JP2606563Y2 - フィルタユニット - Google Patents
フィルタユニットInfo
- Publication number
- JP2606563Y2 JP2606563Y2 JP1993054441U JP5444193U JP2606563Y2 JP 2606563 Y2 JP2606563 Y2 JP 2606563Y2 JP 1993054441 U JP1993054441 U JP 1993054441U JP 5444193 U JP5444193 U JP 5444193U JP 2606563 Y2 JP2606563 Y2 JP 2606563Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- chamber
- housing
- filter unit
- blower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、例えば半導体産業やバ
イオ産業において必要とされるクリーンルームに使用さ
れる空気清浄用のフィルタユニットに関する。
イオ産業において必要とされるクリーンルームに使用さ
れる空気清浄用のフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】上記クリーンルーム内に清浄な空気を供
給するため、送風機の下流側にチャンバ室を介してエア
フィルタが取り付けられたフィルタユニットが用いられ
ている。このような従来のフィルタユニットの構造を図
２を用いて説明すると、クリーンルーム（図示せず）に
固定される筐体ａ内に空気の流れ方向に沿って距離Ｈを
存して対峙するように２枚の仕切板ｂ・ｃを筐体ａの内
周面に溶接し、該２枚の仕切板ｂ・ｃに挟まれた空間を
チャンバ室ｄとする。そして、上流側の仕切板ｂの中央
部分にチャンバ室ｄに連通する送風機取付口ｅを設け、
該送風機取付口ｅに送風機ｆの吹出口を連結する。一
方、下流側の仕切板ｃの中央部分に開口部ｇを開設し、
該開口部ｇをチャンバ室ｄの外側から覆うようにエアフ
ィルタｈを取り付け、パンチングプレートｉからなる吹
出口から清浄な空気をクリーンルームへと供給するよう
にしている。
給するため、送風機の下流側にチャンバ室を介してエア
フィルタが取り付けられたフィルタユニットが用いられ
ている。このような従来のフィルタユニットの構造を図
２を用いて説明すると、クリーンルーム（図示せず）に
固定される筐体ａ内に空気の流れ方向に沿って距離Ｈを
存して対峙するように２枚の仕切板ｂ・ｃを筐体ａの内
周面に溶接し、該２枚の仕切板ｂ・ｃに挟まれた空間を
チャンバ室ｄとする。そして、上流側の仕切板ｂの中央
部分にチャンバ室ｄに連通する送風機取付口ｅを設け、
該送風機取付口ｅに送風機ｆの吹出口を連結する。一
方、下流側の仕切板ｃの中央部分に開口部ｇを開設し、
該開口部ｇをチャンバ室ｄの外側から覆うようにエアフ
ィルタｈを取り付け、パンチングプレートｉからなる吹
出口から清浄な空気をクリーンルームへと供給するよう
にしている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記従来のフィルタユ
ニットでは、チャンバ室ｄ内の気密を確保するために２
枚の仕切板ｂ・ｃの溶接部分をチャンバ室ｄの内側から
全周にわたってシリコンシール剤等を塗布しなければな
らない。ところが、この作業はエアフィルタｈを取り付
ける前に開口部ｇから手を挿入して行なわなければなら
ず、作業性が悪いため作業に長時間と熟練とを要すると
いう不具合がある。また、シール剤の塗布部分を確認し
づらいため、特に２枚の仕切板ｂ・ｃの間隔Ｈが短い場
合にはシール剤を完全に塗布できずチャンバ室ｄの気密
を確保できないおそれがある。そこで本考案は、上記の
問題点に鑑み、簡単に、かつ確実にチャンバ室の気密を
確保することのできるフィルタユニットを提供すること
を目的とする。
ニットでは、チャンバ室ｄ内の気密を確保するために２
枚の仕切板ｂ・ｃの溶接部分をチャンバ室ｄの内側から
全周にわたってシリコンシール剤等を塗布しなければな
らない。ところが、この作業はエアフィルタｈを取り付
ける前に開口部ｇから手を挿入して行なわなければなら
ず、作業性が悪いため作業に長時間と熟練とを要すると
いう不具合がある。また、シール剤の塗布部分を確認し
づらいため、特に２枚の仕切板ｂ・ｃの間隔Ｈが短い場
合にはシール剤を完全に塗布できずチャンバ室ｄの気密
を確保できないおそれがある。そこで本考案は、上記の
問題点に鑑み、簡単に、かつ確実にチャンバ室の気密を
確保することのできるフィルタユニットを提供すること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の考案は、筐体内に収容され、送風機の下
流側にチャンバ室を介してエアフィルタが取り付けられ
た構造のフィルタユニットにおいて、プレス加工等によ
り成形された継ぎ目のない有底筒状部材の内部空間をチ
ャンバ室にすると共に、筐体の内周面には、中央部分に
開口部を開設された仕切板を該筐体の内部空間を上流側
と下流側とに仕切る位置に設け、該開口部の下流側に
は、該開口部を覆うようにしてシール部材を介してエア
フィルタを取り付けると共に、該開口部の上流側には、
該開口部を覆うように有底筒状部材の開口部をシール部
材を介して連結し、さらに該有底筒状部材の底部の外方
に突設された送風機取付口には送風機の吹出口を連結し
てなるものであって、仕切板を、有底筒状部材、エアフ
ィルタ及び送風機を取り付けた状態で筐体内に着脱自在
に設けたことを特徴とする。
に、請求項１の考案は、筐体内に収容され、送風機の下
流側にチャンバ室を介してエアフィルタが取り付けられ
た構造のフィルタユニットにおいて、プレス加工等によ
り成形された継ぎ目のない有底筒状部材の内部空間をチ
ャンバ室にすると共に、筐体の内周面には、中央部分に
開口部を開設された仕切板を該筐体の内部空間を上流側
と下流側とに仕切る位置に設け、該開口部の下流側に
は、該開口部を覆うようにしてシール部材を介してエア
フィルタを取り付けると共に、該開口部の上流側には、
該開口部を覆うように有底筒状部材の開口部をシール部
材を介して連結し、さらに該有底筒状部材の底部の外方
に突設された送風機取付口には送風機の吹出口を連結し
てなるものであって、仕切板を、有底筒状部材、エアフ
ィルタ及び送風機を取り付けた状態で筐体内に着脱自在
に設けたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】チャンバ室をプレス加工等により成形した有底
筒状部材で形成することによりシール剤を塗布しなけれ
ばならないような溶接部分を無くし、この有底筒状部材
の開口部分にシール部材を介してエアフィルタを取り付
けることによりチャンバ室の気密を確保するようにし
た。そして、これらの作業を筐体外で行ない気密が確保
された状態で筐体内に取り付けるようにすることによ
り、作業性をより向上させるようにした。
筒状部材で形成することによりシール剤を塗布しなけれ
ばならないような溶接部分を無くし、この有底筒状部材
の開口部分にシール部材を介してエアフィルタを取り付
けることによりチャンバ室の気密を確保するようにし
た。そして、これらの作業を筐体外で行ない気密が確保
された状態で筐体内に取り付けるようにすることによ
り、作業性をより向上させるようにした。
【０００６】
【実施例】以下、本考案フィルタユニットの実施例を図
面に基づき説明する。図１を参照して、１はフィルタユ
ニットを格納する筐体であり、図外のクリーンルームに
固定されている。本考案によるフィルタユニットは該筐
体１の外で予め組み立てるもので、プレス加工により一
体に成形された継ぎ目のない有底筒状部材２を仕切板３
にビス４によりねじ留めすることにより組み立てる。こ
のねじ留めに際し、有底筒状部材２の開口部と仕切板３
との間にはシール部材５を介在させて気密を確保するよ
うにした。一方、筐体１の内周面には仕切板３の取付金
具であるブランケット６を予め溶接等により固定してお
き、有底筒状部材２を取り付けた状態の仕切板３を筐体
１の開口部８側から挿入して該ブランケット６に対して
ビス７により取り付けるようにした。
面に基づき説明する。図１を参照して、１はフィルタユ
ニットを格納する筐体であり、図外のクリーンルームに
固定されている。本考案によるフィルタユニットは該筐
体１の外で予め組み立てるもので、プレス加工により一
体に成形された継ぎ目のない有底筒状部材２を仕切板３
にビス４によりねじ留めすることにより組み立てる。こ
のねじ留めに際し、有底筒状部材２の開口部と仕切板３
との間にはシール部材５を介在させて気密を確保するよ
うにした。一方、筐体１の内周面には仕切板３の取付金
具であるブランケット６を予め溶接等により固定してお
き、有底筒状部材２を取り付けた状態の仕切板３を筐体
１の開口部８側から挿入して該ブランケット６に対して
ビス７により取り付けるようにした。
【０００７】ところで、上記有底筒状部材２の底部には
該有底筒状部材２の内部空間であるチャンバ室１０に連
通する送風機取付口９を突設し、該送風機取付口９に送
風機１１の吹出口を連結させた。また、仕切板３には予
めチャンバ室１０に対して開口する位置に開口部１３を
開設しておき、該開口部１３を介してチャンバ室１０に
臨むようにエアフィルタ１２を交換自在に取り付けるよ
うにした。そして、エアフィルタ１２を取り付けた後、
上記開口部８をパンチングプレート１４で覆い該パンチ
ングプレート１４の開口を吹出口としてクリーンルーム
内へ清浄な空気を供給するようにした。
該有底筒状部材２の内部空間であるチャンバ室１０に連
通する送風機取付口９を突設し、該送風機取付口９に送
風機１１の吹出口を連結させた。また、仕切板３には予
めチャンバ室１０に対して開口する位置に開口部１３を
開設しておき、該開口部１３を介してチャンバ室１０に
臨むようにエアフィルタ１２を交換自在に取り付けるよ
うにした。そして、エアフィルタ１２を取り付けた後、
上記開口部８をパンチングプレート１４で覆い該パンチ
ングプレート１４の開口を吹出口としてクリーンルーム
内へ清浄な空気を供給するようにした。
【０００８】上記構成によれば、チャンバ室１０は有底
筒状部材２を仕切板３に取り付けることにより形成され
るが、有底筒状部材２には上述のごとく継ぎ目がないの
でシール剤等を塗布する必要がなく、また仕切板３に対
して取り付ける際にシール部材５を介在させているので
確実に気密を確保することができる。そしてこの仕切板
３への取り付け作業を筐体１の外部で行なうことができ
るのできわめて容易に作業を行なうことができ、また、
チャンバ室１０の気密テストも容易に行なうことができ
る。
筒状部材２を仕切板３に取り付けることにより形成され
るが、有底筒状部材２には上述のごとく継ぎ目がないの
でシール剤等を塗布する必要がなく、また仕切板３に対
して取り付ける際にシール部材５を介在させているので
確実に気密を確保することができる。そしてこの仕切板
３への取り付け作業を筐体１の外部で行なうことができ
るのできわめて容易に作業を行なうことができ、また、
チャンバ室１０の気密テストも容易に行なうことができ
る。
【０００９】
【考案の効果】以上の説明から明らかなように、本考案
によれば、簡単な作業で、かつ熟練を有することなくチ
ャンバ室の気密を確実に確保することができる。また、
予めフィルタユニットを筐体外で組み立てることができ
るので、更に作業性が向上すると共に、チャンバ室の気
密テスト等を容易に行なえ、チャンバ室の気密に対する
信頼性を向上させることができる。
によれば、簡単な作業で、かつ熟練を有することなくチ
ャンバ室の気密を確実に確保することができる。また、
予めフィルタユニットを筐体外で組み立てることができ
るので、更に作業性が向上すると共に、チャンバ室の気
密テスト等を容易に行なえ、チャンバ室の気密に対する
信頼性を向上させることができる。
【図１】本考案の一実施例の構成を示す断面図
【図２】従来のフィルタユニットの構成を示す断面図
１ 筐体 ２ 有底筒状部材 ３ 仕切板 ５ シール部材 ９ 送風機取付口 １０ チャンバ室 １１ 送風機 １２ エアフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−214140（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 46/00 - 46/54 F24F 7/00 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】 筐体内に収容され、送風機の下流側に
チャンバ室を介してエアフィルタが取り付けられた構造
のフィルタユニットにおいて、プレス加工等により成形
された継ぎ目のない有底筒状部材の内部空間をチャンバ
室にすると共に、筐体の内周面には、中央部分に開口部
を開設された仕切板を該筐体の内部空間を上流側と下流
側とに仕切る位置に設け、該開口部の下流側には、該開
口部を覆うようにしてシール部材を介してエアフィルタ
を取り付けると共に、該開口部の上流側には、該開口部
を覆うように有底筒状部材の開口部をシール部材を介し
て連結し、さらに該有底筒状部材の底部の外方に突設さ
れた送風機取付口には送風機の吹出口を連結してなるも
のであって、仕切板を、有底筒状部材、エアフィルタ及
び送風機を取り付けた状態で筐体内に着脱自在に設けた
ことを特徴とするフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993054441U JP2606563Y2 (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993054441U JP2606563Y2 (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | フィルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0717319U JPH0717319U (ja) | 1995-03-28 |
| JP2606563Y2 true JP2606563Y2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=12970801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993054441U Expired - Fee Related JP2606563Y2 (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | フィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2606563Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5427854B2 (ja) * | 2011-08-29 | 2014-02-26 | 日本電産サーボ株式会社 | ファンフィルタユニット |
-
1993
- 1993-09-13 JP JP1993054441U patent/JP2606563Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0717319U (ja) | 1995-03-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000905 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |