JP2531990B2 - 搬送用容器 - Google Patents
搬送用容器Info
- Publication number
- JP2531990B2 JP2531990B2 JP24256189A JP24256189A JP2531990B2 JP 2531990 B2 JP2531990 B2 JP 2531990B2 JP 24256189 A JP24256189 A JP 24256189A JP 24256189 A JP24256189 A JP 24256189A JP 2531990 B2 JP2531990 B2 JP 2531990B2
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- JP
- Japan
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- card
- lid
- transport container
- process card
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- Closures For Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえばウエハを収納し、ウエハ製造プロ
セス間で搬送するのに使用される搬送用容器に関するも
のである。
セス間で搬送するのに使用される搬送用容器に関するも
のである。
従来の技術 従来の搬送用容器は、上面開放の本体と、その開放部
を開閉自在な蓋体とを有し、蓋体を開動させることで本
体内に被加工物を収納している。そして搬送用容器は加
工設備間で搬送されるのであるが、その際に被加工物に
対する加工作業工程などを記入したプロセスカードが一
緒に搬送される。従来、プロセスカードは、本体の側部
に形成したポケットに対して上方から差し込んだり、あ
るいは蓋体の上面に設けたビニール袋に側方から挿入し
ていた。
を開閉自在な蓋体とを有し、蓋体を開動させることで本
体内に被加工物を収納している。そして搬送用容器は加
工設備間で搬送されるのであるが、その際に被加工物に
対する加工作業工程などを記入したプロセスカードが一
緒に搬送される。従来、プロセスカードは、本体の側部
に形成したポケットに対して上方から差し込んだり、あ
るいは蓋体の上面に設けたビニール袋に側方から挿入し
ていた。
発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、搬送用容器を自走車で搬送
するとき、その振動などで脱落することになり、特に差
し込みや挿入が充分でなかったときには簡単に脱落する
ことになる。したがって自動搬送や後の加工作業に支障
をきたすことになる。また自走車の搬送経路は水平状に
規制され、上昇、下降、傾斜などのラインを形成できな
い。
するとき、その振動などで脱落することになり、特に差
し込みや挿入が充分でなかったときには簡単に脱落する
ことになる。したがって自動搬送や後の加工作業に支障
をきたすことになる。また自走車の搬送経路は水平状に
規制され、上昇、下降、傾斜などのラインを形成できな
い。
本発明の目的とするところは、プロセスカードのセッ
トを脱落することなく行え、しかもセットの有無、セッ
トが正常か否かを容易に検出し得る搬送用容器を提供す
る点にある。
トを脱落することなく行え、しかもセットの有無、セッ
トが正常か否かを容易に検出し得る搬送用容器を提供す
る点にある。
課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明の搬送用容器は、上
面開放の本体と、その開放部を開閉自在な蓋体とを有
し、この蓋体の上部にカバー板を取付けて、両者間にプ
ロセスカードを挿抜自在なカード収納部を形成するとと
もに、挿抜口に弾性変形自在な係止片部を設け、前記カ
バー板に上面開放の切欠き部を複数形成するとともに、
これら切欠き部に対向して蓋体上面に反射体を設けてい
る。
面開放の本体と、その開放部を開閉自在な蓋体とを有
し、この蓋体の上部にカバー板を取付けて、両者間にプ
ロセスカードを挿抜自在なカード収納部を形成するとと
もに、挿抜口に弾性変形自在な係止片部を設け、前記カ
バー板に上面開放の切欠き部を複数形成するとともに、
これら切欠き部に対向して蓋体上面に反射体を設けてい
る。
作用 かかる本発明の構成によると、搬送用容器は、蓋体を
開動させることで本体内に被加工物などを収納し得る。
その際に被加工物に対する加工作業工程などを記載した
プロセスカードがカード収納部に挿入される。すなわ
ち、係止片部を弾性に抗して変形させ、開放された挿抜
口を通してカード収納部にプロセスカードが挿入され
る。そして係止片部を弾性力により元に戻すことでプロ
セスカードの抜出が阻止される。したがってプロセスカ
ードが正しくセットされていれば、このプロセスカード
が各反射体を上方から覆うことになり、たとえば各反射
体に対向させた光電管形式のカードセンサの全てに反射
光が入らず、以ってプロセスカードが正しくセットされ
ていることが検出される。また複数のカードセンサのう
ちの一部に反射光が入ることで、プロセスカードはセッ
トされているが正しくセットされていないことが検出さ
れる。さらにカードセンサの全てに反射光が入ること
で、プロセスカードがセットされていないことを検出し
得る。
開動させることで本体内に被加工物などを収納し得る。
その際に被加工物に対する加工作業工程などを記載した
プロセスカードがカード収納部に挿入される。すなわ
ち、係止片部を弾性に抗して変形させ、開放された挿抜
口を通してカード収納部にプロセスカードが挿入され
る。そして係止片部を弾性力により元に戻すことでプロ
セスカードの抜出が阻止される。したがってプロセスカ
ードが正しくセットされていれば、このプロセスカード
が各反射体を上方から覆うことになり、たとえば各反射
体に対向させた光電管形式のカードセンサの全てに反射
光が入らず、以ってプロセスカードが正しくセットされ
ていることが検出される。また複数のカードセンサのう
ちの一部に反射光が入ることで、プロセスカードはセッ
トされているが正しくセットされていないことが検出さ
れる。さらにカードセンサの全てに反射光が入ること
で、プロセスカードがセットされていないことを検出し
得る。
実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において搬送用容器１は、上面開放で矩形箱状
の本体２と、その開放部を開閉自在な蓋体３と、この蓋
体３を固定解除自在な固定具４とからなり、前記本体２
内にウエハなど被加工物（図示せず）を収納自在とな
る。そして本体２の上部には移載のための被係止部2aが
側方へ突出状に形成されている。前記蓋体３の上部にカ
バー板５が取付けられる。このカバー板５は、矩形状の
上板部5Aと、この上板部5Aの四側縁から下方へ折り曲げ
形成した垂下部5Bとからなり、この垂下部5Bを蓋体３の
上面3aに当接した状態でボルト６などにより固定され
る。これにより蓋体３の上面3aと上板部5Aの下面との間
に、垂下部5Bの高さに相当したカード収納部７を形成す
る。前記カバー板５の平行する一対の側辺部からは、上
板部5Aの内側に切り込む状態に切欠き部８が形成され、
そして切欠き部８に対向する垂下部5Bは欠除されてい
る。両切欠き部８に対向して蓋体３の上面3aには、反射
テープなどからなる反射体９が設けられる。一方の切欠
き部８の外側位置において、上板部5Aから垂下部5Bに亘
ってスリット10が形成され、以って切欠き部８とスリッ
ト10との間に弾性に抗して上方へ変形自在な係止片部11
を形成している。なおスリット10よりも外側において垂
下部5Bは欠除され、以って挿抜口14を形成している。し
たがって係止片部11を弾性に抗して上方へ変形させるこ
とで、側方に開放された挿抜口14を通して、前記カード
収納部７に対してプロセスカード12が挿抜自在となる。
このプロセスカード12には被加工物に対する加工作業工
程が記入されている。13はバーコードを示す。
の本体２と、その開放部を開閉自在な蓋体３と、この蓋
体３を固定解除自在な固定具４とからなり、前記本体２
内にウエハなど被加工物（図示せず）を収納自在とな
る。そして本体２の上部には移載のための被係止部2aが
側方へ突出状に形成されている。前記蓋体３の上部にカ
バー板５が取付けられる。このカバー板５は、矩形状の
上板部5Aと、この上板部5Aの四側縁から下方へ折り曲げ
形成した垂下部5Bとからなり、この垂下部5Bを蓋体３の
上面3aに当接した状態でボルト６などにより固定され
る。これにより蓋体３の上面3aと上板部5Aの下面との間
に、垂下部5Bの高さに相当したカード収納部７を形成す
る。前記カバー板５の平行する一対の側辺部からは、上
板部5Aの内側に切り込む状態に切欠き部８が形成され、
そして切欠き部８に対向する垂下部5Bは欠除されてい
る。両切欠き部８に対向して蓋体３の上面3aには、反射
テープなどからなる反射体９が設けられる。一方の切欠
き部８の外側位置において、上板部5Aから垂下部5Bに亘
ってスリット10が形成され、以って切欠き部８とスリッ
ト10との間に弾性に抗して上方へ変形自在な係止片部11
を形成している。なおスリット10よりも外側において垂
下部5Bは欠除され、以って挿抜口14を形成している。し
たがって係止片部11を弾性に抗して上方へ変形させるこ
とで、側方に開放された挿抜口14を通して、前記カード
収納部７に対してプロセスカード12が挿抜自在となる。
このプロセスカード12には被加工物に対する加工作業工
程が記入されている。13はバーコードを示す。
第２図、第３図において21はクリーンルームで、天井
側からフィルタ22を通してクリーンエア23を下吹きし、
下降するクリーンエア23をメッシュ形式の床24を通して
床下に吸引するように構成してある。25は密閉式の荷保
管装置で、箱状の本体26内には、上下方向に複数の収納
空間27を区画形成した荷収納部（棚）28が空所29を置い
て左右一対設けられる。前記空所29内には搬入出装置30
が設けられ、この搬入出装置30は、ベース体31と、この
ベース体31上から立設した支持枠32と、この支持枠32内
に配設したガイド体に案内される昇降台33と、この昇降
台33上に横方向移動自在に設けた移載装置34とから構成
される。両荷収納部28のうち一方は高さを低くしてあ
り、その上方に、レール35と、このレール35に支持案内
される自走車36などから構成した搬送装置37が設けられ
る。前記荷収納部28の下方には空所29に対向した受け台
38が設けられ、これら受け台38の外側は扉39によって開
閉自在となる。各受け台38上には、供給された搬送用容
器１の位置ずれ修正をも行う受け具40と、ミリットスイ
ッチ形式の在荷センサ41とが設けられ、さらに受け台38
の上方には、両反射体９に対向してそれぞれ光電管形式
のカードセンサ42が設けられる。なお本体26の前記搬送
装置37に対向する部分は出入口43に形成されている。
側からフィルタ22を通してクリーンエア23を下吹きし、
下降するクリーンエア23をメッシュ形式の床24を通して
床下に吸引するように構成してある。25は密閉式の荷保
管装置で、箱状の本体26内には、上下方向に複数の収納
空間27を区画形成した荷収納部（棚）28が空所29を置い
て左右一対設けられる。前記空所29内には搬入出装置30
が設けられ、この搬入出装置30は、ベース体31と、この
ベース体31上から立設した支持枠32と、この支持枠32内
に配設したガイド体に案内される昇降台33と、この昇降
台33上に横方向移動自在に設けた移載装置34とから構成
される。両荷収納部28のうち一方は高さを低くしてあ
り、その上方に、レール35と、このレール35に支持案内
される自走車36などから構成した搬送装置37が設けられ
る。前記荷収納部28の下方には空所29に対向した受け台
38が設けられ、これら受け台38の外側は扉39によって開
閉自在となる。各受け台38上には、供給された搬送用容
器１の位置ずれ修正をも行う受け具40と、ミリットスイ
ッチ形式の在荷センサ41とが設けられ、さらに受け台38
の上方には、両反射体９に対向してそれぞれ光電管形式
のカードセンサ42が設けられる。なお本体26の前記搬送
装置37に対向する部分は出入口43に形成されている。
搬送用容器１は、固定具４を解除して蓋体３を開動さ
せることで、本体２内に被加工物を収納し得る。そして
蓋体３を閉動したのち固定具４を固定操作するのである
が、その際に被加工物に対する加工作業工程を記載した
プロセスカード12がカード収納部７に挿入される。すな
わち、係止片部11を弾性に抗して上方へ変形させ、側方
に開放された挿抜口14を通してカード収納部７にプロセ
スカード12が収納される。そして係止片部11を弾性力に
より元に戻すことで挿抜口14の一部が閉塞され、プロセ
スカード12の抜出が阻止される。またカード収納部７に
挿入したプロセスカード12は両反射体９を上方から覆う
ことになる。このようにしてプロセスカード12がセット
された搬送用容器１は自走車36上に載置され、そして自
走車36により目的とする荷保管装置25まで搬送され、出
入口43に対向して停止される。この状態で昇降台33の昇
降動と移載装置34の移載動との組合せ動作によって、自
走車36上の搬送用容器１は出入口43を通して荷保管装置
25内に搬入され、そして収納空間27または受け台38上に
渡される。なお逆動作によって、収納空間27または受け
台38の搬送用容器１を自走車36に積み込み得る。
せることで、本体２内に被加工物を収納し得る。そして
蓋体３を閉動したのち固定具４を固定操作するのである
が、その際に被加工物に対する加工作業工程を記載した
プロセスカード12がカード収納部７に挿入される。すな
わち、係止片部11を弾性に抗して上方へ変形させ、側方
に開放された挿抜口14を通してカード収納部７にプロセ
スカード12が収納される。そして係止片部11を弾性力に
より元に戻すことで挿抜口14の一部が閉塞され、プロセ
スカード12の抜出が阻止される。またカード収納部７に
挿入したプロセスカード12は両反射体９を上方から覆う
ことになる。このようにしてプロセスカード12がセット
された搬送用容器１は自走車36上に載置され、そして自
走車36により目的とする荷保管装置25まで搬送され、出
入口43に対向して停止される。この状態で昇降台33の昇
降動と移載装置34の移載動との組合せ動作によって、自
走車36上の搬送用容器１は出入口43を通して荷保管装置
25内に搬入され、そして収納空間27または受け台38上に
渡される。なお逆動作によって、収納空間27または受け
台38の搬送用容器１を自走車36に積み込み得る。
前述のように搬入出装置30によって、自走車36から、
あるいは収納空間27から受け台38上に移つされた搬送用
容器１は、受け具40により自動的に位置ずれを修正され
て支持される。この位置ずれ修正によりカードセンサ42
の真下に反射体９が位置し、また受け具40に支持される
ことで在荷センサ41を作動させ、在荷が確認される。次
いでカードセンサ42が作動するが、このときプロセスカ
ード12が正しくセットされていれば、反射体９に投光が
当たらないことで反射光が生ぜず、以って両カードセン
サ42に入光がないことでプロセスカード12が正しくセッ
トされていることを検出し得る。そしてセットが充分に
行われず、たとえば係止片部11にかみ込まれたように位
置ずれしていたときには、一方のカードセンサ42は検出
状態であるが、他方のカードセンサ42は、反射体９から
の反射光が入光した比検出状態になり、以ってプロセス
カード12はセットされているが正しくセットされていな
いことを検出し得る。また両カードセンサ42ともに、反
射体９からの反射光が入光した非検出状態であるときに
は、プロセスカード12がセットされていないことを検出
し得る。
あるいは収納空間27から受け台38上に移つされた搬送用
容器１は、受け具40により自動的に位置ずれを修正され
て支持される。この位置ずれ修正によりカードセンサ42
の真下に反射体９が位置し、また受け具40に支持される
ことで在荷センサ41を作動させ、在荷が確認される。次
いでカードセンサ42が作動するが、このときプロセスカ
ード12が正しくセットされていれば、反射体９に投光が
当たらないことで反射光が生ぜず、以って両カードセン
サ42に入光がないことでプロセスカード12が正しくセッ
トされていることを検出し得る。そしてセットが充分に
行われず、たとえば係止片部11にかみ込まれたように位
置ずれしていたときには、一方のカードセンサ42は検出
状態であるが、他方のカードセンサ42は、反射体９から
の反射光が入光した比検出状態になり、以ってプロセス
カード12はセットされているが正しくセットされていな
いことを検出し得る。また両カードセンサ42ともに、反
射体９からの反射光が入光した非検出状態であるときに
は、プロセスカード12がセットされていないことを検出
し得る。
発明の効果 上記構成の本発明によると、搬送用容器は、蓋体を開
動させることで本体内に被加工物などを収納することが
でき、その際に被加工物に対する加工作業工程などを記
載したプロセスカードは、係止片部を弾性変形すること
で開放された挿抜口を通してカード収納部に挿入するこ
とができる。このときプロセスカードが正しくセットさ
れていれば、このプロセスカードで各反射体を上方から
覆うことができ、たとえば各反射体に対向させた光電管
形式のカードセンサの全てに反射光が入らないことか
ら、プロセスカードが正しくセットされていることを検
出できる。また複数のカードセンサのうちの一部に反射
光が入ることで、プロセスカードはセットされているが
正しくセットされていないことを検出できる。さらにカ
ードセンサの全てに反射光が入ることで、プロセスカー
ドが全くセットされていないことを検出できる。このよ
うにプロセスカードのセットを、係止片部の弾性変形を
利用して脱落することなく行うことができ、自動搬送や
後の加工作業を円滑に行うことができるとともに、搬送
経路は自由にライン設定できる。しかもセットの有無や
セットが正常か否かを容易に検出することができる。
動させることで本体内に被加工物などを収納することが
でき、その際に被加工物に対する加工作業工程などを記
載したプロセスカードは、係止片部を弾性変形すること
で開放された挿抜口を通してカード収納部に挿入するこ
とができる。このときプロセスカードが正しくセットさ
れていれば、このプロセスカードで各反射体を上方から
覆うことができ、たとえば各反射体に対向させた光電管
形式のカードセンサの全てに反射光が入らないことか
ら、プロセスカードが正しくセットされていることを検
出できる。また複数のカードセンサのうちの一部に反射
光が入ることで、プロセスカードはセットされているが
正しくセットされていないことを検出できる。さらにカ
ードセンサの全てに反射光が入ることで、プロセスカー
ドが全くセットされていないことを検出できる。このよ
うにプロセスカードのセットを、係止片部の弾性変形を
利用して脱落することなく行うことができ、自動搬送や
後の加工作業を円滑に行うことができるとともに、搬送
経路は自由にライン設定できる。しかもセットの有無や
セットが正常か否かを容易に検出することができる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は斜視図、第２
図は使用状態を示す縦断面図、第３図は同横断面図であ
る。 １……搬送用容器、２……本体、３……蓋体、3a……上
面、５……カバー板、5A……上板部、5B……垂下部、７
……カード収納部、８……切欠き部、９……反射体、10
……スリット、11……係止片部、12……プロセスカー
ド、14……挿抜口、21……クリーンルーム、25……荷保
管装置、27……収納空間、28……荷収納部、30……搬入
出装置、36……自走車、37……搬送装置、38……受け
台、40……受け具、41……在荷センサ、42……カードセ
ンサ。
図は使用状態を示す縦断面図、第３図は同横断面図であ
る。 １……搬送用容器、２……本体、３……蓋体、3a……上
面、５……カバー板、5A……上板部、5B……垂下部、７
……カード収納部、８……切欠き部、９……反射体、10
……スリット、11……係止片部、12……プロセスカー
ド、14……挿抜口、21……クリーンルーム、25……荷保
管装置、27……収納空間、28……荷収納部、30……搬入
出装置、36……自走車、37……搬送装置、38……受け
台、40……受け具、41……在荷センサ、42……カードセ
ンサ。
Claims (1)
- 【請求項１】上面開放の本体と、その開放部を開閉自在
な蓋体とを有し、この蓋体の上部にカバー板を取付け
て、両者間にプロセスカードを挿抜自在なカード収納部
を形成するとともに、挿抜口に弾性変形自在な係止片部
を設け、前記カバー板に上面開放の切欠き部を複数形成
するとともに、これら切欠き部に対向して蓋体上面に反
射体を設けたことを特徴とする搬送用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24256189A JP2531990B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 搬送用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24256189A JP2531990B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 搬送用容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104257A JPH03104257A (ja) | 1991-05-01 |
| JP2531990B2 true JP2531990B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=17090919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24256189A Expired - Fee Related JP2531990B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 搬送用容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531990B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101599449B1 (ko) * | 2015-02-06 | 2016-03-03 | (주)동인엔지니어링 | 밸브유닛용 단열재 보호커버 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP24256189A patent/JP2531990B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03104257A (ja) | 1991-05-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |