JPS59121691A - ダイナミツク型半導体記憶装置 - Google Patents
ダイナミツク型半導体記憶装置Info
- Publication number
- JPS59121691A JPS59121691A JP57211146A JP21114682A JPS59121691A JP S59121691 A JPS59121691 A JP S59121691A JP 57211146 A JP57211146 A JP 57211146A JP 21114682 A JP21114682 A JP 21114682A JP S59121691 A JPS59121691 A JP S59121691A
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- Japan
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- potential
- vcc
- period
- voltage
- voltage dividing
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- G—PHYSICS
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- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/4074—Power supply or voltage generation circuits, e.g. bias voltage generators, substrate voltage generators, back-up power, power control circuits
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、lトランジスタ1キヤパシタ型のダイナミッ
クメモリセルの対向電極を電源電圧と接地電位の中間電
位とする分圧回路を備えた半導体記憶装置に関し、特に
該分圧回路の分圧比をアクティブ時とスタンバイ時で異
ならせることにより、サイクルタイムが変化しても誤動
作しないようにしたものである。
クメモリセルの対向電極を電源電圧と接地電位の中間電
位とする分圧回路を備えた半導体記憶装置に関し、特に
該分圧回路の分圧比をアクティブ時とスタンバイ時で異
ならせることにより、サイクルタイムが変化しても誤動
作しないようにしたものである。
技術の背景
lトランジスタ1キヤパシタ型のダイナミックRAMで
は、当初セルの対向電極を電源電圧Vccまたは接地電
位Vssに設定してたが、最近ではVcc/2に設定す
る傾向にある。これは、高密度化に伴ない面積が縮小さ
れるセルの容量を、ゲート絶縁膜を薄くして増大しよう
とするために、該絶縁膜の耐圧が低下するからである。
は、当初セルの対向電極を電源電圧Vccまたは接地電
位Vssに設定してたが、最近ではVcc/2に設定す
る傾向にある。これは、高密度化に伴ない面積が縮小さ
れるセルの容量を、ゲート絶縁膜を薄くして増大しよう
とするために、該絶縁膜の耐圧が低下するからである。
従来技術と問題点
第1図はセルの対向電極OPをνcc/2に設定する分
圧回路1を備えた従来のダイナミックRAMで、WLは
ワード線、BL、BLはビット線対、SAはセンスアン
プ、2はMOSトランジスタQ+およびキャパシタC1
からなるメモリセルである。
圧回路1を備えた従来のダイナミックRAMで、WLは
ワード線、BL、BLはビット線対、SAはセンスアン
プ、2はMOSトランジスタQ+およびキャパシタC1
からなるメモリセルである。
分圧回路1は抵抗値の等しい2つの抵抗R1,R2をV
ccとVss間に直列に接続して、その中間接続点を対
向電極OPに接続したものである。対向電極OPは多数
のセルに共通であるため大面積であり、これと交叉する
ビット線、BL、BLとの間に大きな浮遊容量CpI、
CI)2を持つ。従って、対向電極OPの電位をVcc
/ 2に保つにはこれらの浮−遊容量と分圧回路l内
の抵抗との時定数が問題となる。勿論、この時定数は小
さいほど良い。
ccとVss間に直列に接続して、その中間接続点を対
向電極OPに接続したものである。対向電極OPは多数
のセルに共通であるため大面積であり、これと交叉する
ビット線、BL、BLとの間に大きな浮遊容量CpI、
CI)2を持つ。従って、対向電極OPの電位をVcc
/ 2に保つにはこれらの浮−遊容量と分圧回路l内
の抵抗との時定数が問題となる。勿論、この時定数は小
さいほど良い。
しかし、抵抗R1,R2に流れる電流はスタンノ\イ時
にも流れる電流であるからR1,R2を小さくすると消
費電流が増大する。このため従来はRIR2を高抵抗に
して消費電力の増大を避け、上述した時定数は犠牲にし
ている。
にも流れる電流であるからR1,R2を小さくすると消
費電流が増大する。このため従来はRIR2を高抵抗に
して消費電力の増大を避け、上述した時定数は犠牲にし
ている。
第2図、第3図は第1図の各部動作波形を示し、対向電
極の電位供給回路の時定数が大きいとどのような問題が
生しるかを示すものである。なお第1図のビット線口に
はダミーセルが接続されるが図示してない。RASはロ
ー(ROW)アドレスストローブで、これがL(ロー)
レベルになるとアクティブになり、選択ワード線WLの
電位が上昇してトランジスタQ1がオンする。ビット線
B L 、 1Lは共に初期状態はVccであるが、
キャパシタC1内の電荷の有無によるビ・ノド線BL。
極の電位供給回路の時定数が大きいとどのような問題が
生しるかを示すものである。なお第1図のビット線口に
はダミーセルが接続されるが図示してない。RASはロ
ー(ROW)アドレスストローブで、これがL(ロー)
レベルになるとアクティブになり、選択ワード線WLの
電位が上昇してトランジスタQ1がオンする。ビット線
B L 、 1Lは共に初期状態はVccであるが、
キャパシタC1内の電荷の有無によるビ・ノド線BL。
1〒の電位変化がセンスアンプSAで検出され増幅され
ると一方がVcc 、そして他方がVssになる。
ると一方がVcc 、そして他方がVssになる。
このとき対向電極OPの電位はVssに低下したビット
線(この場合「工)に寄生する浮遊容量CI)2を通し
てVcc / 2より低い電位に引込まれる。このとき
CI)2はOP側を正に充電し直される。スタンバイ期
間になるとB L −B L = Vccに戻るからこ
のとき、充電された該浮遊容量による突き上げが行なわ
れ、対向電極OPの電位はVcc / 2以上に増加す
る。アクティブ期間に入って低下した対向電極電位とV
cc / 2との電位差をΔVOPLとするとBL、B
Lが共にVccであるリセ・ノド期間の対向電極OPの
電位はVcc / 2よりΔVOPHだけ高い電位に引
き上げられ、アクティブ期間とスタンバイ期間かは−同
じ周期で交互に生じる場合はΔVOPH=ΔVOPLと
なり、平均電位はVcc /2に保たれる。第2図(B
)はこれを長期的に示し外ものである。
線(この場合「工)に寄生する浮遊容量CI)2を通し
てVcc / 2より低い電位に引込まれる。このとき
CI)2はOP側を正に充電し直される。スタンバイ期
間になるとB L −B L = Vccに戻るからこ
のとき、充電された該浮遊容量による突き上げが行なわ
れ、対向電極OPの電位はVcc / 2以上に増加す
る。アクティブ期間に入って低下した対向電極電位とV
cc / 2との電位差をΔVOPLとするとBL、B
Lが共にVccであるリセ・ノド期間の対向電極OPの
電位はVcc / 2よりΔVOPHだけ高い電位に引
き上げられ、アクティブ期間とスタンバイ期間かは−同
じ周期で交互に生じる場合はΔVOPH=ΔVOPLと
なり、平均電位はVcc /2に保たれる。第2図(B
)はこれを長期的に示し外ものである。
ところが、このRASのサイクルタイムが変化すると第
3図のようになる。同図(A)はりセント期間が長びい
たケースを示している。この場合は対向電極OPの電位
はやがてΔVOPH=O1つまりVcc / 2まで低
下してしまう。第3図(B)はこの状態から次のアクテ
ィブ期間に移行した場合の波形図で、破線のOP’ 、
BL’は対比するために示した第2図の場合の波形であ
る。対向電極OPの電位がVcc’ / 2+ΔVOP
Hではな(Vcc/2より開始したセンス動作では、第
2図(A)のケースに比しセル2内のノードN□(第1
図)の電位が低くなるのでハイレベル側のピッ1−IJ
IBLも若干放電して低くなり、期間Tで示す、センス
アンプSAによるセンス時のビット線ILL、BL間電
位差が小さく、誤動作の可能性が強くなる。
3図のようになる。同図(A)はりセント期間が長びい
たケースを示している。この場合は対向電極OPの電位
はやがてΔVOPH=O1つまりVcc / 2まで低
下してしまう。第3図(B)はこの状態から次のアクテ
ィブ期間に移行した場合の波形図で、破線のOP’ 、
BL’は対比するために示した第2図の場合の波形であ
る。対向電極OPの電位がVcc’ / 2+ΔVOP
Hではな(Vcc/2より開始したセンス動作では、第
2図(A)のケースに比しセル2内のノードN□(第1
図)の電位が低くなるのでハイレベル側のピッ1−IJ
IBLも若干放電して低くなり、期間Tで示す、センス
アンプSAによるセンス時のビット線ILL、BL間電
位差が小さく、誤動作の可能性が強くなる。
第3図(B)では僅かにBL>BLの関係が保たれてい
るので増幅によりB L # Vcc 、 B L =
Vssとなっているが、増幅前にBL<BLと判定さ
れれば両者の関係は逆転する。
るので増幅によりB L # Vcc 、 B L =
Vssとなっているが、増幅前にBL<BLと判定さ
れれば両者の関係は逆転する。
発明の目的
本発明は、分圧回路の設定値をVcc / 2に固定せ
ず、リセット(スタンバイ)期間にはそれよりΔVOP
H高い値に設定し、またアクティブ期間にはそれよりΔ
VOPL低い値に設定するように構成することで、上述
した問題点を解決しようとするものである。
ず、リセット(スタンバイ)期間にはそれよりΔVOP
H高い値に設定し、またアクティブ期間にはそれよりΔ
VOPL低い値に設定するように構成することで、上述
した問題点を解決しようとするものである。
発明の構成
本発明は、1トラシジスタ1キヤパシタ型のダイナミッ
ク型メモリセルの対向電極の電位を、電源電圧と接地電
位の中間電位に設定する分圧回路を備えたダイナミック
型半導体記憶装置において、該分圧回路により設定され
る分圧比を内部クロックにより切り換え可能な構成とし
たことを特徴とするが、以下図示の実施例を参照しなが
らこれを詳細に説明する。
ク型メモリセルの対向電極の電位を、電源電圧と接地電
位の中間電位に設定する分圧回路を備えたダイナミック
型半導体記憶装置において、該分圧回路により設定され
る分圧比を内部クロックにより切り換え可能な構成とし
たことを特徴とするが、以下図示の実施例を参照しなが
らこれを詳細に説明する。
発明の実施例
第4図は本発明の一実施例を示す回路図で、分圧回路1
に抵抗R3とMOS)ランシスタQ2を追加した点、お
よび抵抗R1〜R3の値を下式の様に設定した点が第1
図と異なる。トランジスタQ2はアクティブ期間にH1
スタンバイ期間にLとなるクロックφAで制御される。
に抵抗R3とMOS)ランシスタQ2を追加した点、お
よび抵抗R1〜R3の値を下式の様に設定した点が第1
図と異なる。トランジスタQ2はアクティブ期間にH1
スタンバイ期間にLとなるクロックφAで制御される。
従って、トランジスタQ2がオフのとき(リセット時)
は抵抗R+。
は抵抗R+。
R2だけで対向電極OPの電位が決定されるので、とな
るようにR1,R2の値を設定する。またトランジスタ
Q2がオンのときくアクティブ時)は抵抗R1〜R3で
対向電極OPの電位が決定されるので、 となる様にR3の値を設定する。(1)式から明らかな
ように本例ではR2>R1であり(第1図ではR1=R
2)、また(2)式からR4〈R1である。
るようにR1,R2の値を設定する。またトランジスタ
Q2がオンのときくアクティブ時)は抵抗R1〜R3で
対向電極OPの電位が決定されるので、 となる様にR3の値を設定する。(1)式から明らかな
ように本例ではR2>R1であり(第1図ではR1=R
2)、また(2)式からR4〈R1である。
第5図は動作波形図で、(A)はりセント期間が長い場
合、そして(B)はアクティブ期間が長い場合である。
合、そして(B)はアクティブ期間が長い場合である。
本例の分圧回路1はリセット期間にはV c c /
2+ΔV OP Hの分圧値を持ち、またアクティブ期
間にはV c c / 2ΔVOPLの分圧値を持つの
で、これらの期間が長くとも対向電極OPの電位がV
c c / 2に向って下降し、または上昇することは
ない。破線で示すOP”は第1図の回路によるものであ
る。尚、本発明の分圧回路を用いてもアクティブ、リセ
ット各期間かは\゛同じ周期で交互にやってくる場合は
第5図の左側の如(なり、第2図と同樺になって支障は
ない。対向電極OPの平均電位はVcc/2になり、耐
圧不足の問題も生じない。上記例では、リセット期間中
、対向電極OPが1 / 2 Vccより高(アクティ
ブ期間中1 / 2 Vccより低くなる場合について
の分圧回路について述べたが、本発明の目的はこの限り
でない。
2+ΔV OP Hの分圧値を持ち、またアクティブ期
間にはV c c / 2ΔVOPLの分圧値を持つの
で、これらの期間が長くとも対向電極OPの電位がV
c c / 2に向って下降し、または上昇することは
ない。破線で示すOP”は第1図の回路によるものであ
る。尚、本発明の分圧回路を用いてもアクティブ、リセ
ット各期間かは\゛同じ周期で交互にやってくる場合は
第5図の左側の如(なり、第2図と同樺になって支障は
ない。対向電極OPの平均電位はVcc/2になり、耐
圧不足の問題も生じない。上記例では、リセット期間中
、対向電極OPが1 / 2 Vccより高(アクティ
ブ期間中1 / 2 Vccより低くなる場合について
の分圧回路について述べたが、本発明の目的はこの限り
でない。
即ち、対向電極OPはビット線以外のノードにも多くの
容量をもち、これらのノードの動きにも伴い対向電極O
Pも変化するか、この対向電極0P(7)変化に一致す
るように分圧比を変える事が本発明の特徴である。これ
により第2図Aに示されたようなメモリの誤動作の原因
となるような対向電極の変動は防げる。
容量をもち、これらのノードの動きにも伴い対向電極O
Pも変化するか、この対向電極0P(7)変化に一致す
るように分圧比を変える事が本発明の特徴である。これ
により第2図Aに示されたようなメモリの誤動作の原因
となるような対向電極の変動は防げる。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、セルの対向電極の電
位をVccとVssO間に設定する分圧回路を備えたグ
イナミソク型半導体記憶装置において、該分圧回路の分
圧比を対向電極OPの変化に伴い切り換えることができ
るようにしたので、耐圧不足の問題を避けながらサイク
ルタイムが変動しても誤動作することがない利点がある
。
位をVccとVssO間に設定する分圧回路を備えたグ
イナミソク型半導体記憶装置において、該分圧回路の分
圧比を対向電極OPの変化に伴い切り換えることができ
るようにしたので、耐圧不足の問題を避けながらサイク
ルタイムが変動しても誤動作することがない利点がある
。
第1図は従来のグイナミソクRAMの要部回路図、第2
図は一定したサイクルタイムでの動作波形図、第3図は
サイクルタイムに変動がある場合の動作波形図、第4図
は本発明の一実施例を示す要部回路図、第5図はその動
作波形図である。 図中、1は分圧回路、2はメモリセル、OPはその対向
電極である。 出願人 冨士通株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔 第4図 EIL 配 手続補正書(自発) 1.事件の表示 昭和57年特許願第211146号 2、発明の名称 ダイナミック型半導体記憶装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 八F 神奈川県用崎市中原区士不田中1015番
地名称 (522)富士通株式会社 代表者 山 本 卓 眞 4、代理人 〒101 5、補正命令の日付 な し 6、補正により増加する発明の数 な し7、補正の
対象 明細書の特許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明
の欄 8、補正の内容 別紙のとおシ 別 紙 (1)明細書第1頁5行〜11行の特許請求の範囲を次
の様に補正する。 r 1)ランラスタ1キヤパシタ型のダイナミツ対の
ウチ、セルトランジスタに接続された側とは反対側の電
極の電位を、電源電圧と接地電位の中間電位に設定する
分圧回路を備え、該分圧p換える構成としたことを特徴
とするダイナミック型半導体記憶装置。」 (2)同第6頁4行〜9行の「1トランジスタ〜可能な
」を次の様に補正する。 「1トランジスタlキヤパシタ型のダイナミック型メモ
リセルにおけるキャパシタの対向電極対のうち、セルト
ランジスタに接続された側とは反対側の電極の電位を、
電源電圧と接地電位の中間電位に設定する分圧回路を備
え、該分圧回路の分圧比をアクティブ状態とスタンバイ
状態の切シ換えに応じて異なる値となるように切シ換え
る」
図は一定したサイクルタイムでの動作波形図、第3図は
サイクルタイムに変動がある場合の動作波形図、第4図
は本発明の一実施例を示す要部回路図、第5図はその動
作波形図である。 図中、1は分圧回路、2はメモリセル、OPはその対向
電極である。 出願人 冨士通株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔 第4図 EIL 配 手続補正書(自発) 1.事件の表示 昭和57年特許願第211146号 2、発明の名称 ダイナミック型半導体記憶装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 八F 神奈川県用崎市中原区士不田中1015番
地名称 (522)富士通株式会社 代表者 山 本 卓 眞 4、代理人 〒101 5、補正命令の日付 な し 6、補正により増加する発明の数 な し7、補正の
対象 明細書の特許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明
の欄 8、補正の内容 別紙のとおシ 別 紙 (1)明細書第1頁5行〜11行の特許請求の範囲を次
の様に補正する。 r 1)ランラスタ1キヤパシタ型のダイナミツ対の
ウチ、セルトランジスタに接続された側とは反対側の電
極の電位を、電源電圧と接地電位の中間電位に設定する
分圧回路を備え、該分圧p換える構成としたことを特徴
とするダイナミック型半導体記憶装置。」 (2)同第6頁4行〜9行の「1トランジスタ〜可能な
」を次の様に補正する。 「1トランジスタlキヤパシタ型のダイナミック型メモ
リセルにおけるキャパシタの対向電極対のうち、セルト
ランジスタに接続された側とは反対側の電極の電位を、
電源電圧と接地電位の中間電位に設定する分圧回路を備
え、該分圧回路の分圧比をアクティブ状態とスタンバイ
状態の切シ換えに応じて異なる値となるように切シ換え
る」
Claims (1)
- 1トランジスタ1キヤパシタ型のダイナミック型メモリ
セルの対向電極の電位を、電源電圧と接地電位の中間電
位に設定する分圧回路を備えたダイナミック型半導体記
憶装置において、該分圧回″路により設定される分圧比
を内部クロックにより切り換え可能な構成としたことを
特徴とするダイナミック型半導体記憶装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57211146A JPS59121691A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | ダイナミツク型半導体記憶装置 |
US06/555,891 US4578776A (en) | 1982-12-01 | 1983-11-28 | Dynamic semiconductor memory device |
DE8383307270T DE3379520D1 (en) | 1982-12-01 | 1983-11-29 | A dynamic semiconductor memory device |
EP83307270A EP0113187B1 (en) | 1982-12-01 | 1983-11-29 | A dynamic semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57211146A JPS59121691A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | ダイナミツク型半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59121691A true JPS59121691A (ja) | 1984-07-13 |
JPH0219558B2 JPH0219558B2 (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=16601138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57211146A Granted JPS59121691A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | ダイナミツク型半導体記憶装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4578776A (ja) |
EP (1) | EP0113187B1 (ja) |
JP (1) | JPS59121691A (ja) |
DE (1) | DE3379520D1 (ja) |
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JPH01149297A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Hitachi Ltd | 半導体メモリ |
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-
1982
- 1982-12-01 JP JP57211146A patent/JPS59121691A/ja active Granted
-
1983
- 1983-11-28 US US06/555,891 patent/US4578776A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-11-29 EP EP83307270A patent/EP0113187B1/en not_active Expired
- 1983-11-29 DE DE8383307270T patent/DE3379520D1/de not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6284490A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-17 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JPS6450296A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Toshiba Corp | Semiconductor integrated circuit device |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3379520D1 (en) | 1989-05-03 |
EP0113187B1 (en) | 1989-03-29 |
JPH0219558B2 (ja) | 1990-05-02 |
EP0113187A2 (en) | 1984-07-11 |
EP0113187A3 (en) | 1986-08-20 |
US4578776A (en) | 1986-03-25 |
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