JP2587667B2 - ＳｉＣフィルタの製造方法 - Google Patents
ＳｉＣフィルタの製造方法Info
- Publication number
- JP2587667B2 JP2587667B2 JP63004685A JP468588A JP2587667B2 JP 2587667 B2 JP2587667 B2 JP 2587667B2 JP 63004685 A JP63004685 A JP 63004685A JP 468588 A JP468588 A JP 468588A JP 2587667 B2 JP2587667 B2 JP 2587667B2
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- Japan
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- filter
- sic
- manufacturing
- sio
- carbon
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- Ceramic Products (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、液体用ろ過フィルタ等の流体に対し用い
ることができるSiCフィルタの製造方法に関する。
ることができるSiCフィルタの製造方法に関する。
従来の技術 フィルタは、たとえば半導体の製造工程で使用される
クリーンルームで塵埃を除去するために用いる。
クリーンルームで塵埃を除去するために用いる。
発明が解決しようとする課題 ところで、クリーンルームで使用されるフィルタは、
有機系の気孔径の小さいものが使用されているが、捕集
された塵埃は帯電しているのでフィルタ層表面に凝集
し、ある程度大きくなるとフィルタから剥れ落ち、クリ
ーンルーム内を再汚染する問題があった。
有機系の気孔径の小さいものが使用されているが、捕集
された塵埃は帯電しているのでフィルタ層表面に凝集
し、ある程度大きくなるとフィルタから剥れ落ち、クリ
ーンルーム内を再汚染する問題があった。
この発明は上述の問題点を解消し熱的に安定で塵埃粒
子の凝集のないSiCフイルタの製造方法を提供すること
を目的とする。
子の凝集のないSiCフイルタの製造方法を提供すること
を目的とする。
課題を解決するための手段 第１の発明は不融化ピッチを出発原料とし、それを粉
砕して成形した後焼成し、該焼成体のカーボンをSiO雰
囲気でSiOと反応させ、カーボンをSiC化させることを特
徴とするSiCフィルタの製造方法を要旨としている。
砕して成形した後焼成し、該焼成体のカーボンをSiO雰
囲気でSiOと反応させ、カーボンをSiC化させることを特
徴とするSiCフィルタの製造方法を要旨としている。
発明の実施の形態 この発明の方法により製造されるSiCフィルタの一例
は、0.01μｍ〜3.0μｍの径を有する微細気孔の占める
容積が0.02cm3/g以上存在し、かつ0.01μｍ〜3.0μｍの
径の気孔の占める容積が全容積の80％以上である（第１
図参照）。これらの気孔の径は好ましくは0.1〜2.0μｍ
である。この気孔径分布はポロシメータで測定して得ら
れる。この気孔分布は平均を中心とするほぼ対称形で横
軸が漸近線となっている。
は、0.01μｍ〜3.0μｍの径を有する微細気孔の占める
容積が0.02cm3/g以上存在し、かつ0.01μｍ〜3.0μｍの
径の気孔の占める容積が全容積の80％以上である（第１
図参照）。これらの気孔の径は好ましくは0.1〜2.0μｍ
である。この気孔径分布はポロシメータで測定して得ら
れる。この気孔分布は平均を中心とするほぼ対称形で横
軸が漸近線となっている。
気孔径が0.01μｍより小さいと、目づまりを起こしや
すく、ろ過抵抗も大きいのでよくない。気孔径が3.0μ
ｍより大きいと、捕集能力フィルタの機械的強度が低下
するためよくない。気孔の占める容積が0.02cm3/gより
小さいとやはり目づまりを起こしやすくろ過抵抗も大き
いのでよくない。
すく、ろ過抵抗も大きいのでよくない。気孔径が3.0μ
ｍより大きいと、捕集能力フィルタの機械的強度が低下
するためよくない。気孔の占める容積が0.02cm3/gより
小さいとやはり目づまりを起こしやすくろ過抵抗も大き
いのでよくない。
0.01μｍ〜3.0μｍの径の気孔の占める容積が全容積
の80％より小さいと短時間に目づまりを起こし、ライフ
が短くなるか、あるいは塵埃がフィルタを通過するので
フィルタとしての機能が劣るのでよくない。
の80％より小さいと短時間に目づまりを起こし、ライフ
が短くなるか、あるいは塵埃がフィルタを通過するので
フィルタとしての機能が劣るのでよくない。
前述のようなSiCフィルタは次のようにして作ること
ができる。
ができる。
不融化ピッチを出発原料とし、それを粉砕して成形し
た後焼成する。そして該焼成体のカーボンをSiO雰囲気
でSiOと反応させ、カーボンをSiC化させる。
た後焼成する。そして該焼成体のカーボンをSiO雰囲気
でSiOと反応させ、カーボンをSiC化させる。
実施例 不融化ピッチを出発原料としてそれを粉砕して成形し
た後焼成する。この焼成体のカーボンをSiO雰囲気で170
0℃でSiOと反応させる。これによりカーボンをSiC化さ
せるのである。なおSiO雰囲気はSiO2とカーボンを反応
させて作る。
た後焼成する。この焼成体のカーボンをSiO雰囲気で170
0℃でSiOと反応させる。これによりカーボンをSiC化さ
せるのである。なおSiO雰囲気はSiO2とカーボンを反応
させて作る。
得られたフィルターは一例として示すと、1.6μｍの
径の微細気孔の占める容積が0.03cm3/gであり、その1.6
μｍの径の気孔の占める容積が全容積の80％以上であ
る。
径の微細気孔の占める容積が0.03cm3/gであり、その1.6
μｍの径の気孔の占める容積が全容積の80％以上であ
る。
このようなSiCフィルタは、粒界のないカーボン材料
をSiC化しているので機械的強度が高く、しかもSiCは半
導体であるので静電気が生じない。このためろ過すると
きにダスト粒子の凝集がなく、長期間フィルタとして機
能する。
をSiC化しているので機械的強度が高く、しかもSiCは半
導体であるので静電気が生じない。このためろ過すると
きにダスト粒子の凝集がなく、長期間フィルタとして機
能する。
発明の効果 以上説明したように、本発明によれば、熱的に安定し
長期間フィルタとして機能するフィルタが製造できる。
長期間フィルタとして機能するフィルタが製造できる。
第１図は本発明の方法により製造されたフィルタに係る
気孔径分布図である。
気孔径分布図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市島 雅彦 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番 地 東芝セラミックス株式会社小国製造 所内 (72)発明者 佐々木 泰実 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番 地 東芝セラミックス株式会社小国製造 所内
Claims (1)
- 【請求項１】不融化ピッチを出発原料とし、それを粉砕
して成形した後焼成し、該焼成体のカーボンをSiO雰囲
気でSiOと反応させ、カーボンをSiC化させることを特徴
とするSiCフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004685A JP2587667B2 (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | ＳｉＣフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004685A JP2587667B2 (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | ＳｉＣフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01184011A JPH01184011A (ja) | 1989-07-21 |
| JP2587667B2 true JP2587667B2 (ja) | 1997-03-05 |
Family
ID=11590747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63004685A Expired - Lifetime JP2587667B2 (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | ＳｉＣフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2587667B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57110311A (en) * | 1980-12-27 | 1982-07-09 | Kyocera Corp | Ceramic honeycomb filter |
| JPS5959233A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-05 | Mitsui Kensaku Toishi Kk | 菌体ろ過用セラミツク中空糸体 |
| JPS60238116A (ja) * | 1984-05-14 | 1985-11-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミツクフイルタ−の製造方法 |
| JPS60261521A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミツクフイルタ−の製造方法 |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP63004685A patent/JP2587667B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57110311A (en) * | 1980-12-27 | 1982-07-09 | Kyocera Corp | Ceramic honeycomb filter |
| JPS5959233A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-05 | Mitsui Kensaku Toishi Kk | 菌体ろ過用セラミツク中空糸体 |
| JPS60238116A (ja) * | 1984-05-14 | 1985-11-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミツクフイルタ−の製造方法 |
| JPS60261521A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミツクフイルタ−の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01184011A (ja) | 1989-07-21 |
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