JP2573737B2 - 画像認識装置 - Google Patents
画像認識装置Info
- Publication number
- JP2573737B2 JP2573737B2 JP2264430A JP26443090A JP2573737B2 JP 2573737 B2 JP2573737 B2 JP 2573737B2 JP 2264430 A JP2264430 A JP 2264430A JP 26443090 A JP26443090 A JP 26443090A JP 2573737 B2 JP2573737 B2 JP 2573737B2
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- JP
- Japan
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- signal
- video signal
- circuit
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ステージ上に載置される半導体装置部品
（以下単に部品と呼ぶ）の位置認識する画像認識装置に
関する。
（以下単に部品と呼ぶ）の位置認識する画像認識装置に
関する。
第４図は従来の一例を示す画像認識装置のブロック図
である。従来、この種の画像認識装置は、同図に示すよ
うにステージ４上に搭載される部品12を撮像するテレビ
カメラ１と、テレビカメラ１が出力する映像信号S1を取
り込み、量子化を行うとともに演算処理し、映像信号S2
及び制御信号を出力する画像処理部２と、映像信号S2を
入力し、部品12の位置情報を表示するモニタ３と、制御
信号を入力しステージ４の移動を制御する制御部５とを
有している。
である。従来、この種の画像認識装置は、同図に示すよ
うにステージ４上に搭載される部品12を撮像するテレビ
カメラ１と、テレビカメラ１が出力する映像信号S1を取
り込み、量子化を行うとともに演算処理し、映像信号S2
及び制御信号を出力する画像処理部２と、映像信号S2を
入力し、部品12の位置情報を表示するモニタ３と、制御
信号を入力しステージ４の移動を制御する制御部５とを
有している。
第５図（ａ）及び（ｂ）は第４図の画像認識装置の動
作を説明するためのモニタ上に表示される撮像領域を示
す図である。次に、この画像認識装置の動作を説明す
る。まず、部品12より反射される光をテレビカメラ13が
捕捉し、映像信号S1を出力する。次にマイクロコンピュ
ータ及び高速デジタル回路をもつ画像処理部15が、映像
信号S1を取り込み、量子化及び演算処理し、映像信号S2
を出力する。次に、モニタ３は映像信号S2を入力し、第
５図（ａ）に示すように、部品12の撮像領域10内の斜線
で示す２値化像11と余白部とを示す。次に、第５図
（ｂ）に示すように、あらかじめ入力している基準パタ
ーンとを比較して、基準の２値化画像11aの境界線から
のずれ量を算出し、外部の制御部５に制御信号を出力す
る。制御部５は、ずれ量データをもとにステージ４を移
動させ、部品12の位置決めを行い、必要な処理を行って
いた。
作を説明するためのモニタ上に表示される撮像領域を示
す図である。次に、この画像認識装置の動作を説明す
る。まず、部品12より反射される光をテレビカメラ13が
捕捉し、映像信号S1を出力する。次にマイクロコンピュ
ータ及び高速デジタル回路をもつ画像処理部15が、映像
信号S1を取り込み、量子化及び演算処理し、映像信号S2
を出力する。次に、モニタ３は映像信号S2を入力し、第
５図（ａ）に示すように、部品12の撮像領域10内の斜線
で示す２値化像11と余白部とを示す。次に、第５図
（ｂ）に示すように、あらかじめ入力している基準パタ
ーンとを比較して、基準の２値化画像11aの境界線から
のずれ量を算出し、外部の制御部５に制御信号を出力す
る。制御部５は、ずれ量データをもとにステージ４を移
動させ、部品12の位置決めを行い、必要な処理を行って
いた。
上述した従来の画像認識装置では、テレビカメラ１か
らの映像信号S1をそのままの形で２値化処理するので、
部品である半導体デバイスのペレットやパッケージの境
界における画像の濃淡のばらつきによる２値化不安定現
象（二値化処理時“1"になったり“0"になったりする再
現性の無いエリア）を起すことがある。このため、第５
図（ａ）に示すように、撮像領域10内に二値化不安定画
像13が発生する。このような場合は、このパターンと比
較する対象の基準パターンがないので、認識エラーを起
すという問題がある。特に、セラミックパッケージにお
いては品種により種々色々な加工がなされている他、そ
の表面状態での反射光の強度がばらつき、そのため検出
エリア内に２値化不安定現象が発生し、部品面内にある
段差部を示す境界線が明瞭に認識出来ないという問題が
ある。
らの映像信号S1をそのままの形で２値化処理するので、
部品である半導体デバイスのペレットやパッケージの境
界における画像の濃淡のばらつきによる２値化不安定現
象（二値化処理時“1"になったり“0"になったりする再
現性の無いエリア）を起すことがある。このため、第５
図（ａ）に示すように、撮像領域10内に二値化不安定画
像13が発生する。このような場合は、このパターンと比
較する対象の基準パターンがないので、認識エラーを起
すという問題がある。特に、セラミックパッケージにお
いては品種により種々色々な加工がなされている他、そ
の表面状態での反射光の強度がばらつき、そのため検出
エリア内に２値化不安定現象が発生し、部品面内にある
段差部を示す境界線が明瞭に認識出来ないという問題が
ある。
本発明の目的は、かかる問題を解消すべく部品面内に
ある段差部を示す境界線を認識出来る画像認識装置を提
供することである。
ある段差部を示す境界線を認識出来る画像認識装置を提
供することである。
本発明の特徴は、部品の凹凸による段差部を有する面
を撮像するテレビカメラと、テレビカメラの映像信号を
処理してモニタに画像を写し出すとともに基準画像パタ
ーンとのずれ量を補正する制御部とを有する画像認識装
置において、前記段差部の映像信号を抽出する抽出回路
と、抽出される前記映像信号を強制的に２値化する回路
と、２値化された信号の信号幅に応じて信号数のサンプ
ル信号を出力するサンプリング回路と、前記段差領域の
幅に相当するパルス幅をもつ変更信号と前記サンプル信
号とを入力し単パルスを出力する論理積回路と、前記抽
出回路よりバイパスされる映像信号に前記単パルスを組
込む映像処理部とを備える画像認識装置である。
を撮像するテレビカメラと、テレビカメラの映像信号を
処理してモニタに画像を写し出すとともに基準画像パタ
ーンとのずれ量を補正する制御部とを有する画像認識装
置において、前記段差部の映像信号を抽出する抽出回路
と、抽出される前記映像信号を強制的に２値化する回路
と、２値化された信号の信号幅に応じて信号数のサンプ
ル信号を出力するサンプリング回路と、前記段差領域の
幅に相当するパルス幅をもつ変更信号と前記サンプル信
号とを入力し単パルスを出力する論理積回路と、前記抽
出回路よりバイパスされる映像信号に前記単パルスを組
込む映像処理部とを備える画像認識装置である。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す画像認識装置のブロ
ック図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置を説
明するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波形図
である。この画像認識装置は、第１図及び第２図に示す
ように、テレビカメラ１から得られる撮像領域17の映像
信号より複数の画素による段差領域18の映像信号S0を抽
出し、この抽出された映像信号S0を強制的に２値化し、
段差領域18における境界線19を明瞭にし、明瞭化された
映像信号を出力する境界線発生部３を設けることであ
る。
ック図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置を説
明するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波形図
である。この画像認識装置は、第１図及び第２図に示す
ように、テレビカメラ１から得られる撮像領域17の映像
信号より複数の画素による段差領域18の映像信号S0を抽
出し、この抽出された映像信号S0を強制的に２値化し、
段差領域18における境界線19を明瞭にし、明瞭化された
映像信号を出力する境界線発生部３を設けることであ
る。
この境界線発生部３は、映像信号より段差領域18の複
数の誤差により映像信号S0を抽出する抽出回路20と、映
像信号S0を２値化する２値化回路６と、２値化された２
値化信号S3をサンプリングするサンプリング回路７と、
サンプリング映像信号S4と段差領域の幅に相当するパル
ス幅を持つ変更信号S6と入力し、出力信号S5を出力する
論理積回路８と、図形パターン記憶部16より撮像領域17
から段差領域18を抽出するとともに抽出回路20に抽出指
令する段差領域抽出部15と、この段差領域の幅に相当す
る幅をもつパルス状の変更信号S6を発生するパルス発生
回路９とで構成される。
数の誤差により映像信号S0を抽出する抽出回路20と、映
像信号S0を２値化する２値化回路６と、２値化された２
値化信号S3をサンプリングするサンプリング回路７と、
サンプリング映像信号S4と段差領域の幅に相当するパル
ス幅を持つ変更信号S6と入力し、出力信号S5を出力する
論理積回路８と、図形パターン記憶部16より撮像領域17
から段差領域18を抽出するとともに抽出回路20に抽出指
令する段差領域抽出部15と、この段差領域の幅に相当す
る幅をもつパルス状の変更信号S6を発生するパルス発生
回路９とで構成される。
次に、この画像認識装置の動作を説明する。まず、部
品12からの反射光をテレビカメラ１が捕捉し、画像信号
が順次出力される。一方、図形パターン記憶部16より段
差領域抽出部15が前記画像信号の出力と同期して抽出す
る。次に、段差領域抽出部15の指令により抽出回路20が
映像信号S0を抽出する。このときの波形が第３図に示
す。また、このときパルス発生回路９は段差領域抽出部
15の指令により第３図に示す変更信号S6の出力を促す。
次に、映像信号S0は２値化回路６により第３図に示す２
値化信号S3に成形される。次に、この２値化信号S3はサ
ンプリング回路７によりサンプリングされ、サンプリン
グ後信号S4として論理積回路８の一方の端子に入力され
る。一方、前述の変更信号S6が論理積回路８の他方の端
子に入力されるので、出力は単純な単パルスで出力され
る。
品12からの反射光をテレビカメラ１が捕捉し、画像信号
が順次出力される。一方、図形パターン記憶部16より段
差領域抽出部15が前記画像信号の出力と同期して抽出す
る。次に、段差領域抽出部15の指令により抽出回路20が
映像信号S0を抽出する。このときの波形が第３図に示
す。また、このときパルス発生回路９は段差領域抽出部
15の指令により第３図に示す変更信号S6の出力を促す。
次に、映像信号S0は２値化回路６により第３図に示す２
値化信号S3に成形される。次に、この２値化信号S3はサ
ンプリング回路７によりサンプリングされ、サンプリン
グ後信号S4として論理積回路８の一方の端子に入力され
る。一方、前述の変更信号S6が論理積回路８の他方の端
子に入力されるので、出力は単純な単パルスで出力され
る。
次に、この出力信号S5は画像処理部2aに入力され、抽
出回路20よりバイパスされた映像信号に組込まれ、処理
されて新な映像信号としてモニタ14に入力される。モニ
タ14は画像領域を写し出される。このときの映像では段
差領域は濃淡のないモノトーン色で明瞭に境界線を写し
出す。
出回路20よりバイパスされた映像信号に組込まれ、処理
されて新な映像信号としてモニタ14に入力される。モニ
タ14は画像領域を写し出される。このときの映像では段
差領域は濃淡のないモノトーン色で明瞭に境界線を写し
出す。
以上説明したように本発明は、段差部のある部品面の
撮像領域より前記段差部のアナログ的な映像信号を抽出
する回路と、抽出された映像信号を強制的に２値化し
て、単パルス信号として出力する回路とを設け、他の映
像信号に前記単パルス信号を組込むことによって、モニ
タに段差部における境界線を明瞭に表示出来るので、認
識ミスを起すことのない画像認識装置が得られるという
効果がある。
撮像領域より前記段差部のアナログ的な映像信号を抽出
する回路と、抽出された映像信号を強制的に２値化し
て、単パルス信号として出力する回路とを設け、他の映
像信号に前記単パルス信号を組込むことによって、モニ
タに段差部における境界線を明瞭に表示出来るので、認
識ミスを起すことのない画像認識装置が得られるという
効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す画像認識装置のブロッ
ク図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置の動作
を説明するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波
形図、第４図は従来の一例を示す画像認識装置のブロッ
ク図、第５図（ａ）及び（ｂ）は第４図の画像認識装置
の動作を説明するためのモニタ上に表示されるパターン
を示す図である。 １……テレビカメラ、2,2a……画像処理部、３……境界
線発生部、４……ステージ、５……制御部、６……２値
化回路、７……サンプリング回路、８……論理積回路、
９……パルス発生器、10,17……撮像領域、11……２値
化画像、12……部品、13……２値化不安定画像、14……
モニタ、15……段差領域抽出部、16……図形パターン記
憶部、18……段差領域、19……境界線、20……抽出回
路。
ク図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置の動作
を説明するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波
形図、第４図は従来の一例を示す画像認識装置のブロッ
ク図、第５図（ａ）及び（ｂ）は第４図の画像認識装置
の動作を説明するためのモニタ上に表示されるパターン
を示す図である。 １……テレビカメラ、2,2a……画像処理部、３……境界
線発生部、４……ステージ、５……制御部、６……２値
化回路、７……サンプリング回路、８……論理積回路、
９……パルス発生器、10,17……撮像領域、11……２値
化画像、12……部品、13……２値化不安定画像、14……
モニタ、15……段差領域抽出部、16……図形パターン記
憶部、18……段差領域、19……境界線、20……抽出回
路。
Claims (1)
- 【請求項１】部品の凹凸による段差部を有する面を撮像
するテレビカメラと、テレビカメラの映像信号を処理し
てモニタに画像を写し出すとともに基準画像パターンと
のずれ量を補正する制御部とを有する画像認識装置にお
いて、前記段差部の映像信号を抽出する抽出回路と、抽
出される前記映像信号を強制的に２値化する回路と、２
値化された信号の信号幅に応じて信号数のサンプル信号
を出力するサンプリング回路と、前記段差領域の幅に相
当するパルス幅をもつ変更信号と前記サンプル信号とを
入力し単パルスを出力する論理積回路と、前記抽出回路
よりバイパスされる映像信号に前記単パルスを組込む映
像処理部とを備えることを特徴とする画像認識装置装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2264430A JP2573737B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 画像認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2264430A JP2573737B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 画像認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04140889A JPH04140889A (ja) | 1992-05-14 |
| JP2573737B2 true JP2573737B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=17403077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2264430A Expired - Fee Related JP2573737B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 画像認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573737B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62228103A (ja) * | 1986-03-29 | 1987-10-07 | Toshiba Corp | 基板測定装置 |
-
1990
- 1990-10-01 JP JP2264430A patent/JP2573737B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04140889A (ja) | 1992-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |