JP2553902Y2 - ヒータ移載装置 - Google Patents

ヒータ移載装置

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JP2553902Y2
JP2553902Y2 JP1991006993U JP699391U JP2553902Y2 JP 2553902 Y2 JP2553902 Y2 JP 2553902Y2 JP 1991006993 U JP1991006993 U JP 1991006993U JP 699391 U JP699391 U JP 699391U JP 2553902 Y2 JP2553902 Y2 JP 2553902Y2
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JP
Japan
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heater
receiving plate
insulating plate
elevating
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JP1991006993U
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JPH0514158U (ja
Inventor
幹雄 池田
政和 並木
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Hitachi Kokusai Electric Inc
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Hitachi Kokusai Electric Inc
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は縦型拡散,CVD装置な
どヒータを必要とする装置のヒータ載置用絶縁板上に、
ヒータを移載する作業に使用する装置に係り、特に該ヒ
ータ載置用絶縁板上に可動式昇降装置を用いてヒータを
移載するヒータ移載装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来装置の1例の構成と該装置に
よりヒータが移載されるヒータ載置用絶縁板を有する縦
型拡散,CVD装置の構成を説明する説明図で、1は可
動式重量物昇降装置、2はその昇降部、6Aはこの昇降
部2に設けた受け板、7はこの受け板6A上に載置され
たヒータ、11は縦型拡散,CVD装置、5はこの装置
11に設けられたヒータ載置用セラミック製絶縁板で、
この絶縁板5上にヒータ7が昇降部2の受け板6より移
載される。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】上記従来のヒータ移載
装置においては、昇降部2と一体構造になっている受け
板6Aにヒータ7を載置しているため、縦型拡散,CV
D装置11のヒータ載置用セラミック製絶縁板5に直接
移載することが出来ず、ヒータ7を移載すべきヒータ載
置用セラミック製絶縁板5の近くまで受け板6A上に載
置したまま、キャスタ12により移動し、受け板6Aと
このヒータ載置用セラミック製絶縁板5の上面をすべら
し移載していた。そのためヒータ載置用セラミック製絶
縁板5を損傷させ又、移載作業に要する労力も多大で、
作業者の安全確保を損なう虞れがあった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本考案装置は上記の課題
を解決するため、図1,2に示すように可動式昇降装置
1のヒータ昇降部2に、ヒータを載置しクランク機構3
により平行移動する受け板とヒータ7を少なくとも2
箇所で保持するヒータ受け8,9と支え材10よりなる
保持部材を具備し、ヒータ7を前記受け板6と各保持部
材とで所望角度θ°傾斜させて保持し移載することを
特徴とする。
【0005】
【作用】移載すべきヒータ7を、ヒータ受け8,9と支
え材10及び受け板6により昇降部2に垂直線L1 に対
して所望角度θ°傾斜させて固定する。しかる後、昇降
装置1の移動と、その昇降部2の上昇,下降動作により
ヒータを必要とする装置11内に搬入して傾斜している
ヒータ7の下部部分7Aが該装置11の絶縁板5上に載
った状態にする。
【0006】この状態でクランク機構3を操作すること
により受け板6をヒータ7の下方より抜出する。次に支
え材10を外すと、ヒータ7は重力によりヒータ受け
8,9に寄り掛かり、この状態のまま保持される。この
状態より昇降装置1を移動すると、ヒータ7を絶縁板5
上に移載できることになる。
【0007】
【実施例】図1は本考案装置の1実施例の構成と、該装
置により、ヒータが移載される絶縁板を有する縦型拡
散,CVD装置の構成を説明する説明図、図2は本実施
例の構成を示す平面図、図3は本考案で使用する支え材
の1例を示す正面図、図4はその平面図である。
【0008】図1,図2において1は可動式重量物昇降
装置で、キャスタ12により移動できる。2はその支柱
15に沿ってシリンダ(図示せず)により昇降する昇降
部、4はこの昇降部2に両側のX形のクランク機構3を
介して枢着された受け板ベースで、この受け板ベース4
は一方のクランク機構3の操作レバー3Aにより昇降部
2に対し平行移動する。受け板ベース4の中央部にはヒ
ータ7の一部を支える受け板6が設けられ、昇降部2の
上,下部にはそれぞれ一対のアーム13,14が延設さ
れており、この各一対のアーム部13,14にはそれぞ
れ一対のヒータ受け8,9が垂直線L1 に対して所望角
度θ、この実施例ではθ=2度傾斜させて固定されてい
る。従ってヒータ7は垂直線L1 とヒータ中心線L2
の角度θが2度になるように昇降部2に各一対のアーム
部13,14のヒータ受け8,9と支え材10により保
持されることになる。
【0009】昇降部2の上,下部間の位置には図3,図
4に示す止め金具10Aが固定され、この止め金具10
Aにバネ力に抗して係脱される引っ掛け材10Cを有す
る支えベルト10Eのベルト固定金具10Dが固定され
ている。
【0010】11は縦型拡散,CVD装置、16はヒー
タ受台、17はこのヒータ受台16に形成した炉口、5
はヒータ受台16の炉口17の上面周部に配設されたリ
ング状セラミック製絶縁板、18はヒータ搬入開口部で
ある。
【0011】上記の構成において昇降部2が床面近くに
下がっている状態で移載すべきヒータ7をヒータ受け
8,9と支えベルト10E及び受け板6により昇降部2
に垂直線L1 に対して所望角度θ=2度前方へ傾斜させ
て固定する。この状態のまま昇降装置1のシリンダ(図
示せず)を上昇動作させ、昇降部2と共にヒータ7を上
昇させ、ヒータ7がセラミック製絶縁板5より僅かに上
に位置する状態でシリンダの動作を止めて昇降部2を停
止させ、位置関係を保持する。
【0012】次に昇降装置1のキャスタ12を利用して
昇降部2と共にヒータ7をヒータ搬入開口部18より、
縦型拡散,CVD装置11内に搬入し、炉口17の中心
とヒータ7の中心を合わせてから昇降装置1のシリンダ
を下降動作させ、傾斜しているヒータ7の下部7Aがセ
ラミック製絶縁板5上に載った状態でシリンダの下降動
作を停止させる。
【0013】上記の状態より、クランク機構3に連結さ
れている操作レバー3Aを時計方向(図1に示す矢印B
方向)へ回転すると、クランク機構3により受け板ベー
ス4及び受け板6はヒータ7の下方より抜ける。次に支
えベルト10Eの引っ掛け材10Cを止め金具10Aよ
りバネ10Bに抗して外すとヒータ7は重力によりヒー
タ受け8,9に寄り掛かり、図1の状態のまま保持され
る。この状態で昇降装置1をキャスタ12を利用して図
1に示す矢印X方向へ動かすと、ヒータ7はセラミック
製絶縁板5の上に移載されることになり、移載作業が完
了する。
【0014】上記実施例のように昇降部2の上,下部に
それぞれ一対のアーム部13,14を延設し、この各一
対のアーム部13,14にそれぞれ一対のヒータ受け
8,9を固定し、この各一対のヒータ受け8,9でヒー
タ7を確実に受け止めることができ、更に支え材10を
昇降部2に固定される止め金具10Aと、この止め金具
10Aにバネ10Bのバネ力に抗して係脱される引っ掛
け材10C及び昇降部2に固定されるベルト固定金具1
0Dを両端部に有する支えベルト10Eとより構成する
ことによりヒータ7の支えが上記各一対のヒータ受け
8,9の作用と相まって一層確実になる。
【0015】
【考案の効果】上述のように本考案によれば、可動式昇
降装置1のヒータ昇降部2に、ヒータを載置しクランク
機構3により平行移動する受け板とヒータ7を少なく
とも2箇所で保持するヒータ受け8,9と支え材10よ
りなる保持部材を具備し、ヒータ7を前記受け板6と各
保持部材とで所望角度θ°傾斜させて保持し移載する
ことを特徴とするので、縦型拡散,CVD装置などヒー
タを必要とする装置のヒータ載置用絶縁板上にヒータを
移載する場合、該絶縁板を損傷することなく移載でき、
また移載作業に要する労力を低減できると共にヒータの
保持と解放を確実に容易にでき、作業者の安全を確保す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案装置の1実施例の構成と、該装置により
ヒータが移載される絶縁板を有する縦型拡散,CVD装
置の構成を説明する説明図である。
【図2】本実施例の構成を示す平面図である。
【図3】本考案で使用する支え材の1例を示す正面図で
ある。
【図4】その平面図である。
【図5】従来装置の1例の構成と該装置によりヒータが
移載されるヒータ載置用絶縁板を有する縦型拡散,CV
D装置の構成を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 可動式(重量物)昇降装置 2 昇降部 3 クランク機構 4 受け板ベース 5 ヒータ載置用(セラミック製)絶縁板 6 受け板 7 ヒータ 7A ヒータ下部部分 8 ヒータ受け 9 ヒータ受け 10 支え材 10A 止め金具 10B 弾性体(バネ) 10C 引っ掛け材 10D ベルト固定(金)具 10E 支えベルト 11 ヒータを必要とする装置(縦型拡散,CVD装
置) 13 一対のアーム部 14 一対のアーム部

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可動式昇降装置のヒータ昇降部に、ヒー
    タを載置し平行移動可能な受け板とヒータを少なくとも
    2箇所で保持する保持部材とが具備され、ヒータを前記
    受け板と各保持部材とで任意の角度傾斜させて保持し
    移載することを特徴とするヒータ移載装置。
JP1991006993U 1991-02-19 1991-02-19 ヒータ移載装置 Expired - Lifetime JP2553902Y2 (ja)

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JP1991006993U JP2553902Y2 (ja) 1991-02-19 1991-02-19 ヒータ移載装置

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JP1991006993U JP2553902Y2 (ja) 1991-02-19 1991-02-19 ヒータ移載装置

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JPH0514158U JPH0514158U (ja) 1993-02-23
JP2553902Y2 true JP2553902Y2 (ja) 1997-11-12

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