JPS633354B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633354B2 JPS633354B2 JP54036369A JP3636979A JPS633354B2 JP S633354 B2 JPS633354 B2 JP S633354B2 JP 54036369 A JP54036369 A JP 54036369A JP 3636979 A JP3636979 A JP 3636979A JP S633354 B2 JPS633354 B2 JP S633354B2
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- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 claims description 9
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 206010064127 Solar lentigo Diseases 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はパターン認識装置、特に半導体装置等
のワイヤボンデイング工程で半導体ペレツト上の
一定の面積及び形状のパツドを認識して位置誤差
を検出するに最適なパターン認識装置に関するも
のである。
のワイヤボンデイング工程で半導体ペレツト上の
一定の面積及び形状のパツドを認識して位置誤差
を検出するに最適なパターン認識装置に関するも
のである。
一般にパターン認識、位置測定等を光学的に行
なう場合は、投影された画像の各部の明暗の組合
せが指定の条件に合致するか否かによつて判断さ
れる。そこで入力装置としてテレビカメラを利用
してパツドの位置情報を得る場合、その出力は光
電面に投影された画像を電子ビームが走査する
際、その各部の明るさに応じて現われるので、例
えば特開昭53−82244号公報に示すようにパツド
がほぼ一定の面積を有することに着目してテレビ
カメラから得られた映像信号を２値化し、縦およ
び横列のそれぞれ定められた数の絵素のANDを
とり、縦横が同時に成立する時の座標を読み込む
ようになつている。
なう場合は、投影された画像の各部の明暗の組合
せが指定の条件に合致するか否かによつて判断さ
れる。そこで入力装置としてテレビカメラを利用
してパツドの位置情報を得る場合、その出力は光
電面に投影された画像を電子ビームが走査する
際、その各部の明るさに応じて現われるので、例
えば特開昭53−82244号公報に示すようにパツド
がほぼ一定の面積を有することに着目してテレビ
カメラから得られた映像信号を２値化し、縦およ
び横列のそれぞれ定められた数の絵素のANDを
とり、縦横が同時に成立する時の座標を読み込む
ようになつている。
一方、半導体装置製造工程ではワイヤボンデイ
ング工程前にウエハーよりペレツトを分離しない
ままその特性を測定し不良ペレツトを除去する工
程があり、この工程において測定用探針（プロー
バ）をペレツトの各電極、即ちパツドに接触させ
る。このため大低の場合、パツドの中央部に不規
則にプローバの探針の跡が付いている。そこで、
前記の如くテレビカメラでパツドを写すと、モニ
ターの画面にはパツド中央部に黒い不規則な円状
の斑点が生じる。このような黒斑点はパターン上
にゴミが付着しても生じることがある。そこで、
このような斑点があると、前記した方式では縦横
絵素のANDパツド上において成立しなくなり、
検出不能や誤検出の原因となる欠点があつた。
ング工程前にウエハーよりペレツトを分離しない
ままその特性を測定し不良ペレツトを除去する工
程があり、この工程において測定用探針（プロー
バ）をペレツトの各電極、即ちパツドに接触させ
る。このため大低の場合、パツドの中央部に不規
則にプローバの探針の跡が付いている。そこで、
前記の如くテレビカメラでパツドを写すと、モニ
ターの画面にはパツド中央部に黒い不規則な円状
の斑点が生じる。このような黒斑点はパターン上
にゴミが付着しても生じることがある。そこで、
このような斑点があると、前記した方式では縦横
絵素のANDパツド上において成立しなくなり、
検出不能や誤検出の原因となる欠点があつた。
本発明は上記のようなパツド上の黒点を周囲の
絵素の論理演算回路の処理によつて消去し、上記
従来技術の欠点を除去するパターン認識装置を提
供することを目的とする。
絵素の論理演算回路の処理によつて消去し、上記
従来技術の欠点を除去するパターン認識装置を提
供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図に示すようにパツド１上の探針跡のよう
な黒点部分２はパツド辺寸法に比べ径が約1/2程
度で、周囲は白いパツド１の部分に囲まれてい
る。本発明の原理は、２点鎖線で示すようにパツ
ド１より小さくかつ黒点部分２を内部に囲むのに
十分な大きさの環状の絵素の部分３の出力の
ANDをとり、このANDが成立する場合にこの
ANDの出力信号により環状絵素３の内部の絵素
（内部が白又は黒に限らない）を全部白色に変換
するようにして黒色部分２を消去することを特徴
とする。この処理をテレビカメラで得られたモニ
ター画面全部に亘つて実施することにより、画面
中の前記環状絵素３が内部に収め得る寸法の黒色
部はすべて消去される。
な黒点部分２はパツド辺寸法に比べ径が約1/2程
度で、周囲は白いパツド１の部分に囲まれてい
る。本発明の原理は、２点鎖線で示すようにパツ
ド１より小さくかつ黒点部分２を内部に囲むのに
十分な大きさの環状の絵素の部分３の出力の
ANDをとり、このANDが成立する場合にこの
ANDの出力信号により環状絵素３の内部の絵素
（内部が白又は黒に限らない）を全部白色に変換
するようにして黒色部分２を消去することを特徴
とする。この処理をテレビカメラで得られたモニ
ター画面全部に亘つて実施することにより、画面
中の前記環状絵素３が内部に収め得る寸法の黒色
部はすべて消去される。
次に上記本発明の原理に基づき、本発明の具体
的な一実施例について説明する。
的な一実施例について説明する。
第２図は本発明の一実施例を示すブロツク図で
ある。リードフレーム１０に取付けられたペレツ
ト１１はテレビカメラ１２で撮像される。このテ
レビカメラ１２の出力は増幅器１３を通して２値
化回路１４に供給され、この２値化回路１４で白
の部分は１、黒の部分０のようにデジタル化され
る。２値化されたデジタル信号は従来の検出回路
１５に入力されその出力がテレビモニター１６に
画像として写し出される前に、図形整形回路１７
に入力されて図形の整形が行なわれる。前記モニ
ター１６はモニター画面を縦方向及び横方向に等
分割、例えば256×200単位に分割した絵素を使つ
て被写体の位置情報を処理するとする。
ある。リードフレーム１０に取付けられたペレツ
ト１１はテレビカメラ１２で撮像される。このテ
レビカメラ１２の出力は増幅器１３を通して２値
化回路１４に供給され、この２値化回路１４で白
の部分は１、黒の部分０のようにデジタル化され
る。２値化されたデジタル信号は従来の検出回路
１５に入力されその出力がテレビモニター１６に
画像として写し出される前に、図形整形回路１７
に入力されて図形の整形が行なわれる。前記モニ
ター１６はモニター画面を縦方向及び横方向に等
分割、例えば256×200単位に分割した絵素を使つ
て被写体の位置情報を処理するとする。
前記図形整形回路１７は第３図に示すように絵
素１個当り１段のシフトレジスタが対応するよう
に多段の連続したシフトレジスタを備えている。
図中、大文字のローマ字はシフトレジスタを、小
文字のローマ字は絵素を示す。従つて、ある段か
ら256段目のレジスタの内容は垂直方向に隣接し
た絵素に対応している。
素１個当り１段のシフトレジスタが対応するよう
に多段の連続したシフトレジスタを備えている。
図中、大文字のローマ字はシフトレジスタを、小
文字のローマ字は絵素を示す。従つて、ある段か
ら256段目のレジスタの内容は垂直方向に隣接し
た絵素に対応している。
今、簡単な例として、例えば第５図に示すよう
な絵素５×５に対応した被測定物があり、白色の
環状絵素３の内部に３×３絵素の大きさの黒点部
分２があるとすると、第４図に示す回路のように
シフトレジスタA3〜A7、B3、B7、C3、C7、D3、
D7、E3〜E7の内容をAND回路１８に入力し、こ
の出力によつてシフトレジスタB4、B5、B6、C4、
C5、C6、D4、D5、D6の内容をすべて強制的に１
とすることにより、斜線（黒色部分２）の部分は
始めの内容の如何にかかわらず白に変換され、目
的を達することができる。
な絵素５×５に対応した被測定物があり、白色の
環状絵素３の内部に３×３絵素の大きさの黒点部
分２があるとすると、第４図に示す回路のように
シフトレジスタA3〜A7、B3、B7、C3、C7、D3、
D7、E3〜E7の内容をAND回路１８に入力し、こ
の出力によつてシフトレジスタB4、B5、B6、C4、
C5、C6、D4、D5、D6の内容をすべて強制的に１
とすることにより、斜線（黒色部分２）の部分は
始めの内容の如何にかかわらず白に変換され、目
的を達することができる。
以上最も簡単な例について説明したが、この方
法の応用として、第６図に示す様にANDとする
絵素の形状を四隅の角の部分に丸みを持たせた形
としておき、ANDが成立した時斜線に示す四隅
の角の範囲を白に変換させることもできる。この
方法はカメラの分解能や照明の影響で不鮮明とな
り角の丸くなつた画面の修正に有用である。
法の応用として、第６図に示す様にANDとする
絵素の形状を四隅の角の部分に丸みを持たせた形
としておき、ANDが成立した時斜線に示す四隅
の角の範囲を白に変換させることもできる。この
方法はカメラの分解能や照明の影響で不鮮明とな
り角の丸くなつた画面の修正に有用である。
以上の説明から明らかな如く、本発明のパター
ン認識装置によれば、被写体上の黒色部分やごみ
等のノイズを周囲の絵素の論理演算回路の処理に
よつて消去するので、検出不能や誤検出は除去さ
れる。
ン認識装置によれば、被写体上の黒色部分やごみ
等のノイズを周囲の絵素の論理演算回路の処理に
よつて消去するので、検出不能や誤検出は除去さ
れる。
第１図はモニター画像の一例を示す被写体の説
明図、第２図は本発明になるパターン認識装置の
一実施例を示すブロツク図、第３図、第４図は図
形整形回路の一実施例を示し、第３図はシフトレ
ジスタ回路図、第４図は論理演算回路図、第５図
は絵素の一例を示す説明図、第６図は絵素の他の
例を示す説明図である。 １……パツド、２……黒点部分、３……環状絵
素、１１……ペレツト、１２……テレビカメラ、
１４……２値化回路、１７……図形整形回路、１
８……AND回路、a1〜a256，b1〜b256〜……絵
素、A1〜A256，B1〜B256〜……シフトレジスタ。
明図、第２図は本発明になるパターン認識装置の
一実施例を示すブロツク図、第３図、第４図は図
形整形回路の一実施例を示し、第３図はシフトレ
ジスタ回路図、第４図は論理演算回路図、第５図
は絵素の一例を示す説明図、第６図は絵素の他の
例を示す説明図である。 １……パツド、２……黒点部分、３……環状絵
素、１１……ペレツト、１２……テレビカメラ、
１４……２値化回路、１７……図形整形回路、１
８……AND回路、a1〜a256，b1〜b256〜……絵
素、A1〜A256，B1〜B256〜……シフトレジスタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 半導体装置のペレツト表面をテレビカメラで
撮像し、その映像信号を２値化して画面を縦及び
横方向に複数に分割して得られる絵素によりペレ
ツト表面のパターンを認識してパツドの位置誤差
を検出するパターン認識回路において、前記各絵
素に対応する信号を記憶する記憶手段と、パツド
内に設定した一定の大きさの環状の絵素に対応す
る前記記憶手段に記憶された信号が入力され前記
環状絵素の内部の絵素に対応する前記記憶手段に
出力するアンド回路とを備え、前記環状絵素の内
部の絵素を環状絵素と同じ色にすることにより環
状絵素内部のノイズを除去することを特徴とする
パターン認識回路。 ２ 特許請求の範囲第１項において、記憶手段は
絵素に対応する信号の受授に多段の連続したシフ
トレジスタを有してなることを特徴とするパター
ン認識回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3636979A JPS55138173A (en) | 1979-03-27 | 1979-03-27 | Pattern recognizing circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3636979A JPS55138173A (en) | 1979-03-27 | 1979-03-27 | Pattern recognizing circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55138173A JPS55138173A (en) | 1980-10-28 |
| JPS633354B2 true JPS633354B2 (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=12467913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3636979A Granted JPS55138173A (en) | 1979-03-27 | 1979-03-27 | Pattern recognizing circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55138173A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6170673A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-11 | Fuji Electric Co Ltd | 画像処理装置 |
| US4646355A (en) * | 1985-03-15 | 1987-02-24 | Tektronix, Inc. | Method and apparatus for input picture enhancement by removal of undersired dots and voids |
-
1979
- 1979-03-27 JP JP3636979A patent/JPS55138173A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55138173A (en) | 1980-10-28 |
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