JP2704343B2

JP2704343B2 - キュア装置

Info

Publication number: JP2704343B2
Application number: JP8828192A
Authority: JP
Inventors: 秀明三好
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1992-03-13
Filing date: 1992-03-13
Publication date: 1998-01-26
Anticipated expiration: 2013-01-26
Also published as: JPH05259205A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、夫々ＩＣチップすなわ
ち半導体部品が装着された多数のリードフレームを自動
的に順次加熱し、該ＩＣチップ及びリードフレームを互
いに固着せしめるキュア装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかるキュア装置の従来例を図１４及び
図１５に示す。図において、ダイボンダー装置Ａ₂ は、
ウェハー（図示せず）をカッティングすることにより得
られた多数のＩＣチップ（図示せず）を、例えば熱硬化
型の接着剤等を用いてリードフレーム（後述）上の所定
位置に順次装着し、当該キュア装置Ｂ₂ に向けて送り出
すものである。キュア装置Ｂ₂ は、このダイボンダー装
置Ａ₂ より送り出されたリードフレームを受け入れて、
該接着剤等を固化せしめるべく加熱した後、後段のボン
ダー（ワイヤボンダー若しくはテープボンダー：図示せ
ず）に向けて送り出す。

【０００３】図１４に示すように、当該キュア装置Ｂ₂
は、加熱手段としての炉３４０を有している。この炉３
４０内には、ノズル３４１を通じて高温の窒素ガスが供
給される。また、該窒素ガスを排出するための排出パイ
プ３４２が炉３４０の底部に接続されている。

【０００４】そして、図１５から明らかなように炉３４
０の内部には多数のヒートブロック３４３が一列に並べ
て設けられている。リードフレーム（Ｌ＼Ｆ）は、この
各ヒートブロック３４３の上面に載置されながら所定の
ピッチずつ搬送されつつ加熱され、その後、後段のボン
ダー（図示せず）に向けて送り出される。

【０００５】上述したように、従来のキュア装置Ｂ₂ に
おいては、ダイボンダー装置Ａ₂ より１枚ずつ供給され
るリードフレームＬ＼Ｆを順次受け入れて、これを加熱
した後、後段へ向けて搬出する構成である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のキュア装置においては、加熱処理を施すべきリー
ドフレームの種類が変更されることを考えた場合、各ヒ
ートブロック３４３の近傍及びその前後の各フレーム搬
送経路に沿ってリードフレームを搬送するための各種搬
送機構について、この新たに取り扱うべきリードフレー
ムに対応するようにその取り替え、若しくは調整のため
の作業を行う必要があり、多大な労力及び時間を費やさ
ねばならないという欠点がある。

【０００７】そこで、例えばある加工ラインにおいて複
数台のダイボンダー装置が設置され、該各ダイボンダー
装置が互いに異なる種類のリードフレームについてＩＣ
チップを装着して供給するものである場合には、その各
々のダイボンダー装置に対して専用のキュア装置を個々
に設置することが考えられる。ところが、このように多
くのキュア装置を用意することは、コストの増大と共に
ライン全体としての占有スペースの拡大を招来し、しか
も、整備も困難であることから作業者に煩わしさを感じ
させるという不都合がある。

【０００８】本発明は上記した従来の技術の欠点に鑑み
てなされたものであって、一台にて多種類のリードフレ
ームを扱うことが出来、しかも、各種リードフレームに
対して迅速かつ容易に対処することが出来るキュア装置
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明によるキュア装置
は、夫々半導体部品が装着された複数枚のフレームを配
列収容し得るマガジンと、前記マガジンから前記フレー
ムを順次取り出して供給するローダと、前記フレームを
加熱するための加熱手段と、加熱を完了した前記フレー
ムを受け入れて前記マガジン内に収納せしめるアンロー
ダと、前記フレームを前記ローダによるフレーム供給位
置から前記加熱手段の近傍の所定経路を経て前記アンロ
ーダによるフレーム受け入れ位置まで搬送するフレーム
搬送手段とを有し、前記マガジンを保持し得ると共に前
記マガジンを前記ローダに対して供給するマガジン供給
手段と、前記アンローダから前記マガジンを回収してこ
れを保持するマガジン回収手段と、前記ローダから前記
アンローダに前記マガジンを移送するマガジン移送手段
とを有するように構成したものである。

【００１０】

【実施例】次に、本発明に係るキュア装置について、添
付図面を参照しつつ説明する。

【００１１】図１乃至図３に示すように、本発明に係る
キュア装置は、夫々半導体部品としてのＩＣチップが装
着された複数枚のリードフレームＬ＼Ｆ（図２に図示）
を配列収容し得るマガジン３（図１及び図２に示してい
る）と、該マガジン３から該リードフレームＬ＼Ｆを順
次取り出して供給するローダ４と、リードフレームＬ＼
Ｆを加熱するための加熱手段６と、加熱を完了したリー
ドフレームＬ＼Ｆを受け入れて空のマガジン３内に収納
せしめるアンローダ８と、該リードフレームＬ＼Ｆを上
記ローダ４によるリードフレーム供給位置から加熱手段
６の近傍の所定経路を経てアンローダ８によるリードフ
レーム受け入れ位置まで搬送するフレーム搬送手段（後
述）とを有している。なお、マガジン３は略直方体状に
形成され、その前後両端部が開放している。また、該フ
レーム搬送手段は、３つの搬送機構１２乃至１４から成
る。これらローダ４、加熱手段６及びアンローダ８並び
にフレーム搬送手段は、該キュア装置の本体１０上に設
けられている。また、この本体１０上には、例えば４つ
のマガジン３を保持し得ると共に該マガジンをローダ４
に対して供給するマガジン供給手段１６と、アンローダ
８からマガジン３を回収してこれを集積して保持するマ
ガジン回収手段１８と、ローダ４からアンローダ８にマ
ガジン３を移送するマガジン移送手段２０とが設けられ
ている。

【００１２】以下、上述したローダ４及びアンローダ８
並びに各手段の構成について順に詳述する。

【００１３】まず、ローダ４については、図１及び図２
に示すように、１つのマガジン３を担持し得る可動ベー
ス２５と、上下方向において延在して設けられて該可動
ベース２５を案内する案内部材２６（図１に図示）と、
該案内部材２６と平行に設けられて該可動ベース２５の
下端部に一端にて結合された長尺のウォーム２７と、該
ウォーム２７に螺合するナット（図示せず）と、ウォー
ム２７を上下動させるべく該ナットを回転せしめるモー
タ等の駆動手段とを有している。これら可動ベース２
５、案内部材２６及びウォーム２７並びに駆動手段を、
マガジン位置決め手段と総称する。すなわち、このマガ
ジン位置決め手段は、上記モータ等の作動制御がなされ
ることにより、その担持したマガジン３を該マガジン３
のリードフレーム配列方向において適宜移動せしめて位
置決めする。また、ローダ４は、該マガジン位置決め手
段によって位置決めされるマガジン３からリードフレー
ムＬ＼Ｆを突出させるためのフレーム突出手段としての
シリンダ３０（図１に図示）を具備している。このシリ
ンダ３０は、圧搾空気などにより作動する。

【００１４】一方、アンローダ８については、上記した
ローダ４とほぼ同様に構成されており、１つのマガジン
３を担持し得る可動ベース３２と、該可動ベース３２を
案内する案内部材３３と、可動ベース３２の下端部に一
端にて結合されたウォーム３４と、該ウォーム３４に螺
合するナット（図示せず）と、ウォーム３４を上下動さ
せるために該ナットを回転駆動するモータ等の駆動手段
とから成るマガジン位置決め手段を有している。該マガ
ジン位置決め手段は、該モータ等の作動制御がなされる
ことにより、その担持したマガジン３を該マガジン３の
リードフレーム配列方向において適宜移動せしめて位置
決めする。また、アンローダ８は、該マガジン位置決め
手段によって位置決めされるマガジン３内に加熱を完了
したリードフレームＬ＼Ｆを順次収納せしめるためのフ
レーム収納手段たるシリンダ３７（図１に図示）を備え
ている。このシリンダ３７も、圧搾空気等により作動す
る。

【００１５】次いで、加熱手段６について詳述する。こ
の加熱手段６は、いわゆる炉であり、図１及び図３に示
すように、一列に並べられた多数のヒートブロック４１
と、該各ヒートブロック４１等を囲撓する筐体４２（図
３に示す）とを有している。なお、該筐体４２内には、
図示せぬノズルを通じて高温の窒素ガスが供給される。
また、該窒素ガスを排出するための排出パイプ（図示せ
ず）が該筐体４２の底部に接続されている。

【００１６】一方、リードフレームＬ＼Ｆを、ローダ４
によるリードフレーム供給位置から加熱手段６を経てア
ンローダ８によるリードフレーム受け入れ位置まで搬送
するフレーム搬送手段を構成する３つの搬送機構１２乃
至１４については、下記のように構成されている。

【００１７】図１及び図３に示すように、第１の搬送機
構１２は、上記ローダ４によりマガジン３外に突出せし
められたリードフレームＬ＼Ｆを担持して、これを後段
の第２の搬送機構１３まで案内する一対のガイドレール
４５及び４６を有している。そして、リードフレームＬ
＼Ｆの側端部に外周部にて摩擦係合する摩擦ローラ４８
と、該摩擦ローラ４８を回転駆動する駆動手段４９とか
ら成りリードフレームＬ＼Ｆを上記ガイドレール４５、
４６に沿って駆送するリードフレーム駆送手段を一対具
備している。

【００１８】なお、図３に示すように、上記した２本の
ガイドレール４５及び４６は、本体１０上の支持台１０
ａ上において、互いに近接離間自在に設けられている。
そして、この支持台１０ａ上には２つのモータ５２が固
設されており、該各モータによりトルクを付与されるウ
ォーム５３が各ガイドレール４５、４６に形成されたね
じ孔に螺合している。すなわち、モータ５２が回転する
ことによって、両ガイドレール４５、４６間の距離が調
整されるのである。なお、図１に示すように、両ガイド
レール４５、４６間には、リードフレームＬ＼Ｆが該両
ガイドレール上の正規の位置に持ち来されたことを検知
するためのセンサ５５が配設されている。なお、このセ
ンサ５５は、例えば光反射式のものであるが、他の種々
の形式のものも使用可能であることは勿論である。

【００１９】上記の第１の搬送機構１２により搬送され
たリードフレームＬ＼Ｆは、次段の第２の搬送機構１３
上に載置され、該第２の搬送機構１３によって、加熱手
段６が具備する各ヒートブロック４１を順次巡るように
搬送され、加熱される。これにより、該リードフレーム
Ｌ＼Ｆとその上に載置されたＩＣチップの両者間に介在
する熱硬化型接着剤等が固化し、該両者は堅固に固着す
る。

【００２０】この第２の搬送機構１３は、次のように構
成されている。

【００２１】図１及び図３に示すように、該搬送機構１
３は、同心的に結合した２つずつを１組として、２組ず
つが互いに離間するように配設された合計８つのプーリ
５８と、これら各プーリ５８に掛け回されてリードフレ
ームＬ＼Ｆを担持してこれを搬送するための２本の無端
状のワイヤ５９と、該各ワイヤ５９を駆送すべくプーリ
５８にトルクを付与するモータ等から成るトルク付与手
段（図示せず）とを有している。なお、図３から明らか
なように、各ワイヤ５９は、加熱手段６の各ヒートブロ
ック４１を囲むように設けられている。これらプーリ５
８、ワイヤ５９及びトルク付与手段は、図示しない可動
ベース上に搭載されている。そして、該可動ベースは、
図示しない駆動手段によって、図３に示す４つの経路６
１〜６４に沿って連続的に移動せしめられる。図示の如
く、これら４つの経路６１〜６４は、互いに直線的であ
り、且つ、全体として矩形を呈するようになされてい
る。これにより、リードフレームＬ＼Ｆは、加熱手段６
が有する多数のヒートブロック４１を１つずつ巡るべ
く、所定のピッチＰ（図３に図示）ずつ移送される。な
お、図１及び図３に示すように、前述した第１の搬送機
構１２が具備する両ガイドレール４５及び４６には、２
条ずつの切欠部４５ａ、４６ａが形成されており、第２
の搬送機構１３が有するワイヤ５９がこれら切欠部４５
ａ、４６ａに挿通されている。

【００２２】上述した第２の搬送機構１３により搬送さ
れたリードフレームＬ＼Ｆは、第３の搬送機構１４に移
される。そして、この第３の搬送機構１４によってアン
ローダ８上の空のマガジン３内に順次収納される。

【００２３】この第３の搬送機構１４は、下記のように
構成されている。

【００２４】図１及び図３に示すように、第３の搬送機
構１４は、第２の搬送機構１３から受け入れたリードフ
レームＬ＼Ｆを担持して、これをアンローダ８に向けて
案内する一対のガイドレール６５及び６６を有してい
る。そして、リードフレームＬ＼Ｆの側端部に外周部に
て摩擦係合する摩擦ローラ６８と、該摩擦ローラ６８を
回転駆動する駆動手段６９とから成りリードフレームＬ
＼Ｆを上記ガイドレール６５、６６に沿って駆送するリ
ードフレーム駆送手段を一対具備している。

【００２５】なお、図３に示すように、上記した２本の
ガイドレール６５及び６６は、本体１０上の支持台１０
ｂ上において、互いに近接離間自在に設けられている。
そして、この支持台１０ｂ上には２つのモータ７２が固
設されており、該各モータによりトルクを付与されるウ
ォーム７３が各ガイドレール６５、６６に形成されたね
じ孔に螺合している。すなわち、モータ７２が回転する
ことによって、両ガイドレール６５、６６間の距離が調
整されるのである。なお、該両ガイドレール６５、６６
には、２条ずつの切欠部６５ａ及び６６ａが形成されて
おり、上記第２の搬送機構１３が具備するワイヤ５９が
これら切欠部６５ａ、６６ａに挿通されている。

【００２６】次に、上記ローダ４と、アンローダ８との
間に配設されたマガジン供給手段１６、マガジン回収手
段１８及びマガジン移送手段２０の夫々について詳述す
る。

【００２７】まず、マガジン供給手段１６については、
図１及び図２に示すように、同心的に結合した２つずつ
を１組として、２組が互いに離間するように配設された
合計４つのプーリ７８と、これら各プーリ７８に掛け回
されて、リードフレームＬ＼Ｆを収容した例えば４つの
マガジン３を一列に蓄えて担持してこれをローダ４に向
けて送給するための２本の無端状のベルト７９と、該各
ベルトを駆送すべくプーリ７８にトルクを付与するモー
タ等のトルク付与手段（図示せず）とを有している。な
お、両ベルト７９はそれ自体により各マガジン３を担持
している訳ではなく、該各ベルト７９の上辺部分の下側
に添設された担持部材（図示せず）が各マガジン３の荷
重を受ける。

【００２８】そして、マガジン供給手段１６は、その担
持したマガジン群から最先のマガジン３を分離してロー
ダ４に受け渡すマガジン分離手段８１を具備している。

【００２９】図１から明らかなように、このマガジン分
離手段８１は、上記の２本のベルト７９により挾まれる
ように配設されており、略コの字状に形成されてローダ
４に対して近接離間自在な可動シャーシ８３と、該可動
シャーシ８３を往復動せしめるためのシリンダ８４と、
該可動シャーシ８３の側端部に取り付けられた合計４つ
のプーリ８６と、該各プーリに掛け回されてマガジン３
に係合してこれを送給するための２本の無端状のベルト
８７と、該各ベルトを駆送すべくプーリ８６にトルクを
付与するモータ等から成るトルク付与手段（図示せず）
とからなる。

【００３０】上記のように、マガジン供給手段１６をし
て複数のマガジン３を保持せしめ、しかも、その具備し
たマガジン分離手段８１によって該マガジン群から最先
のマガジンを１つ１つ分離してローダ４に供給するよう
に構成したことにより、これら複数のマガジンのすべて
を自動的かつ連続的に供給することが出来、高い作業効
率が得られる。

【００３１】一方、マガジン回収手段１８に関しては、
上記マガジン供給手段１６とほぼ同様に構成されてお
り、図１及び図２に示すように、同心的に結合した２つ
ずつを１組として、２組が互いに離間するように配設さ
れた合計４つのプーリ８８と、これら各プーリ８８に掛
け回されて、アンローダ８からマガジン３を受け入れて
これを４つ蓄えて担持し得る２本の無端状のベルト８９
と、該各ベルトを駆送すべくプーリ８８にトルクを付与
するモータ等のトルク付与手段（図示せず）とを有して
いる。

【００３２】なお、両ベルト８９はそれ自体により各マ
ガジン３を担持する訳ではなく、該各ベルト８９の上辺
部分の下側に添設された担持部材（図示せず）が各マガ
ジン３の荷重を受ける。

【００３３】そして、マガジン回収手段１８は、アンロ
ーダ８からマガジン３を離脱させてベルト８９上に取り
入れるマガジン取入手段９１を具備している。

【００３４】図１から明らかなように、このマガジン取
入手段９１は、上記の２本のベルト８９により挾まれる
ように配設されており、略コの字状に形成されてアンロ
ーダ８に対して近接離間自在な可動シャーシ９３と、該
可動シャーシ９３を往復動せしめるためのシリンダ９４
と、該可動シャーシ９３の側端部に取り付けられた合計
４つのプーリ９６と、該各プーリに掛け回されてマガジ
ン３に係合してこれを取り入れるための２本の無端状の
ベルト９７と、該各ベルトを駆送すべくプーリ９６にト
ルクを付与するモータ等から成るトルク付与手段（図示
せず）とからなる。

【００３５】上記のように、マガジン回収手段１８をし
て複数のマガジン３を保持し得るようになし、しかも、
その具備したマガジン取入手段９１によってアンローダ
８からマガジン３を１つずつ取り入れて蓄えるように構
成したことにより、これら複数のマガジンの回収を自動
的かつ連続的に行うことが出来、作業効率が高まってい
る。

【００３６】次に、マガジン移送手段２０については、
下記のように構成されている。

【００３７】図１及び図２に示すように、当該マガジン
移送手段２０は、同心的に結合した２つずつを１組とし
て、２組が互いに離間するように配置された合計４つの
プーリ１０１と、これら各プーリ１０１に掛け回されて
マガジン３を担持してこれを移送するための２本の無端
状ベルト１０２と、該各ベルト１０２を駆送すべくプー
リ１０１にトルクを付与するモータ等のトルク付与手段
（図示せず）とから成る。なお、両ベルト１０２はそれ
自体によりマガジン３を担持する訳ではなく、該各ベル
トの上辺部分の下側に添設された担持部材（図示せず）
が各マガジンの荷重を受ける。

【００３８】次いで、上記した構成のキュア装置の動作
について、図４乃至図１３をも参照しつつ説明する。な
お、以下の動作は、図示せぬマイクロコンピュータ等よ
りなる制御手段により制御される。

【００３９】作業開始に先立ち、図２に示すように、夫
々がリードフレームＬ＼Ｆを収容したマガジン３をロー
ダ４の可動ベース２５上に１つ、マガジン供給手段１６
上に３つ載置する。また、アンローダ８の可動ベース３
２上に、空のマガジン３を１つ載置する。なお、このと
き、上記各マガジン３内に収納されているリードフレー
ムＬ＼Ｆとその上に担持されているＩＣチップ（図示せ
ず）との間に介在している接着剤は未硬化状態である。
また、このとき、ローダ４が具備する可動ベース２５
は、その上面がマガジン供給手段１６のベルト７９の上
面と同じレベルとなる位置に位置決めされ、また、アン
ローダ８の可動ベース３２は下降している。

【００４０】上記の状態において、作業開始のための操
作ボタン等が操作されると、作業が始められる。

【００４１】すると、図５に示すように、ローダ４が作
動してその具備した可動ベース２５がマガジン３におけ
る各リードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチずつ間欠的に下
降せられる。これに伴ってシリンダ３０（図４を参照）
が作動し、可動ベース２５上のマガジン３からリードフ
レームＬ＼Ｆが１枚ずつ突出せられる。このようにマガ
ジン３から順に突出せしめられたリードフレームＬ＼Ｆ
は、第１の搬送機構１２の摩擦ローラ４８の回転により
搬送され、第２の搬送機構１３上へと順に持ち来され
る。そして、該各リードフレームＬ＼Ｆは、図４に示す
ように、該第２の搬送機構１３の作動によって加熱手段
６の各ヒートブロック４１を順次巡るように送給され、
加熱される。

【００４２】上記のようにしてローダ４の可動ベース２
５が下降しつつ、該可動ベース上のマガジン３について
その収容したリードフレームＬ＼Ｆがすべて送り出され
て空になると、図６に示すように、該可動ベース２５は
更に下降し、その搭載していた空のマガジン３は、マガ
ジン移送手段２０のベルト１０２上に受け渡される。そ
して、図示のように、該マガジン移送手段２０の作動に
よってアンローダ８へ向けて移送される。

【００４３】一方、上記のマガジン３から送り出されて
加熱手段６による加熱を完了した各リードフレームＬ＼
Ｆは、下記のようにしてアンローダ８上のマガジン３内
に収納される。

【００４４】すなわち、図８に示すように、アンローダ
８が作動してその具備した可動ベース３２が、マガジン
３におけるリードフレームの配列ピッチずつ間欠的に上
昇せられる。これに伴って、第３の搬送機構１４のシリ
ンダ３７（図７を参照）が作動し、上記第２の搬送機構
１３の作動によって該第３の搬送機構１４上に順次持ち
来されるリードフレームＬ＼Ｆは該マガジン３内に配列
して収納される。

【００４５】また、図７及び図８に示すように、マガジ
ン供給手段１６上に蓄えられている３つのマガジン３の
うち、最先のものが、該マガジン供給手段１６が具備す
るマガジン分離手段８１の作動によって後に残る２つの
マガジン３から分離され、ローダ４の直上に持ち来され
る。また、図８に示すように、この残余の２つのマガジ
ン３については、これらを担持しているベルト７９が駆
送されることにより、同図における左方にむけてマガジ
ン１つ分の距離だけ移動せられる。

【００４６】かくして、図９に示すように、アンローダ
８上のマガジン３に対して、すべてのリードフレームＬ
＼Ｆが収納される。すると、該アンローダ８の可動ベー
ス３８が最上昇位置まで上昇せられる。また、同図に示
すように、ローダ４の可動ベース２５が最上昇位置まで
上昇せられ、これによって、マガジン供給手段１６のマ
ガジン分離手段８１上のマガジン３が該可動ベース２５
上に受け渡される。なお、同図から明らかなように、該
マガジン分離手段８１は、可動ベース２５にマガジン３
を受け渡した後は、元の状態に復帰せしめられる。

【００４７】この後、図１０及び図１１に示すように、
ローダ４に装填されたこの新たなマガジン３に収容され
ている各リードフレームＬ＼Ｆが、上述の手順と同様に
して順次送給され、加熱手段６により加熱される。ま
た、同図に示すように、アンローダ８上のマガジン３に
ついては、図１１及び図１２に示すように、マガジン回
収手段１８が具備するマガジン取入手段９１が作動する
ことにより、該マガジン回収手段１８上に取り入れられ
る。また、同じく図１１に示すように、アンローダ８の
可動ベース３２は、マガジン回収手段１８にマガジン３
を受け渡した後に最下降位置まで下降せられる。そし
て、図１２に示すように、マガジン移送手段２０により
移送されて来た最初の空になったマガジン３がこの可動
ベース３２上に乗り移り、該図に示す状態に位置決めさ
れる。

【００４８】この後は、上記までの一連の動作が繰り返
され、図１３に示すように、加熱処理を完了したリード
フレームＬ＼Ｆを収容した４つのマガジン３がマガジン
回収手段１８上に蓄えられ、１つの空のマガジン３がア
ンローダ８上に残る。後は、これらリードフレームＬ＼
Ｆを収容した４つのマガジン３を作業者が回収して、後
段の処理工程にむけて運搬する。また、前段の工程を経
た新たな未加熱のリードフレームを収容した４つのマガ
ジンを、図２に示す状態にて装着し、前述と同様の操作
を行う。

【００４９】なお、上記の実施例においては、キュア装
置の作動に際して該装置に装備されるべきマガジン３の
数について、未加熱のリードフレームを収容したものを
４つと、空のものを１つと、合計５つ用意するとしてい
るが、取り扱うべきマガジン３の数については、これに
限らず、必要に応じて適宜増減されることは言及するま
でもない。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるキュ
ア装置においては、マガジンを装備しており、フレーム
の種類の変更に際して、実質的にマガジンを変更するだ
けでよいため、多種類のフレームを１台にて扱え、しか
も、各種フレームに迅速かつ容易に対処することが出来
るという効果がある。また、本発明によるキュア装置に
おいては、フレームを収容した状態でマガジン供給手段
上に蓄えられたマガジンをローダに供給して該ローダに
て該マガジンから全フレームを送出させた後、この空に
なったマガジンをマガジン移送手段を通じてアンローダ
上に持ち来してこれに加熱後のフレームを収納する構成
である。このように、空になったマガジンをアンローダ
に移してこれに対して加熱後のフレームを納める故マガ
ジンが有効利用され、予め用意しておくべき空のマガジ
ンは１つでよく、取り扱うべきマガジンの総数が少なく
て済むという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例としてのキュア装置の
平面図である。

【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視図である。

【図３】図３は、図１に関するＢ−Ｂ断面図である。

【図４】図４は、図１乃至図３に示したキュア装置の動
作説明図である。

【図５】図５は、図１乃至図３に示したキュア装置の動
作説明図である。

【図６】図６は、図１乃至図３に示したキュア装置の動
作説明図である。

【図７】図７は、図１乃至図３に示したキュア装置の動
作説明図である。

【図８】図８は、図１乃至図３に示したキュア装置の動
作説明図である。

【図９】図９は、図１乃至図３に示したキュア装置の動
作説明図である。

【図１０】図１０は、図１乃至図３に示したキュア装置
の動作説明図である。

【図１１】図１１は、図１乃至図３に示したキュア装置
の動作説明図である。

【図１２】図１２は、図１乃至図３に示したキュア装置
の動作説明図である。

【図１３】図１３は、図１乃至図３に示したキュア装置
の動作説明図である。

【図１４】図１４は、従来のキュア装置の要部の縦断面
図である。

【図１５】図１５は、図１４に示したキュア装置とその
前後のダイボンダー装置及びボンダーの、概略斜視図で
ある。

【符号の説明】

３マガジン４ローダ６加熱手段８アンローダ１０本体１２、１３、１４搬送機構１６マガジン供給手段１８マガジン回収手段２０マガジン移送手段３０シリンダ（フレーム突出手段）３７シリンダ（フレーム収納手段）４１ヒートブロック８１マガジン分離手段９１マガジン取入手段

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】夫々半導体部品が装着された複数枚のフ
レームを配列収容し得るマガジンと、前記マガジンから
前記フレームを順次取り出して供給するローダと、前記
フレームを加熱するための加熱手段と、加熱を完了した
前記フレームを受け入れて前記マガジン内に収納せしめ
るアンローダと、前記フレームを前記ローダによるフレ
ーム供給位置から前記加熱手段の近傍の所定経路を経て
前記アンローダによるフレーム受け入れ位置まで搬送す
るフレーム搬送手段とを有し、前記マガジンを保持し得
ると共に前記マガジンを前記ローダに対して供給するマ
ガジン供給手段と、前記アンローダから前記マガジンを
回収してこれを保持するマガジン回収手段と、前記ロー
ダから前記アンローダに前記マガジンを移送するマガジ
ン移送手段とを有することを特徴とするキュア装置。
【請求項２】前記マガジン供給手段は、前記マガジン
を複数保持し得、その保持したマガジン群から所望のマ
ガジンを分離して前記ローダに受け渡すマガジン分離手
段を備えていることを特徴とする請求項１記載のキュア
装置。
【請求項３】前記マガジン回収手段は、前記マガジン
を複数保持し得、前記アンローダから前記マガジンを離
脱させて取り入れるマガジン取入手段を備えていること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のキュア装置。
【請求項４】前記ローダは、前記マガジンを担持して
これを前記マガジンのフレーム配列方向において移動せ
しめて位置決めするマガジン位置決め手段と、前記マガ
ジンから前記フレームを突出せしめるフレーム突出手段
とを有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のう
ちいずれか１記載のキュア装置。
【請求項５】前記アンローダは、前記マガジンを担持
してこれを前記マガジンのフレーム配列方向において移
動せしめて位置決めするマガジン位置決め手段と、前記
フレームを前記マガジン内に収納せしめるフレーム収納
手段とを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４
のうちいずれか１記載のキュア装置。