JP2680007B2 - 半導体メモリ - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はDRAMにおいて、あらかじめ決めたデータを全
メモリセルに書き込み全メモリセルの記憶データを消去
する、いわゆるクリアモードの動作時間を短縮するのに
好適な回路方式に関する。 〔従来の技術〕 近年DRAMの用途が広がり、グラフイツク処理関係にも
使われるようになつている。このような用途のメモリで
は、あらかじめ決めたデータを全メモリセルに書き込ん
で全メモリセルの記憶データを消去する、いわゆるクリ
アモード動作が頻繁に行なわれる。しかし従来のメモリ
ではデータの読み出し,書き込みは1ビツト毎に行つて
いる。現在、DRAMではこの種のものが主流となつてい
る。この様なメモリではクリアモード動作の要求があつ
た場合、1ビツト毎にあらかじめ決めたデータを書き込
む必要が有り、クリアモード動作に多大な時間が必要と
なる。たとえば、1Mb DRAMの場合、クリアモード動作
時間は、サイクル時間を200nsとすると約0.2秒となる。
このように従来のメモリではクリアモード動作の時間を
短縮するための配慮がなされていなかつた。なお、この
種の装置として関連するものには例えば、アイ・イー・
イー・イー・ジヤーナル・ソリツド ステート サーキ
ツト,ボリユウム,エスシー−19,No.5(1984)pp619−
623(IEEE J.Solid−State Circuits,vol.SC−19,No.5
(1984)pp619−623)等が挙げられる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 前述したように、クリアモード動作の要求に対して、
従来のメモリでは1ビツト毎にあらかじめ決めたデータ
を書き込む必要があるため、クリアモード動作に多大の
時間を要し、システムの性能を低下させるという欠点が
あつた。 この様な問題は、特開昭62−6490号公報において、ワ
ード線及びデータ線を多重選択することで解決されてい
る。しかし、この場合のワード線電圧がVCCであると、
メモリセルにHighレベルのデータの書き込む際、メモリ
セルにはVCC−VTH(VTHはメモリセルを構成するMOS−FE
Tのしきい値電圧)の電圧しか書き込まれず、消去時デ
ータの信頼性にかけていた。 本発明の目的はクリアモード動作の時間を短縮したメ
モリを提供することにある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的は、クリアモード動作の期間、ワード線を多
重選択する回路と、データ線を多重選択する回路と、メ
モリセルを構成するコンデンサの一端の電圧を制御する
回路を設けることにより達成される。 〔作用〕 ワード線の多重選択回路は全ワード線を駆動し、全メ
モリセルを選択状態にする。データ線の多重選択回路は
全データ線を選択し、これらのデータ線を介して一度に
全メモリセルにあらかじめ決めたデータを書き込めるよ
うにする。メモリセルを構成するコンデンサの一端の電
圧制御回路は、データ線を介して書き込まれた電圧の
内、高電圧側を昇圧し、書き込みレベルを補償する。こ
れによつて1度に全メモリセルの記憶データを書き替る
ことができるので、クリアモード動作の時間を著しく短
縮できる。 〔実施例〕 以下、本発明の第1の実施例を第1図により説明す
る。第1図(a)は本発明のメモリの主要回路を示して
いる。ここで矢印のついたMOS−FETはPチヤネルMOS−F
ET、矢印のないものはNチヤネルMOS−FETを表わす。メ
モリセルアレーMAはワード線W0,W1、データ線D0,▲
▼,D1,▲▼、メモリセルMCから成つている。メモリ
セルを構成するコンデンサの一端であるプレートPは、
メモリセルアレー外に取り出され、プレート電圧制御回
路PLに接続されている。ワード線の一端はXデコーダXD
ECに、他端はワード線多重選択回路WMに接続されてい
る。通常動作ではXデコーダが一本のワード線を駆動
し、クリアモード動作ではワード線多重選択回路が全ワ
ード線を駆動する。各データ線対にはセンスアンプSAが
接続され、メモリセル信号を増幅する。YデコーダYDEC
の出力端子は、データ線とデータ入出力線I/O,▲
▼間のトランスフアゲートに接続される。通常動作では
Yデコーダは1対のデータ線を選択し、クリアモード動
作では全データ線対を選択する。このようなYデコーダ
は、たとえば第1図(c)に示すような回路で構成でき
る。同図で、クリアモードにはいるとクリアモード制御
信号▲▼がLowレベルとなり、Yアドレス信号ay0
(▲▼)〜ay2(▲▼)に無関係にYデコ
ーダ出力信号Y0〜Y7をすべてHighレベルとする。これに
よりデータ線が多重選択される。なお、通常動作では▲
▼はHighレベルとなつており、Yデコーダ出力信
号Y0〜Y7は、Yアドレス信号に対応して1個のみHighレ
ベルとなる。 データ入出力線には各々トランスフアゲートを介し
て、データ出力アンプOPA、データ入力バフツアDiBが接
続されている。クリアモード動作ではデータ入出力線と
データ出力アンプが切りはなされ、データ入力バツフア
が接続される。これにより全メモリセルに書き込むデー
タが取り込まれる。 第1図(a)に示す回路の動作を第1図(b)の動作
波形を用いて説明する。クリアモードにはいるとクリア
モード制御信号▲▼がLowレベルとなる。▲
▼はクリアモード間のLowレベルとなつている。セン
スアンプ駆動信号▲▼,φPは、▲▼がLow
レベルの間、各々Highレベル、Lowレベルとなり、セン
スアンプをOFF状態にする。▲▼がLowレベルとな
ることにより、プレート電圧制御信号▲▼がLow
レベルとなり、プレート電圧制御回路PLは、出力電圧V
PLを1/2VCCから0Vまで低下させる。これによりプレート
Pの電圧は0Vとなる。次に▲▼がLowレベルとな
ることによりワード線多重選択制御信号▲▼が
Lowレベル,ワードクリア信号▲▼がHighレベル
となり、ワード線多重選択回路WMは、全ワード線W0,W1
を0VからVCC−VTのレベルに駆動する。これにより全メ
モリセルが選択される。なお、通常動作でのWMは、▲
▼がHighレベルを保持し、▲▼がメモリの
待機時Highレベル、動作時Lowレベルとなり、待機時に
ワード線電位をLowレベルにおさえる働きをする。Yデ
コーダは、先述したように▲▼がLowレベルの
間、すべての出力信号Y0,Y1をHighレベルとし、全デー
タ線D0,▲▼,D1,▲▼とデータ入出力線I/O,▲
▼を接続する。また、▲▼はデータ入出力
線I/O,▲▼とデータ入力バツフアDiBを接続す
る。したがつて、全メモリセルに書き込むデータDiはデ
ータ入力バツフアDiB、データ入出力線I/O,▲
▼、データD0,▲▼,D1,▲▼を通して全メモリ
セルに書き込まれる。この時、ワード線W0,W1の電圧VW
はVCC〜VT(〜4V)となつているため、メモリセルに書
き込まれるHighレベルのデータはVW〜VT(〜3V)、Low
レベルのデータは0Vとなる。この後、▲▼をHigh
レベルにすると、プレート電圧制御回路PLは、出力電圧
を0Vから1/2VCCまで上昇させる。これによりプレートP
の電圧は0Vから1/2VCCへ変化する。したがつて、Highレ
ベルを書き込まれたメモリセルの蓄積ノード1,3の電圧
は〜3V〜〜5Vまで上昇する。一方Lowレベルを書き込ま
れたメモリセルの蓄積ノード2,4は、データ線▲
▼,▲▼とつながつているのでその電圧は0Vのまま
である。この後▲▼がHighレベルとなり、全ワ
ード線W0,W1はLowレベルとなる。これにより全メモリセ
ルへのデータの書き込みが終了する。したがつて、メモ
リセルにはHighレベルデータとして〜5V、Lowレベルデ
ータとして0Vが蓄積される。この後、クリアモードが終
了となると▲▼がHighレベルになる。これにより
Yデコーダの多重選択はなくなり、Y0,Y1はLowレベルと
なる。また、メモリは待機状態となり、データ入出力線
I/O,▲▼、データ線D0,▲▼,D1,▲▼は
プリチヤージ状態になる。以上述べた動作により、全メ
モリセルにあらかじめ決めたデータが書き込まれ、全記
憶データの消去が完了する。 ところで、本発明の回路方式では1度に全メモリセル
にデータを書き込めるが、数百pF程度の大きなキヤパシ
タンスをもつプレートPの電圧を変化させるために過渡
電流等を考慮すると数μs〜数十μsの時間が必要であ
る。これは通常のメモリの動作サイクル時間(〜200n
s)を考慮すると、クリアモード動作には数十サイクル
以上のサイクル数を必要とすることを意味する。したが
つてクリアモード制御信号▲▼は、いくつかのサ
イクルにわたる信号となる。この信号は、たとえば▲
▼ before ▲▼リフレツシユモードのよう
に、メモリの外部制御信号▲▼,▲▼,▲
▼とアドレス信号Aiの組み合せによつて作ることが
できる。すなわち、上記信号の組み合せによつてセツト
信号,リセツト信号を作れば、数サイクルにわたつてLo
w(High)レベルを持つ信号を作ることができる。上記
セツト,リセツト信号のタイミングは、たとえば▲
▼信号の遷移のタイミングで決めることができる。ま
た、▲▼を受けて作られるプレート電圧制御信号
▲▼やワード線多重選択制御信号▲▼も
いくつかのサイクルにわたる信号となり、これはたとえ
ば第1図(d)に示すような回路で作ることができる。
同図は▲▼の発生回路で、▲▼信号によつ
て作られるチツプ内クロツク信号▲▼をカウントす
るカウンタCONと、その入出力信号を制御する論理ゲー
トで構成している。この回路の動作を第1図(e)の動
作波形を用いて説明する。▲▼がLowレベルとな
ると出力▲▼はLowレベルとなり、カウンタCONは
▲▼信号のカウントを開始する。あらかじめ決めた
カウント数に達すると、カウンタの出力φCOはLowレベ
ルとなり、▲▼はHighレベルとなる。その後、▲
▼がHighレベルとなるとカウンタはリセツトさ
れ、φCOをHighレベルとし、▲▼は▲▼に
よつてHighレベルを保持する。このように第1図(d)
の回路を用いることにより、▲▼,▲▼
信号も容易に作ることができる。 以上述べたように本実施例によれば、一度に全メモリ
セルにあらかじめ決めたデータを書き込めるため、従来
数百ms(1Mb DRAMの場合)必要であつたクリアモード
動作の時間を数μs〜数十μsまで短縮できる。したが
つて、本メモリを使つたシステムの性能を向上できる。
また、クリアモード時、全メモリセルに書き込むデータ
は、データ入力バツフアを通して入力できるので、任意
のデータを書き込むことができる。したがつて、システ
ム設計の自由度が増加する。さらに、データ入力バツフ
ア、データ入出力線を通してデータを書き込むので、メ
モリセルには論理的に“1"もしくは“0"のデータを書き
込むことができる。ワード線を多重選択する回路は、本
来ワード線を待機時Lowレベルに保つ回路を利用するの
でほぼレイアウト面積の増加なしに作ることができる。 本発明の第2の実施例を第2図を用いて説明する。本
実施例は、クリアモード時のメモリセルへの書き込みデ
ータをチツプ内に設けたデータセツト回路で作る点が第
1の実施例と異なり、その他は第1の実施例と同一であ
る。したがつて、第2図に示す回路構成は、第1図に示
す第1の実施例の回路構成と、クリアモード時の書き込
みデータを作るデータセツト回路SETがデータ入出力線I
/O,▲▼に接続されていること以外は同一であ
る。また、その動作もデータセツト回路およびデータ入
出力線I/O,▲▼とデータ出力アンプOPA、データ
入力バツフアDiB間のトランスフアゲートの制御以外は
同一である。 以下、本実施例をデータセツト回路SETの回路構成、
動作を中心に説明する。データセツト回路はφCL信号と
▲▼信号により、チツプ外部からみて全ビツト
“1"(ロジカル“1")もしくは全ビツト“0"(ロジカル
“0")のデータを作る。また、φCL信号と▲▼
信号により、メモリセルの蓄積ノードでみて全ビツト
“1"(フイジカル“1")もしくは全ビツト“0"(フイジ
カル“0")のデータを作る。次にこの回路の動作を説明
する。クリアモードにはいることによりクリアモード制
御信号▲▼がLowレベルになると、第1の実施例
で述べたように全センスアンプがOFF状態、メモリ
セルのプレートPの電圧が0V、全ワード線W0,W1がHig
hレベル(VCC−VT)、全Yデコーダ出力線Y0,Y1がHig
hレベルとなり、全メモリセルへデータが書き込める状
態となる。ここでデータ入出力線I/O,▲▼とデー
タ出力アンプOPA、データ入力バツフアDiBの関係をみる
と、▲▼がLowレベルになることにより、いずれ
の回路もデータ入出力線から分離される。したがつて、
▲▼もしくは▲▼信号がLowレベルと
なることによつてデータセツト回路SETからのデータが
メモリセルに書き込まれる。ここで、▲▼信号
をHighレベル、▲▼信号をLowレベル、φCL信
号をLowレベルとすると、全ビツトにロジカル“0"デー
タ(Lowレベルを“0"データとした場合)が書き込まれ
る。また、▲▼信号をLowレベル、▲
▼信号をHighレベル、φCL信号をLowレベルとすると全
ビツトにフイジカル“0"データが書き込まれる。以上の
動作によつてメモリセルにデータを書き込んだ後は第1
の実施例と同様の動作にてクリアモードを終了する。さ
て、本実施例ではクリアモード時にメモリセルに書き込
むデータは▲▼,▲▼,φCL信号の論
理和組み合せによつて決まる。この信号のレベルは、た
とえば▲▼信号と同じようにメモリの外部制御信
号▲▼,▲▼,▲▼とアドレス信号Ai
の組み合せによつて作ることができる。 以上述べたように本実施例によれば、クリアモードで
の動作時間を短縮できるとともに、クリアモード時に書
き込むデータ(ロジカルデータ,フイジカルデータ)を
自由に選択することができるのでユーザーのシステム設
計上の自由度を増すことができる。さらに、本実施例の
回路方式を使えば容易にフイジカルデータを書き込める
のでメモリのテスト時間を短縮することができる。 本発明の第3の実施例を第3図を用いて説明する。本
実施例は、クリアモード時のメモリセルへの書き込みデ
ータを専用のデータ入力配線CDi,▲▼を通してメ
モリセルに書き込む点が第1の実施例と異なり、その他
の回路構成、その動作は第1の実施例と同一である。 以下、本実施例を専用のデータ入力配線CDi,▲
▼の構成,動作を中心に説明する。CDi,▲▼は▲
▼信号によつて制御されるトランスフアゲート
を介してデータ線に接続する。クリアモードにはいり、
クリアモード制御信号▲▼がLowレベルになる
と、第1の実施例で述べたようにセンスアンプがOFF
状態、メモリセルのプレートPの電圧が0V、全ワー
ド線W0,W1が、Highレベル(VCC−TT)となる。この時、
データ入出力線I/O,▲▼とデータ出力アンプOP
A、データ入力バツフアDiBは分離されている。この後、
▲▼信号をLowレベルにするとメモリセルには
φCLに応じたデータが書き込まれる。メモリセルにデー
タが書き込まれた後は第1の実施例と同様の動作にてク
リアモードを終了する。さて、上記説明ではメモリセル
への書き込みデータはφCL信号であつたが、専用のデー
タ入力配線CDi,▲▼とデータ入力バツフアつなぐ
ことによりデータ入力バツフアで取り込んだデータを用
いることができる。 以上述べたように本実施例によれば、クリアモードで
の動作時間を短縮でき、本メモリを使つたシステムの性
能を向上できる。また、専用のデータ入力配線を用いる
ので、Yデコーダを多重選択する必要がなくなり、メモ
リ回路の設計が簡単になる。 本発明の第4の実施例を第4図を用いて説明する。本
実施例はワード線多重選択回路をバイポーラトランジス
タとMOS−FETを用いて構成したもので、その他の回路構
成、その動作は第1の実施例と同一である。本ワード線
多重選択回路は次のように動作する。クリアモードはい
ると、第1の実施例で述べたように▲▼信号はHi
ghレベルとなり、▲▼信号はLowレベルとな
る。▲▼信号がLowレベルになると、トランジ
スタQ1がON、Q2がOFF、M1がON、M2がOFFとなる。これに
より、トランジスタQ1とM1によりワード線W0,W1がHigh
レベル(VCC−VT)まで充電される。その後、第1の実
施例で述べたようにメモリセルのHighレベルがプレート
Pの電圧変化により昇圧された後、▲▼信号は
Highレベルとなる。▲▼信号がHighレベルとな
ると、トランジスタQ1がOFF、Q2がON、M1がOFF、M2がON
となる。これによりワード線W0,W1はLowレベル(0V)ま
で放電され、書き込む動作が終了する。 以上述べたように本実施例では、ワード線の多重選択
回路を駆動能力の高いバイポーラトランジスタを用いて
構成するので、MOS−FETだけで構成した場合に比べ、そ
のレイアウト面積を小さくできる。したがつてチツプサ
イズの増加をおさえることができる。 本発明の第5の実施例を第5図を用いて説明する。本
実施例はプレート電圧制御回路の別の実施例である。第
1の実施例で示したプレート電圧制御回路PLは、プレー
ト電圧制御信号▲▼によつて制御するMOS−FETが
出力ノードに設けられている。このため、通常動作では
(出力電圧VPL=1/2VCCの場合)上記MOS−FETが抵抗と
して働きプレートPの電圧変動が大きくなる。本実施例
では▲▼信号は出力段のトランジスタM3,M4を制
御するため上記問題はなくなる。すなわち、通常動作で
▲▼がHighレベルの場合、トランジスタM6,M7はO
FFのため出力電圧VPL=1/2VCCとなる。クリアモードに
はいり▲▼がLowレベルとなつた場合、トランジ
スタM6,M7はONとなるためトランジスタM3がOFF,M4はON,
M5がONとなり、出力電圧VPLは0Vとなる。その後▲
▼がHighレベルにもどると出力電圧VPLは1/2VCCにも
どる。以上述べたように本実施例ではVPLを出力段トラ
ンジスタM3,M4で制御するためプレート電圧の変動をお
さえることができる。 本発明の第6の実施例を第6図を用いて説明する。本
実施例はプレート電圧制御回路の別の実施例である。こ
の回路はバイポーラトランジスタとMOS−FETの組み合せ
で作つている。通常動作で▲▼がHighレベルの場
合、トランジスタM8がON,M9がOFF,Q6がOFFとなり、抵抗
R1,R2、トランジスタQ3,Q4,Q5により出力電圧VPLは1/2V
CCとなる。クリアモードにはいり▲▼がLowレベ
ルとなつた場合、トランジスタM8がOFF,M9がON,Q6がON
となるため出力電圧VPLは0Vとなる。その後▲▼
がHighレベルにもどると出力電圧VPLは1/2VCCにもど
る。このように本実施例では駆動能力の大きなバイポー
ラトランジスタを使つて出力電圧VPLを制御するので、
プレート電圧を変化させる時間を短縮できる。したがつ
て、クリアモード動作の時間を短縮でき、本メモリを使
つたシステムの性能を向上させることができる。 本発明の第7の実施例を第7図を用いて説明する。本
実施例はプレート電圧制御回路の別の実施例である。こ
のプレート電圧制御回路はMOS−FETで構成したプレート
電圧制御回路C1とバイポーラトランジスタおよびMOS−F
ETで構成したプレート電圧制御回路C2から成る。これら
の回路は、通常動作ではC1の回路がプレート電圧を供給
し、クリアモード動作時はC2の回路がプレート電圧を供
給するように動作する。この回路の動作を第7図(b)
の動作波形を用いて説明する。通常動作でクリアモード
制御信号▲▼がHighレベル、プレート電圧制御信
号▲▼がHighレベルの場合、トランジスタM18
がON,M19がOFFとなる。したがつて、プレート電圧VPLは
C1の回路により1/2VCCとなる。この時、▲▼が
HighレベルであるためC2の回路ではトランジスタM12がO
FF、M13がONとなり出力ノードAはLowレベルとなつてい
る。この後クリアモードにはいり、▲▼がLowレ
ベルとなると、トランジスタM18がOFF,M19がONとなる。
したがつて、プレートの電荷はトランジスタM13,Q10を
通して放電し、プレート電圧VPLは0Vとなる。次に▲
▼がLowレベルとなるとトランジスタM12がON,M13
がOFF,Q10がOFFとなり、プレート電圧VPLは1/2VCCに上
昇する。クリアモードが終了となり、▲▼がHigH
レベルとなるとトランジスタM18がON,M19がOFFとなる。
したがつて、プレート電圧VPLはC1の回路により1/2VCC
の電圧を保持する。その後▲▼がHighとなりノ
ードAを0Vにする。 以上述べたように本実施例では、クリアモード動作で
はプレート電圧をバイポーラトランジスタとMOS−FETで
構成した回路C2が供給するのでプレート電圧を変化させ
る時間を短縮できる。したがつて、クリアモードの動作
時間を短縮でき、システムの性能を向上させることがで
きる。また、通常動作ではプレート電圧をMOS−FETで構
成した回路C1で供給し、C2の回路はOFF状態とするので
トランジスタM12,Q7,Q8、抵抗R4,R5を通しての貫通電流
をなくすことができる。したがつて、メモリの消費電力
を低減できる。 本発明の第8の実施例を第8図を用いて説明する。第
8図はデータ入力バツフアを示している。この回路は通
常動作では入力データDiに対応して内部データdi,▲
▼を作る。クリアモードではクリアモード制御信号▲
▼がLowレベルに遷移するときの入力データDiを
ラツチし、内部データdi,▲▼とする。これは▲
▼がLowレベルの間保持する。本実施例によれば▲
▼がLowレベルに遷移するときのデータをラツチ
するので、クリアモードの動作の期間、チツプ外部から
の入力データを一定に保つ必要はない。したがつて、シ
ステムの設計の自由度を増すことができる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、1度に全メモリセルにあらかじめ決
めたデータを書き込めるので、従来数百ms必要であつた
クリアモードの動作時間を数μs〜数十μsまで短縮で
きる。また、メモリセルにHighレベルのデータを書き込
む際、ワード線電圧がVCCであってもメモリセルにはVCC
までの電圧が書き込まれるので、書き込みデータの信頼
性を確保できる。更に、クリアモード時のメモリセルへ
の書き込みデータをデータセット回路で作ることによ
り、クリアモード時に書き込むデータを自由に設定でき
るので、システムの自由度を増すことができる。したが
つて、本メモリを使つたシステムの性能を向上できる。
メモリセルに書き込み全メモリセルの記憶データを消去
する、いわゆるクリアモードの動作時間を短縮するのに
好適な回路方式に関する。 〔従来の技術〕 近年DRAMの用途が広がり、グラフイツク処理関係にも
使われるようになつている。このような用途のメモリで
は、あらかじめ決めたデータを全メモリセルに書き込ん
で全メモリセルの記憶データを消去する、いわゆるクリ
アモード動作が頻繁に行なわれる。しかし従来のメモリ
ではデータの読み出し,書き込みは1ビツト毎に行つて
いる。現在、DRAMではこの種のものが主流となつてい
る。この様なメモリではクリアモード動作の要求があつ
た場合、1ビツト毎にあらかじめ決めたデータを書き込
む必要が有り、クリアモード動作に多大な時間が必要と
なる。たとえば、1Mb DRAMの場合、クリアモード動作
時間は、サイクル時間を200nsとすると約0.2秒となる。
このように従来のメモリではクリアモード動作の時間を
短縮するための配慮がなされていなかつた。なお、この
種の装置として関連するものには例えば、アイ・イー・
イー・イー・ジヤーナル・ソリツド ステート サーキ
ツト,ボリユウム,エスシー−19,No.5(1984)pp619−
623(IEEE J.Solid−State Circuits,vol.SC−19,No.5
(1984)pp619−623)等が挙げられる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 前述したように、クリアモード動作の要求に対して、
従来のメモリでは1ビツト毎にあらかじめ決めたデータ
を書き込む必要があるため、クリアモード動作に多大の
時間を要し、システムの性能を低下させるという欠点が
あつた。 この様な問題は、特開昭62−6490号公報において、ワ
ード線及びデータ線を多重選択することで解決されてい
る。しかし、この場合のワード線電圧がVCCであると、
メモリセルにHighレベルのデータの書き込む際、メモリ
セルにはVCC−VTH(VTHはメモリセルを構成するMOS−FE
Tのしきい値電圧)の電圧しか書き込まれず、消去時デ
ータの信頼性にかけていた。 本発明の目的はクリアモード動作の時間を短縮したメ
モリを提供することにある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的は、クリアモード動作の期間、ワード線を多
重選択する回路と、データ線を多重選択する回路と、メ
モリセルを構成するコンデンサの一端の電圧を制御する
回路を設けることにより達成される。 〔作用〕 ワード線の多重選択回路は全ワード線を駆動し、全メ
モリセルを選択状態にする。データ線の多重選択回路は
全データ線を選択し、これらのデータ線を介して一度に
全メモリセルにあらかじめ決めたデータを書き込めるよ
うにする。メモリセルを構成するコンデンサの一端の電
圧制御回路は、データ線を介して書き込まれた電圧の
内、高電圧側を昇圧し、書き込みレベルを補償する。こ
れによつて1度に全メモリセルの記憶データを書き替る
ことができるので、クリアモード動作の時間を著しく短
縮できる。 〔実施例〕 以下、本発明の第1の実施例を第1図により説明す
る。第1図(a)は本発明のメモリの主要回路を示して
いる。ここで矢印のついたMOS−FETはPチヤネルMOS−F
ET、矢印のないものはNチヤネルMOS−FETを表わす。メ
モリセルアレーMAはワード線W0,W1、データ線D0,▲
▼,D1,▲▼、メモリセルMCから成つている。メモリ
セルを構成するコンデンサの一端であるプレートPは、
メモリセルアレー外に取り出され、プレート電圧制御回
路PLに接続されている。ワード線の一端はXデコーダXD
ECに、他端はワード線多重選択回路WMに接続されてい
る。通常動作ではXデコーダが一本のワード線を駆動
し、クリアモード動作ではワード線多重選択回路が全ワ
ード線を駆動する。各データ線対にはセンスアンプSAが
接続され、メモリセル信号を増幅する。YデコーダYDEC
の出力端子は、データ線とデータ入出力線I/O,▲
▼間のトランスフアゲートに接続される。通常動作では
Yデコーダは1対のデータ線を選択し、クリアモード動
作では全データ線対を選択する。このようなYデコーダ
は、たとえば第1図(c)に示すような回路で構成でき
る。同図で、クリアモードにはいるとクリアモード制御
信号▲▼がLowレベルとなり、Yアドレス信号ay0
(▲▼)〜ay2(▲▼)に無関係にYデコ
ーダ出力信号Y0〜Y7をすべてHighレベルとする。これに
よりデータ線が多重選択される。なお、通常動作では▲
▼はHighレベルとなつており、Yデコーダ出力信
号Y0〜Y7は、Yアドレス信号に対応して1個のみHighレ
ベルとなる。 データ入出力線には各々トランスフアゲートを介し
て、データ出力アンプOPA、データ入力バフツアDiBが接
続されている。クリアモード動作ではデータ入出力線と
データ出力アンプが切りはなされ、データ入力バツフア
が接続される。これにより全メモリセルに書き込むデー
タが取り込まれる。 第1図(a)に示す回路の動作を第1図(b)の動作
波形を用いて説明する。クリアモードにはいるとクリア
モード制御信号▲▼がLowレベルとなる。▲
▼はクリアモード間のLowレベルとなつている。セン
スアンプ駆動信号▲▼,φPは、▲▼がLow
レベルの間、各々Highレベル、Lowレベルとなり、セン
スアンプをOFF状態にする。▲▼がLowレベルとな
ることにより、プレート電圧制御信号▲▼がLow
レベルとなり、プレート電圧制御回路PLは、出力電圧V
PLを1/2VCCから0Vまで低下させる。これによりプレート
Pの電圧は0Vとなる。次に▲▼がLowレベルとな
ることによりワード線多重選択制御信号▲▼が
Lowレベル,ワードクリア信号▲▼がHighレベル
となり、ワード線多重選択回路WMは、全ワード線W0,W1
を0VからVCC−VTのレベルに駆動する。これにより全メ
モリセルが選択される。なお、通常動作でのWMは、▲
▼がHighレベルを保持し、▲▼がメモリの
待機時Highレベル、動作時Lowレベルとなり、待機時に
ワード線電位をLowレベルにおさえる働きをする。Yデ
コーダは、先述したように▲▼がLowレベルの
間、すべての出力信号Y0,Y1をHighレベルとし、全デー
タ線D0,▲▼,D1,▲▼とデータ入出力線I/O,▲
▼を接続する。また、▲▼はデータ入出力
線I/O,▲▼とデータ入力バツフアDiBを接続す
る。したがつて、全メモリセルに書き込むデータDiはデ
ータ入力バツフアDiB、データ入出力線I/O,▲
▼、データD0,▲▼,D1,▲▼を通して全メモリ
セルに書き込まれる。この時、ワード線W0,W1の電圧VW
はVCC〜VT(〜4V)となつているため、メモリセルに書
き込まれるHighレベルのデータはVW〜VT(〜3V)、Low
レベルのデータは0Vとなる。この後、▲▼をHigh
レベルにすると、プレート電圧制御回路PLは、出力電圧
を0Vから1/2VCCまで上昇させる。これによりプレートP
の電圧は0Vから1/2VCCへ変化する。したがつて、Highレ
ベルを書き込まれたメモリセルの蓄積ノード1,3の電圧
は〜3V〜〜5Vまで上昇する。一方Lowレベルを書き込ま
れたメモリセルの蓄積ノード2,4は、データ線▲
▼,▲▼とつながつているのでその電圧は0Vのまま
である。この後▲▼がHighレベルとなり、全ワ
ード線W0,W1はLowレベルとなる。これにより全メモリセ
ルへのデータの書き込みが終了する。したがつて、メモ
リセルにはHighレベルデータとして〜5V、Lowレベルデ
ータとして0Vが蓄積される。この後、クリアモードが終
了となると▲▼がHighレベルになる。これにより
Yデコーダの多重選択はなくなり、Y0,Y1はLowレベルと
なる。また、メモリは待機状態となり、データ入出力線
I/O,▲▼、データ線D0,▲▼,D1,▲▼は
プリチヤージ状態になる。以上述べた動作により、全メ
モリセルにあらかじめ決めたデータが書き込まれ、全記
憶データの消去が完了する。 ところで、本発明の回路方式では1度に全メモリセル
にデータを書き込めるが、数百pF程度の大きなキヤパシ
タンスをもつプレートPの電圧を変化させるために過渡
電流等を考慮すると数μs〜数十μsの時間が必要であ
る。これは通常のメモリの動作サイクル時間(〜200n
s)を考慮すると、クリアモード動作には数十サイクル
以上のサイクル数を必要とすることを意味する。したが
つてクリアモード制御信号▲▼は、いくつかのサ
イクルにわたる信号となる。この信号は、たとえば▲
▼ before ▲▼リフレツシユモードのよう
に、メモリの外部制御信号▲▼,▲▼,▲
▼とアドレス信号Aiの組み合せによつて作ることが
できる。すなわち、上記信号の組み合せによつてセツト
信号,リセツト信号を作れば、数サイクルにわたつてLo
w(High)レベルを持つ信号を作ることができる。上記
セツト,リセツト信号のタイミングは、たとえば▲
▼信号の遷移のタイミングで決めることができる。ま
た、▲▼を受けて作られるプレート電圧制御信号
▲▼やワード線多重選択制御信号▲▼も
いくつかのサイクルにわたる信号となり、これはたとえ
ば第1図(d)に示すような回路で作ることができる。
同図は▲▼の発生回路で、▲▼信号によつ
て作られるチツプ内クロツク信号▲▼をカウントす
るカウンタCONと、その入出力信号を制御する論理ゲー
トで構成している。この回路の動作を第1図(e)の動
作波形を用いて説明する。▲▼がLowレベルとな
ると出力▲▼はLowレベルとなり、カウンタCONは
▲▼信号のカウントを開始する。あらかじめ決めた
カウント数に達すると、カウンタの出力φCOはLowレベ
ルとなり、▲▼はHighレベルとなる。その後、▲
▼がHighレベルとなるとカウンタはリセツトさ
れ、φCOをHighレベルとし、▲▼は▲▼に
よつてHighレベルを保持する。このように第1図(d)
の回路を用いることにより、▲▼,▲▼
信号も容易に作ることができる。 以上述べたように本実施例によれば、一度に全メモリ
セルにあらかじめ決めたデータを書き込めるため、従来
数百ms(1Mb DRAMの場合)必要であつたクリアモード
動作の時間を数μs〜数十μsまで短縮できる。したが
つて、本メモリを使つたシステムの性能を向上できる。
また、クリアモード時、全メモリセルに書き込むデータ
は、データ入力バツフアを通して入力できるので、任意
のデータを書き込むことができる。したがつて、システ
ム設計の自由度が増加する。さらに、データ入力バツフ
ア、データ入出力線を通してデータを書き込むので、メ
モリセルには論理的に“1"もしくは“0"のデータを書き
込むことができる。ワード線を多重選択する回路は、本
来ワード線を待機時Lowレベルに保つ回路を利用するの
でほぼレイアウト面積の増加なしに作ることができる。 本発明の第2の実施例を第2図を用いて説明する。本
実施例は、クリアモード時のメモリセルへの書き込みデ
ータをチツプ内に設けたデータセツト回路で作る点が第
1の実施例と異なり、その他は第1の実施例と同一であ
る。したがつて、第2図に示す回路構成は、第1図に示
す第1の実施例の回路構成と、クリアモード時の書き込
みデータを作るデータセツト回路SETがデータ入出力線I
/O,▲▼に接続されていること以外は同一であ
る。また、その動作もデータセツト回路およびデータ入
出力線I/O,▲▼とデータ出力アンプOPA、データ
入力バツフアDiB間のトランスフアゲートの制御以外は
同一である。 以下、本実施例をデータセツト回路SETの回路構成、
動作を中心に説明する。データセツト回路はφCL信号と
▲▼信号により、チツプ外部からみて全ビツト
“1"(ロジカル“1")もしくは全ビツト“0"(ロジカル
“0")のデータを作る。また、φCL信号と▲▼
信号により、メモリセルの蓄積ノードでみて全ビツト
“1"(フイジカル“1")もしくは全ビツト“0"(フイジ
カル“0")のデータを作る。次にこの回路の動作を説明
する。クリアモードにはいることによりクリアモード制
御信号▲▼がLowレベルになると、第1の実施例
で述べたように全センスアンプがOFF状態、メモリ
セルのプレートPの電圧が0V、全ワード線W0,W1がHig
hレベル(VCC−VT)、全Yデコーダ出力線Y0,Y1がHig
hレベルとなり、全メモリセルへデータが書き込める状
態となる。ここでデータ入出力線I/O,▲▼とデー
タ出力アンプOPA、データ入力バツフアDiBの関係をみる
と、▲▼がLowレベルになることにより、いずれ
の回路もデータ入出力線から分離される。したがつて、
▲▼もしくは▲▼信号がLowレベルと
なることによつてデータセツト回路SETからのデータが
メモリセルに書き込まれる。ここで、▲▼信号
をHighレベル、▲▼信号をLowレベル、φCL信
号をLowレベルとすると、全ビツトにロジカル“0"デー
タ(Lowレベルを“0"データとした場合)が書き込まれ
る。また、▲▼信号をLowレベル、▲
▼信号をHighレベル、φCL信号をLowレベルとすると全
ビツトにフイジカル“0"データが書き込まれる。以上の
動作によつてメモリセルにデータを書き込んだ後は第1
の実施例と同様の動作にてクリアモードを終了する。さ
て、本実施例ではクリアモード時にメモリセルに書き込
むデータは▲▼,▲▼,φCL信号の論
理和組み合せによつて決まる。この信号のレベルは、た
とえば▲▼信号と同じようにメモリの外部制御信
号▲▼,▲▼,▲▼とアドレス信号Ai
の組み合せによつて作ることができる。 以上述べたように本実施例によれば、クリアモードで
の動作時間を短縮できるとともに、クリアモード時に書
き込むデータ(ロジカルデータ,フイジカルデータ)を
自由に選択することができるのでユーザーのシステム設
計上の自由度を増すことができる。さらに、本実施例の
回路方式を使えば容易にフイジカルデータを書き込める
のでメモリのテスト時間を短縮することができる。 本発明の第3の実施例を第3図を用いて説明する。本
実施例は、クリアモード時のメモリセルへの書き込みデ
ータを専用のデータ入力配線CDi,▲▼を通してメ
モリセルに書き込む点が第1の実施例と異なり、その他
の回路構成、その動作は第1の実施例と同一である。 以下、本実施例を専用のデータ入力配線CDi,▲
▼の構成,動作を中心に説明する。CDi,▲▼は▲
▼信号によつて制御されるトランスフアゲート
を介してデータ線に接続する。クリアモードにはいり、
クリアモード制御信号▲▼がLowレベルになる
と、第1の実施例で述べたようにセンスアンプがOFF
状態、メモリセルのプレートPの電圧が0V、全ワー
ド線W0,W1が、Highレベル(VCC−TT)となる。この時、
データ入出力線I/O,▲▼とデータ出力アンプOP
A、データ入力バツフアDiBは分離されている。この後、
▲▼信号をLowレベルにするとメモリセルには
φCLに応じたデータが書き込まれる。メモリセルにデー
タが書き込まれた後は第1の実施例と同様の動作にてク
リアモードを終了する。さて、上記説明ではメモリセル
への書き込みデータはφCL信号であつたが、専用のデー
タ入力配線CDi,▲▼とデータ入力バツフアつなぐ
ことによりデータ入力バツフアで取り込んだデータを用
いることができる。 以上述べたように本実施例によれば、クリアモードで
の動作時間を短縮でき、本メモリを使つたシステムの性
能を向上できる。また、専用のデータ入力配線を用いる
ので、Yデコーダを多重選択する必要がなくなり、メモ
リ回路の設計が簡単になる。 本発明の第4の実施例を第4図を用いて説明する。本
実施例はワード線多重選択回路をバイポーラトランジス
タとMOS−FETを用いて構成したもので、その他の回路構
成、その動作は第1の実施例と同一である。本ワード線
多重選択回路は次のように動作する。クリアモードはい
ると、第1の実施例で述べたように▲▼信号はHi
ghレベルとなり、▲▼信号はLowレベルとな
る。▲▼信号がLowレベルになると、トランジ
スタQ1がON、Q2がOFF、M1がON、M2がOFFとなる。これに
より、トランジスタQ1とM1によりワード線W0,W1がHigh
レベル(VCC−VT)まで充電される。その後、第1の実
施例で述べたようにメモリセルのHighレベルがプレート
Pの電圧変化により昇圧された後、▲▼信号は
Highレベルとなる。▲▼信号がHighレベルとな
ると、トランジスタQ1がOFF、Q2がON、M1がOFF、M2がON
となる。これによりワード線W0,W1はLowレベル(0V)ま
で放電され、書き込む動作が終了する。 以上述べたように本実施例では、ワード線の多重選択
回路を駆動能力の高いバイポーラトランジスタを用いて
構成するので、MOS−FETだけで構成した場合に比べ、そ
のレイアウト面積を小さくできる。したがつてチツプサ
イズの増加をおさえることができる。 本発明の第5の実施例を第5図を用いて説明する。本
実施例はプレート電圧制御回路の別の実施例である。第
1の実施例で示したプレート電圧制御回路PLは、プレー
ト電圧制御信号▲▼によつて制御するMOS−FETが
出力ノードに設けられている。このため、通常動作では
(出力電圧VPL=1/2VCCの場合)上記MOS−FETが抵抗と
して働きプレートPの電圧変動が大きくなる。本実施例
では▲▼信号は出力段のトランジスタM3,M4を制
御するため上記問題はなくなる。すなわち、通常動作で
▲▼がHighレベルの場合、トランジスタM6,M7はO
FFのため出力電圧VPL=1/2VCCとなる。クリアモードに
はいり▲▼がLowレベルとなつた場合、トランジ
スタM6,M7はONとなるためトランジスタM3がOFF,M4はON,
M5がONとなり、出力電圧VPLは0Vとなる。その後▲
▼がHighレベルにもどると出力電圧VPLは1/2VCCにも
どる。以上述べたように本実施例ではVPLを出力段トラ
ンジスタM3,M4で制御するためプレート電圧の変動をお
さえることができる。 本発明の第6の実施例を第6図を用いて説明する。本
実施例はプレート電圧制御回路の別の実施例である。こ
の回路はバイポーラトランジスタとMOS−FETの組み合せ
で作つている。通常動作で▲▼がHighレベルの場
合、トランジスタM8がON,M9がOFF,Q6がOFFとなり、抵抗
R1,R2、トランジスタQ3,Q4,Q5により出力電圧VPLは1/2V
CCとなる。クリアモードにはいり▲▼がLowレベ
ルとなつた場合、トランジスタM8がOFF,M9がON,Q6がON
となるため出力電圧VPLは0Vとなる。その後▲▼
がHighレベルにもどると出力電圧VPLは1/2VCCにもど
る。このように本実施例では駆動能力の大きなバイポー
ラトランジスタを使つて出力電圧VPLを制御するので、
プレート電圧を変化させる時間を短縮できる。したがつ
て、クリアモード動作の時間を短縮でき、本メモリを使
つたシステムの性能を向上させることができる。 本発明の第7の実施例を第7図を用いて説明する。本
実施例はプレート電圧制御回路の別の実施例である。こ
のプレート電圧制御回路はMOS−FETで構成したプレート
電圧制御回路C1とバイポーラトランジスタおよびMOS−F
ETで構成したプレート電圧制御回路C2から成る。これら
の回路は、通常動作ではC1の回路がプレート電圧を供給
し、クリアモード動作時はC2の回路がプレート電圧を供
給するように動作する。この回路の動作を第7図(b)
の動作波形を用いて説明する。通常動作でクリアモード
制御信号▲▼がHighレベル、プレート電圧制御信
号▲▼がHighレベルの場合、トランジスタM18
がON,M19がOFFとなる。したがつて、プレート電圧VPLは
C1の回路により1/2VCCとなる。この時、▲▼が
HighレベルであるためC2の回路ではトランジスタM12がO
FF、M13がONとなり出力ノードAはLowレベルとなつてい
る。この後クリアモードにはいり、▲▼がLowレ
ベルとなると、トランジスタM18がOFF,M19がONとなる。
したがつて、プレートの電荷はトランジスタM13,Q10を
通して放電し、プレート電圧VPLは0Vとなる。次に▲
▼がLowレベルとなるとトランジスタM12がON,M13
がOFF,Q10がOFFとなり、プレート電圧VPLは1/2VCCに上
昇する。クリアモードが終了となり、▲▼がHigH
レベルとなるとトランジスタM18がON,M19がOFFとなる。
したがつて、プレート電圧VPLはC1の回路により1/2VCC
の電圧を保持する。その後▲▼がHighとなりノ
ードAを0Vにする。 以上述べたように本実施例では、クリアモード動作で
はプレート電圧をバイポーラトランジスタとMOS−FETで
構成した回路C2が供給するのでプレート電圧を変化させ
る時間を短縮できる。したがつて、クリアモードの動作
時間を短縮でき、システムの性能を向上させることがで
きる。また、通常動作ではプレート電圧をMOS−FETで構
成した回路C1で供給し、C2の回路はOFF状態とするので
トランジスタM12,Q7,Q8、抵抗R4,R5を通しての貫通電流
をなくすことができる。したがつて、メモリの消費電力
を低減できる。 本発明の第8の実施例を第8図を用いて説明する。第
8図はデータ入力バツフアを示している。この回路は通
常動作では入力データDiに対応して内部データdi,▲
▼を作る。クリアモードではクリアモード制御信号▲
▼がLowレベルに遷移するときの入力データDiを
ラツチし、内部データdi,▲▼とする。これは▲
▼がLowレベルの間保持する。本実施例によれば▲
▼がLowレベルに遷移するときのデータをラツチ
するので、クリアモードの動作の期間、チツプ外部から
の入力データを一定に保つ必要はない。したがつて、シ
ステムの設計の自由度を増すことができる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、1度に全メモリセルにあらかじめ決
めたデータを書き込めるので、従来数百ms必要であつた
クリアモードの動作時間を数μs〜数十μsまで短縮で
きる。また、メモリセルにHighレベルのデータを書き込
む際、ワード線電圧がVCCであってもメモリセルにはVCC
までの電圧が書き込まれるので、書き込みデータの信頼
性を確保できる。更に、クリアモード時のメモリセルへ
の書き込みデータをデータセット回路で作ることによ
り、クリアモード時に書き込むデータを自由に設定でき
るので、システムの自由度を増すことができる。したが
つて、本メモリを使つたシステムの性能を向上できる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明の第1の実施例の回路図、第1図
(b)は第1の実施例の動作波形、第1図(c)は第1
の実施例のYデコーダ、第1図(d)は第1の実施例の
タイミングパルス発生回路、第1図(e)はタイミング
パルス発生回路の動作波形、第2図は本発明の第2の実
施例の回路図、第3図は本発明の第3の実施例の回路
図、第4図は本発明の第4の実施例の回路図、第5図は
本発明の第5の実施例の回路図、第6図は本発明の第6
の実施例の回路図、第7図(a)は本発明の第7の実施
例の回路図,第7図(b)は第7図(a)に示す回路の
動作波形、第8図は本発明の第8の実施例の回路図であ
る。 MA……メモリセルアレー、W0,W1……ワード線、D0,▲
▼,D1,▲▼……データ線、MC……メモリセル、P
……プレート、WM……ワード線多重選択回路、PL……プ
レート電圧制御回路、XDEC……Xデコーダ、YDEC……Y
デコーダ、SA……センスアンプ、DiB……データ入力バ
ツフア。
(b)は第1の実施例の動作波形、第1図(c)は第1
の実施例のYデコーダ、第1図(d)は第1の実施例の
タイミングパルス発生回路、第1図(e)はタイミング
パルス発生回路の動作波形、第2図は本発明の第2の実
施例の回路図、第3図は本発明の第3の実施例の回路
図、第4図は本発明の第4の実施例の回路図、第5図は
本発明の第5の実施例の回路図、第6図は本発明の第6
の実施例の回路図、第7図(a)は本発明の第7の実施
例の回路図,第7図(b)は第7図(a)に示す回路の
動作波形、第8図は本発明の第8の実施例の回路図であ
る。 MA……メモリセルアレー、W0,W1……ワード線、D0,▲
▼,D1,▲▼……データ線、MC……メモリセル、P
……プレート、WM……ワード線多重選択回路、PL……プ
レート電圧制御回路、XDEC……Xデコーダ、YDEC……Y
デコーダ、SA……センスアンプ、DiB……データ入力バ
ツフア。
フロントページの続き
(72)発明者 堀 陵一
東京都小平市上水本町1450番地 株式会
社日立製作所武蔵工場内
(56)参考文献 特開 昭62−264495(JP,A)
特開 昭63−25882(JP,A)
特開 昭62−6490(JP,A)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 1.それぞれが1個のMOS−FETと1個のコンデンサとを
有しマトリックス状に配置された複数のメモリセルと、
上記複数のメモリセルに接続された複数のワード線と、
上記複数のワード線と交差するとともに上記複数のメモ
リセルに接続された複数のデータ線とを有し、所定の動
作電圧を受けることにより動作する半導体メモリにおい
て、 上記複数のデータ線を多重選択し、該多重選択された複
数のデータ線が共通に接続された第1の配線を通して上
記複数のデータ線にロウレベルデータを書き込むための
接地電位またはハイレベルデータを書き込むための第1
電位のいずれかを一斉に印加するためのデータ線多重選
択手段と、 上記複数のワード線を多重選択して、該多重選択された
複数のワード線に上記第1電位を一斉に印加するための
ワード線多重選択手段と、 上記複数のメモリセルの各メモリセルを構成するコンデ
ンサのプレートに共通に接続された共通プレートを、上
記所定の動作電圧の略1/2の電圧である第2電位または
該第2電位よりも電圧の低い第3電位のいずれかに制御
するプレート電圧制御手段とを更に備え、 上記複数のメモリセルに所定のデータを一斉に書き込む
際に、上記ワード線多重選択手段及び上記データ線多重
選択手段を動作状態とし、上記プレート電圧制御手段
は、上記共通プレートを第2電位から上記第3電位とし
た後、再び上記第2電位とすることを特徴とする半導体
メモリ。 2.上記第1の配線には上記複数のメモリセルに記憶さ
せるべき記憶データを出力するデータセット回路が接続
され、上記データセット回路は外部からの信号の組合せ
により上記記憶データの内容を設定することを特徴とす
る特許請求の範囲第1項に記載の半導体メモリ。 3.上記第3電位は、上記接地電位であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の半導体メモリ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62305638A JP2680007B2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 半導体メモリ |
US07/278,025 US4965769A (en) | 1987-12-04 | 1988-11-30 | Semiconductor memory capable of high-speed data erasing |
KR1019880016103A KR930000898B1 (ko) | 1987-12-04 | 1988-12-03 | 고속으로 데이타를 소거할 수 있는 반도체 메모리 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62305638A JP2680007B2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 半導体メモリ |
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Family
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JP (1) | JP2680007B2 (ja) |
KR (1) | KR930000898B1 (ja) |
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