JP2000105163A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 貫通コンデンサを有する圧力センサにおい
て、電磁ノイズに対する特性を改良した圧力センサを提
供する。 【解決手段】 肉薄部に加えられる圧力を検出する圧力
検出素子２１を有する圧力センサにおいて、容器本体１
０と、圧力検出素子２１を含むセンサエレメント２０
と、センサエレメントを気密に保持するセンサエレメン
ト保持部材３０と、圧力ケース５０とを有し、センサエ
レメント保持部材３０は、上記センサエレメント２０を
覆って参照用圧力空間５５を形成する電磁シールド作用
を有する圧力ケース５０に気密にかつ電気的に接続固着
されるとともに、圧力導入孔１２を有する容器本体１０
に電気的に接続保持され、圧力検出素子２１と外部とを
接続する引出線４５を圧力ケースを貫通して引き出す貫
通コンデンサ６０と、貫通コンデンサ６０に並列に一端
が接地したノイズバイパス用コンデンサ６５を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサに関
し、特にセンサエレメントを収容した容器本体とコネク
タケースとを具備するとともに、電磁ノイズの影響をな
くした絶対圧方式もしくはシールドゲージ圧方式による
圧力センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人は、流体の圧力を検出する圧力
センサとして、ピエゾ抵抗効果を有する圧力検出素子よ
りなるセンサエレメントにより圧力を検出する圧力セン
サにおいて、上記センサエレメントはその取り付けにヘ
ッダを用いてセンサエレメント保持部材に気密に固着さ
れるとともに、上記センサエレメント保持部材は上記セ
ンサエレメントを覆って参照用圧力空間を形成する電磁
シールド作用を有する圧力ケースに気密に固着されてお
り、上記センサエレメント保持部材は圧力導入孔を有す
る容器本体に保持した圧力センサを特願平１０−９７８
６１号として出願している。この発明によって、参照圧
力室を溶接によって形成する際、センサエレメントと容
器本体とを異なる金属で形成することができる絶対圧力
方式もしくはシールドゲージ圧力方式の圧力センサを提
供することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した圧
力センサは、センサエレメントの出力を外部に取り出す
際にリード線を圧力ケースを貫通して取り出している。
この際、圧力ケースとリード線との間に気密性を保持す
る機能を併せて有するコンデンサを介在させて、外部か
らリード線を介してセンサエレメントに与えられる電磁
的なノイズを圧力ケースを介して接地させて取り除いて
いる。しかしながら、圧力センサを自動車のエンジンル
ームなどに設置する場合には、貫通コンデンサだけでは
外部ノイズを十分に取り除けないおそれがある。

【０００４】本発明は、このような問題を解決するため
に、貫通コンデンサを有する絶対圧力方式もしくはシー
ルドゲージ圧力方式の圧力センサにおいて、電磁ノイズ
に対する特性を改良した圧力センサを提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに本発明の圧力センサは、肉薄部を有し肉薄部に加え
られる圧力を検出する圧力検出素子を有する圧力センサ
において、容器本体と、圧力検出素子を含むセンサエレ
メントと、センサエレメントを気密に保持するセンサエ
レメント保持部材と、圧力ケースとを有し、センサエレ
メント保持部材は、上記センサエレメントを覆って参照
用圧力空間を形成する電磁シールド作用を有する圧力ケ
ースに気密にかつ電気的に接続固着されるとともに、圧
力導入孔を有する容器本体に電気的に接続されて保持さ
れ、圧力検出素子と外部とを接続する引出線を圧力ケー
スを貫通して引き出す圧力ケースに電気的に接続される
とともに機械的に気密に固定された貫通コンデンサと、
この貫通コンデンサに並列に接続したノイズバイパス用
コンデンサを設け、ノイズバイパス用コンデンサの一端
を接地したことを特徴とする。

【０００６】以上のようにセンサエレメント保持部材を
設けることにより、参照用圧力空間を構成することが可
能であるとともにヘッダと容器本体を直接気密に固着す
ることが避けられるので、両者の材質を任意に選定する
ことができ、ヘッダと容器本体に異種の金属を用いるこ
とが可能となる。さらに、貫通コンデンサに並列にノイ
ズバイパス用コンデンサを設けて引出線を接地すること
によって電磁ノイズを確実に除去することができる。

【０００７】また本発明に係る圧力センサは、圧力導入
孔を有する容器本体と、圧力検出素子を有するセンサエ
レメントと、上記センサエレメントを固着するセンサエ
レメント保持部材と、天井部を有する圧力ケースとを有
し、センサエレメントとセンサエレメント保持部材と圧
力ケースを気密に溶接して参照用圧力空間を形成した圧
力センサにおいて、上記センサエレメントは、上記圧力
検出素子とガラス製の上部台座とシリコン製の下部台座
と金属製のヘッダを積み重ねて構成され、上記センサエ
レメント保持部材は、中央付近に設けた開口と、前記開
口の周囲の下面に位置する環状の突起と、上面に形成さ
れた平坦面を有し、上記圧力ケースは、天井部の周辺か
ら垂れ下がる周壁の下端が外側に折り曲げられたつば部
を有し、上記センサエレメントのヘッダを上記センサエ
レメント保持部材の突起部に溶接して気密に溶着固定す
るとともに、前記圧力ケースの周壁の下端とセンサエレ
メント保持部材の上面を溶接して気密に溶着固定すると
ともに、圧力検出素子と外部とを接続する引出線を圧力
ケースを貫通して引き出す圧力ケースに電気的に接続さ
れ機械的に気密に固定された貫通コンデンサと、引出線
に一端が接続され貫通コンデンサに並列に接続されたノ
イズバイパス用コンデンサを設け、該ノイズバイパス用
コンデンサの他端を接地した。

【０００８】さらに、本発明は、上記圧力センサにおい
て、ノイズバイパス用コンデンサの他端を圧力ケースに
接続して接地した。また、本発明は、上記圧力センサに
おいて、ノイズバイパス用コンデンサの他端をセンサエ
レメント保持部材に接続して接地した。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる圧力センサ
の第１の実施の形態について、図１を用いて説明する。
図１は圧力センサの構成を示す縦断面図である。

【００１０】本発明の実施の態様にかかる圧力センサ１
は、容器本体１０と、センサエレメント２０と、センサ
エレメント保持部材３０と、回路基板４０と、圧力ケー
ス５０と、貫通コンデンサ６０と、コネクタケース７０
と、端子保持部材８０とから構成されている。この圧力
センサ１は、容器本体１０とコネクタケース７０とによ
って構成される容器内に、センサエレメント２０、セン
サエレメント保持部材３０、回路基板４０、および圧力
ケース５０からなる圧力センサ本体が収納されている。

【００１１】容器本体１０は、例えば、アルミニウムを
用いて略円筒形状に構成されている。容器本体１０は、
内部空間１１と、内部空間に連通する下方に伸びた流体
導入用の開口１２を有しており、開口１２の上方に円形
の底部が形成され、その周辺にＯリング受け部として働
く環状の溝１３と、さらにその外側上方にセンサエレメ
ント保持部材受け部として働く平坦面１４と、該平坦面
の外周から立ち上がる周壁１５と、周壁の上端部に設け
た肉薄部１６とを有して構成される。内部空間１１は、
本体の内側に底部と平坦面１４と周壁１５とによって形
成される。

【００１２】センサエレメント２０は、圧力を検出する
機能を有しており、金属製のヘッダ２８と、半導体基板
の上面に複数の抵抗をブリッジを形成するように設けた
圧力検出素子２１と、ヘッダ２８の上面に気密に固定さ
れたシリコン製の下部台座２２と、該下部台座２２の上
面に気密に載置固定されたガラス製の上部台座２３とか
ら構成される。ヘッダ２８の上面に、前記下部台座２２
が気密に載置固定され、下部台座２２の上面に上部台座
２３が気密に載置固定され、抵抗が配置された面が上面
となるように圧力検出素子２１が上部台座２３の上面に
載置固定されている。ヘッダ２８の下方周囲にはつば部
２８１が設けられている。

【００１３】圧力検出素子２１は、半導体基板から構成
され、平面形状が矩形に形成されるとともに、肉薄状と
されて圧力が加えられると変形するダイヤフラム部が中
央部に形成されている。上記ダイヤフラム部の上面に
は、圧電ゲージや複数の抵抗をブリッジ接続した歪ゲー
ジとして構成される圧力検知部が形成される。圧力検出
素子２１の周辺部の肉厚部上に集積回路製造技術を用い
て製造した増幅回路や演算処理回路などの電気回路を設
けている。

【００１４】例えば、パイレックスガラス（登録商標）
などのガラスから構成される上部台座２３は、その平面
形状が矩形であり、中心に貫通孔２４を設けた形状に形
成される。シリコン製の下部台座２２は、その平面形状
が矩形であり、中心に貫通孔２４を設けた形状に形成さ
れる。下部台座２２のヘッダ２８と接合する面には金ス
パッタリング等によって金メッキ層が設けられている。

【００１５】ヘッダ２８は、例えば４２アロイ等の鉄−
ニッケル系合金を用いて構成される。ヘッダ２８は、そ
の平面形状が円形であり、中心に貫通孔２４を設けた形
状に形成される。ヘッダ２８の下部台座２２と接合する
面には金メッキ層が設けられている。

【００１６】上部台座２３および下部台座２２ならびに
ヘッダ２８の貫通孔２４は、それぞれ同軸上に配置さ
れ、容器本体１０の流体導入用開口１２に連通して、圧
力検出素子２１の裏面に設けた空間に圧力流体を導く。

【００１７】圧力検出素子２１の下面の周囲は、上部台
座２３の上面周囲に陽極接合（ＦＡＢ接合）によって気
密に溶着固定される。上部台座２３の下面周囲は下部台
座２２の上面周囲に陽極接合によって気密に溶着固定さ
れる。下部台座２２の下面とヘッダ２８の上面は金−シ
リコンのロー材を介在させて加熱圧着（スクラブ）する
ことによって、接合面に金−シリコン合金が形成されて
気密に溶着固定される。

【００１８】センサエレメント保持部材３０は、圧力ケ
ース５０とともに、参照圧力用空間を形成する。センサ
エレメント保持部材３０は、例えばステンレススチール
を用いて円板状に形成され、中央に円形の開口３３を有
している。センサエレメント保持部材３０の底面３１の
開口３３の周辺部には環状に形成された環状突起３２が
設けられている。センサエレメント保持部材３０の底面
３１には、周辺に容器本体１０のセンサエレメント保持
部材受け部１４に当接する容器本体当り面が設けられ、
上面には圧力ケース５０との溶接面３４が設けられてい
る。

【００１９】センサエレメント保持部材３０の溶接面３
４の内側には環状の溝３５が設けられている。センサエ
レメント保持部材３０の上面には回路基板４０が接着剤
などを用いて固定されている。接着個所から外側に流れ
出した余分な接着剤は環状の溝３５内に流れ込むので、
余分な接着剤が溶接面３４に到達してこの表面を汚すこ
とがなくなり、溶接を不完全とすることがなくなる。セ
ンサエレメント保持部材３０の下面３１に設けた環状突
起３２には、センサエレメント２０のヘッダ２８のつば
部２８１の上面が当接され、例えば、プロジェクション
溶接によって気密に固着される。

【００２０】回路基板４０は、絶縁性のプリント配線基
板からなり、中央にセンサエレメント２０の圧力検出素
子２１が位置する開口４１が設けられている。回路基板
４０には、圧力検出素子２１の出力を処理する図２に示
す圧力検出回路４８および図２に示すノイズバイパス用
コンデンサ６５が複数個が設けられており、電力を圧力
検出素子２１に供給したり信号を外部に取り出す複数の
引出線４５と、接地用引出線４６が設けられている。圧
力検出素子２１に設けた図示を省略したランド部と回路
基板４０に設けた図示を省略したランド部とをボンディ
ングワイヤ２５によって接続している。回路基板４０の
表面および圧力検出素子２１の表面は、接着剤等によっ
て覆われ、保護されている。

【００２１】圧力ケース５０は、例えば、ステンレスス
チールを用いて構成され、内部空間に配置されたセンサ
エレメント２０を覆って外部ノイズから保護する電磁シ
ールド部としての機能と、気密な内部空間を形成する部
材としての働きを有している。圧力ケース５０は、円板
状の天井部５１と、その周辺から立ち下がる周壁５２
と、周壁５２の先端部を外側に折り曲げ下面にセンサエ
レメント保持部材３０の受け面３４に当接する溶接面５
３１が設けられたつば部５３と、引出線引出部を構成す
る貫通コンデンサ６０が挿入される開口５４と、接地用
引出線引出部５６とを有している。このような帽子状の
圧力ケース５０には、内部空間５５が形成される。

【００２２】圧力ケース５０のつば部５３の下面に設け
た溶接面５３１は、センサエレメント保持部材受け面
（溶接面）３４に当接され、両者は例えば電子ビーム溶
接を用いて気密に溶接される。

【００２３】回路基板４０に設けた引出線４５の先端
は、貫通コンデンサ６０を形成する筒状の誘電体６１の
貫通孔６２を通って圧力ケース５０の外部に引き出され
る。引出線４５が通された誘電体６１の貫通孔６２は半
田６３によって密封される。同様に回路基板４０に設け
た接地用引出線４６の先端は、接地用引出線引出部５６
の開口に挿通され、圧力ケース５０に半田付けされて電
気的に接続されるとともに内部空間５５を密封する。

【００２４】コネクタケース７０は、端子８１を差し込
み固定する樹脂製ケースであり、上部に設けたソケット
部７１と、ソケット部７１の下方に設けた内部空間７２
と、下方に垂れ下がった周壁７３と、周壁７３の下方に
設けた肉厚部７４と、肉厚部の外側上方に設けたかしめ
受け部７５と、周壁の下端の平坦面７６と、平坦面の内
周に設けたＯリング受け部７７と、端子８１を挿通する
ための端子挿入孔７８を有している。端子挿入孔７８に
は、端子８１が下方から挿入される。このコネクタケー
ス７０は、その形状を変更することによって、種々の異
なる形状のコネクタに対応することができる。

【００２５】端子保持部材８０は、気密保持部材として
のＯリング９１を受ける平坦部８３が設けられ、端子８
１をインサートモールドして形成されている。端子８１
の他端には引出線４５を接続する端子接続部８２が設け
られている。

【００２６】この発明によれば、電気回路部を容器本体
１０と圧力ケース５０とで完全に電磁的に遮閉するとと
もに、引出線４５と圧力ケース５０との間に貫通コンデ
ンサ６０を介在させたので、電源ノイズや外部からの電
磁ノイズを容器本体１０へ逃がして、圧力センサエレメ
ント２１や回路基板４０などの電気回路部に入り込まな
い構造にすることができ、外部ノイズによる圧力センサ
の誤動作をなくすことができる。

【００２７】しかしながら、このような圧力センサを自
動車のエンジンルーム内に設けるような場合には、強い
外部ノイズの発生があり、貫通コンデンサ６０を設けて
もノイズ除去が不充分となるおそれが生ずる場合が想定
される。以下、このような場合において、端子から入力
される外部ノイズを確実に除去するようにした本発明の
実施の形態を図２を用いて説明する。

【００２８】図２に、この実施の形態にかかる圧力セン
サの回路構成の概要を模式的に示す。この実施の形態
は、圧力センサ１の参照圧力空間内に設けた回路基板４
０上に、圧力検出回路４８の他に共通接地線４９とノイ
ズバイパス用コンデンサ６５を設けた点に特徴を有して
いる。引出線４５−１，４５−２，４５−３にそれぞれ
対応して、ノイズバイパス用コンデンサ６５−１，６５
−２，６５−３が設けられる。ノイズバイパス用コンデ
ンサ６５は、共通接地線４９と端子８１に接続された入
出力用引出線４５との間に、前記貫通コンデンサ６０と
並列に接続されている。このノイズバイパス用コンデン
サ６５の一端に接続された共通接地線４９を接地用引出
線４６を介して圧力ケース５０に接続して接地して、外
部ノイズをより確実に除去することができる。

【００２９】引出線４５は、回路基板４０に設けられた
入出力端子（ランド部）と端子８１を接続する導線であ
り、信号線や電源供給線や接地線として用いられる。引
出線４５の根本は、回路基板４０上に設けた図示を省略
したランド部に載置され、半田付けなどによって電気的
に接続固定されている。接地用引出線４６は、回路基板
４０に設けられた共通接地線４９と圧力ケース５０を接
続して、共通接地線４９を容器本体１０に接地する。接
地用引出線４６の根本は、回路基板４０上に設けた共通
接地線４９上に載置され、半田付けなどによって電気的
に接続固定されている。

【００３０】圧力ケース５０から引き出された引出線４
５の上端は、端子８１の下端の端子接続部に設けた挿通
孔８２に挿入され、半田付けによって接続される。端子
８１は、例えば電源線８１−１と、信号線８１−２と、
接地線８１−３とを有しており、電源線８１−１と接地
線８１−３が電気回路への電力供給に使用され、信号線
８１−２と接地線８１−３は、センサエレメント２０か
らの出力信号を外部へ取り出すために使用されている。

【００３１】Ｏリング９１，９２，９３は、それぞれＯ
リング受け用平坦部８３，Ｏリング受け部７７，Ｏリン
グ受け用溝１３に接地され、外部からの水や湿気等がコ
ネクタケース７０の内部空間７２へ浸入することを防
ぐ。Ｏリング９４は、圧力検出空間に連通する配管に容
器本体１０を取り付ける際の密封部材として働く。

【００３２】これらの構成部品を用いて圧力センサ１を
組み立てる手順を説明する。まず、センサエレメント２
０を組み立てる。これは、上部台座２３、下部台座２２
及びヘッダ２８を用いて上述のように構成される。次
に、センサエレメント２０の圧力検出素子２１をセンサ
エレメント保持部材３０の開口３３に挿入して、ヘッダ
２８のつば部２８１の上面を環状突起３２に載置し、つ
ば部２８１の裏面から突起３２とほぼ同型状の環状のプ
ロジェクション電極を押し当てプロジェクション溶接す
ることによって、環状突起３２上につば部を気密に固着
する。

【００３３】次いで、センサエレメント保持部材３０上
面に回路基板４０を接着剤を用いて固定した後、圧力検
出素子２１のランド部と回路基板４０のランド部とをボ
ンディングワイヤ２５を用いて接続する。その後例えば
３本の引出線４５および接地用引出線４６を基板のラン
ド部に半田付け等によって取り付ける。

【００３４】圧力ケース５０の開口５４に半田付けした
誘電体６１の貫通孔６２に引出線４５を、接地線用引出
線引出部５６の開口に接地用引出線４６をそれぞれ位置
合わせして挿通し、圧力ケース５０のつば部５３の下面
に設けた溶接面５３１とセンサエレメント保持部材溶接
面３４を当接した後、誘電体６１の貫通孔６２のすきま
と、接地用引出線引出部５６の開口のすきまに半田６３
を流し込んで圧力ケース５０の開口を塞ぐ。この工程に
よって、貫通コンデンサ６０が形成されるとともに、ノ
イズバイパス用の並列回路が形成される。この際、内部
空間の圧力を真空または減圧気味にすることによって、
溶融した半田３１は、すきまの内部まで確実に充填され
る。次いで、例えば電子ビーム溶接によって、つば部５
３の溶接面５３１とセンサエレメント保持部材３０の溶
接面３４を溶接する。溶接は高度の真空中で行われるの
で、内部空間５５は真空に保たれる。かくの如く、つば
部により溶接を容易かつ強固に行うことができ、内部空
間５５が気密な参照圧力空間とされた圧力センサ本体が
組み立てられる。

【００３５】次いで、圧力ケース５０の圧力ケース５０
上に突出した引出線４５の先端を、圧力ケース５０の天
井部５１上に載置した端子保持部材８０に保持された端
子８１の下端の端子接続部８２の開口に挿入して半田付
けする。この端子保持部材８０のＯリング載置用平坦部
８３にＯリング９１を載置した後、端子挿入孔７８に端
子８１を挿入してＯリング受け部７７にＯリング９２を
はめたコネクタケース７０を圧力センサ本体上にかぶ
せ、平坦面７６を圧力ケース５０のつば部５３の上に載
置して、コネクタケース７０のかしめ受け部７５側へ容
器本体１０の立上部１６の上端の肉薄部１６をかしめて
容器本体１０とコネクタケース７０を固定する。以上の
工程によって、圧力センサ１が組み立てられる。

【００３６】この発明によれば、センサエレメント２０
のヘッダ２８の材質と、容器本体１０の材質とが異なっ
ていても、センサエレメント保持部材３０を用いるの
で、ヘッダ２８と容器本体１０の両者を直接溶接により
固着することを避けることができ、したがって異質材質
の金属の溶接という困難さは生じない。しかも、ヘッダ
２８とセンサエレメント保持部材３０を構成する材質を
互いに強固に溶接できる材質とすることができ、ヘッダ
２８とセンサエレメント保持部材３０の環状突起３２を
強固に接続することができる。さらに、本発明によれ
ば、センサエレメント２０のヘッダ２８のつば部２８１
の上面をセンサエレメント保持部材３０の外側下面３１
に設けた環状突起３２上に溶着固定しているので、測定
圧力はヘッダ２８を突起３２側へ押し付ける方向に働
き、溶接面を引き剥がすように力が働かないので、気密
が長期に渡って保たれ、寿命の長い圧力センサを提供す
ることができる。

【００３７】加えて、この発明は、端子８１と圧力ケー
ス５０との間に貫通コンデンサ６０を設けて、電源ノイ
ズや外部からの電磁ノイズを容器本体１０へ逃がして電
気回路部に入り込まない構造として、ノイズによる誤動
作をなくすことができるとともに、貫通コンデンサ６０
で除去し切れなかった電磁ノイズをノイズバイパス用コ
ンデンサ６５を介して接地することができ、電磁ノイズ
の影響を確実に除去することができる。

【００３８】また、本実施の形態では、センサエレメン
ト保持部材３０と圧力ケース５０の溶接を電子ビーム溶
接としたが、他の溶接を用いることができる。さらに、
圧力ケース５０の貫通コンデンサ６０部分を密封した後
上記溶接を行う例を示したが、センサエレメント保持部
材３０と圧力ケース５０を溶接した後、貫通コンデンサ
６０の貫通孔に半田を流し込むようにしてもよい。ま
た、この実施の形態では、圧力センサを、参照圧力空間
を真空とした絶対圧方式の圧力センサとして説明した
が、参照圧力空間に乾燥空気や窒素ガスあるいはヘリウ
ムガスなどを所定の圧力で封じ込んだシールドゲージ圧
方式の圧力センサとすることもできる。

【００３９】さらにまた本発明では、シールドゲージ圧
方式の圧力センサを構成する場合、上記貫通コンデンサ
６０部分を密封し、かつセンサエレメント保持部材３０
と圧力ケース５０の溶接後、参照圧力空間内に上記ヘリ
ウムガス等を例えばキャピラリチューブにより封止して
もよい。

【００４０】図３を用いて、本発明にかかる圧力センサ
の他の実施の形態について説明する。図３は他の実施の
形態にかかる圧力センサの構成を示す縦断面図である。

【００４１】本発明の実施の形態にかかる圧力センサ１
は、図１の実施の形態に示した圧力センサ１に比較し
て、引出線４５に接続されたノイズバイパス用コンデン
サ６５接地する接地手段が異なっているのみで、その他
の構成で変わるところはない。図１に示した実施の形態
の圧力センサ１の構成要素と同じ構成要素は同じ符号で
示している。図３は、この実施の形態にかかる圧力セン
サの接地手段の付近を一点鎖線で囲って拡大して示す。

【００４２】回路基板４０の上面には、引出線４５−
１，４５−２，４５−３に一端が接続されたノイズバイ
パス用コンデンサ６５−１，６５−２，６５−３と、周
囲には共通接地線４９が設けられている。ノイズバイパ
ス用コンデンサ６５−１〜３の他端は共通接地線４９に
接続されている。回路基板４０の外周には、銅、黄銅な
どから構成された環状の導体４７がはめられている。環
状の導体４７は、上部を内側に折り曲げて平坦部が４７
１が、下部を外側に折り曲げてつば状部４７４が設けら
れ、平坦部４７１とつば状部４７４は、立上部４７３に
よって接続されている。平坦部４７１の下面４７２は、
回路基板４０に設けた共通接地線４９に導電性接着剤ま
たは半田付けなどによって電気的に接続される。つば状
部４７４は、センサエレメント保持部３０に設けた環状
の溝部３６に設置され圧力ケース５０のつば部５３の下
面５３１によって押しつけられて、圧力ケース５０とセ
ンサエレメント保持部３０に電気的に接続される。

【００４３】以上の構成を有することによって、この実
施の形態は、接地用引出線４６の電気抵抗を極めて低い
ものとすることができるとともに、図１の実施の形態に
比較して接地用引出線４６を開口５６に挿入して半田付
けする工程を省略することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、気密性
の高い信頼性のある圧力ケース内を真空にした絶対圧圧
力センサまたは所定のガス圧としたシールドゲージ圧圧
力センサにおいて、電磁ノイズを確実に除去することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる圧力センサ
の構造を示す縦断面図。

【図２】本発明の圧力センサの電気的な構造を示す概念
図。

【図３】本発明の第２の実施の形態にかかる圧力センサ
の構造を示す縦断面図。

【符号の説明】

１ 圧力センサ １０ 容器本体 １１ 内部空間 １２ 流体導入用開口 １３ Ｏリング受け用環状溝 １４ センサエレメント保持部材受け用平坦面 １５ 周壁 １６ 肉薄部 ２０ センサエレメント ２１ 圧力検出素子 ２２ 下部台座 ２３ 上部台座 ２４ 貫通孔 ２５ ボンディングワイヤ ２８ ヘッダ ２８１ つば部 ３０ センサエレメント保持部材 ３１ 底面 ３２ 環状突起 ３３ 開口 ３４ 溶接面 ３５ 環状溝 ３６ 環状溝 ４０ 回路基板 ４１ 開口 ４５ 引出線 ４６ 接地用引出線 ４７ 接地用引出導体 ４８ 圧力検出回路 ４９ 共通接地線 ５０ 圧力ケース ５１ 天井部 ５２ 周壁 ５３ つば部 ５３１ 溶接面 ５４ 貫通コンデンサ用開口 ５５ 内部空間 ５６ 接地用引出線用開口 ６０ 貫通コンデンサ ６１ 誘電体 ６２ 貫通孔 ６３ 半田 ６５ ノイズバイパス用コンデンサ ７０ コネクタケース ７１ ソケット部 ７２ 内部空間 ７３ 周壁 ７４ 肉厚部 ７５ かしめ受け部 ７６ 平坦面 ７７ Ｏリング受け部 ７８ 端子挿入孔 ８０ 端子保持部材 ８１ 端子 ８２ 端子接続部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沢田 彰 東京都世田谷区等々力７丁目17番24号 株 式会社不二工機内 Ｆターム(参考） 2F055 AA21 BB01 CC02 DD04 EE13 FF38 GG01 GG12 GG25 GG44 HH05 4M112 AA01 BA01 CA15 CA16 DA18 GA01 GA03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 肉薄部を有し肉薄部に加えられる圧力を
   検出する圧力検出素子を有する圧力センサにおいて、容
   器本体と、圧力検出素子を含むセンサエレメントと、セ
   ンサエレメントを気密に保持するセンサエレメント保持
   部材と、圧力ケースとを有し、センサエレメント保持部
   材は、上記センサエレメントを覆って参照用圧力空間を
   形成する電磁シールド作用を有する圧力ケースに気密に
   かつ電気的に接続固着されるとともに、圧力導入孔を有
   する容器本体に電気的に接続されて保持され、圧力検出
   素子と外部とを接続する引出線を圧力ケースを貫通して
   引き出す圧力ケースに電気的に接続されるとともに機械
   的に気密に固定された貫通コンデンサと、この貫通コン
   デンサに並列に接続したノイズバイパス用コンデンサを
   設け、ノイズバイパス用コンデンサの一端を接地したこ
   とを特徴とする圧力センサ。
2. 【請求項２】 圧力導入孔を有する容器本体と、圧力検
   出素子を有するセンサエレメントと、上記センサエレメ
   ントを固着するセンサエレメント保持部材と、天井部を
   有する圧力ケースとを有し、センサエレメントとセンサ
   エレメント保持部材と圧力ケースを気密に溶接して参照
   用圧力空間を形成した圧力センサであって、上記センサ
   エレメントは、上記圧力検出素子とガラス製の上部台座
   とシリコン製の下部台座と金属製のヘッダを積み重ねて
   構成され、上記センサエレメント保持部材は、中央付近
   に設けた開口と、前記開口の周囲の下面に位置する環状
   の突起と、上面に形成された平坦面を有し、上記圧力ケ
   ースは、天井部の周辺から垂れ下がる周壁の下端が外側
   に折り曲げられたつば部を有し、上記センサエレメント
   のヘッダを上記センサエレメント保持部材の突起部に溶
   接して気密に溶着固定するとともに、前記圧力ケースの
   周壁の下端とセンサエレメント保持部材の上面を溶接し
   て気密に溶着固定するとともに、圧力検出素子と外部と
   を接続する引出線を圧力ケースを貫通して引き出す圧力
   ケースに電気的に接続され機械的に気密に固定された貫
   通コンデンサと、引出線に一端が接続され貫通コンデン
   サに並列に接続されたノイズバイパス用コンデンサを設
   け、該ノイズバイパス用コンデンサの他端を接地したこ
   とを特徴とする圧力センサ。
3. 【請求項３】 ノイズバイパス用コンデンサの他端を圧
   力ケースに接続して接地することを特徴とする請求項２
   に記載の圧力センサ。
4. 【請求項４】 ノイズバイパス用コンデンサの他端をセ
   ンサエレメント保持部材に接続して接地することを特徴
   とする請求項２に記載の圧力センサ。