JP2683243B2 - レンズの支持装置 - Google Patents
レンズの支持装置Info
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- JP2683243B2 JP2683243B2 JP63075765A JP7576588A JP2683243B2 JP 2683243 B2 JP2683243 B2 JP 2683243B2 JP 63075765 A JP63075765 A JP 63075765A JP 7576588 A JP7576588 A JP 7576588A JP 2683243 B2 JP2683243 B2 JP 2683243B2
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- lens
- lens holder
- recording medium
- elastic wires
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
- G11B7/0932—Details of sprung supports
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えばコンパクトディスク,ビデオディス
ク等の光ディスクや光磁気ディスク等にかかる光ピック
アップの対物レンズ支持装置に関する。
ク等の光ディスクや光磁気ディスク等にかかる光ピック
アップの対物レンズ支持装置に関する。
光ピックアップにおいて、記録あるいは再生ビームを
対物レンズにより記録媒体に収束状態で照射しその反射
光を受光して情報を読み取るに際し、この収束光が情報
トラックに正確に追従すると共に記録媒体面に合焦状態
に保持されるように対物レンズをトラッキング駆動並び
にフォーカシング駆動する必要がある。ここでトラッキ
ング駆動とは情報トラックを記録媒体面に沿って横切る
方向のレンズ駆動を言いフォーカシング駆動は情報トラ
ック面に垂直な方向のレンズ駆動を言う。
対物レンズにより記録媒体に収束状態で照射しその反射
光を受光して情報を読み取るに際し、この収束光が情報
トラックに正確に追従すると共に記録媒体面に合焦状態
に保持されるように対物レンズをトラッキング駆動並び
にフォーカシング駆動する必要がある。ここでトラッキ
ング駆動とは情報トラックを記録媒体面に沿って横切る
方向のレンズ駆動を言いフォーカシング駆動は情報トラ
ック面に垂直な方向のレンズ駆動を言う。
かかる光ピックアップの従来技術として第15図で示す
特開昭59−221839号公報開示のものがある。これは対物
レンズ1が固定されたホルダー2を4本の弾性ワイヤ3
で固定部材4に対し支持するものである。この4本の弾
性ワイヤ3はトラッキング方向(X軸)と直角なタンジ
ェンシャル方向(Y軸)に互に平行な状態で延在させる
ものである。一方かかる弾性ワイヤが非平行な状態で配
置されるものとして特開昭60−197942号公報で説明され
るものがある。これは第16図のように対物レンズ1を保
持するホルダ2を固定部材4に対して可動自在に支持す
る4本の弾性ワイヤ5がフォーカシング方向(z軸)か
らみてハの字型に配置される構成となっている。
特開昭59−221839号公報開示のものがある。これは対物
レンズ1が固定されたホルダー2を4本の弾性ワイヤ3
で固定部材4に対し支持するものである。この4本の弾
性ワイヤ3はトラッキング方向(X軸)と直角なタンジ
ェンシャル方向(Y軸)に互に平行な状態で延在させる
ものである。一方かかる弾性ワイヤが非平行な状態で配
置されるものとして特開昭60−197942号公報で説明され
るものがある。これは第16図のように対物レンズ1を保
持するホルダ2を固定部材4に対して可動自在に支持す
る4本の弾性ワイヤ5がフォーカシング方向(z軸)か
らみてハの字型に配置される構成となっている。
弾性ワイヤが第15図の様に互に平行な4本のワイヤの
構成であるとホルダ2がY軸を中心に傾きやすくなり結
果として対物レンズ1の光軸の傾きによりサーボ誤差が
生じやすくなる欠点がある。これはY軸の周りの捩りの
ばね定数がX軸周りの捩りのばね定数に比較して小さい
ことに起因する。即ち、Y軸周りのばね定数はワイヤ3
の曲げ剛性に関係し、X軸周りのばね定数はワイヤ3の
伸縮剛性に関係し、ここでワイヤ3の曲げ剛性は伸縮の
剛性に比較しかなり低いからである。
構成であるとホルダ2がY軸を中心に傾きやすくなり結
果として対物レンズ1の光軸の傾きによりサーボ誤差が
生じやすくなる欠点がある。これはY軸の周りの捩りの
ばね定数がX軸周りの捩りのばね定数に比較して小さい
ことに起因する。即ち、Y軸周りのばね定数はワイヤ3
の曲げ剛性に関係し、X軸周りのばね定数はワイヤ3の
伸縮剛性に関係し、ここでワイヤ3の曲げ剛性は伸縮の
剛性に比較しかなり低いからである。
一方第16図の様にワイヤ5を2本ずつ平行に配置した
ものをZ軸方向からみてハの字型にしたものは、X軸方
向の幅が大となり光ピックアップヘッドを光ディスクの
中心に接近できない欠点がある。
ものをZ軸方向からみてハの字型にしたものは、X軸方
向の幅が大となり光ピックアップヘッドを光ディスクの
中心に接近できない欠点がある。
本発明は上記欠点を解決したレンズ支持装置を提供す
ることを目的とする。即ち、記録媒体と離間して対向す
るように配置されたレンズと、前記レンズを保持するレ
ンズホルダと、静止部材である固定部材と、前記レンズ
ホルダと前記固定部材とを連結する4本の弾性ワイヤ
と、を有し、前記レンズを前記記録媒体面に平行な方向
と前記記録媒体面に垂直な方向の2方向に移動可能に支
持するレンズの支持装置において、 前記4本の弾性ワイヤはそれぞれ前記レンズの光軸と
平行な軸を中心に延在するものであり、前記記録媒体に
近い側に配置される2本の弾性ワイヤからなる第1のワ
イヤ群と前記記録媒体に遠い側に配置される2本の弾性
ワイヤからなる第2のワイヤ群からなり、 前記第2のワイヤ群の2本の弾性ワイヤの前記レンズ
ホルダ側の固着部は、前記記録媒体面に垂直な方向にお
ける前記記録媒体が載置されるターンテーブルが占有す
る幅以外のところに配置され、 前記第1のワイヤ群の2本の弾性ワイヤの前記レンズ
ホルダ側の固着部は、前記垂直な方向における前記ター
ンテーブルが占有する幅内のところに配置され、 前記第1のワイヤ群の各弾性ワイヤのレンズホルダ側
固着部の間隔は、前記第2のワイヤ群の各弾性ワイヤの
レンズホルダ側固着部の間隔よりも狭くなるように配置
されることを特徴とするものである。
ることを目的とする。即ち、記録媒体と離間して対向す
るように配置されたレンズと、前記レンズを保持するレ
ンズホルダと、静止部材である固定部材と、前記レンズ
ホルダと前記固定部材とを連結する4本の弾性ワイヤ
と、を有し、前記レンズを前記記録媒体面に平行な方向
と前記記録媒体面に垂直な方向の2方向に移動可能に支
持するレンズの支持装置において、 前記4本の弾性ワイヤはそれぞれ前記レンズの光軸と
平行な軸を中心に延在するものであり、前記記録媒体に
近い側に配置される2本の弾性ワイヤからなる第1のワ
イヤ群と前記記録媒体に遠い側に配置される2本の弾性
ワイヤからなる第2のワイヤ群からなり、 前記第2のワイヤ群の2本の弾性ワイヤの前記レンズ
ホルダ側の固着部は、前記記録媒体面に垂直な方向にお
ける前記記録媒体が載置されるターンテーブルが占有す
る幅以外のところに配置され、 前記第1のワイヤ群の2本の弾性ワイヤの前記レンズ
ホルダ側の固着部は、前記垂直な方向における前記ター
ンテーブルが占有する幅内のところに配置され、 前記第1のワイヤ群の各弾性ワイヤのレンズホルダ側
固着部の間隔は、前記第2のワイヤ群の各弾性ワイヤの
レンズホルダ側固着部の間隔よりも狭くなるように配置
されることを特徴とするものである。
以下図面に基づき本発明の一実施例を説明する。第1
図は本発明の第1実施例である。対物レンズ1はレンズ
ホルダ11に固定され、このレンズホルダ11には4個のト
ラッキングコイル12とレンズホルダ11を巻回するフォー
カスコイル13が固定されている。15と16はそれぞれ外ヨ
ークと内ヨークでこれらは磁性材からなるベース17と一
体となっている。2つの外ヨーク15の内ヨーク16と対向
する面にマグネット14が固定され、これらヨーク,マグ
ネットの組合せでフォーカスコイル13とトラッキングコ
イル12の一部を貫ぬく2個の磁気回路が形成されてい
る。18は弾性ワイヤでありレンズホルダ11と外ヨークの
一つに固定されたプリント基板19とを連結している。こ
の弾性ワイヤ18は4本から成りレンズホルダ11をX軸と
Z軸方向に可動自在に支持すると共にフォーカシングコ
イル13とトラッキングコイル12への通電のための導線と
しての機能をも有している。これら通電はリード線21に
より行なわれる。また各弾性ワイヤ18の周りには共振を
防止するためのゴムチューブ22が被覆されている。
図は本発明の第1実施例である。対物レンズ1はレンズ
ホルダ11に固定され、このレンズホルダ11には4個のト
ラッキングコイル12とレンズホルダ11を巻回するフォー
カスコイル13が固定されている。15と16はそれぞれ外ヨ
ークと内ヨークでこれらは磁性材からなるベース17と一
体となっている。2つの外ヨーク15の内ヨーク16と対向
する面にマグネット14が固定され、これらヨーク,マグ
ネットの組合せでフォーカスコイル13とトラッキングコ
イル12の一部を貫ぬく2個の磁気回路が形成されてい
る。18は弾性ワイヤでありレンズホルダ11と外ヨークの
一つに固定されたプリント基板19とを連結している。こ
の弾性ワイヤ18は4本から成りレンズホルダ11をX軸と
Z軸方向に可動自在に支持すると共にフォーカシングコ
イル13とトラッキングコイル12への通電のための導線と
しての機能をも有している。これら通電はリード線21に
より行なわれる。また各弾性ワイヤ18の周りには共振を
防止するためのゴムチューブ22が被覆されている。
ここで弾性ワイヤ18,レンズホルダ11,基板19の構成だ
けを取り出しこれを斜視図で示したものが第2図である
(レンズホルダ11と基板19は簡略図としている。)。第
2図では4本の弾性ワイヤを18−1,18−2,18−3,18−4
で示している。これら4本のワイヤをZ軸方向からみた
図が第3図で,X軸方向からみた図が第4図である。第3
図で示される様に弾性ワイヤ(第1のワイヤ群)18−1
と18−2,弾性ワイヤ(第2のワイヤ群)18−3と18−4
はそれぞれ非平行の関係にあり基板19からレンズホルダ
11に向ってワイヤ間隔が小さくなっている。弾性ワイヤ
18−1と18−2の延長線は点P1で交わり、弾性ワイヤ18
−3と18−4の延長線は点P2で交わる。ここで点P1と点
P2を結ぶ線分P1P2は対物レンズ1の光軸と平行である。
また第4図で示される様に弾性ワイヤ18−1と18−2の
含む面と弾性ワイヤ18−3と18−4を含む面は平行な関
係にある。
けを取り出しこれを斜視図で示したものが第2図である
(レンズホルダ11と基板19は簡略図としている。)。第
2図では4本の弾性ワイヤを18−1,18−2,18−3,18−4
で示している。これら4本のワイヤをZ軸方向からみた
図が第3図で,X軸方向からみた図が第4図である。第3
図で示される様に弾性ワイヤ(第1のワイヤ群)18−1
と18−2,弾性ワイヤ(第2のワイヤ群)18−3と18−4
はそれぞれ非平行の関係にあり基板19からレンズホルダ
11に向ってワイヤ間隔が小さくなっている。弾性ワイヤ
18−1と18−2の延長線は点P1で交わり、弾性ワイヤ18
−3と18−4の延長線は点P2で交わる。ここで点P1と点
P2を結ぶ線分P1P2は対物レンズ1の光軸と平行である。
また第4図で示される様に弾性ワイヤ18−1と18−2の
含む面と弾性ワイヤ18−3と18−4を含む面は平行な関
係にある。
次に上記第1実施例の作用について説明する。トラッ
キングコイル12にトラッキング誤差信号を通電するとレ
ンズホルダ11は磁気回路との作用によりX軸方向に移動
する。フォーカスコイル13にフォーカシング誤差信号を
通電すると同作用によりレンズホルダ11はZ軸方向に移
動する。かかるレンズホルダ11の移動により対物レンズ
1のトラッキング駆動並びにフォーカシング駆動が行わ
れる。次にこれらトラッキング駆動並びにフォーカシン
グ駆動時の弾性ワイヤ18−1,18−2,18−3,18−4の変形
について説明する。いまトラッキングコイル12に通電し
て、レンズホルダ11をX軸方向に移動する場合を考え
る。このとき第5図の様に弾性ワイヤ18−1,18−2は破
線18′−1,18′−2の様に変形し、レンズホルダ11は点
P1の周りを回動するように変位する。
キングコイル12にトラッキング誤差信号を通電するとレ
ンズホルダ11は磁気回路との作用によりX軸方向に移動
する。フォーカスコイル13にフォーカシング誤差信号を
通電すると同作用によりレンズホルダ11はZ軸方向に移
動する。かかるレンズホルダ11の移動により対物レンズ
1のトラッキング駆動並びにフォーカシング駆動が行わ
れる。次にこれらトラッキング駆動並びにフォーカシン
グ駆動時の弾性ワイヤ18−1,18−2,18−3,18−4の変形
について説明する。いまトラッキングコイル12に通電し
て、レンズホルダ11をX軸方向に移動する場合を考え
る。このとき第5図の様に弾性ワイヤ18−1,18−2は破
線18′−1,18′−2の様に変形し、レンズホルダ11は点
P1の周りを回動するように変位する。
即ち線分QRの垂直二等分線P1SがP1を回転中心として
角度θ変位し、線分QRが線分Q′R′に変位する。一方
他の弾性ワイヤ18−3,18−4の変形について着目する
と、線分TUの垂直二等分線P1Sは上記と同様に点P1を中
心に角度θ変位し、結果として線分T′U′の状態とな
る。
角度θ変位し、線分QRが線分Q′R′に変位する。一方
他の弾性ワイヤ18−3,18−4の変形について着目する
と、線分TUの垂直二等分線P1Sは上記と同様に点P1を中
心に角度θ変位し、結果として線分T′U′の状態とな
る。
以上の動作原理から、トラッキング駆動によりレンズ
ホルダ11がトラッキング方向であるX軸方向に変位して
もレンズホルダ11はフォーカシング方向であるZ軸方向
に傾くことなく、XY平面と平行な状態で変位する。
ホルダ11がトラッキング方向であるX軸方向に変位して
もレンズホルダ11はフォーカシング方向であるZ軸方向
に傾くことなく、XY平面と平行な状態で変位する。
上記の第1実施例において弾性ワイヤ18−1と18−2
となす角度と弾性ワイヤ18−3と18−4のなす角度が異
なるためX軸方向において弾性ワイヤ18−1,18−2の組
と弾性ワイヤ18−3,18−4の組のばね定数が異なる場合
がある。かかる場合は弾性ワイヤの有効長又はワイヤの
断面形状等を適宜・選択することによりばね定数を等し
くするように調整すれば、より良好な性能が得られる。
となす角度と弾性ワイヤ18−3と18−4のなす角度が異
なるためX軸方向において弾性ワイヤ18−1,18−2の組
と弾性ワイヤ18−3,18−4の組のばね定数が異なる場合
がある。かかる場合は弾性ワイヤの有効長又はワイヤの
断面形状等を適宜・選択することによりばね定数を等し
くするように調整すれば、より良好な性能が得られる。
第6図(a)は第1実施例の光ピックアップヘッド10
をモータ23により回転するターンテーブル24上に載置し
たディスク25に対向配置した図である。これをディスク
側からみた図が第6図(b)である。ヘッド10は弾性ワ
イヤとディスクとの位置関係を明確にするためその構造
を簡略化している。この第6図からも明らかな様に弾性
ワイヤ18−2が対物レンズ1により近い位置に配置され
ているためにターンテーブル24のの側面がより対物レン
ズ1に近接させることができる。このことは光ピックア
ップヘッド10をトラッキング方向(X軸方向)に移動さ
せたとき対物レンズ1をよりディスク中心に寄せること
ができ、結果としてより多くのディスク情報を読取る
(あるいは書き込む)ことができる。
をモータ23により回転するターンテーブル24上に載置し
たディスク25に対向配置した図である。これをディスク
側からみた図が第6図(b)である。ヘッド10は弾性ワ
イヤとディスクとの位置関係を明確にするためその構造
を簡略化している。この第6図からも明らかな様に弾性
ワイヤ18−2が対物レンズ1により近い位置に配置され
ているためにターンテーブル24のの側面がより対物レン
ズ1に近接させることができる。このことは光ピックア
ップヘッド10をトラッキング方向(X軸方向)に移動さ
せたとき対物レンズ1をよりディスク中心に寄せること
ができ、結果としてより多くのディスク情報を読取る
(あるいは書き込む)ことができる。
第7図は本発明の第2実施例である。本実施例は第1
実施例のレンズホルダ11と基板19の位置を逆転した構成
になっている。
実施例のレンズホルダ11と基板19の位置を逆転した構成
になっている。
第8図は第3実施例でレンズホルダ11と基板19を連結
する4本の弾性ワイヤ27−1,27−2,27−3,27−4のうち
弾性ワイヤ27−1と27−2が点P1で,弾性ワイヤイヤ27
−3と27−4が点P2で交差する構成となっている。
する4本の弾性ワイヤ27−1,27−2,27−3,27−4のうち
弾性ワイヤ27−1と27−2が点P1で,弾性ワイヤイヤ27
−3と27−4が点P2で交差する構成となっている。
以上説明したように、本発明の構成によれば、記録媒
体に近い側に配置された第1のワイヤ群の各弾性ワイヤ
のレンズホルダ側固着部の間隔が、記録媒体に遠い側に
配置された第2のワイヤ群の各弾性ワイヤのレンズホル
ダ側固着部の間隔よりも狭くなるように、4本の弾性ワ
イヤが配置されるので、光ピックアップヘッドを記録媒
体の中心に接近させることができる利点がある。
体に近い側に配置された第1のワイヤ群の各弾性ワイヤ
のレンズホルダ側固着部の間隔が、記録媒体に遠い側に
配置された第2のワイヤ群の各弾性ワイヤのレンズホル
ダ側固着部の間隔よりも狭くなるように、4本の弾性ワ
イヤが配置されるので、光ピックアップヘッドを記録媒
体の中心に接近させることができる利点がある。
第1図は本発明の第1実施例を示す全体斜視図,第2〜
4図は第1実施例の弾性ワイヤの構成を示す図,第5図
は第1実施例における弾性ワイヤの変形を示す図,第6
図は第1実施例を光ディスク装置に組込んだ図,第7図
は第2実施例を示す図、第8図は第3実施例を示す図、
第9,10図は従来技術を示す図である。 1……対物レンズ 11……レンズホルダ 12……トラッキングコイル 13……フォーカスコイル 14……マグネット 18,18−1,18−2,18−3,18−4,27−1,27−2,27−3,27−
4……弾性ワイヤ
4図は第1実施例の弾性ワイヤの構成を示す図,第5図
は第1実施例における弾性ワイヤの変形を示す図,第6
図は第1実施例を光ディスク装置に組込んだ図,第7図
は第2実施例を示す図、第8図は第3実施例を示す図、
第9,10図は従来技術を示す図である。 1……対物レンズ 11……レンズホルダ 12……トラッキングコイル 13……フォーカスコイル 14……マグネット 18,18−1,18−2,18−3,18−4,27−1,27−2,27−3,27−
4……弾性ワイヤ
Claims (1)
- 【請求項1】記録媒体と離間して対向するように配置さ
れたレンズと、 前記レンズを保持するレンズホルダと、 静止部材である固定部材と、 前記レンズホルダと前記固定部材とを連結する4本の弾
性ワイヤと、を有し、前記レンズを前記記録媒体面に平
行な方向と前記記録媒体面に垂直な方向の2方向に移動
可能に支持するレンズの支持装置において、 前記4本の弾性ワイヤはそれぞれ前記レンズの光軸と平
行な軸を中心に延在するものであり、前記記録媒体に近
い側に配置される2本の弾性ワイヤからなる第1のワイ
ヤ群と前記記録媒体に遠い側に配置される2本の弾性ワ
イヤからなる第2のワイヤ群からなり、 前記第2のワイヤ群の2本の弾性ワイヤの前記レンズホ
ルダ側の固着部は、前記記録媒体面に垂直な方向におけ
る前記記録媒体が載置されるターンテーブルが占有する
幅以外のところに配置され、 前記第1のワイヤ群の2本の弾性ワイヤの前記レンズホ
ルダ側の固着部は、前記垂直な方向における前記ターン
テーブルが占有する幅内のところに配置され、 前記第1のワイヤ群の各弾性ワイヤのレンズホルダ側固
着部の間隔は、前記第2のワイヤ群の各弾性ワイヤのレ
ンズホルダ側固着部の間隔よりも狭くなるように配置さ
れることを特徴とするレンズの支持装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63075765A JP2683243B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レンズの支持装置 |
US07/330,380 US4991161A (en) | 1988-03-29 | 1989-03-29 | Apparatus for supporting objective lens movably in two orthogonal directions |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63075765A JP2683243B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レンズの支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01248327A JPH01248327A (ja) | 1989-10-03 |
JP2683243B2 true JP2683243B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=13585636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63075765A Expired - Fee Related JP2683243B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レンズの支持装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4991161A (ja) |
JP (1) | JP2683243B2 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5136565A (en) * | 1988-12-20 | 1992-08-04 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Optical device for reading and writing data on a recording medium |
JP2537397B2 (ja) * | 1989-03-30 | 1996-09-25 | 旭光学工業株式会社 | 光学式ピックアップ装置 |
US5150343A (en) * | 1989-07-19 | 1992-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Miniaturized low-power-consumption optical head provided with a state transformation mechanism |
JP2765633B2 (ja) * | 1989-11-02 | 1998-06-18 | オリンパス光学工業株式会社 | 光学系支持装置 |
JP2978588B2 (ja) * | 1991-05-27 | 1999-11-15 | パイオニア株式会社 | 光ピックアップにおけるレンズ駆動装置の製造方法 |
JP3245433B2 (ja) * | 1991-08-16 | 2002-01-15 | オリンパス光学工業株式会社 | 光ピックアップ |
JPH05258325A (ja) * | 1992-01-13 | 1993-10-08 | Sharp Corp | 対物レンズ駆動装置 |
DE4243067C2 (de) * | 1992-01-13 | 2000-12-07 | Sharp Kk | Antriebsvorrichtung für eine Objektivlinse |
JP3411603B2 (ja) * | 1992-07-28 | 2003-06-03 | ペンタックス株式会社 | 光学式情報記録再生装置の対物レンズ電磁駆動装置 |
JP3208751B2 (ja) * | 1993-03-23 | 2001-09-17 | ソニー株式会社 | 光学ピックアップ |
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JPH0863769A (ja) * | 1994-06-17 | 1996-03-08 | Sony Corp | 対物レンズ駆動装置及びその製造方法 |
JPH0916996A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Sony Corp | 二軸アクチュエータ |
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