JP2543759Y2 - 真空端子 - Google Patents
真空端子Info
- Publication number
- JP2543759Y2 JP2543759Y2 JP1991032806U JP3280691U JP2543759Y2 JP 2543759 Y2 JP2543759 Y2 JP 2543759Y2 JP 1991032806 U JP1991032806 U JP 1991032806U JP 3280691 U JP3280691 U JP 3280691U JP 2543759 Y2 JP2543759 Y2 JP 2543759Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sleeve
- vacuum
- terminal
- vacuum chamber
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ceramic Products (AREA)
- Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)
- Connector Housings Or Holding Contact Members (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、真空端子、特に、真空
チャンバ内と外部端子との間で電気信号を伝達するため
の真空端子に関する。
チャンバ内と外部端子との間で電気信号を伝達するため
の真空端子に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば電子顕微鏡等の真空チャンバを備
えた理化学機器は、真空チャンバ内の装置と真空チャン
バ外の装置との間で電気信号を伝達するための真空端子
を有している。この真空端子は、一端が真空チャンバに
固定されかつ他端に真空チャンバ外の装置からの外部端
子を取り付けるための取付部を有するアルミニウム（例
えばアルミニウム合金Ａ６９５１）製のスリーブと、真
空チャンバ内から延びかつ先端がスリーブの取付部内に
配置されたリードピンと、リードピンを支持しかつスリ
ーブ内を真空チャンバ側と取付部側とに気密に仕切るセ
ラミック製のホルダとから主に構成されている。この真
空端子では、ホルダは、Ａｌ−Ｓｉ−Ｍｇ合金のロウ材
によりスリーブ内に固定されている。
えた理化学機器は、真空チャンバ内の装置と真空チャン
バ外の装置との間で電気信号を伝達するための真空端子
を有している。この真空端子は、一端が真空チャンバに
固定されかつ他端に真空チャンバ外の装置からの外部端
子を取り付けるための取付部を有するアルミニウム（例
えばアルミニウム合金Ａ６９５１）製のスリーブと、真
空チャンバ内から延びかつ先端がスリーブの取付部内に
配置されたリードピンと、リードピンを支持しかつスリ
ーブ内を真空チャンバ側と取付部側とに気密に仕切るセ
ラミック製のホルダとから主に構成されている。この真
空端子では、ホルダは、Ａｌ−Ｓｉ−Ｍｇ合金のロウ材
によりスリーブ内に固定されている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】前記従来の真空端子で
は、スリーブの溶融温度（通常６１６〜６５４℃）とホ
ルダを固定するためのロウ材の溶融温度（通常５９０〜
６１０℃）とが接近しているため、ホルダをロウ付けす
る際に、スリーブが溶融して変形や孔空き等を起こして
しまうことがある。このようなスリーブの溶融は、真空
漏れの原因となる。
は、スリーブの溶融温度（通常６１６〜６５４℃）とホ
ルダを固定するためのロウ材の溶融温度（通常５９０〜
６１０℃）とが接近しているため、ホルダをロウ付けす
る際に、スリーブが溶融して変形や孔空き等を起こして
しまうことがある。このようなスリーブの溶融は、真空
漏れの原因となる。
【０００４】本考案の目的は、真空漏れを起こしくい真
空端子を提供することにある。
空端子を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案の真空端子は、真
空チャンバ内と外部端子との間で電気信号を伝達するた
めのものである。この真空端子は、一端側が真空チャン
バに固定されかつ他端側に外部端子の取付部を有するア
ルミニウム製のスリーブと、真空チャンバ内から延びか
つ先端が取付部内に配置されたリードピンと、リードピ
ンを支持しかつスリーブ内を真空チャンバ側と取付部側
とに機密に仕切るセラミック製のホルダとを備えてい
る。ホルダは、アルミニウム製のスリーブの溶融温度よ
り低い５６０℃以下の溶融温度を有する金−アルミニウ
ム合金のロウ材によりスリーブ内に固定されている。
空チャンバ内と外部端子との間で電気信号を伝達するた
めのものである。この真空端子は、一端側が真空チャン
バに固定されかつ他端側に外部端子の取付部を有するア
ルミニウム製のスリーブと、真空チャンバ内から延びか
つ先端が取付部内に配置されたリードピンと、リードピ
ンを支持しかつスリーブ内を真空チャンバ側と取付部側
とに機密に仕切るセラミック製のホルダとを備えてい
る。ホルダは、アルミニウム製のスリーブの溶融温度よ
り低い５６０℃以下の溶融温度を有する金−アルミニウ
ム合金のロウ材によりスリーブ内に固定されている。
【０００６】
【作用】本考案の真空端子では、スリーブの取付部に外
部端子を取り付けると、リードピンを介して真空チャン
バ内と外部端子との間で電気信号が伝達できる。この真
空端子では、セラミック製のホルダをスリーブ内に固定
しているロウ材の溶融温度がスリーブの溶融温度に比べ
て充分に低いので、ロウ材とスリーブとの接触部でスリ
ーブの溶融は起こりにくい。したがって、本考案の真空
端子では、スリーブの溶融による真空漏れは起こりにく
い。
部端子を取り付けると、リードピンを介して真空チャン
バ内と外部端子との間で電気信号が伝達できる。この真
空端子では、セラミック製のホルダをスリーブ内に固定
しているロウ材の溶融温度がスリーブの溶融温度に比べ
て充分に低いので、ロウ材とスリーブとの接触部でスリ
ーブの溶融は起こりにくい。したがって、本考案の真空
端子では、スリーブの溶融による真空漏れは起こりにく
い。
【０００７】
【実施例】図１に本考案の一実施例に係る真空端子１を
示す。図において、真空端子１は、スリーブ２と、ジョ
イント部材３と、リードピン４とから主に構成されてい
る。
示す。図において、真空端子１は、スリーブ２と、ジョ
イント部材３と、リードピン４とから主に構成されてい
る。
【０００８】スリーブ２は、アルミニウム（例えばアル
ミニウム合金Ａ６９５１）製の円筒状の部材である。ス
リーブ２の一端側は、アルミニウム製の真空チャンバ５
内（図１の左側）に配置されており、真空チャンバ５の
壁面にアルミニウム合金のロウ材６により気密に固定さ
れている。なお、真空チャンバ５は、例えば電子顕微鏡
等の理化学機器の真空チャンバである。スリーブ２の他
端は、壁面７を有しており、壁面７の中心に連絡口８が
設けられている。
ミニウム合金Ａ６９５１）製の円筒状の部材である。ス
リーブ２の一端側は、アルミニウム製の真空チャンバ５
内（図１の左側）に配置されており、真空チャンバ５の
壁面にアルミニウム合金のロウ材６により気密に固定さ
れている。なお、真空チャンバ５は、例えば電子顕微鏡
等の理化学機器の真空チャンバである。スリーブ２の他
端は、壁面７を有しており、壁面７の中心に連絡口８が
設けられている。
【０００９】ジョイント部材３は、概ね円筒状に構成さ
れたチタン製の部材であり、一端がスリーブ２の連絡口
８側端面に固定されている。ここでは、スリーブ２とジ
ョイント部材３とは、中心が一致するよう拡散接合によ
り一体化されている。具体的には、スリーブ２とジョイ
ント部材３とは、互いの接合面が５５０℃前後に加熱さ
れ、１２００ｋｇ／ｃｍ2 前後で圧接されることにより
一体化している。このため、両者の接合面では、Ｔｉ−
Ａｌ合金が形成されている。ジョイント部材３の他端側
外周面には、ねじ溝９が設けられている。
れたチタン製の部材であり、一端がスリーブ２の連絡口
８側端面に固定されている。ここでは、スリーブ２とジ
ョイント部材３とは、中心が一致するよう拡散接合によ
り一体化されている。具体的には、スリーブ２とジョイ
ント部材３とは、互いの接合面が５５０℃前後に加熱さ
れ、１２００ｋｇ／ｃｍ2 前後で圧接されることにより
一体化している。このため、両者の接合面では、Ｔｉ−
Ａｌ合金が形成されている。ジョイント部材３の他端側
外周面には、ねじ溝９が設けられている。
【００１０】リードピン４は、チタン又はコバール製の
円柱状の部材であり、真空チャンバ５内の装置（図示せ
ず）から真空端子１内に延びている。リードピン４は、
セラミック（例えばアルミナ９２％のセラミック）製の
ホルダ１０によりスリーブ２の中心に支持されており、
先端がジョイント部材３内に配置されている。ホルダ１
０は、フランジ部１１を有するＴ字状の部材である。ホ
ルダ１０のフランジ部１１は、連絡口８が設けられたス
リーブ２の壁面７に密接しており、またスリーブ２の内
周面に密接している。
円柱状の部材であり、真空チャンバ５内の装置（図示せ
ず）から真空端子１内に延びている。リードピン４は、
セラミック（例えばアルミナ９２％のセラミック）製の
ホルダ１０によりスリーブ２の中心に支持されており、
先端がジョイント部材３内に配置されている。ホルダ１
０は、フランジ部１１を有するＴ字状の部材である。ホ
ルダ１０のフランジ部１１は、連絡口８が設けられたス
リーブ２の壁面７に密接しており、またスリーブ２の内
周面に密接している。
【００１１】フランジ部１１の真空チャンバ５側の表面
には、図２に示すように、Ｍｏ−Ｍｎ合金のメタライズ
層１３と、ニッケルメッキ層１４と、金メッキ層１５と
がこの順に積層されている。なお、各層の厚みは、メタ
ライズ層１３が１５μｍ程度に、また両メッキ層１４，
１５がそれぞれ３μｍ程度に設定されるのが好ましい。
には、図２に示すように、Ｍｏ−Ｍｎ合金のメタライズ
層１３と、ニッケルメッキ層１４と、金メッキ層１５と
がこの順に積層されている。なお、各層の厚みは、メタ
ライズ層１３が１５μｍ程度に、また両メッキ層１４，
１５がそれぞれ３μｍ程度に設定されるのが好ましい。
【００１２】フランジ部１１は、金メッキ層１５上に配
置されたロウ材１６によりスリーブ２の内周面に気密に
固定されている。これにより、真空端子１内は、真空チ
ャンバ５側とジョイント部材３側とに気密に仕切られて
いる。なお、ロウ材１６としては、Ａｕ−Ａｌ合金のロ
ウ材が用いられる。特に、金を７１〜８０アトミック％
含み、残りがアルミニウムのロウ材が好ましい。Ａｕ−
Ａｌ合金のロウ材は、溶融温度が低い（通常５６０℃以
下）であるため、ロウ付け時にスリーブ２を溶かしにく
い。
置されたロウ材１６によりスリーブ２の内周面に気密に
固定されている。これにより、真空端子１内は、真空チ
ャンバ５側とジョイント部材３側とに気密に仕切られて
いる。なお、ロウ材１６としては、Ａｕ−Ａｌ合金のロ
ウ材が用いられる。特に、金を７１〜８０アトミック％
含み、残りがアルミニウムのロウ材が好ましい。Ａｕ−
Ａｌ合金のロウ材は、溶融温度が低い（通常５６０℃以
下）であるため、ロウ付け時にスリーブ２を溶かしにく
い。
【００１３】次に、前記真空端子１の使用方法について
説明する。真空端子１には、真空チャンバ５外に配置さ
れた外部装置（図示せず）からのプラグ１７が連結され
る。プラグ１７は、外部装置から延びるコード１８の先
端に取り付けられており、フランジ部１９と、フランジ
部１９から突出する電極部２０と、コード１８に取り付
けられた袋ナット２１とを主に有している。電極部２０
は、円筒状に構成されており、差し込み孔２２を有して
いる。この差し込み孔２２は、先端側が徐々に広がって
おり、また弾性を有している。袋ナット２１は、コード
１８上に移動可能に取り付けられており、内周面にねじ
溝２３を有している。
説明する。真空端子１には、真空チャンバ５外に配置さ
れた外部装置（図示せず）からのプラグ１７が連結され
る。プラグ１７は、外部装置から延びるコード１８の先
端に取り付けられており、フランジ部１９と、フランジ
部１９から突出する電極部２０と、コード１８に取り付
けられた袋ナット２１とを主に有している。電極部２０
は、円筒状に構成されており、差し込み孔２２を有して
いる。この差し込み孔２２は、先端側が徐々に広がって
おり、また弾性を有している。袋ナット２１は、コード
１８上に移動可能に取り付けられており、内周面にねじ
溝２３を有している。
【００１４】前記プラグ１７は、電極部２０がジョイン
ト部材３内に差し込まれる。ここでは、リードピン４の
先端が、電極部２０の差し込み孔２２内に差し込まれ、
差し込み孔２２の弾性により電極部２０と当接する。こ
れにより、真空チャンバ５内の装置と真空チャンバ５外
に配置された外部装置とがリードピン４を介して接続さ
れる。袋ナット２１は、ジョイント部材３のねじ溝９に
螺着される。ここでは、袋ナット２１を締め付けると、
袋ナット２１がフランジ部１９を真空端子１側に押圧す
るので、リードピン４と電極部２０との接触が良好に保
たれる。
ト部材３内に差し込まれる。ここでは、リードピン４の
先端が、電極部２０の差し込み孔２２内に差し込まれ、
差し込み孔２２の弾性により電極部２０と当接する。こ
れにより、真空チャンバ５内の装置と真空チャンバ５外
に配置された外部装置とがリードピン４を介して接続さ
れる。袋ナット２１は、ジョイント部材３のねじ溝９に
螺着される。ここでは、袋ナット２１を締め付けると、
袋ナット２１がフランジ部１９を真空端子１側に押圧す
るので、リードピン４と電極部２０との接触が良好に保
たれる。
【００１５】前記真空端子１では、ジョイント部材２３
が非磁性体のチタン製であるため、リードピン４を伝わ
る電気信号はジョイント部材３からのノイズを受けにく
い。このため、本実施例の真空端子１では、電気信号の
Ｓ／Ｎ比が低下しにくい。
が非磁性体のチタン製であるため、リードピン４を伝わ
る電気信号はジョイント部材３からのノイズを受けにく
い。このため、本実施例の真空端子１では、電気信号の
Ｓ／Ｎ比が低下しにくい。
【００１６】また、本実施例の真空端子１は、スリーブ
２とジョイント部材３との接合部が拡散接合のため腐食
しにくい。さらに、ホルダ１０が上述のロウ材１６によ
りスリーブ２の内周面に固定されているため、ホルダ１
０の固定時に、スリーブ２は、溶融による変形や孔空き
を起こしにくい。これらのため、本実施例の真空端子１
では、真空漏れが起こりにくい。
２とジョイント部材３との接合部が拡散接合のため腐食
しにくい。さらに、ホルダ１０が上述のロウ材１６によ
りスリーブ２の内周面に固定されているため、ホルダ１
０の固定時に、スリーブ２は、溶融による変形や孔空き
を起こしにくい。これらのため、本実施例の真空端子１
では、真空漏れが起こりにくい。
【００１７】〔他の実施例〕 図３は、他の実施例の図１に相当する図である。図にお
いて、この真空端子３０は、スリーブ３１と、リードピ
ン３２と、スリーブ３１内でリードピン３２を支持する
ためのホルダ３３とから主に構成されている。
いて、この真空端子３０は、スリーブ３１と、リードピ
ン３２と、スリーブ３１内でリードピン３２を支持する
ためのホルダ３３とから主に構成されている。
【００１８】スリーブ３１は、アルミニウム製の円筒状
の部材である。スリーブ３１の一端側は、アルミニウム
製の真空チャンバ３４内（図３の左側）に配置されてお
り、真空チャンバ３４の壁面にアルミニウム合金のロウ
材３５により気密に固定されている。スリーブ３１の他
端は、開口しており、外周面にねじ溝３６を有してい
る。
の部材である。スリーブ３１の一端側は、アルミニウム
製の真空チャンバ３４内（図３の左側）に配置されてお
り、真空チャンバ３４の壁面にアルミニウム合金のロウ
材３５により気密に固定されている。スリーブ３１の他
端は、開口しており、外周面にねじ溝３６を有してい
る。
【００１９】リードピン３２は、チタン又はコバール製
の円柱状の部材であり、真空チャンバ３４内の装置（図
示せず）からスリーブ３１のねじ溝３６側端部内に延び
ている。
の円柱状の部材であり、真空チャンバ３４内の装置（図
示せず）からスリーブ３１のねじ溝３６側端部内に延び
ている。
【００２０】ホルダ３３は、フランジ部３７を有するセ
ラミック製のＴ字状部材であり、スリーブ３１内に配置
されている。ホルダ３３のフランジ部３７は、スリーブ
３１の内周面に密接しており、ロウ材３８により気密に
固定されている。これにより、スリーブ３１内は、気密
に仕切られている。なお、ロウ材３８には、前記実施例
と同じロウ材が用いられている。リードピン３２は、こ
のホルダ３３の中心に支持されている。
ラミック製のＴ字状部材であり、スリーブ３１内に配置
されている。ホルダ３３のフランジ部３７は、スリーブ
３１の内周面に密接しており、ロウ材３８により気密に
固定されている。これにより、スリーブ３１内は、気密
に仕切られている。なお、ロウ材３８には、前記実施例
と同じロウ材が用いられている。リードピン３２は、こ
のホルダ３３の中心に支持されている。
【００２１】この実施例の真空端子３０では、真空チャ
ンバ３４外に配置された装置のプラグ１７は、スリーブ
３１のねじ溝３６側端部に直接取り付けられる。
ンバ３４外に配置された装置のプラグ１７は、スリーブ
３１のねじ溝３６側端部に直接取り付けられる。
【００２２】
【考案の効果】本考案の真空端子では、ホルダが上述の
ロウ材によりスリーブ内に固定されているため、真空漏
れが起こりにくい。
ロウ材によりスリーブ内に固定されているため、真空漏
れが起こりにくい。
【図１】本考案の一実施例の縦断面図。
【図２】図１のＡ部の拡大図。
【図３】他の実施例の図１に相当する図。
１，３０ 真空端子 ２，３１ スリーブ ３ ジョイント部材 ４，３２ リードピン ５，３４ 真空チャンバ １６，３８ ロウ材 ３６ ねじ溝
Claims (1)
- 【請求項１】一端側が真空チャンバに固定されかつ他端
側に外部端子の取付部を有するアルミニウム製のスリー
ブと、前記真空チャンバ内から延びかつ先端が前記取付
部内に配置されたリードピンと、前記リードピンを支持
しかつ前記スリーブ内を前記真空チャンバ側と前記取付
部側とに機密に仕切るセラミック製のホルダとを備え
た、前記真空チャンバ内と前記外部端子との間で電気信
号を伝達するための真空端子において、 前記ホルダが、前記アルミニウム製のスリーブの溶融温
度より低い５６０℃以下の溶融温度を有する金−アルミ
ニウム合金のロウ材によりスリーブ内に固定されている
ことを特徴とする真空端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991032806U JP2543759Y2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 真空端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991032806U JP2543759Y2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 真空端子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04119964U JPH04119964U (ja) | 1992-10-27 |
| JP2543759Y2 true JP2543759Y2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=31915685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991032806U Expired - Lifetime JP2543759Y2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 真空端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2543759Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5020041B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2012-09-05 | 京セラ株式会社 | 真空チャンバー用コネクタ構造およびこれを用いた真空装置 |
| EP3852199B1 (en) * | 2018-09-11 | 2023-08-30 | Kyocera Corporation | Hermetic terminal |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6466097A (en) * | 1987-09-08 | 1989-03-13 | Seiko Instr & Electronics | Brazing filler metal |
| JPH0212682U (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-26 |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP1991032806U patent/JP2543759Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04119964U (ja) | 1992-10-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |