーンプリンタ（C.W.Price Model 80
10）上に置いた。多孔質ステンレススチール加工片ホル
ダをプリンタの真空押えプレート上に取り付けた。ホル
ダは、誘電性フィルムの真空押えを容易にするのに望ま
しい例えば325メッシュの微孔度を有する。２″×２″
の0.3mil Kapton（登録商標）ポリイミドフィルムは、
含像写真乳剤付きスクリーン下方のステンレススチール
メッシュホルダ上で中央合わせした。プリンタ上の光学
位置合わせ装置を使用してポリイミドフィルムを位置決
めした。スキージー圧力及びスクリーンスナップオフデ
ィスタンスのような印刷パラメータを調整し、伝導層用
調合物が正確に沈着するように設定した。流動性液体の
形態の少量の伝導用調合物を、含像ステンレススチール
スクリーンに手作業で塗布した。次いでプリンタを回転
させて、第１の伝導層のための形状をポリイミド誘電性
フィルムに自動プリントした。
高温硬化の間、フィルム表面を均一な水平位置に維持
するために、別の多孔質ステンレススチール真空押え具
を使用した。第１の伝導層がその上にプリントされてい
るポリイミドフィルムを乾燥し、真空押え具上に置き、
伝導性調合物が架橋され且つポリイミドフィルムに接着
されることが保証されるように177℃で15分間加熱し
た。第１の伝導層を製造するのに使用したスクリーンを
取り外し、別の0.5mil含像写真乳剤付き325メッシュス
テンレススチールスクリーンを厚膜スクリーンプリンタ
ー上に置いた。第１の伝導層を有するポリイミドフィル
ムを裏返し、ステンレススチールメッシュ真空押え具上
に置いた。ポリイミド誘電性フィルムの裏面上に、第１
の伝導層をプリントしたのと同じ方法で第２伝導層をプ
リントした。第２の伝導層を有するポリイミド層を真空
押え具上に置き、乾燥し、177℃で15分間加熱した。
伝導性銀インクを、ペン、ブラシまたはスクリーンプ
リンタによって、スクリーン印刷したフィルム上の電気
接点として作用する指示された領域に適用した。２″×
２″のポリイミドフィルムを個々のセンサエレメントに
切断し、仕上がったフィルムタイプのキャパシタンス湿
度センサを、電気コネクタを有する保護ホルダ内に挿入
した。
この実施例においては、本発明に従うセンサを製造す
る上でその精度が有用であるので、自動厚膜スクリーン
印刷を使用した。許容しうる結果をもたらす他の技術を
使用することもでき、例えばグラフィックアート用絵筆
を使用して伝導性湿度伝達調合物を湿度感知誘電性フィ
ルムの表面に塗布した。伝導層を誘電性フィルムの表面
に沈着するのにエアブラシも適している。
実施例２ 以下の組成物を実施例１と同一方法にて製造し、導電
性の電極配合物を形成した。
79.7％ ジアセトンアルコール（溶媒） 1.6％ トリプロピルアミン（触媒安定剤） 9.3％ Beckamine 21-511 5.2％ 酢酸酪酸セルロース（EAB-381-20） 2.3％ Vulcan XC-72カーボンペレット（黒鉛化） 得られた配合物を使用して、実施例１の記載と同一方
法で湿度センサーエレメントの導電層を作成した。
実施例３ 以下の方法を使用して、本発明のキャパシタンス湿度
センサーの湿度感知特性を測定した。実施例１で製造し
たセンサーエレメントを、Shinyei Humidity Cabinet内
の試験治具に設置した。キャビネット内の温度を25℃に
一定保持し、湿度を５％RHに設定した。相対湿度は、キ
ャビネット内の空気温度と露点をGeneral Eastern Dew
Point Hygrometerを使用して測定し、次いでパーセント
RHを計算して決定した。
湿度センサーを、選択した％RHで１時間安定させ、次
いでキャパシタンスを読み取った。キャビネット内の湿
度を、最大湿度95％RHに達するまで10％RHずつ段階的に
増加させた。キャパシタンスを各段階で読み取った。次
いで、湿度を10％RHずつ下げて５％RHに達するまでキャ
パシタンスを読み取った。各段階で湿度センサーを１時
間安定させてから、キャパシタンスを読み取った。温度
は、ずっと一定保持した。
得られたデータを使用して、キャパシタンス対パーセ
ント相対湿度のヒステリシス曲線をプロットした。図３
で説明したように、得られた狭い線状のヒステリシス曲
線は、本発明のセンサーが正しく機能するキャパシタン
ス型湿度センサーであることを示している。
実施例４ 以下の方法を使用して、実施例１の本発明の湿度セン
サーの温度感知能を試験した。湿度センサーの温度感知
特性を測定するために使用した方法は、実施例３で湿度
感知能を試験するために使用した方法と同一であった。
しかしながら、４つの異なる温度:15℃、25℃、35℃及
び50℃でこの方法を繰り返した。曲線を、各々４つの温
度でのデータからプロットした。図４に見られるよう
に、互いに酷似した４つの曲線は、本発明のポリマーキ
ャパシタンス湿度センサーが、温度変化に特に鋭敏でな
く、非常に有益な特性であることを示している。
実施例５ 以下の方法を使用して、市販の湿度センサー（ポリマ
ーフィルム上に金を付着させたもの）と比較して実施例
１の湿度センサーに対する塩素の影響を試験した。室内
水泳プールの回りの空気は塩素を含んでいるので、この
種の空気内で使用する湿度センサーは総て塩素の腐食作
用に対し耐性であることが重要である。
塩素５％を含む次亜塩素酸ナトリウム漂白液をガラス
容器の底に置き、湿度センサーを漂白液の上に吊した。
系を閉じるためにガラス容器上にガラスの蓋を置いた。
周囲の部屋の空気の相対湿度を、General Eastern Dew
Point Hygrometerを使用して測定した。定期的に湿度セ
ンサーを容器から取り出し、周囲条件で約30分間安定さ
せた。その都度湿度センサーのキャパシタンスを測定
し、次いでセンサーを閉鎖ガラス容器内に戻した。これ
らのステップを、約700時間にわたって定期的に繰り返
した。
図５では、本発明のセンサー及び比較の湿度センサー
のキャパシタンスを、時間（時）に対してプロットし
た。四角及び十字（上の２つのグラフ）は本発明を示し
ている。三角は、比較センサーの（読み取られるべき）
所定出力（statedoutput）を表している。菱形（底のプ
ロット）は、比較用センサーによって実際に測定された
％相対湿度を示している。図５が示すように、本発明の
センサーは、塩素の腐食作用に対し非常に感受性が低い
ことを表している。本発明のセンサーからのデータを用
いるプロットの形は、予測結果を用いるプロットの形を
大体反映している。対照的に、比較の湿度センサーから
読み取った値を用いたプロットは、予測データのプロッ
トとはかなり異なっている。これは、比較の湿度センサ
ーが塩素の腐食作用に対し非常に弱いという証拠であっ
た。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−12048（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−29459（ＪＰ，Ａ) 実開 昭47−36085（ＪＰ，Ｕ)

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】相対湿度の関数として変化する誘電率を有
    する誘電性吸水性の第１のポリマーからなる薄い可撓性
    フィルム（11）と、このフィルムの両面にそれぞれ１つ
    ずつ密着している２つの透水性導電層（12、13）とを含
    む湿度センサエレメント（10）であって、前記第１のポ
    リマーが複素環単位を含む主鎖を有しており、前記複素
    環単位の１つ以上の原子が窒素であり、前記複素環単位
    の１つ以上の炭素原子がこれに二重結合した酸素を有し
    ており、このポリマーは実質的にヒドロキシル基を含ん
    でおらず、下記の一般式 −(A-B)n− ［式中、Ａは−Ｎ−Ｃ＝Ｏ結合を少なくとも１つ有する
    複素環単位を含む単位であり、Ｂは芳香族、脂環式又は
    脂肪族の置換又は未置換炭化水素単位であり、ｎは少な
    くとも約10である］ で示されるポリマーであり、前記導電層の各々が、これ
    らの層を導電性にする効果を有する導電性粒子を分布さ
    せた第２のポリマーを主成分としている湿度センサエレ
    メント。
  2. 【請求項２】単位Ａが少なくとも１つのフタルイミド環
    を含み、単位ABが下記の式 −Ph−Ｘ−Ph− ［式中、Phはフェニレン基であり、Ｘは酸素原子又は低
    級アルキレン基である］で示される請求項１に記載のエ
    レメント（10）。
  3. 【請求項３】第１のポリマーがポリイミド、ポリアミド
    −イミド又はポリイミノイミダゾリジンジオンである請
    求項１に記載のエレメント（10）。
  4. 【請求項４】第２のポリマーが第１のポリマーと同じも
    のである請求項１から３のいずれか一項に記載のエレメ
    ント（10）。
  5. 【請求項５】第２のポリマーが、ウレア−ホルムアルデ
    ヒド又はメラミン−ホルムアルデヒドで架橋した酢酸酪
    酸セルロースである請求項１から３のいずれか一項に記
    載のエレメント（10）。
  6. 【請求項６】導電性粒子が本質的に炭素粒子からなる請
    求項１から５のいずれか一項に記載のエレメント（1
    0）。
  7. 【請求項７】導電層が本質的に、20〜90重量％の第２の
    ポリマーと、このポリマー中に実質的に均等に分配され
    た10〜80重量％の炭素粒子とで構成されている請求項６
    に記載のエレメント（10）。
  8. 【請求項８】相対湿度の関数として実質的に直線的に変
    化する誘電率を有するポリパラバン酸からなる誘電性吸
    水性の第１のポリマーからなる薄い可撓性フィルム（1
    1）と、このフィルムの両面にそれぞれ１つずつ密着し
    ている２つの透水性導電層（12、13）とを含んでおり、
    前記導電層の各々が、これらの層を導電性にする効果を
    有する導電性粒子を分布させた第２のポリマーを主成分
    としている湿度センサエレメント（10）。
  9. 【請求項９】第２のポリマーがウレア−ホルムアルデヒ
    ド又はメラミン−ホルムアルデヒドで架橋した酢酸酪酸
    セルロースであり、導電性粒子が本質的に炭素からな
    り、導電層が本質的に、20〜90重量％の第２のポリマー
    と、このポリマー中に実質的に均等に分配された10〜80
    重量％の炭素粒子とで構成されている請求項８に記載の
    エレメント（10）。
  10. 【請求項１０】湿度センサエレメント（10）の製造方法
    であって、 （Ａ）相対湿度の関数として変化する誘電率を有する誘
    電性吸水性の第１のポリマーからなる一片の薄い可撓性
    フィルム（11）をスクリーン印刷装置のホルダ上に配置
    し、 （Ｂ）前記フィルムを前記ホルダ上に一時的に固定する
    ために前記ホルダを通して吸引力を加え、 （Ｃ）前記フィルム（11）上にステンシルを配置し、 （Ｄ）非導電性の第２のポリマーと導電性粒子とキャリ
    ヤー液とを含む液体組成物で前記ステンシルを通してフ
    ィルム（11）にスクリーン印刷し、 （Ｅ）前記ステンシルに対応する形状を有する透水性の
    第１の導電層（12）を前記フィルムの片面に密着させて
    形成するのに有効な条件で前記液体組成物を乾燥し、 （Ｆ）ステップ（Ａ）〜（Ｅ）を繰り返して、前記第１
    の導電層（12）と反対側の面で前記フィルム上に第２の
    導電層（13）を形成する 操作ステップを含む方法。
JP2513837A 1989-09-27 1990-09-27 キャパシタンス湿度センサ Expired - Fee Related JP2742329B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/414,129 US4965698A (en) 1989-09-27 1989-09-27 Capacitance humidity sensor
US414,129 1989-09-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05500568A JPH05500568A (ja) 1993-02-04
JP2742329B2 true JP2742329B2 (ja) 1998-04-22

Family

ID=23640075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2513837A Expired - Fee Related JP2742329B2 (ja) 1989-09-27 1990-09-27 キャパシタンス湿度センサ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4965698A (ja)
EP (1) EP0493502A1 (ja)
JP (1) JP2742329B2 (ja)
KR (1) KR0157605B1 (ja)
CA (1) CA2066762C (ja)
WO (1) WO1991005246A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014167785A1 (ja) * 2013-04-10 2014-10-16 株式会社デンソー 湿度センサ用の感湿膜及びその製造方法

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69021925T3 (de) * 1989-04-26 2000-01-20 Yamatake Corp., Tokio/Tokyo Feuchtigkeitsempfindliches Element.
DE3919864A1 (de) * 1989-06-19 1990-12-20 Testoterm Mestechnik Gmbh & Co Kapazitiver feuchtesensor
EP0489826B1 (de) * 1989-08-29 1996-01-17 E + E Elektronik Gesellschaft M.B.H. Verwendung eines quellfähigen kunststoffes, sowie verfahren zur herstellung eines resistiven feuchtigkeitssensors
CH680823A5 (ja) * 1990-08-17 1992-11-13 Kobe Properties Ltd
US5177662A (en) * 1992-02-05 1993-01-05 Johnson Service Company Capacitance humidity sensor
US5373738A (en) * 1993-02-01 1994-12-20 Xerox Corporation Humidity detector
WO1994028372A1 (en) * 1993-05-25 1994-12-08 Rosemount Inc. Organic chemical sensor
JPH07211132A (ja) * 1994-01-10 1995-08-11 Murata Mfg Co Ltd 導電性ペーストおよびこれを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法
US5408381A (en) * 1994-04-28 1995-04-18 Johnson Service Company Capacitance humidity sensor
WO1998041822A1 (en) * 1997-03-20 1998-09-24 Crotzer David R Dust sensor apparatus
US6210368B1 (en) * 1998-04-30 2001-04-03 Medtronic, Inc. Reservoir volume sensors
EP1369230A1 (en) * 2002-06-05 2003-12-10 Kba-Giori S.A. Method of manufacturing an engraved plate
US6724612B2 (en) 2002-07-09 2004-04-20 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor with integrated signal conditioning
WO2006040781A2 (en) * 2004-10-14 2006-04-20 Neopress S.R.L. Sensor for measuring phisical quantities based on the detection of the variation of an electrical parameter, and method for its fabrication
KR100780825B1 (ko) * 2005-05-07 2007-11-29 이진민 용량형 습도센서 및 그 제조방법
US20070142525A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Rogado Nyrissa S Low TCR polymeric resistors based on reduced metal oxide conductive phase systems
US20080173089A1 (en) * 2007-01-19 2008-07-24 Seagate Technology Llc Transducing system with integrated environmental sensors
EP2176639A2 (en) * 2007-08-02 2010-04-21 Nxp B.V. Humidity sensor based on progressive corrosion of exposed material
DE102009004393A1 (de) * 2009-01-08 2010-11-11 Eads Deutschland Gmbh Akkumulierender Feuchtesensor
US20110005313A1 (en) * 2009-05-12 2011-01-13 Matthew Vernon Humidity sensor
FR2954083B1 (fr) * 2009-12-21 2012-12-07 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procede d'evaluation de la perte hydrique d'un individu ou d'un animal par sudation.
CN102639993B (zh) * 2009-12-22 2015-03-25 纳米及先进材料研发院有限公司 应用阳极氧化铝膜的快速响应的相对湿度传感器
US8303897B2 (en) 2011-02-28 2012-11-06 Colla Jeannine O Capacitive sensor for organic chemicals comprising an elastomer and high dielectric materials with titanate
US8739623B2 (en) * 2012-03-09 2014-06-03 The University Of Kentucky Research Foundation Moisture sensors on conductive substrates
CN103969294B (zh) * 2013-01-25 2016-06-01 泰科电子(上海)有限公司 硅油检测器、电力终端组件和硅油检测器的使用方法
EP3078964B1 (en) * 2015-04-09 2017-05-24 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor and method
US9658179B2 (en) 2015-06-24 2017-05-23 Infineon Technologies Ag System and method for a MEMS transducer
PL3162952T3 (pl) 2015-10-26 2019-09-30 Electrolux Appliances Aktiebolag Urządzenie do materiałów pranych z funkcją wykrywania pojemnościowego stopnia suszenia materiałów pranych
EP3211408B1 (en) 2016-02-29 2019-04-10 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor and method
US10172392B2 (en) * 2016-11-18 2019-01-08 Rai Strategic Holdings, Inc. Humidity sensing for an aerosol delivery device
EP3562990A1 (en) 2016-12-28 2019-11-06 Electrolux Appliances Aktiebolag Appliance with reliable information of a drying cycle
US11193228B2 (en) 2016-12-28 2021-12-07 Electrolux Appliances Aktiebolag Laundry appliance comprising a humidity sensor
EP3762533B1 (en) * 2018-03-07 2023-05-10 Electrolux Appliances Aktiebolag Appliance with capacitive humidity sensor
US11674920B2 (en) * 2018-03-29 2023-06-13 Sumitomo Chemical Company, Limited Moisture-sensitive film and sensor using same
KR102576248B1 (ko) * 2020-08-18 2023-09-11 울산과학기술원 셸락 유래 탄소-함유 맞물림 전극 및 이를 포함하는 장치
KR102712674B1 (ko) 2022-10-07 2024-10-07 한국철도기술연구원 급속시공이 가능한 경량 교량받침 급속시공 방법

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3458845A (en) * 1967-11-08 1969-07-29 Johnson Service Co Crosslinked electrical resistance humidity sensing element
DE1764549B2 (de) * 1968-06-25 1972-04-06 Siemens AG, 1000 Berlin u 8000 München Verfahren zur herstellung eines elektrischen schichtkondensators
US3547897A (en) * 1969-02-03 1970-12-15 Exxon Research Engineering Co Soluble poly(iminoimidazolidinediones)
US3582728A (en) * 1969-03-06 1971-06-01 Johnson Service Co Capacitance humidity sensing element
US3802268A (en) * 1971-05-06 1974-04-09 Johnson Service Co Capacitance humidity sensing element
US4164868A (en) * 1972-10-12 1979-08-21 Vaisala Oy Capacitive humidity transducer
US3939116A (en) * 1973-05-14 1976-02-17 Exxon Research And Engineering Company Self-supported, oriented high-performance films having minimal thermal distortion properties
US4105616A (en) * 1977-10-26 1978-08-08 Exxon Research & Engineering Co. Heterocyclic polymer solutions and products therefrom
DE2848034A1 (de) * 1978-11-06 1980-05-14 Siemens Ag Kapazitiver feuchtefuehler
US4332976A (en) * 1980-06-05 1982-06-01 Champiain Cable Corporation Coaxial cables
FR2486656A1 (fr) * 1980-07-09 1982-01-15 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif
US4298855A (en) * 1980-08-26 1981-11-03 Honeywell Inc. Conductive polymer film humidity sensor
US4337658A (en) * 1980-10-14 1982-07-06 Honeywell Inc. Humidity sensor
US4345301A (en) * 1981-02-23 1982-08-17 Honeywell Inc. Capacitive humidity transducer
FI65674C (fi) * 1982-12-21 1984-06-11 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
JPS59200951A (ja) * 1983-04-28 1984-11-14 Sharp Corp 感湿素子
DE3339276A1 (de) * 1983-10-28 1985-05-09 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellung
US4564882A (en) * 1984-08-16 1986-01-14 General Signal Corporation Humidity sensing element
US4603372A (en) * 1984-11-05 1986-07-29 Direction De La Meteorologie Du Ministere Des Transports Method of fabricating a temperature or humidity sensor of the thin film type, and sensors obtained thereby
US4793182A (en) * 1987-06-02 1988-12-27 Djorup Robert Sonny Constant temperature hygrometer
US4761710A (en) * 1987-06-23 1988-08-02 Industrial Technology Research Institute Polyimide capacitive humidity sensing element
JPH0786492B2 (ja) * 1987-12-15 1995-09-20 三菱化学株式会社 湿度センサ
FR2628840B1 (fr) * 1988-03-18 1995-01-27 Renault Dispositif electronique de detection de pluie
JPH0212048A (ja) * 1988-06-30 1990-01-17 Toshiba Corp 容量変化型感湿素子の製造方法
JPH0229459A (ja) * 1988-07-20 1990-01-31 Ryuichi Yamamoto 金属硫化物を含有する導電性物質

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014167785A1 (ja) * 2013-04-10 2014-10-16 株式会社デンソー 湿度センサ用の感湿膜及びその製造方法
JP2014202726A (ja) * 2013-04-10 2014-10-27 株式会社デンソー 湿度センサ用の感湿膜及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05500568A (ja) 1993-02-04
KR920704130A (ko) 1992-12-19
CA2066762C (en) 1999-05-11
EP0493502A1 (en) 1992-07-08
KR0157605B1 (ko) 1999-03-30
WO1991005246A1 (en) 1991-04-18
US4965698A (en) 1990-10-23
CA2066762A1 (en) 1991-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2742329B2 (ja) キャパシタンス湿度センサ
US5177662A (en) Capacitance humidity sensor
US5408381A (en) Capacitance humidity sensor
DE1573217A1 (de) Feuchtigkeitsfuehlelement
US5001453A (en) Humidity sensor
GB2025068A (en) Humidity sensitive device
US4760368A (en) Moisture sensor
JPH10170466A (ja) 感湿素子
JPS6263852A (ja) 温度補償の容量型湿度センサ
US4773935A (en) Moisture sensor containing cellulose acetate butyrate
JPH051903B2 (ja)
JPH06148122A (ja) 湿度検知素子
JP2993585B2 (ja) 結露センサおよび結露センサ装置
JPH0242428B2 (ja)
US4889561A (en) Moisture sensitive material
JP2904949B2 (ja) 結露センサー
JPS6047949A (ja) 感湿抵抗体
Leppävuori New thick film sensors
JPS59170755A (ja) 湿度検知センサ素子
JPS6133374B2 (ja)
JPS5947702A (ja) 感湿素子の製造方法
JPS595619A (ja) 湿度検知素子
JPH04315040A (ja) 結露検知素子
JPH03201408A (ja) 抵抗変化型感湿素子
JPS6347321B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees