JP2605865Y2 - Ccd素子収納用パッケージ - Google Patents

Ccd素子収納用パッケージ

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JP2605865Y2
JP2605865Y2 JP1992036497U JP3649792U JP2605865Y2 JP 2605865 Y2 JP2605865 Y2 JP 2605865Y2 JP 1992036497 U JP1992036497 U JP 1992036497U JP 3649792 U JP3649792 U JP 3649792U JP 2605865 Y2 JP2605865 Y2 JP 2605865Y2
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ceramic
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和男 大迫
利夫 上田平
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、ビデオカメラなどに用
いる、CCD素子を収納するためのパッケージに関す
る。
【0002】
【従来の技術】CCD素子収納用パッケージの構造は、
図1に示すように、セラミックスからなるベース10と
透光窓21を備えたキャップ20からなり、ベース10
にはCCD素子(不図示)を収納するためのキャビティ
部11を備えている。そして、これらのベース10、キ
ャップ20間に挟み込んだ外部リード(不図示)とCC
D素子の各電極をワイヤボンディングし、ベース10と
キャップ20をガラス封着することでCCD装置を構成
するようになっている。
【0003】これらのベース10、キャップ20は、例
えばAl2 3 を主成分とし、SiO2 、MgO、Ca
Oなどの焼結助剤やFe2 3 、Cr2 3 、TiO2
などの着色顔料などを含むアルミナセラミックスからな
り、このセラミック原料粉末を金型を用いたプレス成形
によって成形した後、所定条件で焼成してなるものであ
った。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】ところが、上記セラミ
ック製のベース10の製造工程中、焼成時に若干の反り
が発生することを避けられなかった。即ち、図7に示す
ように、焼成時にベース11の裏面12が凸状に反るた
めに、規準面40に対してベース10を安定させること
ができないといった課題があった。
【0005】そして、上記ベース10において、凸状に
反った裏面12の反り量が20μmを越えると、CCD
素子30の光軸がずれるという問題点があり、さらに裏
面12の反り量が50μmを越えると、製造工程中に真
空チャックでの吸収が困難になるという不都合がった。
【0006】このように、焼成時においてベースに反り
が発生することによって、製造上の歩留りが悪かった。
【0007】
【課題を解決するための手段】そこで、本考案は上記課
題に鑑み、CCD素子収納用パッケージを構成するセラ
ミック製ベースのキャビティ部と反対側の裏面周辺に、
上記ベースを支持する高さが10〜50μmの位置決め
用の突出部を形成したことを特徴とする。
【0008】
【実施例】以下、本考案実施例を図によって説明する。
【0009】図1に示すように、本考案のCCD素子収
納用パッケージは、セラミック製のベース10とセラミ
ック製のキャップ20からなり、上記ベース10にはC
CD素子(不図示)を収納するためのキャビティ部11
を有し、一方のキャップ20には透光窓21を備えてい
る。そして、この透光窓21を通してCCD素子に受光
し、画像を検出するようになっている。また、これらベ
ース10とキャップ20間に挟み込む外部リード(不図
示)とCCD素子の電極間をワイヤボンディングし、ベ
ース10とキャップ20をガラス封着することでCCD
装置を構成することができる。
【0010】なお、ベース10、キャップ20は、アル
ミナ、窒化アルミニウムなどのセラミックスからなり、
透光窓21はガラス、サファイア、透光性アルミナなど
の透明体からなっている。
【0011】また、上記ベース10は、図2に底面図と
中央断面図をそれぞれ示すように、裏面12の四隅に位
置決め用の突出部13を有しており、そのため中央部1
4が凹形状となっている。したがって、このベース10
を規準面40上に載置すると、四隅の突出部13でベー
スを安定して支持することができるため、CCD素子3
0の光軸Lを安定させることができる。また、ベース1
0の焼成時に、裏面12が凸状に反ったとしても、上記
四隅の突出部13の高さ(凹凸高さ)Hの範囲内であれ
ば、CCD素子30の光軸L大きなズレは生じないた
め、不良品とはならず、焼成時の歩留りを高くできる。
なお、このような効果を奏するためには、通常ベース1
0に発生する反りの大きさが最大50μm程度であるこ
とから、上記四隅の突出部13の高さHを10〜50μ
mとすればよい。また、突出部13の幅A,Bはそれぞ
れ2.0〜5.0μmの範囲内とすることが望ましい。
【0012】なお、図2の例では、突出部13として錐
状体を四隅に形成したのものを示したが、この形状に限
らず、例えば図3に示すように球面状の突出部13を3
個形成したものでもよい。さらに、図示していないが対
抗する2辺に沿って二つの突出部を形成することもでき
る。
【0013】また、上記ベース10、キャップ20はい
ずれもセラミックスのプレス成形により形成することが
できる。ベース10の成形方法は、図4に示すように、
ダイス41と下パンチ42、43で形成される空間にセ
ラミック原料粉末45を充填し、上パンチ44で加圧す
ることによって得られる。このとき、上パンチ44の四
隅44aを面取り形状としておくことによって、この上
パンチ44でプレス成形すると、得られた成形体は図2
に示すように四隅に突出部13を有する形状となる。
【0014】また、このようにして得られた成形体を焼
成する場合は、棚板上でキャビティ部11側を下にして
載置し、焼成することによって、上記裏面12に形成さ
れた突出部13を残すことができる。このようにして得
られたセラミック製ベース10は、裏面12の中央部1
4が凹形状でその凹凸高さHが10〜50μmとなり、
かつキャビティ部1a側の平面度を0〜20μmとする
ことができる。
【0015】次に本考案の他の実施例について説明す
る。
【0016】図5にセラミック製ベース10のみを示す
ように、このベース10はCCD素子30を収納するキ
ャビティ部11を有し、このキャビティ部11と反対側
の裏面12は、中央部14が滑らかな凹曲面となってい
る。したがって、このベース10を規準面40上に載置
すると、ベース10の周辺の突出部15のみで支持され
るため、がたつきがなく、CCD素子30の光軸Lを安
定させることができる。また、ベース10の焼成時に反
りが発生しても、裏面12の凹凸高さHの範囲内であれ
ば、光軸Lの大きなズレは生じない。なお、通常ベース
10に発生する反りの大きさは最大50μm程度である
ため、裏面12の凹凸高さHを10〜50μmとすれば
よい。
【0017】上記図4に示すベース10のプレス成形方
法は、図6に示すように、ダイス41と下パンチ42、
43で形成される空間にセラミック原料粉末45を充填
し、上パンチ44で加圧することによって得られる。こ
のとき、上パンチ44の中央部44bを滑らかに突出し
た形状としておくことによって、この上パンチ44でプ
レス成形すると、得られた成形体は、図5に示すように
中央部14が滑らかな凹曲面となる。
【0018】この成形体を焼成する場合は、棚板上でキ
ャビティ部11側を下にして載置し、焼成することによ
って、上記裏面12に形成された凹曲面を残すことがで
きる。このようにして得られたベース10は、裏面12
の中央部14が凹曲面でその凹凸高さHが10〜50μ
mとなり、その結果キャビティ部11側の表面の平面度
を0〜20μmとすることができる。
【0019】また、以上の実施例では、セラミックスの
プレス成形時にベース10の裏面12に突出部13、1
5を成形したものを示したが、これに限らず、例えばプ
レス成形時にはベース10の裏面12は平坦面としてお
いて、焼成時に裏面12の中央部14が凹形状となるよ
うに反りを発生させたり、あるいは別部材を取り付けて
突出部とすることもできる。
【0020】実験例本考案実施例として、図2に示す形
状のベース10をアルミナセラミックスで試作した。図
4に示すような四隅44aに面取りを施した上パンチ4
4でプレス成形し、キャビティ部11を下側にして棚板
上に載置し、焼成することで、ベース10を得た。
【0021】これに対し、比較例として、四隅に面取り
を施さない上パンチ44を用いてプレス成形したもの
や、焼成時にキャビティ部11を上側にして棚板上に載
置したものなどを試作した。これらについて、ベース1
0の形状、裏面12の凹凸高さ、キャビティ部11側の
表面の平面度などを調べる実験を行った。
【0022】結果は表1に示す通りである。なお、表1
において、ベースの形状とは、ベース10の裏面12が
凹形状となっているものを○、そうでないものを×とし
た。また、裏面の反り値とは、裏面12の中央部が周辺
部に対して0〜50μmの範囲で窪んでいるものを○、
そうでないものを×とした。さらに、表面の平面度と
は、キャビティ部11側の表面の平面度が20μm以下
のものを○とし、そうでないものを×とした。
【0023】この結果から明らかに、四隅に面取り44
aを有する上パンチ44を用い、キャビティ部11を下
側にして焼成した得た本考案のセラミック製ベースは、
裏面12の中央部が周辺部に対して0〜50μmの範囲
で窪んでおり、かつキャビティ部11側の表面の平面度
を20μm以下とできることがわかる。
【0024】
【表1】
【0025】また、図5に示す形状のものについても同
様の実験を行ったところ、上記実験例と同様の結果であ
った。
【0026】以上のように、本考案によれば、CCD素
子収納用パッケージを構成するセラミック製ベースにお
いて、キャビティ部と反対側の裏面周辺に、上記ベース
を支持する高さが10〜50μmの位置決め用の突出部
を形成したことにより、製造工程中に反りが発生し、ベ
ースの裏面が凸状に反ったとしても、ベースの周辺に設
けた位置決め用の突出部によって安定した支持が可能で
ある。その為、キャビティ部に収納されたCCD素子の
光軸がずれたり、不安定になったりすることがなく、高
性能のCCD素子収納用パッケージを提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的なCCD素子収納用パッケージを示す分
解斜視図である。
【図2】(A)は本考案のCCD素子収納用パッケージ
を構成するベースの底面図、(B)は(A)中のX−X
線断面図である。
【図3】本考案のCCD素子収納用パッケージを構成す
るベースの底面図である。
【図4】図2に示すベースの製造方法を説明するための
図である。
【図5】(A)は本考案の他の実施例のCCD素子収納
用パッケージを構成するベースの底面図、(B)は
(A)中のY−Y線断面図である。
【図6】図4に示すベースの製造方法を説明するための
図である。
【図7】従来のCCD素子収納用パッケージを構成する
ベースの断面図である。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】CCD素子を収納するためのキャビティ部
    を有するセラミック製ベースと、該ベースを覆うセラミ
    ック製キャップとからなり、上記セラミック製ベースの
    キャビティ部と反対側の裏面周辺に、前記ベースを支持
    する高さが10〜50μmの位置決め用の突出部を設け
    たことを特徴とするCCD素子収納用パッケージ。
JP1992036497U 1992-05-29 1992-05-29 Ccd素子収納用パッケージ Expired - Fee Related JP2605865Y2 (ja)

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