JP2601594B2 - ウェハー製造方法およびその装置 - Google Patents
ウェハー製造方法およびその装置Info
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- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0094—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
- B23Q7/04—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting by means of grippers
- B23Q7/047—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting by means of grippers the gripper supporting the workpiece during machining
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- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はウェハー製造方法およ
びその装置に関し、特にインゴットから切り出されるウ
ェハーを継続的に取り出すチャックアセンブリ駆動機構
の改良に関する。
びその装置に関し、特にインゴットから切り出されるウ
ェハーを継続的に取り出すチャックアセンブリ駆動機構
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、結晶体等のインゴットか
ら正確にウェハーを製造する装置には各種のものがあ
る。一般に、結晶体としてはシリコンやゲルマニウム等
があり、これらは、半導体産業で使用されるものであ
る。半導体等に使用する場合、結晶体から切り出された
ウェハーは、精度が高く表面が滑らかでなくてはならな
い。
ら正確にウェハーを製造する装置には各種のものがあ
る。一般に、結晶体としてはシリコンやゲルマニウム等
があり、これらは、半導体産業で使用されるものであ
る。半導体等に使用する場合、結晶体から切り出された
ウェハーは、精度が高く表面が滑らかでなくてはならな
い。
【０００３】現在までに、円柱状などの結晶体を切断し
て、薄い板状のウェハーに形成するために、数多くの装
置が考案されてきた。これらの切断装置の多くは、環状
の切断部材を使用し、その環状部材の円形開口部の周縁
部に刃を形成した。こうした切断装置では、結晶体は開
口部の内側に向けて配設され、結晶体を環状切断部材に
対して移動させるか、逆に環状切断部材を結晶体に対し
て移動させるかして、ウェハーを切り出している。しか
し、これらの装置では、結晶体から切り出されるウェハ
ーは比較的精度が高く、表面も滑らかであるが、切断し
たウェハーの取り出しに困難を伴い常に信頼できるとい
うものではなかった。例えば、米国特許第 3,577,861号
に開示されている装置は、結晶体を垂直に配し、環状の
切断部材を水平に配した形式のものである。このような
装置に使用されているウェハー回収すなわち取り出し装
置は、結晶体及び切断部材の下方に位置して切り出され
たウェハーを初めに受け取り保持する第１の吸引部材
と、結晶体の端面の範囲外で環状切断部材の上方に設け
られ、第１の吸引部材からウェハーを受け取る第２の吸
引部材を有する。しかし、このような回収装置では、結
晶体から切り出されたウェハーの回収や、ウェハーを第
１の吸引部材から第２の吸引部材へ移す操作を効果的に
行なうために、多数の部材のタイミングを合わせたり正
確に位置決めしたりする必要がある。
て、薄い板状のウェハーに形成するために、数多くの装
置が考案されてきた。これらの切断装置の多くは、環状
の切断部材を使用し、その環状部材の円形開口部の周縁
部に刃を形成した。こうした切断装置では、結晶体は開
口部の内側に向けて配設され、結晶体を環状切断部材に
対して移動させるか、逆に環状切断部材を結晶体に対し
て移動させるかして、ウェハーを切り出している。しか
し、これらの装置では、結晶体から切り出されるウェハ
ーは比較的精度が高く、表面も滑らかであるが、切断し
たウェハーの取り出しに困難を伴い常に信頼できるとい
うものではなかった。例えば、米国特許第 3,577,861号
に開示されている装置は、結晶体を垂直に配し、環状の
切断部材を水平に配した形式のものである。このような
装置に使用されているウェハー回収すなわち取り出し装
置は、結晶体及び切断部材の下方に位置して切り出され
たウェハーを初めに受け取り保持する第１の吸引部材
と、結晶体の端面の範囲外で環状切断部材の上方に設け
られ、第１の吸引部材からウェハーを受け取る第２の吸
引部材を有する。しかし、このような回収装置では、結
晶体から切り出されたウェハーの回収や、ウェハーを第
１の吸引部材から第２の吸引部材へ移す操作を効果的に
行なうために、多数の部材のタイミングを合わせたり正
確に位置決めしたりする必要がある。
【０００４】さらに第１吸引部材と第２吸引部材とを１
つにまとめたものもあるが、吸引部材のウェハー取出し
時の移動が例えば１８０゜に近い回動と水平移動とを含
み、回転する切断部材の狭い下側からその円形開口部を
通してウェハーを回収するのには依然としてかなりの困
難を伴うものであった。その他に、結晶体を水平に配
し、環状の切断部材を垂直に配した形式の装置もある。
この場合の回収装置は、１つの吸引部材を有し、この吸
引部材がまず切り出されたウェハーを把持し、次いでこ
のウェハーをすべり板上に落し、ここからウェハーはコ
ンベアベルト上に滑り落ちて、装置の外へ移送されると
いうものである。しかし、この場合、ウェハーは移送中
にすり傷を受けたり破損し易い。その他に、環状の切断
部材を中空のシャフト上に配して、切り出されたウェハ
ーをこのシャフトのボア内を通して回収できるようにし
た装置もある。しかし、このような装置では、装置自体
が複雑になると共に、装置が大きくなるため多くのスペ
ースを必要とする。
つにまとめたものもあるが、吸引部材のウェハー取出し
時の移動が例えば１８０゜に近い回動と水平移動とを含
み、回転する切断部材の狭い下側からその円形開口部を
通してウェハーを回収するのには依然としてかなりの困
難を伴うものであった。その他に、結晶体を水平に配
し、環状の切断部材を垂直に配した形式の装置もある。
この場合の回収装置は、１つの吸引部材を有し、この吸
引部材がまず切り出されたウェハーを把持し、次いでこ
のウェハーをすべり板上に落し、ここからウェハーはコ
ンベアベルト上に滑り落ちて、装置の外へ移送されると
いうものである。しかし、この場合、ウェハーは移送中
にすり傷を受けたり破損し易い。その他に、環状の切断
部材を中空のシャフト上に配して、切り出されたウェハ
ーをこのシャフトのボア内を通して回収できるようにし
た装置もある。しかし、このような装置では、装置自体
が複雑になると共に、装置が大きくなるため多くのスペ
ースを必要とする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の第１の目的
はインゴットから切り出されたウェハーを吸着式ヘッド
を用いて比較的簡単な動作でしかも傷付けることなく、
搬出コンベアベルト上に回収することができるウェハー
製造方法および装置を提供することである。この発明の
別の目的は、内側に形成したボアの周縁に刃を有する回
転式の切断ブレードを使用して、これに直交配置の結晶
体からウェハーを切り出し、かつ、前記ボアを通して切
り出したウェハーを逆側の搬出位置まで結晶体の中心軸
線を含む面内で移動することができるウェハー製造装置
を提供することである。
はインゴットから切り出されたウェハーを吸着式ヘッド
を用いて比較的簡単な動作でしかも傷付けることなく、
搬出コンベアベルト上に回収することができるウェハー
製造方法および装置を提供することである。この発明の
別の目的は、内側に形成したボアの周縁に刃を有する回
転式の切断ブレードを使用して、これに直交配置の結晶
体からウェハーを切り出し、かつ、前記ボアを通して切
り出したウェハーを逆側の搬出位置まで結晶体の中心軸
線を含む面内で移動することができるウェハー製造装置
を提供することである。
【０００６】この発明の別の目的は、ウェハー製造装置
を小形化してより経済的に結晶体からウェハーを切り出
すことができる装置を提供することである。この発明の
別の目的は、ウェハーを移動回収するための吸着式ヘッ
ドを切り出されるウェハーに対面させるとき、ウェハー
の直径および／または厚さの変更に適応することのでき
るウェハー製造方法および装置を提供することである。
さらにこの発明の別の目的は、使用し易く配置された各
種の作動装置を、一人のオペレータが操作できるウェハ
ー製造装置を提供することである。
を小形化してより経済的に結晶体からウェハーを切り出
すことができる装置を提供することである。この発明の
別の目的は、ウェハーを移動回収するための吸着式ヘッ
ドを切り出されるウェハーに対面させるとき、ウェハー
の直径および／または厚さの変更に適応することのでき
るウェハー製造方法および装置を提供することである。
さらにこの発明の別の目的は、使用し易く配置された各
種の作動装置を、一人のオペレータが操作できるウェハ
ー製造装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】要約すると、この発明の
装置は、中心のボア周縁に刃を有する回転式切断ブレー
ドをその面の方向に移動する切断装置と、切断ブレード
のボア内にインゴットを直交状に送入するインゴット送
り装置とを有するウェハー製造装置において、インゴッ
トの先端部から切り出されたウェハーを吸引保持するた
めのヘッドを有するチャックアセンブリと、切断ブレー
ドの一方側の静止位置と切断ブレードの他方側に位置す
るウェハー保持位置との間でヘッドをインゴットの中心
軸線を含む面内で移動させる装置とを含んで成り、さら
に詳しくは、このヘッドを移動させる装置が、本体フレ
ームに設けられ切断ブレードに平行な方向のガイドに沿
って往復移動可能な支持体と、この支持体に一対のシャ
フトを介して取付けられたスライドと、スライドをこの
シャフトに沿って所定距離往復動させる駆動機構と、該
シャフトに直角なロッドを介してスライドに回動可能に
取付けられたアームアセンブリと、アームアセンブリを
所定角度回動させるためのシリンダ機構と、アームアセ
ンブリから延出され前記チャックアセンブリをその先端
に取付けた中空アームとを有して構成できる。
装置は、中心のボア周縁に刃を有する回転式切断ブレー
ドをその面の方向に移動する切断装置と、切断ブレード
のボア内にインゴットを直交状に送入するインゴット送
り装置とを有するウェハー製造装置において、インゴッ
トの先端部から切り出されたウェハーを吸引保持するた
めのヘッドを有するチャックアセンブリと、切断ブレー
ドの一方側の静止位置と切断ブレードの他方側に位置す
るウェハー保持位置との間でヘッドをインゴットの中心
軸線を含む面内で移動させる装置とを含んで成り、さら
に詳しくは、このヘッドを移動させる装置が、本体フレ
ームに設けられ切断ブレードに平行な方向のガイドに沿
って往復移動可能な支持体と、この支持体に一対のシャ
フトを介して取付けられたスライドと、スライドをこの
シャフトに沿って所定距離往復動させる駆動機構と、該
シャフトに直角なロッドを介してスライドに回動可能に
取付けられたアームアセンブリと、アームアセンブリを
所定角度回動させるためのシリンダ機構と、アームアセ
ンブリから延出され前記チャックアセンブリをその先端
に取付けた中空アームとを有して構成できる。
【０００８】支持体はモータで回転されるねじ付シャフ
トに係合していて、切断ブレードに平行な方向に移動さ
れる。スライドを前記一対のシャフトに沿って往復動さ
せる駆動機構は、この一対のシャフトに平行して設けら
れたエアシリンダと、このエアシリンダをウェハーの厚
さに応じて所要ストローク作動させるためのマイクロメ
ータ機構とを含む。従って本発明のウェハー製造装置で
は、切り出されるウェハーの厚さや直径に応じて、吸着
ヘッドをウェハー保持位置でウェハー端面に平行な方向
と直角な方向に小移動可能で、一般に薄いウェハーに対
しても吸引把持を正しく行なうことができる。
トに係合していて、切断ブレードに平行な方向に移動さ
れる。スライドを前記一対のシャフトに沿って往復動さ
せる駆動機構は、この一対のシャフトに平行して設けら
れたエアシリンダと、このエアシリンダをウェハーの厚
さに応じて所要ストローク作動させるためのマイクロメ
ータ機構とを含む。従って本発明のウェハー製造装置で
は、切り出されるウェハーの厚さや直径に応じて、吸着
ヘッドをウェハー保持位置でウェハー端面に平行な方向
と直角な方向に小移動可能で、一般に薄いウェハーに対
しても吸引把持を正しく行なうことができる。
【０００９】また、このような装置によって行なわれる
この発明のウェハー製造方法は、支持された柱状のイン
ゴットを移動して中心のボア周縁に刃を有する回転切断
ブレードのボア内にインゴット先端部を進入定置する工
程と、インゴットの先端部からウェハーを切り出すため
に切断ブレードをインゴットに対して横切る方向に移動
させる工程と、チャックアセンブリのヘッドを切断ブレ
ードの一方側の静止位置からボアを経て切断ブレードの
他方側のウェハー保持位置へとインゴットの中心軸線を
含む面内で移動させてウェハーと対面させる工程と、切
り出されるウェハーを対面させたヘッドに吸引して保持
する工程と、ウェハーを保持したヘッドを保持位置から
ボアを経てもとの静止位置へ戻す工程と、ヘッドからウ
ェハーを放す工程とから成ることを特徴とする。
この発明のウェハー製造方法は、支持された柱状のイン
ゴットを移動して中心のボア周縁に刃を有する回転切断
ブレードのボア内にインゴット先端部を進入定置する工
程と、インゴットの先端部からウェハーを切り出すため
に切断ブレードをインゴットに対して横切る方向に移動
させる工程と、チャックアセンブリのヘッドを切断ブレ
ードの一方側の静止位置からボアを経て切断ブレードの
他方側のウェハー保持位置へとインゴットの中心軸線を
含む面内で移動させてウェハーと対面させる工程と、切
り出されるウェハーを対面させたヘッドに吸引して保持
する工程と、ウェハーを保持したヘッドを保持位置から
ボアを経てもとの静止位置へ戻す工程と、ヘッドからウ
ェハーを放す工程とから成ることを特徴とする。
【００１０】
【作用】かくてこの発明においては、インゴットは切断
ブレードに対して直角に支持されて、ウェハーの厚さに
応じて順次推進され、ボアの周縁に刃を有する環状の切
断ブレードがインゴットを横切る方向に移動されてイン
ゴットの先端部からウェハーを切り出し、このときウェ
ハーの保持位置へ移動されたヘッドは真空によってウェ
ハーを吸着すると、直ちに反転されてもとの静止位置に
戻り、ウェハーを例えば搬出コンベア上に放出する。こ
の際、チャックアセンブリのヘッドはほぼ切断直後の位
置にある切断ブレードのボア内を通過して、インゴット
の中心軸線を含む面内で往復的にほぼ９０゜回動され
る。ヘッドのこのようなほぼ９０゜の回動は吸着保持位
置と放出静止位置との間でウェハーの向きを合理的に変
換する最短の経路であり、ウェハー製造装置を小形化
し、かつその作動工程を簡単にする。
ブレードに対して直角に支持されて、ウェハーの厚さに
応じて順次推進され、ボアの周縁に刃を有する環状の切
断ブレードがインゴットを横切る方向に移動されてイン
ゴットの先端部からウェハーを切り出し、このときウェ
ハーの保持位置へ移動されたヘッドは真空によってウェ
ハーを吸着すると、直ちに反転されてもとの静止位置に
戻り、ウェハーを例えば搬出コンベア上に放出する。こ
の際、チャックアセンブリのヘッドはほぼ切断直後の位
置にある切断ブレードのボア内を通過して、インゴット
の中心軸線を含む面内で往復的にほぼ９０゜回動され
る。ヘッドのこのようなほぼ９０゜の回動は吸着保持位
置と放出静止位置との間でウェハーの向きを合理的に変
換する最短の経路であり、ウェハー製造装置を小形化
し、かつその作動工程を簡単にする。
【００１１】さらにこの発明においては、簡潔に配置さ
れた各部材の駆動装置すなわちモータおよびエアシリン
ダを１つの制御装置によって連続的に制御することも可
能であるので、製造能力を増進できる。 この発明に関
する目的や利点は、次の図面に基づいた詳細な説明によ
ってさらに明らかになるであろう。
れた各部材の駆動装置すなわちモータおよびエアシリン
ダを１つの制御装置によって連続的に制御することも可
能であるので、製造能力を増進できる。 この発明に関
する目的や利点は、次の図面に基づいた詳細な説明によ
ってさらに明らかになるであろう。
【００１２】
【実施例】次にこの発明におけるヘッド移動装置を具体
的に示した一実施例を図面に従って説明する。図１はウ
ェハー製造装置を総合的に示してある。このウェハー製
造装置１０は、インゴット送り装置１１、切断ヘッド１
２、ウェハー回収装置１３、移送コンベア１４、制御装
置１５およびテーブル１６より成る。
的に示した一実施例を図面に従って説明する。図１はウ
ェハー製造装置を総合的に示してある。このウェハー製
造装置１０は、インゴット送り装置１１、切断ヘッド１
２、ウェハー回収装置１３、移送コンベア１４、制御装
置１５およびテーブル１６より成る。
【００１３】図１において、インゴット送り装置１１
は、図示例では水平方向に配置されたインゴット１９の
収納箱１８を有し、この収納箱１８がテーブル１６の片
側から斜めに突設されたブラケット１７に支持されて、
切断ヘッド１２と一直線上に配置されている。またイン
ゴット収納箱１８には梁２１に支持されたインゴット１
９を切断ヘッド１２の方へ移動しかつ定置させる従来と
同じ移送装置（図示しない）が設けられている。図示し
たように、インゴット１９は円柱状の結晶体２０であ
り、この結晶体２０が従来通り取付け梁２１に沿って配
設される。例えば、結晶体２０はシリコンで形成され、
取付け梁２１はグラファイトで形成される。なお、結晶
体２０は円柱状以外の形状であってもよい。
は、図示例では水平方向に配置されたインゴット１９の
収納箱１８を有し、この収納箱１８がテーブル１６の片
側から斜めに突設されたブラケット１７に支持されて、
切断ヘッド１２と一直線上に配置されている。またイン
ゴット収納箱１８には梁２１に支持されたインゴット１
９を切断ヘッド１２の方へ移動しかつ定置させる従来と
同じ移送装置（図示しない）が設けられている。図示し
たように、インゴット１９は円柱状の結晶体２０であ
り、この結晶体２０が従来通り取付け梁２１に沿って配
設される。例えば、結晶体２０はシリコンで形成され、
取付け梁２１はグラファイトで形成される。なお、結晶
体２０は円柱状以外の形状であってもよい。
【００１４】切断ヘッド１２はおおむね従来通りの構成
で、図８に示すように回転式の切断ブレード２２を有す
る。この切断ブレード２２には中心にボア２３が形成さ
れ、このボア２３の周縁に内刃２４が形成される。切断
ヘッド１２には、また、結晶体２０の軸線を直角に横切
る鉛直面内で切断ブレード２２を昇降させる装置（図示
せず）が設けてある。図１０に示したように、切断ブレ
ード２２の下降によって、結晶体２０からディスク状の
ウェハー２５が切り出される。
で、図８に示すように回転式の切断ブレード２２を有す
る。この切断ブレード２２には中心にボア２３が形成さ
れ、このボア２３の周縁に内刃２４が形成される。切断
ヘッド１２には、また、結晶体２０の軸線を直角に横切
る鉛直面内で切断ブレード２２を昇降させる装置（図示
せず）が設けてある。図１０に示したように、切断ブレ
ード２２の下降によって、結晶体２０からディスク状の
ウェハー２５が切り出される。
【００１５】図１および図８を参照すると、ウェハー回
収装置１３はチャックアセンブリ２６、アームアセンブ
リ３４および駆動装置２８を有する。このチャックアセ
ンブリ２６は、結晶体２０から切り出されたウェハー２
５と係合するヘッド２７を有する。また、駆動装置２８
は、切断ブレード２２の静止位置（図示）と、切断ブレ
ードの他側の切り出された直後のウェハーを保持するた
めの保持位置（図示せず）との間で、ヘッド２７を移動
させるためのものである。
収装置１３はチャックアセンブリ２６、アームアセンブ
リ３４および駆動装置２８を有する。このチャックアセ
ンブリ２６は、結晶体２０から切り出されたウェハー２
５と係合するヘッド２７を有する。また、駆動装置２８
は、切断ブレード２２の静止位置（図示）と、切断ブレ
ードの他側の切り出された直後のウェハーを保持するた
めの保持位置（図示せず）との間で、ヘッド２７を移動
させるためのものである。
【００１６】図８を参照すると、ヘッド２７はブロック
状に構成され、その片面には複数のノズル２９が配設さ
れる。このノズル２９を介して真空吸引することによっ
て、切り出したウェハーをヘッド２７に保持することが
できる。例えば、ノズル２０は各列それぞれ３個で３列
に配設される。
状に構成され、その片面には複数のノズル２９が配設さ
れる。このノズル２９を介して真空吸引することによっ
て、切り出したウェハーをヘッド２７に保持することが
できる。例えば、ノズル２０は各列それぞれ３個で３列
に配設される。
【００１７】ヘッド２７には、直線部３１と湾曲部３２
とから成るアーム３０が接続され、ヘッド２７は、直線
部３１に対して偏心した状態で、湾曲部３２に取り付け
られる。アーム３０にはボアが形成され、ノズル２９を
アーム３０の直線部３１の基端に連通する。この基端の
部分には差し込み部３３が設けられ、可撓性のチューブ
と開閉弁（図示せず）を介して、適当な真空源（図示せ
ず）と連結される。図示したように、アーム３０はアー
ムアセンブリ３４に固定され、アームアセンブリ３４
が、水平のロッド４５の回りに回動可能に取り付けられ
ている。
とから成るアーム３０が接続され、ヘッド２７は、直線
部３１に対して偏心した状態で、湾曲部３２に取り付け
られる。アーム３０にはボアが形成され、ノズル２９を
アーム３０の直線部３１の基端に連通する。この基端の
部分には差し込み部３３が設けられ、可撓性のチューブ
と開閉弁（図示せず）を介して、適当な真空源（図示せ
ず）と連結される。図示したように、アーム３０はアー
ムアセンブリ３４に固定され、アームアセンブリ３４
が、水平のロッド４５の回りに回動可能に取り付けられ
ている。
【００１８】図２、図３および図８を参照すると、アー
ムアセンブリ３４は、割りを形成した取付ブロック３６
を有し、アーム３０はクランプボルト３６´によってこ
のブロック３６の横穴に固定される。取付ブロック３６
は割出板３７と接しており、この割出板３７がねじ（図
示せず）によって、アーム回動ブロック３８に取り付け
られる。取付ブロック３６は、３本の位置決め用の戻り
止め付のドウェルピン３６″（図３にその一つを示す）
を有し、それぞれのドウェルピン３６″は半ば露出して
いて、割出板３７内の３個の半径方向のスロット（図示
せず）の各一つの内部に突出し、取付ブロック３６の位
置が決められる。割出板３７はさらに弓形スロット３９
（図２）を有し、取付ブロック３６に固定されたピン４
０がこの弓形スロット内をスライドする。さらに、取付
ブロック３６、割出板３７およびアーム回動ブロック３
８のそれぞれに形成した直通のボア内にボルト４２を通
し、このボルト４２にナット４３およびワッシャ４４を
締着することによって、取付ブロック３６が割出板３７
およびアーム回動ブロック３８に固定される。ボルト４
２の他端には、さらに手動アーム４１が固定され、取付
ブロック３６およびアーム３０を手動で回動させること
ができる。すなわち、ブロック３６およびアーム３０
を、割出板３７に対して例えば９０゜回動させて、切断
ブレード２２の面から離すこともできるので、保守が容
易である。この一時的の回動位置では、ドウェルピン３
６″は割出板３７の面上に載る。
ムアセンブリ３４は、割りを形成した取付ブロック３６
を有し、アーム３０はクランプボルト３６´によってこ
のブロック３６の横穴に固定される。取付ブロック３６
は割出板３７と接しており、この割出板３７がねじ（図
示せず）によって、アーム回動ブロック３８に取り付け
られる。取付ブロック３６は、３本の位置決め用の戻り
止め付のドウェルピン３６″（図３にその一つを示す）
を有し、それぞれのドウェルピン３６″は半ば露出して
いて、割出板３７内の３個の半径方向のスロット（図示
せず）の各一つの内部に突出し、取付ブロック３６の位
置が決められる。割出板３７はさらに弓形スロット３９
（図２）を有し、取付ブロック３６に固定されたピン４
０がこの弓形スロット内をスライドする。さらに、取付
ブロック３６、割出板３７およびアーム回動ブロック３
８のそれぞれに形成した直通のボア内にボルト４２を通
し、このボルト４２にナット４３およびワッシャ４４を
締着することによって、取付ブロック３６が割出板３７
およびアーム回動ブロック３８に固定される。ボルト４
２の他端には、さらに手動アーム４１が固定され、取付
ブロック３６およびアーム３０を手動で回動させること
ができる。すなわち、ブロック３６およびアーム３０
を、割出板３７に対して例えば９０゜回動させて、切断
ブレード２２の面から離すこともできるので、保守が容
易である。この一時的の回動位置では、ドウェルピン３
６″は割出板３７の面上に載る。
【００１９】アーム回動ブロック３８はその上端に、図
８のように割りが形成してあり、ボルト４５´（図２）
によって、水平軸線３５（図８）上に配設された軸受ス
リーブ３８´を固定できる。従ってアーム回動ブロック
３８をスライド４６の従属レッグ４７に挿通固定された
ロッド４５を中心としてほぼ９０゜回動させることがで
きる。
８のように割りが形成してあり、ボルト４５´（図２）
によって、水平軸線３５（図８）上に配設された軸受ス
リーブ３８´を固定できる。従ってアーム回動ブロック
３８をスライド４６の従属レッグ４７に挿通固定された
ロッド４５を中心としてほぼ９０゜回動させることがで
きる。
【００２０】図２および図３を参照すると、アームアセ
ンブリ３４は、アーム回動ブロック３８と共に水平ロッ
ド４５を介して、スライド４６に回動可能に取り付けら
れている。このスライド４６は左右１対の従属レッグ４
７と両方のレッグ４７をつなぐ連結部４８を有し、この
従属レッグ４７内に水平ロッド４５の両端が固定されて
いる。連結部４８には、１対のボア４９（図４）が水平
に形成され、それぞれのボア４９内には、水平軸線５
１，５１ａ（図２）上に配設されたシャフト５０が挿通
されている。さらに、連結部４８の中央部には鉛直方向
に直径の大きなボア５２が形成されるが、それは後述す
るエアシリンダ７３のロッド７４を通すためのものであ
る。
ンブリ３４は、アーム回動ブロック３８と共に水平ロッ
ド４５を介して、スライド４６に回動可能に取り付けら
れている。このスライド４６は左右１対の従属レッグ４
７と両方のレッグ４７をつなぐ連結部４８を有し、この
従属レッグ４７内に水平ロッド４５の両端が固定されて
いる。連結部４８には、１対のボア４９（図４）が水平
に形成され、それぞれのボア４９内には、水平軸線５
１，５１ａ（図２）上に配設されたシャフト５０が挿通
されている。さらに、連結部４８の中央部には鉛直方向
に直径の大きなボア５２が形成されるが、それは後述す
るエアシリンダ７３のロッド７４を通すためのものであ
る。
【００２１】さらにスライド４６の一方の従属レッグ４
７の下部には、センサ取り付け用のブラケット５３が取
り付けられている。ブラケット５３には、端子板５５と
共に近接スイッチ５４，５４´が取り付けられる。
７の下部には、センサ取り付け用のブラケット５３が取
り付けられている。ブラケット５３には、端子板５５と
共に近接スイッチ５４，５４´が取り付けられる。
【００２２】図２および図３を参照すると、２本の水平
シャフト５０の両端は、１対の直立ロッド５８にそって
上下動可能に取り付けられた支持体５６の上方前後の従
属部６２内に固定されている。なおシャフト５０の中央
部分にはスライド４６が摺動可能に取り付けられてい
る。
シャフト５０の両端は、１対の直立ロッド５８にそって
上下動可能に取り付けられた支持体５６の上方前後の従
属部６２内に固定されている。なおシャフト５０の中央
部分にはスライド４６が摺動可能に取り付けられてい
る。
【００２３】支持体５６は左右１対のレッグ５７（図
２）を有し、このレッグ５７は、アーム駆動装置のベー
スフレームＦに設けられたガイド部材としての１対の直
立ロッド５８に摺動可能に取り付けられている。さらに
支持体５６は、中央部に鉛直のボア６０が形成された水
平な連結部５９（図７）によって左右のレッグ５７が相
互に連結されている。このボア６０の一部にはねじ付シ
ャフト６８と螺合するためのねじ山が形成してある。
２）を有し、このレッグ５７は、アーム駆動装置のベー
スフレームＦに設けられたガイド部材としての１対の直
立ロッド５８に摺動可能に取り付けられている。さらに
支持体５６は、中央部に鉛直のボア６０が形成された水
平な連結部５９（図７）によって左右のレッグ５７が相
互に連結されている。このボア６０の一部にはねじ付シ
ャフト６８と螺合するためのねじ山が形成してある。
【００２４】支持体５６は、また、連結部５９にボルト
で固定したブロック６１を支持している。このブロック
６１は図３に示すように水平に図示左方へ延出されると
ともに、２組の従属部６２を有する。各従属部６２に
は、ボア６３が形成され、各組のボア６３内にそれぞれ
の水平シャフト５０が挿着される。さらに、ブロック６
１の中央部には細長い形状のボア６１´（図３、図５）
が上下方向に形成される。このボア６１´はエアシリン
ダ７３のロッド７４を余裕をもって通すためのものであ
る。
で固定したブロック６１を支持している。このブロック
６１は図３に示すように水平に図示左方へ延出されると
ともに、２組の従属部６２を有する。各従属部６２に
は、ボア６３が形成され、各組のボア６３内にそれぞれ
の水平シャフト５０が挿着される。さらに、ブロック６
１の中央部には細長い形状のボア６１´（図３、図５）
が上下方向に形成される。このボア６１´はエアシリン
ダ７３のロッド７４を余裕をもって通すためのものであ
る。
【００２５】図２に示すように、ブラケット６４がねじ
６５によって一方のレッグ５７の下端に固定されてい
る。このブラケット６４にはマグネット６６（図７）が
支持されているが、その目的については後述する。
６５によって一方のレッグ５７の下端に固定されてい
る。このブラケット６４にはマグネット６６（図７）が
支持されているが、その目的については後述する。
【００２６】図２および図３を参照すると、支持体５６
を昇降させるために、この装置のベースフレームＦにモ
ーター６７が取り付けてあり、このモーター６７によっ
て、支持体５６の連結部５９中央のねじ付ボア６０内に
螺合されたねじ付シャフト６８が駆動され、支持体５６
はこのねじ付シャフト６８の回転方向に応じて、上下動
を行なう。
を昇降させるために、この装置のベースフレームＦにモ
ーター６７が取り付けてあり、このモーター６７によっ
て、支持体５６の連結部５９中央のねじ付ボア６０内に
螺合されたねじ付シャフト６８が駆動され、支持体５６
はこのねじ付シャフト６８の回転方向に応じて、上下動
を行なう。
【００２７】水平シャフト５０に摺動可能に取り付けら
れたスライド４６はその両端部でブリッジ１６７を支持
している（図２）。このブリッジ１６７は支持体５６上
部のブロック６１を乗り越えている。また、このブリッ
ジ１６７には上下方向にボア１６７´が形成される。ブ
リッジ１６７の上面には、さらに、ブロック６９が支持
される。このブロック６９には、２本のねじ７０´（図
５）によって、Ｕ字形のエアシリンダベース７０が固定
される。さらに、エアシリンダベース７０には回動ピン
７１が水平に固着され、この回動ピン７１にＵ字形のク
ランプブロック７２が回動可能に取り付けられている。
図３に示すように、エアシリンダ７３はその下部をクラ
ンプブロック７２に固定され、エアシリンダベース７０
に対して回動ピン７１によって少し回動できるようにし
てある。このエアシリンダ７３は下方へ延びたロッド７
４を有し、このロッド７４はブロック６９に形成したボ
ア６９´、ブリッジ１６７に形成したボア１６７´、ブ
ロック６１に形成したボア６１´およびスライド４６に
形成したボア５２を通って、下端のジョイント７５によ
ってアーム回動ブロック３８の取付部３８″に連結され
る。詳しくは図８に示すように、ジョイント７５はその
ピン７５´によってアーム回動ブロックの取付部３８″
に係合される。この取付部３８″はアーム回動ブロック
３８後部に固定されているが、ピン７５´との係合位置
は水平ロッド４５の後方で上方に離間した位置である。
このようにしてエアシリンダ７３は、アームアセンブリ
３４を水平ロッド４５の軸線３５の回りに回動させるの
に役立つ。エアシリンダ７３の上端部には、差し込み部
７３´が配設され、この差し込み部７３´と圧縮空気源
（図示せず）とは、エアホース７３″を介して連結され
る。エアシリンダ７３が作動すると、そのピストンロッ
ド７４は下方へ押し下げられ、アーム回動ブロック３８
が水平ロッド４５を中心に９０゜回動するが、このとき
エアシリンダ７３は回動ピン７１を中心に僅かに回動す
る。しかしそのロッド７４はスライド４６の余裕のある
ボア５２内で移動するので、何等不都合が生じない。
れたスライド４６はその両端部でブリッジ１６７を支持
している（図２）。このブリッジ１６７は支持体５６上
部のブロック６１を乗り越えている。また、このブリッ
ジ１６７には上下方向にボア１６７´が形成される。ブ
リッジ１６７の上面には、さらに、ブロック６９が支持
される。このブロック６９には、２本のねじ７０´（図
５）によって、Ｕ字形のエアシリンダベース７０が固定
される。さらに、エアシリンダベース７０には回動ピン
７１が水平に固着され、この回動ピン７１にＵ字形のク
ランプブロック７２が回動可能に取り付けられている。
図３に示すように、エアシリンダ７３はその下部をクラ
ンプブロック７２に固定され、エアシリンダベース７０
に対して回動ピン７１によって少し回動できるようにし
てある。このエアシリンダ７３は下方へ延びたロッド７
４を有し、このロッド７４はブロック６９に形成したボ
ア６９´、ブリッジ１６７に形成したボア１６７´、ブ
ロック６１に形成したボア６１´およびスライド４６に
形成したボア５２を通って、下端のジョイント７５によ
ってアーム回動ブロック３８の取付部３８″に連結され
る。詳しくは図８に示すように、ジョイント７５はその
ピン７５´によってアーム回動ブロックの取付部３８″
に係合される。この取付部３８″はアーム回動ブロック
３８後部に固定されているが、ピン７５´との係合位置
は水平ロッド４５の後方で上方に離間した位置である。
このようにしてエアシリンダ７３は、アームアセンブリ
３４を水平ロッド４５の軸線３５の回りに回動させるの
に役立つ。エアシリンダ７３の上端部には、差し込み部
７３´が配設され、この差し込み部７３´と圧縮空気源
（図示せず）とは、エアホース７３″を介して連結され
る。エアシリンダ７３が作動すると、そのピストンロッ
ド７４は下方へ押し下げられ、アーム回動ブロック３８
が水平ロッド４５を中心に９０゜回動するが、このとき
エアシリンダ７３は回動ピン７１を中心に僅かに回動す
る。しかしそのロッド７４はスライド４６の余裕のある
ボア５２内で移動するので、何等不都合が生じない。
【００２８】図３および図５を参照すると、調節装置７
６が設けられ、これによって、支持体５６の従属部６２
間の１対のシャフト５０に沿うスライド４６の移動量を
調節することができる。この調節はウェハーの厚さに相
関してスライド４６を適切に移動させるために行なうも
のである。
６が設けられ、これによって、支持体５６の従属部６２
間の１対のシャフト５０に沿うスライド４６の移動量を
調節することができる。この調節はウェハーの厚さに相
関してスライド４６を適切に移動させるために行なうも
のである。
【００２９】調節装置７６はブロックフロント７７を有
し、このブロックフロント７７には複数のねじ７９によ
ってプレート７８が固定されている。ブロックフロント
７７は支持体５６上部に取り付けられたブロック６１に
ボルト締めによって連結され、実質的には支持体５６と
一体である。図３に示すように、ブロック６１上端には
小さな段差部８０が形成してあり、この段差部８０上に
ブロックフロント７７が受容される。図５および図６に
示すように、水平なエアシリンダ８１はピストンロッド
８２を有する。このピストンロッド８２はゆるみ止めの
環状体８３、ワッシャ８４およびナット８５によって、
ブロックフロント７７の凹部に固定される。エアシリン
ダ８１の本体は一端にねじ山を刻んだステムを有し、こ
のステムをブロック６９のフランジ６９″に通してナッ
ト８６で締着することによってブロック６９に固定され
る。
し、このブロックフロント７７には複数のねじ７９によ
ってプレート７８が固定されている。ブロックフロント
７７は支持体５６上部に取り付けられたブロック６１に
ボルト締めによって連結され、実質的には支持体５６と
一体である。図３に示すように、ブロック６１上端には
小さな段差部８０が形成してあり、この段差部８０上に
ブロックフロント７７が受容される。図５および図６に
示すように、水平なエアシリンダ８１はピストンロッド
８２を有する。このピストンロッド８２はゆるみ止めの
環状体８３、ワッシャ８４およびナット８５によって、
ブロックフロント７７の凹部に固定される。エアシリン
ダ８１の本体は一端にねじ山を刻んだステムを有し、こ
のステムをブロック６９のフランジ６９″に通してナッ
ト８６で締着することによってブロック６９に固定され
る。
【００３０】さらに、図５に示すように、エアシリンダ
８１は管８１´を介して、圧縮空気源（図示せず）に連
結されているので、作動させると、エアシリンダ８１の
本体がブロックフロント７７から遠ざかる方向へ動く。
同様に、エアシリンダ８１の本体に固定されたブロック
６９、ブリッジ１６７およびスライド４６は、ブロック
フロント７７および支持体５６に対して水平に動く。こ
のときエアシリンダ７３も同じだけ動くが、ピン７１で
回動可能になっており、かつ連結先のアーム回動ブロッ
ク３８もスライド４６と共に水平動するので支障はな
い。
８１は管８１´を介して、圧縮空気源（図示せず）に連
結されているので、作動させると、エアシリンダ８１の
本体がブロックフロント７７から遠ざかる方向へ動く。
同様に、エアシリンダ８１の本体に固定されたブロック
６９、ブリッジ１６７およびスライド４６は、ブロック
フロント７７および支持体５６に対して水平に動く。こ
のときエアシリンダ７３も同じだけ動くが、ピン７１で
回動可能になっており、かつ連結先のアーム回動ブロッ
ク３８もスライド４６と共に水平動するので支障はな
い。
【００３１】調節装置７６は、また、ブラケットアセン
ブリ８７を有する。このブラケットアセンブリ８７はね
じ８８によって、ブロック６９に固定されると共に、エ
アシリンダ８１の逆側へ直交状に延出するブラケット１
０１を一端に有する。調節装置７６には、さらにエアシ
リンダ８１の移動量を所定長に調節するためのマイクロ
メータアセンブリ８９がエアシリンダ８１に平行した形
でブロックフロント７７の他端部に取り付けられてい
る。
ブリ８７を有する。このブラケットアセンブリ８７はね
じ８８によって、ブロック６９に固定されると共に、エ
アシリンダ８１の逆側へ直交状に延出するブラケット１
０１を一端に有する。調節装置７６には、さらにエアシ
リンダ８１の移動量を所定長に調節するためのマイクロ
メータアセンブリ８９がエアシリンダ８１に平行した形
でブロックフロント７７の他端部に取り付けられてい
る。
【００３２】図５に示したように、マイクロメータアセ
ンブリ８９はブロックフロント７７の中段に固定された
Ｕ字形のブラケット９０と、ブラケット９０の一端に摺
動可能に取り付けられたピン９１と、ピン９１を囲むよ
うに連係された回転可能なスリーブ９２とを有する。こ
こで、スリーブ９２が回転するとピン９１が調節量に対
応した直線運動を行なう。さらに、ドウェルピン９３´
によってスリーブ９２に係合されたシャフト９３が、ブ
ロックフロント７７に軸支されている。図３に示すよう
に、このシャフト９３はその上に固定された小ギヤ９
４、チェーン９５および上方の駆動ギヤ９６を介してギ
ヤ９６を固定したシャフト９７によって駆動される。シ
ャフト９７はブロックフロント７７上部に回転可能に取
り付けられ、手動ノブ９８が前端に固定されている。図
３に示すように、手動ノブ９８はプレート７８の外側に
位置し、シャフト９７はウェハーの厚さに相関した移動
量を示すカウンタ９９に連結されている。
ンブリ８９はブロックフロント７７の中段に固定された
Ｕ字形のブラケット９０と、ブラケット９０の一端に摺
動可能に取り付けられたピン９１と、ピン９１を囲むよ
うに連係された回転可能なスリーブ９２とを有する。こ
こで、スリーブ９２が回転するとピン９１が調節量に対
応した直線運動を行なう。さらに、ドウェルピン９３´
によってスリーブ９２に係合されたシャフト９３が、ブ
ロックフロント７７に軸支されている。図３に示すよう
に、このシャフト９３はその上に固定された小ギヤ９
４、チェーン９５および上方の駆動ギヤ９６を介してギ
ヤ９６を固定したシャフト９７によって駆動される。シ
ャフト９７はブロックフロント７７上部に回転可能に取
り付けられ、手動ノブ９８が前端に固定されている。図
３に示すように、手動ノブ９８はプレート７８の外側に
位置し、シャフト９７はウェハーの厚さに相関した移動
量を示すカウンタ９９に連結されている。
【００３３】図５に示すように、マイクロメータアセン
ブリ８９のピン９１はシャフト９３の回転によってその
突出量を変え、かつブラケット１０１に固定されたスト
ッパ１００に接離可能である。調節装置７６の機能につ
いてはさらに後述する。
ブリ８９のピン９１はシャフト９３の回転によってその
突出量を変え、かつブラケット１０１に固定されたスト
ッパ１００に接離可能である。調節装置７６の機能につ
いてはさらに後述する。
【００３４】再び図２および図３を参照すると、ベース
フレームＦにはチューブ１０２が上下方向に取り付けて
あり、このチューブ１０２内にアームの駆動装置に必要
な各種リード線が通される。チューブ１０２の上端はブ
ラケット１０３内に固定される。このブラケット１０３
は支持体５６等の垂直方向の移動最大限ストッパとし
て、ベースフレームＦに締着されている。チューブ１０
２の下端は、同じく本体フレームＦに取り付けられたホ
ルダ１０４（図３）内に固定される。このホルダ１０４
にはモータ６７が取り付けられると共に、センサ用のブ
ラケット（図示せず）や移動下限ストッパとして作用す
るバンパ（図示せず）も取り付けられる。ホルダ１０４
には、さらに、端子１０５も設けられる。また、ベース
フレームＦの下部にも端子１０６（図２）が設けられ
る。
フレームＦにはチューブ１０２が上下方向に取り付けて
あり、このチューブ１０２内にアームの駆動装置に必要
な各種リード線が通される。チューブ１０２の上端はブ
ラケット１０３内に固定される。このブラケット１０３
は支持体５６等の垂直方向の移動最大限ストッパとし
て、ベースフレームＦに締着されている。チューブ１０
２の下端は、同じく本体フレームＦに取り付けられたホ
ルダ１０４（図３）内に固定される。このホルダ１０４
にはモータ６７が取り付けられると共に、センサ用のブ
ラケット（図示せず）や移動下限ストッパとして作用す
るバンパ（図示せず）も取り付けられる。ホルダ１０４
には、さらに、端子１０５も設けられる。また、ベース
フレームＦの下部にも端子１０６（図２）が設けられ
る。
【００３５】ウェハー製造装置１０には、また、各種の
従属装置が取り付けられていて、各可動部品の位置を感
知し、正確な連続（シーケンス）動作を行なわせること
ができるようにしてある。例えば図８に示すように、水
平ロッド４５に軸支されたアームアセンブリ３４のアー
ム回動ブロック３８にはマグネット１０７が、そして取
付部３８″にはマグネット１０８が設けられる。マグネ
ット１０７が図３に示すように、スライド下部のブラケ
ット５３に設けた左側の近接スイッチ５４に隣接する
と、スイッチ５４は制御装置１５に電気信号を送り、ア
ームアセンブリ３４がヘッド２７の静止位置に対応する
下方に位置することを示し、一方、マグネット１０８が
右側の近接スイッチ５４´に隣接すると、スイッチ５４
´が電気信号を送り、アームアセンブリ３４が図４に示
すようにヘッド２７のウェハー保持位置に対応する完全
に上へ９０゜回動した位置にあることを示す。同様に、
支持体５６のレッグ５７に設けたマグネット６６（図
７）がモーターの固定ホルダ１０４に取り付けた近接ス
イッチ（図示せず）に隣接すると、この近接スイッチが
信号を発して支持体５６がヘッド２７の静止位置に対応
する下方の位置にあることを示す。これらの信号はチャ
ックアセンブリ２６の回動が適正に行なわれることを保
証する。
従属装置が取り付けられていて、各可動部品の位置を感
知し、正確な連続（シーケンス）動作を行なわせること
ができるようにしてある。例えば図８に示すように、水
平ロッド４５に軸支されたアームアセンブリ３４のアー
ム回動ブロック３８にはマグネット１０７が、そして取
付部３８″にはマグネット１０８が設けられる。マグネ
ット１０７が図３に示すように、スライド下部のブラケ
ット５３に設けた左側の近接スイッチ５４に隣接する
と、スイッチ５４は制御装置１５に電気信号を送り、ア
ームアセンブリ３４がヘッド２７の静止位置に対応する
下方に位置することを示し、一方、マグネット１０８が
右側の近接スイッチ５４´に隣接すると、スイッチ５４
´が電気信号を送り、アームアセンブリ３４が図４に示
すようにヘッド２７のウェハー保持位置に対応する完全
に上へ９０゜回動した位置にあることを示す。同様に、
支持体５６のレッグ５７に設けたマグネット６６（図
７）がモーターの固定ホルダ１０４に取り付けた近接ス
イッチ（図示せず）に隣接すると、この近接スイッチが
信号を発して支持体５６がヘッド２７の静止位置に対応
する下方の位置にあることを示す。これらの信号はチャ
ックアセンブリ２６の回動が適正に行なわれることを保
証する。
【００３６】バンパ（図示せず）を適所に設け、可動部
材のストッパとしても使用することができる。例えば、
図２〜図４に示すように、スライド４６にストップバー
１０９をねじ１１０を使って水平に固定しておき、これ
にアーム回動ブロック３８の一部を当接させ、アームア
センブリ３４の回動動作の上限位置を正しく規制するこ
とができる。
材のストッパとしても使用することができる。例えば、
図２〜図４に示すように、スライド４６にストップバー
１０９をねじ１１０を使って水平に固定しておき、これ
にアーム回動ブロック３８の一部を当接させ、アームア
センブリ３４の回動動作の上限位置を正しく規制するこ
とができる。
【００３７】再び調節装置７６に言及するが、ウェハー
製造装置１０において、切断されたウェハー２５の回収
操作を行なう場合、予めスライド４６の移動量を調節装
置７６によってウェハーの切断厚さに適合させる。まず
エアシリンダ８１を動かして、ストッパ１００をピン９
１から離隔する（図６）。次いで手動ノブ９８を回し
て、スライド４６の移動量を示すカウンタ９９の目盛を
必要な設定値、例えば、ウェハーの厚さ 0.015インチ
（ 0.038cm）と必要な隙間代 0.010インチ（ 0.025cm）
との合計値に合せる。この調節によって、ヘッド２７が
ウェハーに対面するときのスライドの移動量が規制さ
れ、エアシリンダ８１がストッパ１００をピン９１と接
触するまでスライドを前進させることができる。
製造装置１０において、切断されたウェハー２５の回収
操作を行なう場合、予めスライド４６の移動量を調節装
置７６によってウェハーの切断厚さに適合させる。まず
エアシリンダ８１を動かして、ストッパ１００をピン９
１から離隔する（図６）。次いで手動ノブ９８を回し
て、スライド４６の移動量を示すカウンタ９９の目盛を
必要な設定値、例えば、ウェハーの厚さ 0.015インチ
（ 0.038cm）と必要な隙間代 0.010インチ（ 0.025cm）
との合計値に合せる。この調節によって、ヘッド２７が
ウェハーに対面するときのスライドの移動量が規制さ
れ、エアシリンダ８１がストッパ１００をピン９１と接
触するまでスライドを前進させることができる。
【００３８】次に図１１から図１８までを参照して、ウ
ェハーの切断と回収の作用を説明する。ウェハー製造装
置１０を作動させると、切断ブレード２２が回転しつつ
下降して、内刃２４によって結晶体２０の切断を開始す
る。切断動作が進行して、切断の完了位置に近く（図１
１）なると、エアシリンダ７３のロッド７４がアーム回
動ブロック３８の後部を押し下げるので、アーム３０は
図８のウェハー２５を放した静止位置から、水平ロッド
４５を中心として回動し、ヘッド２７が切断ブレード２
２のボア２３内を通って切断ブレード２２の反対側へ移
る。このときスライド４６は定められた後方位置にあ
る。引続き、切断ブレード２２が回転と下降とを続ける
うちに、ヘッド２７は支持体５６の上昇によって図１２
および図１３に示すように、垂直に上昇する。この上昇
直後の位置においては、ヘッド２７は結晶体２０から切
り出されるウェハーから軸方向に少し離間している。次
いで、ヘッド２７は調節装置７６によって設定された距
離だけウェハー側に動かされ、ノズル２９とウェハー２
５とは適切な隙間代を置いて隣接された状態となる（図
１４）。この時、リミットスイッチおよび真空路の開閉
弁（図示せず）が作動してノズル２９内は負圧とされ、
ウェハー２５がヘッド２７に吸着される。しかし、この
時点では、結晶体２０を支える取り付け梁２１はまだ切
断されていない。切断ブレード２２が回転を続けると、
ウェハー２５は完全に切り出される。ここで、ヘッド２
７は図１５に示すように、後方（図示右方）に移動して
ウェハー２５を結晶体２０から引き離す。それと同時
に、結晶体２０は後退機構（図示せず）によって、切断
ブレード２２から離れる。次に、図１６および図１７に
示すように、ヘッド２７は垂直に降下し、ウェハー２５
は切断ブレード２２のボア２３の面内に位置する。次
に、エアシリンダ７３の作用によってアーム３０がアー
ム回動ブロック３８と共に逆方向に回動して、ヘッド２
７が静止位置（図１８）に戻される。この位置では、ウ
ェハー２５は移送コンベア１４上方に位置する。ここで
アーム３０内の負圧状態が解除され、ウェハー２５は移
送コンベア１４上にゆるやかに落下する。以後、切断ブ
レード２２が上方のスタート位置に戻り、切断操作が同
じようにして繰り返される。
ェハーの切断と回収の作用を説明する。ウェハー製造装
置１０を作動させると、切断ブレード２２が回転しつつ
下降して、内刃２４によって結晶体２０の切断を開始す
る。切断動作が進行して、切断の完了位置に近く（図１
１）なると、エアシリンダ７３のロッド７４がアーム回
動ブロック３８の後部を押し下げるので、アーム３０は
図８のウェハー２５を放した静止位置から、水平ロッド
４５を中心として回動し、ヘッド２７が切断ブレード２
２のボア２３内を通って切断ブレード２２の反対側へ移
る。このときスライド４６は定められた後方位置にあ
る。引続き、切断ブレード２２が回転と下降とを続ける
うちに、ヘッド２７は支持体５６の上昇によって図１２
および図１３に示すように、垂直に上昇する。この上昇
直後の位置においては、ヘッド２７は結晶体２０から切
り出されるウェハーから軸方向に少し離間している。次
いで、ヘッド２７は調節装置７６によって設定された距
離だけウェハー側に動かされ、ノズル２９とウェハー２
５とは適切な隙間代を置いて隣接された状態となる（図
１４）。この時、リミットスイッチおよび真空路の開閉
弁（図示せず）が作動してノズル２９内は負圧とされ、
ウェハー２５がヘッド２７に吸着される。しかし、この
時点では、結晶体２０を支える取り付け梁２１はまだ切
断されていない。切断ブレード２２が回転を続けると、
ウェハー２５は完全に切り出される。ここで、ヘッド２
７は図１５に示すように、後方（図示右方）に移動して
ウェハー２５を結晶体２０から引き離す。それと同時
に、結晶体２０は後退機構（図示せず）によって、切断
ブレード２２から離れる。次に、図１６および図１７に
示すように、ヘッド２７は垂直に降下し、ウェハー２５
は切断ブレード２２のボア２３の面内に位置する。次
に、エアシリンダ７３の作用によってアーム３０がアー
ム回動ブロック３８と共に逆方向に回動して、ヘッド２
７が静止位置（図１８）に戻される。この位置では、ウ
ェハー２５は移送コンベア１４上方に位置する。ここで
アーム３０内の負圧状態が解除され、ウェハー２５は移
送コンベア１４上にゆるやかに落下する。以後、切断ブ
レード２２が上方のスタート位置に戻り、切断操作が同
じようにして繰り返される。
【００３９】図１に示すように、移送コンベア１４に
は、適当なカセットホルダ１１１が取り付けてあるの
で、この中に切り出された複数のウェハー２５を次々に
重ねて、使用や運搬に供することができる。１枚のウェ
ハーが回収されると、図５に示すエアシリンダ８１が作
動して、ブロック６９と共にスライド４６が前面のプレ
ート７８から離されると共に、エアシリンダ７３がその
ロッド７４を延出するように作動して、アームアセンブ
リ３４を図４に示す位置に回動させ、ヘッド２７をほぼ
図１１に示す位置に移動する。この時、エアシリンダ７
３は枢支ピン７１を中心に回動できるので無理が生じな
い。次に、モーター６７が動作して、支持体５６を上昇
させると（図４）、ヘッド２７がウェハー２５の下半部
に対面する位置まで上昇される（図１２、図１３）。次
いで、エアシリンダ８１が逆方向に作動され、ブロック
６９はストッパ１００がピン９１に再び接触するまで移
動し、同時にスライド４６は支持体５６に対して、例え
ば図４に示す高さで左方へ移動する。従ってヘッド２７
はすでに述べたようにウェハー２５に近づく（図１
４）。この保持位置において、ヘッド２７に吸引力が付
与されるので、ヘッド２７のノズル２９に対して、切り
出されたウェハー２５が吸引保持される。例えば、直径
４インチ（ 10.16cm）、厚さ 0.010ないし 0.015インチ
（ 0.025ないし 0.038cm）のウェハー２５であれば、５
ないし１０ポンド（2.27ないし4.54Kg）の吸引力をその
垂直面に対し横方向に加えることによって、ヘッド２７
にこのウェハー２５を保持できる。こうして、ウェハー
２５はその端面から前に述べた適当な間隔、例えば 0.0
10インチ（ 0.025cm）、の隙間代を保ったヘッド２７へ
と移される。次いで、このヘッドに対して逆順に動作が
行なわれ、ウェハー２５は切断ブレード２２のボア２３
を通って、図１８に示す静止位置へと移される。
は、適当なカセットホルダ１１１が取り付けてあるの
で、この中に切り出された複数のウェハー２５を次々に
重ねて、使用や運搬に供することができる。１枚のウェ
ハーが回収されると、図５に示すエアシリンダ８１が作
動して、ブロック６９と共にスライド４６が前面のプレ
ート７８から離されると共に、エアシリンダ７３がその
ロッド７４を延出するように作動して、アームアセンブ
リ３４を図４に示す位置に回動させ、ヘッド２７をほぼ
図１１に示す位置に移動する。この時、エアシリンダ７
３は枢支ピン７１を中心に回動できるので無理が生じな
い。次に、モーター６７が動作して、支持体５６を上昇
させると（図４）、ヘッド２７がウェハー２５の下半部
に対面する位置まで上昇される（図１２、図１３）。次
いで、エアシリンダ８１が逆方向に作動され、ブロック
６９はストッパ１００がピン９１に再び接触するまで移
動し、同時にスライド４６は支持体５６に対して、例え
ば図４に示す高さで左方へ移動する。従ってヘッド２７
はすでに述べたようにウェハー２５に近づく（図１
４）。この保持位置において、ヘッド２７に吸引力が付
与されるので、ヘッド２７のノズル２９に対して、切り
出されたウェハー２５が吸引保持される。例えば、直径
４インチ（ 10.16cm）、厚さ 0.010ないし 0.015インチ
（ 0.025ないし 0.038cm）のウェハー２５であれば、５
ないし１０ポンド（2.27ないし4.54Kg）の吸引力をその
垂直面に対し横方向に加えることによって、ヘッド２７
にこのウェハー２５を保持できる。こうして、ウェハー
２５はその端面から前に述べた適当な間隔、例えば 0.0
10インチ（ 0.025cm）、の隙間代を保ったヘッド２７へ
と移される。次いで、このヘッドに対して逆順に動作が
行なわれ、ウェハー２５は切断ブレード２２のボア２３
を通って、図１８に示す静止位置へと移される。
【００４０】ここでヘッド内の負圧が解除され、結晶体
２０から切り出されたウェハー２５は次の工程に送るた
めの移送コンベア１４に載せられる。切り出されたウェ
ハーを保持したヘッド２７が切断ブレードのボア２３を
通過すると、この切断ブレード２２は次の切断工程に戻
ることができる。ウェハーとヘッドが切断ブレードのボ
アを通過する時間は比較的短いので、切断ブレード２２
は迅速に上方の始動位置へ戻される。
２０から切り出されたウェハー２５は次の工程に送るた
めの移送コンベア１４に載せられる。切り出されたウェ
ハーを保持したヘッド２７が切断ブレードのボア２３を
通過すると、この切断ブレード２２は次の切断工程に戻
ることができる。ウェハーとヘッドが切断ブレードのボ
アを通過する時間は比較的短いので、切断ブレード２２
は迅速に上方の始動位置へ戻される。
【００４１】なお、このウェハー製造装置においては、
ウェハーを切断する代りに、支持体５６をゆっくり鉛直
に動かすことによって、予め切断ブレード２２の進路ま
で推進させたヘッド２７のノズル２９先端部を切り揃え
ることができる。このとき、アームアセンブリ３４は回
動されてヘッドをほぼ保持位置へ移動させており、調節
装置７６のカウンタ９９は零位置に予め設定されてい
る。このようにノズル２９の先端部を切り揃えることに
よって、すべてのノズル端面とウェハーの面を完全に平
行にすることができ、ウェハーの保持を確実としかつウ
ェハーを傷付けることがない。
ウェハーを切断する代りに、支持体５６をゆっくり鉛直
に動かすことによって、予め切断ブレード２２の進路ま
で推進させたヘッド２７のノズル２９先端部を切り揃え
ることができる。このとき、アームアセンブリ３４は回
動されてヘッドをほぼ保持位置へ移動させており、調節
装置７６のカウンタ９９は零位置に予め設定されてい
る。このようにノズル２９の先端部を切り揃えることに
よって、すべてのノズル端面とウェハーの面を完全に平
行にすることができ、ウェハーの保持を確実としかつウ
ェハーを傷付けることがない。
【００４２】図１を参照すると、制御装置１５は各種の
制御部材や、プログラム装置を有する。このプログラム
装置によって、支持体５６を上下に往復運動させるため
のモーター６７、スライド４６をほぼ水平に往復運動さ
せるためのエアシリンダ８１およびアームアセンブリ３
４を回動させるためのエアシリンダ７３の動作をプログ
ラムすることができる。この制御装置およびプログラム
装置は基本的に公知技術によるものであるので、その説
明は省略する。さらに、この装置の各種部材には、可撓
性のバンパを設けて、動作部材を定位置で止めるための
ストッパとして使用することもできる。なお、実施例に
記載された各部材の方向はこれに限定されるものではな
い。
制御部材や、プログラム装置を有する。このプログラム
装置によって、支持体５６を上下に往復運動させるため
のモーター６７、スライド４６をほぼ水平に往復運動さ
せるためのエアシリンダ８１およびアームアセンブリ３
４を回動させるためのエアシリンダ７３の動作をプログ
ラムすることができる。この制御装置およびプログラム
装置は基本的に公知技術によるものであるので、その説
明は省略する。さらに、この装置の各種部材には、可撓
性のバンパを設けて、動作部材を定位置で止めるための
ストッパとして使用することもできる。なお、実施例に
記載された各部材の方向はこれに限定されるものではな
い。
【００４３】
【発明の効果】本発明においては、ヘッドの静止位置と
ウェハー保持位置との間の回動角度がほぼ９０°と小さ
く、しかもその移動経路が切断ブレードに直交配置され
たインゴットの軸線を含む面内にあるので、装置を比較
的小さい範囲にまとめることができる。またヘッドはこ
の回動のほかに保持位置において切り出されたウェハー
の対面に対して平行方向および直角方向に直線的な小移
動をすることができ、ウェハーの厚さや直径の変更され
たときにも適正位置へ容易に追随させることが可能とな
る。またヘッドにはノズルがあり、常時、ウェハーの移
動中の傷付きを有効に防止する。さらに本発明の装置で
はヘッドの回動と上記直線的小移動とが２系統のエアシ
リンダと１系統のねじ軸回転モータによって駆動される
ので、通常のプログラム装置を併用することによって一
連的制御運転を容易に実施することができるなど多くの
特長を有する。
ウェハー保持位置との間の回動角度がほぼ９０°と小さ
く、しかもその移動経路が切断ブレードに直交配置され
たインゴットの軸線を含む面内にあるので、装置を比較
的小さい範囲にまとめることができる。またヘッドはこ
の回動のほかに保持位置において切り出されたウェハー
の対面に対して平行方向および直角方向に直線的な小移
動をすることができ、ウェハーの厚さや直径の変更され
たときにも適正位置へ容易に追随させることが可能とな
る。またヘッドにはノズルがあり、常時、ウェハーの移
動中の傷付きを有効に防止する。さらに本発明の装置で
はヘッドの回動と上記直線的小移動とが２系統のエアシ
リンダと１系統のねじ軸回転モータによって駆動される
ので、通常のプログラム装置を併用することによって一
連的制御運転を容易に実施することができるなど多くの
特長を有する。
【図１】この発明のウェハー製造装置の斜視図
【図２】この発明のウェハー製造装置の一部の正面図
【図３】静止位置における図２の側面図
【図４】アームアセンブリを静止位置から回動させ、ス
ライドを後方に移動させ、かつ支持体を上方に移動させ
て示した図３の類似図
ライドを後方に移動させ、かつ支持体を上方に移動させ
て示した図３の類似図
【図５】図２の５−５線断面図、
【図６】保持位置から離間した位置を示す図５の類似図
【図７】図２の７−７線断面図
【図８】この発明におけるウェハーのチャックアセンブ
リ回収装置の一部の斜視図
リ回収装置の一部の斜視図
【図９】図８の９−９線断面図
【図１０】切断工程の終了時点付近における切断ブレー
ドの位置を示す第９図の類似図
ドの位置を示す第９図の類似図
【図１１】静止位置から回動させ後方にスライドさせた
チャックアセンブリのヘッドの部分斜視図
チャックアセンブリのヘッドの部分斜視図
【図１２】結晶体と面する位置まで上昇したヘッドの部
分斜視図
分斜視図
【図１３】図１２の位置におけるヘッドの側面図
【図１４】ウェハー保持位置においてウェハーから僅か
に離間したヘッドの側面図
に離間したヘッドの側面図
【図１５】切り出されたウェハーを吸着した後、保持位
置から後方へ少し移動されたヘッドの側面図
置から後方へ少し移動されたヘッドの側面図
【図１６】下降される支持体と共に下降するヘッドを示
す側面図
す側面図
【図１７】吸着されたウェハーが切断ブレードのボアに
面する位置におけるチャックアセンブリのヘッドの部分
斜視図
面する位置におけるチャックアセンブリのヘッドの部分
斜視図
【図１８】吸着したウェハーを静止位置に移動させた場
合のチャックアセンブリのヘッドの部分斜視図
合のチャックアセンブリのヘッドの部分斜視図
１９ インゴット ２２ 切断ブレード ２３ ボア ２４ 刃 ２５ ウェハー ２６ チャックアセンブリ ２７ ヘッド ２９ ノズル ３０ アーム ３１ 直線部 ３２ 湾曲部 ３４ アームアセンブリ ４５ ロッド（回動中心軸） ４６ スライド ５０ シャフト ５６ 支持体 ５８ ガイドロッド ６７ モーター ６８ ねじ付シャフト ７３ エアシリンダ（回動用） ８１ エアシリンダ（直線動用）
Claims (8)
- 【請求項１】 インゴットからウェハーを切り出して回
収するウェハー製造方法であって、インゴットを移動し
て中心のボア周縁に刃を有する回転切断ブレードのボア
内にインゴット先端部を進入定置する工程と、インゴッ
トの先端部からウェハーを切り出すために回転切断ブレ
ードとインゴットの一方を他方に対して横切る方向に移
動させる工程と、チャックアセンブリのヘッドを切断ブ
レードの一方側の位置からボアを経て切断ブレードの他
方側のウェハー保持位置へとインゴットの中心軸線を含
む面内で移動させてウェハーと対面させる工程と、切り
出されるウェハーを対面させたヘッドに吸引して保持す
る工程と、ウェハーを保持したヘッドを保持位置からボ
アを経てもとのブレードの一方側の位置へ戻す工程と、
ヘッドからウェハーを放す工程とから成ることを特徴と
するウェハー製造方法。 - 【請求項２】 前記ブレードの一方側の位置とウェハー
保持位置の間のヘッドの移動がほぼ９０°の範囲にわた
る回動を含んで行なわれる請求項１記載のウェハー製造
方法。 - 【請求項３】 前記ヘッドをウェハーと対面させる工程
において、インゴットの先端面に向かうヘッドの移動
は、同端面に沿う平行方向の移動と同端面に直角な方向
の移動とを含み、平行方向の移動によってインゴットの
直径の変更に適応し、直角方向の移動によってウェハー
の厚さの変更に適応可能であることを特徴とする請求項
１記載のウェハー製造方法。 - 【請求項４】 中心のボア周縁に刃のある回転式切断ブ
レードを有する切断装置と、切断ブレードのボア内にイ
ンゴットを直交状に送入するインゴット送り装置とを有
し、インゴットとブレードとの横切り方向の相対動の間
に、インゴットからウェハーを切り出すウェハー製造装
置であって、前記ブレードによってインゴットの先端部
から切り出されたウェハーを吸引保持するための多数の
突出ノズルを含むヘッドを有するチャックアセンブリ
と、切断ブレードの一方側の位置と切断ブレードの他方
側に位置するウェハー保持位置との間で、切り出された
一枚のウェハーを保持したノズルをもつヘッドをインゴ
ットの中心軸線を含む面内で移動させる装置とを含んで
成り、このヘッド移動装置がインゴットの中心軸線 に平
行な進路内での移動のためにブレードのインゴットとは
逆側に設けたスライドガイドと、このスライドガイドに
回動可能に取付けられかつブレードのボアを通ってヘッ
ドを移動させるためヘッドに固着されたアームアセンブ
リとを含んでいることを特徴とするウェハー製造装置。 - 【請求項５】 前記ヘッドが切断ブレードの一方側の位
置と他方側のウェハー保持位置との間でチャックアセン
ブリと共に回動される所定角度がほぼ９０°とされてい
る請求項４記載のウェハー製造装置。 - 【請求項６】 前記切断ブレードと前記インゴットとは
直交状態に配置されていて、前記チャックアセンブリが
ヘッドの吸着保持面に関してほぼ９０°の範囲で回動可
能で、ヘッドをほぼ切断を終えた位置にある切断ブレー
ドのボアを通じて移動させる構成の請求項４記載のウェ
ハー製造装置。 - 【請求項７】 前記ヘッドはその片面に複数のノズルを
有し、これらのノズルが前記チャックアセンブリに接続
された中空アームの内腔を通じかつバルブを介して真空
源に連通されている請求項４記載のウェハー製造装置。 - 【請求項８】 中心のボア周縁に刃のある回転式切断ブ
レードを有する切断装置と、切断ブレードのボア内にイ
ンゴットを直交状に送入するインゴット送り装置とを有
し、インゴットとブレードとの間の横切り方向の相対動
の間に、インゴットからウェハーを切り出すウェハー製
造装置であって、前記ブレードによってインゴットの先
端部から切り出されたウェハーを吸引保持するための多
数の突出ノズルを含むヘッドを有するチャックアセンブ
リと、切断ブレードの一方側の位置と切断ブレードの他
方側に位置するウェハー保持位置との間で、切り出され
た一枚のウェハーを保持したノズルをもつヘッドをイン
ゴットの中心軸線を含む面内で移動させる装置とを含ん
で成り、このヘッド移動装置が、ベースフレーム（Ｆ）
に設けられた直立ロッド（５８）に沿って往復動する支
持体（５６）と、支持体（５６）に水平のスライドシャ
フト（５０）を介して取り付けられたスライド（４６）
と、スライド（４６）を所定のストローク水平方向に往
復動させる装置（７６）と、スライドシャフト（５０）
に対して直角方向に設けられた水平ロッド（４５）を介
してスライド（４６）に回動可能に取り付けられたアー
ムアセンブリ（３４）と、アームアセンブリ（３４）を
予め定められた角度、回動さ せる作動手段（７３）と、
アームアセンブリ（３４）から延出され、その前端に前
記チャックアセンブリ（２６）を有する中空アーム（３
０）とより成ることを特徴とするウェハー製造装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06320097 US4420909B2 (en) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | Wafering system |
| US320097 | 1981-11-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06143250A JPH06143250A (ja) | 1994-05-24 |
| JP2601594B2 true JP2601594B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=23244880
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57198318A Granted JPS5887830A (ja) | 1981-11-10 | 1982-11-10 | ウエハ−製造方法およびその装置 |
| JP1053587A Pending JPH01264806A (ja) | 1981-11-10 | 1989-03-06 | ウェハー製造方法およびその装置 |
| JP35708891A Expired - Lifetime JP2601594B2 (ja) | 1981-11-10 | 1991-12-24 | ウェハー製造方法およびその装置 |
Family Applications Before (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57198318A Granted JPS5887830A (ja) | 1981-11-10 | 1982-11-10 | ウエハ−製造方法およびその装置 |
| JP1053587A Pending JPH01264806A (ja) | 1981-11-10 | 1989-03-06 | ウェハー製造方法およびその装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4420909B2 (ja) |
| EP (1) | EP0079744B1 (ja) |
| JP (3) | JPS5887830A (ja) |
| DE (1) | DE3273372D1 (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4602854A (en) * | 1985-02-25 | 1986-07-29 | At&T Technologies, Inc. | Polyhedral ring mirrors and their manufacture |
| JPS6213305A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | 株式会社日立製作所 | ワ−ク回転式切断法およびその装置 |
| US4667650A (en) * | 1985-11-21 | 1987-05-26 | Pq Corporation | Mounting beam for preparing wafers |
| EP0242489B1 (de) * | 1986-04-17 | 1991-07-10 | Maschinenfabrik Meyer & Burger AG | Verfahren zum Trennen eines Stabes in Teilstücke, Trennschleifmaschine zur Durchführung dieses Verfahrens und Verwendung dieser Trennschleifmaschine |
| US4903681A (en) * | 1987-02-24 | 1990-02-27 | Tokyo Seimitus Co., Ltd. | Method and apparatus for cutting a cylindrical material |
| US4899719A (en) * | 1987-07-31 | 1990-02-13 | Mitsubishi Kinsoku Kabushiki Kaisha | Apparatus for collecting wafers |
| JP2623604B2 (ja) * | 1987-10-21 | 1997-06-25 | 三菱マテリアル株式会社 | スライサの切断送り装置 |
| DE3737540C1 (de) * | 1987-11-05 | 1989-06-22 | Mueller Georg Nuernberg | Verfahren und Maschine zum Herstellen von Ronden mit zumindest einer planen Oberflaeche |
| US4819387A (en) * | 1987-12-16 | 1989-04-11 | Motorola, Inc. | Method of slicing semiconductor crystal |
| US5025593A (en) * | 1988-01-18 | 1991-06-25 | Mazda Motor Corporation | Slicing machine and control method thereof |
| US5111622A (en) * | 1989-05-18 | 1992-05-12 | Silicon Technology Corporation | Slicing and grinding system for a wafer slicing machine |
| US4974578A (en) * | 1989-08-17 | 1990-12-04 | Silicon Technology Corporation | Housing for mounting a spindle of an internal diameter saw blade |
| JPH0695504B2 (ja) * | 1989-10-31 | 1994-11-24 | 直江津電子工業株式会社 | ウエハ枚葉式内周刃２分割切断装置におけるウエハ供給回収装置 |
| US5189843A (en) * | 1990-08-30 | 1993-03-02 | Silicon Technology Corporation | Wafer slicing and grinding machine and a method of slicing and grinding wafers |
| US5148797A (en) * | 1991-03-14 | 1992-09-22 | Silicon Technology Corporation | Mounting for an internal diameter saw blade |
| US5243960A (en) * | 1991-12-31 | 1993-09-14 | Stone Panels, Inc. | Apparatus for cutting stone laminate panels |
| US5427644A (en) * | 1993-01-11 | 1995-06-27 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Method of manufacturing semiconductor wafer and system therefor |
| JP2823493B2 (ja) * | 1993-01-18 | 1998-11-11 | トーヨーエイテック株式会社 | スライシング装置のブレード撓み検出方法及び装置並びにブレード撓み制御装置 |
| JP2943673B2 (ja) * | 1995-10-31 | 1999-08-30 | 日本電気株式会社 | 半導体基板の製造装置及び製造方法 |
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