JP2531239Y2 - 温純水引上げ方式乾燥装置における昇降治具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、温純水引上げ方式乾燥装置における昇降治
具に関するものである。

〔従来の技術〕

周知のとおり、レンズ、光ディスク、液晶パネル、太
陽電池等、その表面が比較的平滑であってシンプルな形
状の平板状ワークを洗浄後、その表面を乾燥させるのに
IPAの蒸気、フロン113の蒸気、またその自熱による乾燥
方法が用いられていた。

ところが、フロンによるオゾン層破壊の為使用禁止が
言われているのでフロン系の乾燥材を用いることができ
なくなっている。

他方、平板状ワークを昇降治具に設けられた治具バー
上にセットして温純水に浸漬後、温純水の表面張力を利
用して平板状ワークを乾燥させる方法が用いられてい
る。

より詳しく説明すると、上記昇降治具に設けられる治
具バーは特に工夫がなく、断面形状が円形や多角形その
ままであり、治具バー上に平板状ワークが直接置かれ、
昇降されるものであった。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記従来技術によれば、平板状ワークの表面の水滴は
温純水の表面張力によってほとんど除去できるという利
点を有する。

しかし、昇降治具に注目すると、平板状ワークが載置
される治具バー上に直接接触しているので、温純水から
昇降治具を引き上げた後、平板状ワークの表面から除去
された水滴が治具バーとの間の接触部分に溜まり易く、
これが平板状ワークに付着して、しみ等の原因とより易
いという問題点があった。

また、治具バーは円形や多角形であり肉厚があるの
で、それゆえに重力方向最下端部に水滴が表面張力で付
着したままになり、そのままの状態で昇降治具を搬送し
たり、保管したりすると、昇降治具に付着している水滴
が他の平板状ワークに付着して、しみ等の原因となり易
いという問題があった。

〔目的〕

従って本考案の目的とするところは、温純水から引上
げた後、平板状ワークとの接触部分、重力方向最下端部
分等の水滴が溜まり易い部分に水滴が溜まらないように
した昇降治具を提供するにある。

〔課題を解決する為の手段〕

上記目的を達成する為に本考案は次の技術的手段を有
する。即ち本考案の昇降治具は、洗浄後の平板状ワーク
を垂直に載置して温純水に浸漬し、ほぼ垂直上方へゆっ
くりと引き上げ、該平板状ワークの表面から水滴を除去
して乾燥させる昇降治具において、該昇降治具に該平板
状ワークを載置する治具バーを設け、該治具バーと該平
板状ワークとが接触する温純水の溜まりやすい部分に、
疎水性に富む材料より成る水滴除去部を設けると共に、
該治具バーは該水滴除去部より親水性の高い樹脂からな
ることを特徴とする。

上記治具バーは、その重力方向最下端部分にも疎水性
に富む材料より成る水滴除去部が設けられている。

本考案の昇降治具では、上記疎水性に富む材料として
ふっ素系樹脂が適している。また、上記水滴除去部の一
部が上記治具バーの表面から外方に突出して設けられて
いる。

〔作用〕

上記構成に基づくと、昇降治具により平板状ワークを
温純水から引上げると、温純水は通常の水よりも表面張
力が小さいので、平板状ワークの表面に付着した水滴が
温純水中に拡散するとともに平板状ワークの表面に沿っ
て重力方向に流れ落ち、上記平板状ワークに乾燥された
表面が得られる。平板状ワークから流れ落ちた水滴は、
次いで昇降治具の表面に沿って重力方向に流れ落ちる
が、昇降治具と平板状ワークとの接触部分や、昇降治具
の重力方向最下端部分に溜まり易い傾向がある。

ところが、本考案によれば、上記水滴が溜まり易い部
分には昇降治具の材料に比して疎水性に富む材料より成
る水滴除去部が設けられているので、水滴が該水滴除去
部により排除され、上記部分に滞留することが防止され
る。

上記疎水性に富む材料は、ふっ素系樹脂からなること
により、上記水滴が排除されやすくなる。また、上記水
滴除去部は、その一部が昇降治具の表面から外方に突出
して設けられていることにより、上記水滴が排除され易
くなる。

〔実施例〕

次に添付図面に従い本考案の好適な実施例を詳述す
る。

第１図、第２図は本考案の一実施例を示し、第１図は
その使用中の状態を示す説明的断面図であり、第２図は
第１図の要部拡大図である。

第１図示のように、昇降治具11は下部は水平に構成さ
れた平板状ワーク４を垂直に保持する棒状の治具バー21
と垂直に上方に伸びている取手部11aとから構成されて
いる。平板状ワーク４は棒状の治具バー21と互いに直交
するように載置されている。

第２図示のように、治具バー21の断面は円形であり、
平板状ワーク４との接触部分と重力方向最下端部分に水
滴除去部31が設けられている。尚、この水滴除去部31は
治具バー21の断面形状より小さな断面を有する円形であ
り、治具バー21より疎水性に富む材料で形成されてい
る。上記水滴除去部31を形成する疎水性に富む材料は、
具体的に言えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリク
ロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・
ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリふっ化ビニリ
デン、ポリふっ化ビニル等の樹脂であり、治具バー21は
それよりも比較的親水性の高い樹脂で形成されている。

また、水滴除去部31は、その一部が治具バー21の表面
から外方に突出して設けられている。

上記構成の昇降治具11により平板状ワーク４を温純水
５に浸漬して、引上げると、平板状ワーク４の表面に付
着した水滴６は昇降治具11を伝わり、重力方向に流れ落
ちていく。この時、従来は治具バー21と平板状ワーク４
との接触部分や治具バー21の重力方向最下端部分に水滴
が溜まっていたが、それらの部分に疎水性に富んだ水滴
除去部31を配することによって水滴６が除去される。

また、水滴除去部31の断面は治具バー21の断面に比し
て小さく、その一部が治具バー21の表面から外方に突出
しているので、上記接触部分では治具バー21と平板状ワ
ーク４との間に狭い間隙が形成され、しかも該間隙に上
記疎水性に富む材料からなる水滴除去部31が介在するの
で、平板状ワーク４の表面に沿って流れ落ちてきた水滴
６が該水滴除去部31により排除され、さらに昇降治具11
に伝わり易くなっている。

〔効果〕

以上述した如く請求項第１項の考案によれば、治具バ
ーと平板状ワークとの接触部分に水滴除去部を設けるこ
とにより、平板状ワークから水滴を除去することがで
き、該水滴が平板状ワークに付着してしみ等の原因とな
ることを防ぐことができるという利点を有する。

そして、請求項第２項の考案によれば、治具バーの重
力方向最下端部分に水滴除去部を設けることにより、昇
降治具から水滴を除去することができ、該水滴が平板状
ワークに付着してしみ等の原因となることを防ぐことが
できるという利点を有する。

そして、請求項第３項の考案によれば、水滴除去部を
ふっ素系樹脂で形成することにより、より容易に水滴を
除去することができる。

さらに、請求項第４項の考案によれば、水滴除去部の
一部が上記治具バーの表面から外方に突出して設けられ
ていることにより、水滴を容易に排除することができ
る。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本考案の実施例を示し、第１図は一実施例の
昇降治具の正面図、第２図は同じく治具バーの断面図で
あり、図中11は昇降治具、21は治具バー、31は水滴除去
部、４は平板状ワーク、５は温純水、６は水滴である。

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄後の平板状ワークを垂直に載置して温
   純水に浸漬し、ほぼ垂直上方へゆっくりと引き上げ、該
   平板状ワークの表面から水滴を除去して乾燥させる昇降
   治具において； 該昇降治具に該平板状ワークを載置する治具バーを設
   け、該治具バーと該平板状ワークとが接触する温純水の
   溜まり易い部分に、疎水性に富む材料より成る水滴除去
   部を設けると共に、該治具バーは該水滴除去部より親水
   性の高い樹脂からなることを特徴とする温純水引上げ方
   式乾燥装置における昇降治具。
2. 【請求項２】上記治具バーの重力方向最下端部分に疎水
   性に富む材料より成る水滴除去部が設けられていること
   を特徴とする請求項第１項記載の温純水引上げ方式乾燥
   装置における昇降治具。
3. 【請求項３】上記疎水性に富む材料はふっ素系樹脂であ
   ることを特徴とする請求項第１項または第２項記載の温
   純水引上げ方式乾燥装置における昇降治具。
4. 【請求項４】上記水滴除去部の一部が上記治具バーの表
   面から外方に突出して設けられていることを特徴とする
   請求項第１項または第２項記載の温純水引上げ方式乾燥
   装置における昇降治具。