JPH0728954Y2 - 被処理板用支持治具 - Google Patents
被処理板用支持治具Info
- Publication number
- JPH0728954Y2 JPH0728954Y2 JP3526893U JP3526893U JPH0728954Y2 JP H0728954 Y2 JPH0728954 Y2 JP H0728954Y2 JP 3526893 U JP3526893 U JP 3526893U JP 3526893 U JP3526893 U JP 3526893U JP H0728954 Y2 JPH0728954 Y2 JP H0728954Y2
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- JP
- Japan
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- plate
- glass plate
- processed
- thin plates
- thin
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、シリコンウェハ、種々
のガラス基板、磁気ディスク、光学ガラス等の被処理板
の洗浄や乾燥に使用される支持治具に関する。
のガラス基板、磁気ディスク、光学ガラス等の被処理板
の洗浄や乾燥に使用される支持治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の被処理板を洗浄したり
乾燥する場合に使用される支持治具は、次のような特徴
を有することが要望されている。 (1) 支持治具と接触される被処理板の部分に傷が生じな
いように前記接触部が平滑に加工されていること。
乾燥する場合に使用される支持治具は、次のような特徴
を有することが要望されている。 (1) 支持治具と接触される被処理板の部分に傷が生じな
いように前記接触部が平滑に加工されていること。
【０００３】(2) 被処理板と接触する支持治具の部分に
洗浄液が残留しない構造にすること。なお、前記支持治
具に洗浄液が残留すると、前記残留洗浄液が表面張力に
より被処理板に付着するため、乾燥時において洗浄液の
付着箇所に乾燥染みが発生する。
洗浄液が残留しない構造にすること。なお、前記支持治
具に洗浄液が残留すると、前記残留洗浄液が表面張力に
より被処理板に付着するため、乾燥時において洗浄液の
付着箇所に乾燥染みが発生する。
【０００４】ところで、従来、前記被処理板の支持治具
としては図５に示す構造のものが知られている。２枚の
側板１、２は、互いに所定の距離をあけて平行に配置さ
れている。両端に径の小さいねじ部３を有する３本の支
持棒４1 、４2 、４3 は、前記側板１、２間に互いに平
行に配置され、かつ前記各支持棒４1 、４2 、４3 の両
端のねじ部３は前記側板１、２を貫通している。なお、
前記各支持棒４1 、４2 、４3 のうち、支持棒４1 は前
記側板１、２の下部中央付近にその両端のねじ部３が貫
通するように配置され、残りの２本の支持棒４2 、４3
は前記側板１、２の上部コーナ付近にそれら両端のねじ
部３が貫通するように配置されている。ナット５は、前
記側板１、２の外面に突出した前記各支持棒４1 、４
2 、４3 の両端のねじ部３に螺着され、前記支持棒４
1 、４2 、４3 を前記側板１、２に固定している。前記
支持棒４1 には、山谷がＶ形の鋸形状をなす薄板６1 が
その支持棒４1 の長さ方向に亘って垂直に植設されてい
る。また、前記支持棒４2 、４3 には、山谷がＶ形の鋸
形状をなす薄板６2 、６3 が互いに対向するように、か
つそれら支持棒４2 、４3 の長さ方向に亘って水平に植
設されている。
としては図５に示す構造のものが知られている。２枚の
側板１、２は、互いに所定の距離をあけて平行に配置さ
れている。両端に径の小さいねじ部３を有する３本の支
持棒４1 、４2 、４3 は、前記側板１、２間に互いに平
行に配置され、かつ前記各支持棒４1 、４2 、４3 の両
端のねじ部３は前記側板１、２を貫通している。なお、
前記各支持棒４1 、４2 、４3 のうち、支持棒４1 は前
記側板１、２の下部中央付近にその両端のねじ部３が貫
通するように配置され、残りの２本の支持棒４2 、４3
は前記側板１、２の上部コーナ付近にそれら両端のねじ
部３が貫通するように配置されている。ナット５は、前
記側板１、２の外面に突出した前記各支持棒４1 、４
2 、４3 の両端のねじ部３に螺着され、前記支持棒４
1 、４2 、４3 を前記側板１、２に固定している。前記
支持棒４1 には、山谷がＶ形の鋸形状をなす薄板６1 が
その支持棒４1 の長さ方向に亘って垂直に植設されてい
る。また、前記支持棒４2 、４3 には、山谷がＶ形の鋸
形状をなす薄板６2 、６3 が互いに対向するように、か
つそれら支持棒４2 、４3 の長さ方向に亘って水平に植
設されている。
【０００５】このような構造を有する従来の支持治具に
おいて、同図５に示すように例えばガラス板７の下端中
央を前記支持棒４1 に垂直に植設された前記鋸形状をな
す薄板６1 のＶ形の谷部に当接させ、前記ガラス板７の
両側端を前記支持棒４2 、４3 に水平に植設された前記
鋸形状をなす薄板６2 、６3 のＶ形の谷部にそれぞれ当
接させることにより前記ガラス板７を支持することがで
きる。
おいて、同図５に示すように例えばガラス板７の下端中
央を前記支持棒４1 に垂直に植設された前記鋸形状をな
す薄板６1 のＶ形の谷部に当接させ、前記ガラス板７の
両側端を前記支持棒４2 、４3 に水平に植設された前記
鋸形状をなす薄板６2 、６3 のＶ形の谷部にそれぞれ当
接させることにより前記ガラス板７を支持することがで
きる。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
支持治具でガラス板７を支持した場合、その下端は図６
に示すように前記鋸形状をなす薄板６1 のＶ形の谷部の
底近傍に当接されるため、次のような問題があった。
支持治具でガラス板７を支持した場合、その下端は図６
に示すように前記鋸形状をなす薄板６1 のＶ形の谷部の
底近傍に当接されるため、次のような問題があった。
【０００７】(1) 前記薄板６1 のＶ形の谷部の底近傍
は、特に平滑に加工することが困難である。このため、
図６のようにガラス板７を前記薄板６1 のＶ形の谷部の
底近傍に当接させる際に前記ガラス板７表面に傷が発生
するおそれがある。
は、特に平滑に加工することが困難である。このため、
図６のようにガラス板７を前記薄板６1 のＶ形の谷部の
底近傍に当接させる際に前記ガラス板７表面に傷が発生
するおそれがある。
【０００８】(2) 支持治具は、支持棒４1 、４2 、４3
に植設された薄板６1 、６2 、６3が鋸形状をなすた
め、それらのＶ形の谷部に洗浄液が残留し易く、特に支
持棒４1 に垂直に植設された薄板６1 のＶ形の谷部には
洗浄液の残留量が多くなる。その結果、図６のようにガ
ラス板７を前記薄板６1 のＶ形の谷部に当接させて支持
すると、前記Ｖ形の谷部の残留洗浄液が表面張力により
前記ガラス板に付着するため、乾燥時において洗浄液の
付着箇所に乾燥染みが発生する問題が起こる。
に植設された薄板６1 、６2 、６3が鋸形状をなすた
め、それらのＶ形の谷部に洗浄液が残留し易く、特に支
持棒４1 に垂直に植設された薄板６1 のＶ形の谷部には
洗浄液の残留量が多くなる。その結果、図６のようにガ
ラス板７を前記薄板６1 のＶ形の谷部に当接させて支持
すると、前記Ｖ形の谷部の残留洗浄液が表面張力により
前記ガラス板に付着するため、乾燥時において洗浄液の
付着箇所に乾燥染みが発生する問題が起こる。
【０００９】(3) 前記鋸形状をなす薄板６1 、６2 、６
3 のＶ形の谷部には、汚れが溜り易く、かつ清掃もし難
いため、前記Ｖ形の谷部の残留洗浄液中への汚染物量が
増大する。その結果、乾燥時において洗浄液が付着され
たガラス板７の箇所に汚染物を含む乾燥染みが発生す
る。本考案は、被処理板との接触箇所を平滑に加工する
ことが可能で、かつ洗浄液の切れが良好な被処理板用支
持治具を提供しようとするものである。
3 のＶ形の谷部には、汚れが溜り易く、かつ清掃もし難
いため、前記Ｖ形の谷部の残留洗浄液中への汚染物量が
増大する。その結果、乾燥時において洗浄液が付着され
たガラス板７の箇所に汚染物を含む乾燥染みが発生す
る。本考案は、被処理板との接触箇所を平滑に加工する
ことが可能で、かつ洗浄液の切れが良好な被処理板用支
持治具を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本考案は、被処理板を支
持する治具において、傾斜辺を有する一対の薄板を備
え、前記被処理板の外側の縁に前記一方の薄板の傾斜辺
を前記被処理板の面に直交またはほぼ直交するように当
接させ、かつ前記被処理板の外側の縁に前記他方の薄板
の傾斜辺を前記被処理板の面を中心にして前記一方の薄
板に対して対称的になるように当接させると共に、前記
一対の薄板を互いに所望距離隔てて配置することを特徴
とする被処理板用支持治具である。
持する治具において、傾斜辺を有する一対の薄板を備
え、前記被処理板の外側の縁に前記一方の薄板の傾斜辺
を前記被処理板の面に直交またはほぼ直交するように当
接させ、かつ前記被処理板の外側の縁に前記他方の薄板
の傾斜辺を前記被処理板の面を中心にして前記一方の薄
板に対して対称的になるように当接させると共に、前記
一対の薄板を互いに所望距離隔てて配置することを特徴
とする被処理板用支持治具である。
【００１１】以下、本考案の被処理板用支持治具を図面
を参照して詳細に説明する。図１は、本考案の被処理板
用支持治具を示す斜視図、図２は図１の右側面図であ
る。傾斜辺を有し、例えば互いに同一形状（直角台形）
の対をなす３組の薄板１１1 、１１2 、１２1 、１２
2 、１３1 、１３2 は、被処理板、例えば矩形状のガラ
ス板１４の下端、両側端がそれぞれ配置されている。前
記ガラス板１４の下端に位置する前記一対の薄板１１
1 、１１2 は、垂直に配置されている。これら薄板１１
1 、１１2 のうちの一方の薄板１１1 はその傾斜辺が図
２に示すように前記ガラス板１４の下端にその面に直交
するように当接され、かつ他方の薄板１１2 はその傾斜
辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前記一方
の薄板１１1 に対して対称的になるように当接されてい
ると共に、前記一対の薄板１１1 、１１2 は互いに所望
距離隔てて対向、配置されている。また、前記ガラス板
１４の左側端に位置する前記一対の薄板１２1 、１２2
は水平に配置されている。これら薄板１２1 、１２2 の
うちの一方の薄板１２1 は、その傾斜辺が前記ガラス板
１４の左側端にその面に直交するように当接され、かつ
他方の薄板１２2はその傾斜辺が前記ガラス板１４の左
側端にその面を中心に前記一方の薄板１２1 に対して対
称的になるように当接されていると共に、前記一対の薄
板１２1 、１２2 は互いに所望距離隔てて対向、配置さ
れている。さらに、前記ガラス板１４の左側端に位置す
る前記一対の薄板１３1 、１３2 は水平に配置されてい
る。これら薄板１３1 、１３2 のうちの一方の薄板１３
1 は、その傾斜辺が前記ガラス板１４の左側端にその面
に直交するように当接され、かつ他方の薄板１３2 はそ
の傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前
記一方の薄板１３1 に対して対称的になるように当接さ
れていると共に、前記一対の薄板１３1 、１３2 は互い
に所望距離隔てて対向、配置されている。
を参照して詳細に説明する。図１は、本考案の被処理板
用支持治具を示す斜視図、図２は図１の右側面図であ
る。傾斜辺を有し、例えば互いに同一形状（直角台形）
の対をなす３組の薄板１１1 、１１2 、１２1 、１２
2 、１３1 、１３2 は、被処理板、例えば矩形状のガラ
ス板１４の下端、両側端がそれぞれ配置されている。前
記ガラス板１４の下端に位置する前記一対の薄板１１
1 、１１2 は、垂直に配置されている。これら薄板１１
1 、１１2 のうちの一方の薄板１１1 はその傾斜辺が図
２に示すように前記ガラス板１４の下端にその面に直交
するように当接され、かつ他方の薄板１１2 はその傾斜
辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前記一方
の薄板１１1 に対して対称的になるように当接されてい
ると共に、前記一対の薄板１１1 、１１2 は互いに所望
距離隔てて対向、配置されている。また、前記ガラス板
１４の左側端に位置する前記一対の薄板１２1 、１２2
は水平に配置されている。これら薄板１２1 、１２2 の
うちの一方の薄板１２1 は、その傾斜辺が前記ガラス板
１４の左側端にその面に直交するように当接され、かつ
他方の薄板１２2はその傾斜辺が前記ガラス板１４の左
側端にその面を中心に前記一方の薄板１２1 に対して対
称的になるように当接されていると共に、前記一対の薄
板１２1 、１２2 は互いに所望距離隔てて対向、配置さ
れている。さらに、前記ガラス板１４の左側端に位置す
る前記一対の薄板１３1 、１３2 は水平に配置されてい
る。これら薄板１３1 、１３2 のうちの一方の薄板１３
1 は、その傾斜辺が前記ガラス板１４の左側端にその面
に直交するように当接され、かつ他方の薄板１３2 はそ
の傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前
記一方の薄板１３1 に対して対称的になるように当接さ
れていると共に、前記一対の薄板１３1 、１３2 は互い
に所望距離隔てて対向、配置されている。
【００１２】前記薄板１１1 、１１2 、１２1 、１２
2 、１３1 、１３2 は、例えばステンレス、ポリテトラ
フルオロエチレン、石英ガラスのような耐薬品性、耐熱
性の優れた材料から形成されることが好ましい。
2 、１３1 、１３2 は、例えばステンレス、ポリテトラ
フルオロエチレン、石英ガラスのような耐薬品性、耐熱
性の優れた材料から形成されることが好ましい。
【００１３】前記薄板１１1 、１１2 、１２1 、１２
2 、１３1 、１３2 は、所定の強度を維持しつつ、前記
ガラス板１４のような被処理板との接触面積を減少させ
る観点から、０．３〜５ｍｍの厚さを有することが好ま
しい。
2 、１３1 、１３2 は、所定の強度を維持しつつ、前記
ガラス板１４のような被処理板との接触面積を減少させ
る観点から、０．３〜５ｍｍの厚さを有することが好ま
しい。
【００１４】本発明に係わる支持治具は、前述した図１
に示すようなガラス板に限らず、例えば図３に示すよう
なシリコンウェハ１５の支持にも同様に適用することが
可能である。
に示すようなガラス板に限らず、例えば図３に示すよう
なシリコンウェハ１５の支持にも同様に適用することが
可能である。
【００１５】
【作用】本考案によれば、図１に示すように傾斜辺を有
し、例えば互いに同一形状（直角台形）の対をなす薄板
１１1 、１１2 、１２1 、１２2 、１３1 、１３2 を備
え、例えば矩形状のガラス板１４の下端、両側端はこれ
らの薄板１１1 、１１2、１２1 、１２2 、１３1 、１
３2 の傾斜辺にそれぞれ当接して支持されている。すな
わち、前記ガラス板１４の下端に位置する前記一対の薄
板１１1 、１１2は、垂直に配置されている。これら薄
板１１1 、１１2 のうちの一方の薄板１１1 は、図２に
示すようにその傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその
面に直交するように当接され、かつ他方の薄板１１2 は
その傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に
前記一方の薄板１１1 に対して対称的になるように当接
されていると共に、前記一対の薄板１１1 、１１2 は互
いに所望距離隔てて対向、配置されている。また、前記
ガラス板１４の左側端に位置する前記一対の薄板１２
1 、１２2 および右側端に位置する前記一対の薄板１３
1 、１３2 は互いに水平に配置されている以外、前記一
対の薄板１１1 、１１2 と同様な形態で前記ガラス板１
４に配置されている。
し、例えば互いに同一形状（直角台形）の対をなす薄板
１１1 、１１2 、１２1 、１２2 、１３1 、１３2 を備
え、例えば矩形状のガラス板１４の下端、両側端はこれ
らの薄板１１1 、１１2、１２1 、１２2 、１３1 、１
３2 の傾斜辺にそれぞれ当接して支持されている。すな
わち、前記ガラス板１４の下端に位置する前記一対の薄
板１１1 、１１2は、垂直に配置されている。これら薄
板１１1 、１１2 のうちの一方の薄板１１1 は、図２に
示すようにその傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその
面に直交するように当接され、かつ他方の薄板１１2 は
その傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に
前記一方の薄板１１1 に対して対称的になるように当接
されていると共に、前記一対の薄板１１1 、１１2 は互
いに所望距離隔てて対向、配置されている。また、前記
ガラス板１４の左側端に位置する前記一対の薄板１２
1 、１２2 および右側端に位置する前記一対の薄板１３
1 、１３2 は互いに水平に配置されている以外、前記一
対の薄板１１1 、１１2 と同様な形態で前記ガラス板１
４に配置されている。
【００１６】したがって、前記ガラス板１４の下端は前
記一対の薄板１１1 、１１2 の傾斜辺の中間付近に当接
して支持され、その両端は前記一対の薄板１２1 、１２
2 および前記一対の薄板１３1 、１３2 の傾斜辺の中間
付近にそれぞれ当接して支持される。つまり、前記ガラ
ス板１４は前記薄板１１1 、１１2 、１２1 、１２2、
１３1 、１３2 の洗浄液の切れが良好な傾斜辺の中間付
近で支持される。このため、前記薄板１１1 、１１2 、
１２1 、１２2 、１３1 、１３2 でガラス板１４を支持
することにより、従来の鋸形状をなす薄板のＶ形の谷部
でガラス板を支持する場合のように洗浄液が前記ガラス
板の接触部付近に残留するのを抑制することができる。
また、前記ガラス板１４が接触される前記薄板１１1 、
１１2 、１２1 、１２2 、１３1 、１３2 の傾斜辺の中
間付近は汚れが溜り難くかつ清掃もし易くなる。その結
果、ガラス板１４に残留洗浄液に起因する乾燥染みが発
生したり、汚染物を含む乾燥染みが発生したりするのを
防止することができる。
記一対の薄板１１1 、１１2 の傾斜辺の中間付近に当接
して支持され、その両端は前記一対の薄板１２1 、１２
2 および前記一対の薄板１３1 、１３2 の傾斜辺の中間
付近にそれぞれ当接して支持される。つまり、前記ガラ
ス板１４は前記薄板１１1 、１１2 、１２1 、１２2、
１３1 、１３2 の洗浄液の切れが良好な傾斜辺の中間付
近で支持される。このため、前記薄板１１1 、１１2 、
１２1 、１２2 、１３1 、１３2 でガラス板１４を支持
することにより、従来の鋸形状をなす薄板のＶ形の谷部
でガラス板を支持する場合のように洗浄液が前記ガラス
板の接触部付近に残留するのを抑制することができる。
また、前記ガラス板１４が接触される前記薄板１１1 、
１１2 、１２1 、１２2 、１３1 、１３2 の傾斜辺の中
間付近は汚れが溜り難くかつ清掃もし易くなる。その結
果、ガラス板１４に残留洗浄液に起因する乾燥染みが発
生したり、汚染物を含む乾燥染みが発生したりするのを
防止することができる。
【００１７】また、前記薄板１１1 、１１2 、１２1 、
１２2 、１３1 、１３2 は傾斜辺を有する例えば直角台
形をなし、かつ前記前記傾斜辺の中間付近に前記ガラス
板１４が当接されるため、従来のＶ形の薄板に比べて前
記ガラス板１４が当接される箇所を容易に平滑加工する
ことができる。その結果、前記薄板１１1 、１１2 、１
２1 、１２2 、１３1 、１３2 の傾斜辺と接触される前
記ガラス板１４の箇所に傷が発生するのを防止できる。
１２2 、１３1 、１３2 は傾斜辺を有する例えば直角台
形をなし、かつ前記前記傾斜辺の中間付近に前記ガラス
板１４が当接されるため、従来のＶ形の薄板に比べて前
記ガラス板１４が当接される箇所を容易に平滑加工する
ことができる。その結果、前記薄板１１1 、１１2 、１
２1 、１２2 、１３1 、１３2 の傾斜辺と接触される前
記ガラス板１４の箇所に傷が発生するのを防止できる。
【００１８】
【実施例】以下、本考案の実施例を図４を参照して詳細
に説明する。２枚の側板２１、２２は、互いに所定の距
離をあけて平行に配置されている。両端に径の小さいね
じ部２３を有する例えばステンレス鋼製の６本の支持棒
２４1 〜２４6 は、前記側板２１、２２間に互いに平行
に配置され、かつ前記各支持棒２４1 〜２４6 の両端の
ねじ部２３は前記側板２１、２２を貫通している。前記
各支持棒２４1 〜２４6 のうち、支持棒２４1 、２４2
は前記側板２１、２２の下部中央付近に互いに水平方向
に対向するように配置されている。前記各支持棒２４1
〜２４6 のうち、支持棒２４3 、２４4 は前記側板２
１、２２の左端付近に互いに垂直方向に対向するように
配置され、残りの支持棒２４5 、２４6 は前記側板２
１、２２の右端付近に互いに垂直方向に対向するように
配置されている。ナット２５は、前記側板２１、２２の
外面に突出した前記各支持棒２４1 〜２４6 の両端のね
じ部２３に螺着され、前記各支持棒２４1 〜２４6 を前
記側板２１、２２に固定している。
に説明する。２枚の側板２１、２２は、互いに所定の距
離をあけて平行に配置されている。両端に径の小さいね
じ部２３を有する例えばステンレス鋼製の６本の支持棒
２４1 〜２４6 は、前記側板２１、２２間に互いに平行
に配置され、かつ前記各支持棒２４1 〜２４6 の両端の
ねじ部２３は前記側板２１、２２を貫通している。前記
各支持棒２４1 〜２４6 のうち、支持棒２４1 、２４2
は前記側板２１、２２の下部中央付近に互いに水平方向
に対向するように配置されている。前記各支持棒２４1
〜２４6 のうち、支持棒２４3 、２４4 は前記側板２
１、２２の左端付近に互いに垂直方向に対向するように
配置され、残りの支持棒２４5 、２４6 は前記側板２
１、２２の右端付近に互いに垂直方向に対向するように
配置されている。ナット２５は、前記側板２１、２２の
外面に突出した前記各支持棒２４1 〜２４6 の両端のね
じ部２３に螺着され、前記各支持棒２４1 〜２４6 を前
記側板２１、２２に固定している。
【００１９】前記支持棒２４1 、２４2 には、直角三角
形の山が連続的に繋がる鋸形状をなす例えばポリテトラ
フルルオロエチレン製で厚さが１ｍｍの薄板２６1 、２
６2がそれらの支持棒２４1 、２４2 の長さ方向に亘っ
て垂直にそれぞれ植設されている。前記支持棒２４3 、
２４4 には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸形状を
なす例えばポリテトラフルルオロエチレン製の薄板２６
3 、２６4 がそれらの支持棒２４3 、２４4 の長さ方向
に亘って水平にそれぞれ植設されている。前記支持棒２
４5 、２４6 には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸
形状をなす例えばポリテトラフルルオロエチレン製の薄
板２６5 、２６6 がそれらの支持棒２４5 、２４6 の長
さ方向に亘って水平にそれぞれ植設されている。なお、
前記薄板２６1 と２６2 、前記薄板２６3 と２６4 およ
び前記薄板２６5 、２６6 はそれぞれ対をなし、それら
対をなす薄板２６1 と２６2 、２６3 と２６4 、２６
5 、２６6 の鋸形状はそれら対をなす薄板間を直角に横
切る面を中心に対称的に配置されている。
形の山が連続的に繋がる鋸形状をなす例えばポリテトラ
フルルオロエチレン製で厚さが１ｍｍの薄板２６1 、２
６2がそれらの支持棒２４1 、２４2 の長さ方向に亘っ
て垂直にそれぞれ植設されている。前記支持棒２４3 、
２４4 には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸形状を
なす例えばポリテトラフルルオロエチレン製の薄板２６
3 、２６4 がそれらの支持棒２４3 、２４4 の長さ方向
に亘って水平にそれぞれ植設されている。前記支持棒２
４5 、２４6 には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸
形状をなす例えばポリテトラフルルオロエチレン製の薄
板２６5 、２６6 がそれらの支持棒２４5 、２４6 の長
さ方向に亘って水平にそれぞれ植設されている。なお、
前記薄板２６1 と２６2 、前記薄板２６3 と２６4 およ
び前記薄板２６5 、２６6 はそれぞれ対をなし、それら
対をなす薄板２６1 と２６2 、２６3 と２６4 、２６
5 、２６6 の鋸形状はそれら対をなす薄板間を直角に横
切る面を中心に対称的に配置されている。
【００２０】このような構成の支持治具によれば、仮想
線で示す矩形状のガラス板２７を垂直にして前記支持棒
２４1 〜２４6 の鋸形状をなす薄板２６1 〜２６6 に立
て掛けると、前記ガラス板２７の下端は前記対をなす薄
板２６1 、２６2 における前記ガラス板２７の面を中心
に対称的に配置された直角三角形の山の傾斜辺の中間付
近にそれぞれ当接され、Ｖ形の谷に当接されるのと同様
な形態で支持される。同時に、前記ガラス板２７の左側
端は前記対をなす薄板２６1 、２６2 における前記ガラ
ス板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の
山の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、また右側端
も前記対をなす薄板２６5 、２６6 における前記ガラス
板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の山
の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、前述したよう
にＶ形の谷に当接されるのと同様な形態で支持される。
線で示す矩形状のガラス板２７を垂直にして前記支持棒
２４1 〜２４6 の鋸形状をなす薄板２６1 〜２６6 に立
て掛けると、前記ガラス板２７の下端は前記対をなす薄
板２６1 、２６2 における前記ガラス板２７の面を中心
に対称的に配置された直角三角形の山の傾斜辺の中間付
近にそれぞれ当接され、Ｖ形の谷に当接されるのと同様
な形態で支持される。同時に、前記ガラス板２７の左側
端は前記対をなす薄板２６1 、２６2 における前記ガラ
ス板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の
山の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、また右側端
も前記対をなす薄板２６5 、２６6 における前記ガラス
板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の山
の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、前述したよう
にＶ形の谷に当接されるのと同様な形態で支持される。
【００２１】したがって、図４に示す構造の支持治具に
よれば多数枚の矩形状のガラス板２７を垂直に立てた状
態で安定的に支持することができる。また、前記ガラス
板２７の下端は前記鋸形状をなす一対の薄板２６1 、２
６2の切れが良好な傾斜辺の中間付近に当接して支持さ
れるため、洗浄後において従来の鋸形状をなす薄板のＶ
形の谷部でガラス板を支持する場合のように洗浄液が前
記ガラス板の当接部付近に残留するのを抑制することが
できる。また、前記ガラス板２７が接触される前記薄板
２６1 〜２６6 の傾斜辺の中間付近は汚れが溜り難く、
かつ清掃も極めて容易に行うことができる。その結果、
前記支持治具に支持されたガラス板２７を洗浄し、乾燥
した後において残留洗浄液に起因する乾燥染みが発生し
たり、汚染物を含む乾燥染みが発生したりするのを防止
することができる。
よれば多数枚の矩形状のガラス板２７を垂直に立てた状
態で安定的に支持することができる。また、前記ガラス
板２７の下端は前記鋸形状をなす一対の薄板２６1 、２
６2の切れが良好な傾斜辺の中間付近に当接して支持さ
れるため、洗浄後において従来の鋸形状をなす薄板のＶ
形の谷部でガラス板を支持する場合のように洗浄液が前
記ガラス板の当接部付近に残留するのを抑制することが
できる。また、前記ガラス板２７が接触される前記薄板
２６1 〜２６6 の傾斜辺の中間付近は汚れが溜り難く、
かつ清掃も極めて容易に行うことができる。その結果、
前記支持治具に支持されたガラス板２７を洗浄し、乾燥
した後において残留洗浄液に起因する乾燥染みが発生し
たり、汚染物を含む乾燥染みが発生したりするのを防止
することができる。
【００２２】さらに、前記ガラス板２７の下端および両
側端は前記鋸形状をなす薄板２６1〜２６6 の傾斜辺の
平滑加工が容易な中間付近に当接して支持されるため、
前記ガラス板２７の前記薄板２６1 〜２６6 との接触箇
所に傷が発生するのを抑制することができる。
側端は前記鋸形状をなす薄板２６1〜２６6 の傾斜辺の
平滑加工が容易な中間付近に当接して支持されるため、
前記ガラス板２７の前記薄板２６1 〜２６6 との接触箇
所に傷が発生するのを抑制することができる。
【００２３】
【考案の効果】以上詳述したように、本考案に係わる被
処理板用支持治具によれば被処理板との接触箇所を平滑
に加工することが可能で、かつ良好な洗浄液の切れ性を
有し、シリコンウェハ、種々のガラス基板、磁気ディス
ク、光学ガラス等の被処理板の洗浄や乾燥において傷の
発生や乾燥染みの発生を抑制ないし防止できる等顕著な
効果を奏する。
処理板用支持治具によれば被処理板との接触箇所を平滑
に加工することが可能で、かつ良好な洗浄液の切れ性を
有し、シリコンウェハ、種々のガラス基板、磁気ディス
ク、光学ガラス等の被処理板の洗浄や乾燥において傷の
発生や乾燥染みの発生を抑制ないし防止できる等顕著な
効果を奏する。
【図１】本考案に係わる支持治具によりガラス板を支持
した状態を示す斜視図。
した状態を示す斜視図。
【図２】図１の右側面図。
【図３】本考案に係わる支持治具によりガラス板を支持
した状態を示す斜視図。
した状態を示す斜視図。
【図４】本考案の実施例における支持治具を示す斜視
図。
図。
【図５】従来の支持治具を示す斜視図。
【図６】図５の支持治具の要部側面図。
１１1 、１１2 、１２1 、１２2 、１３1 、１３2 …直
角台形の薄板、１４、２７…矩形状のガラス板、２１、
２２…側板、２４1 〜２４6 …支持棒、２６1〜２６6
…鋸形状をなす薄板。
角台形の薄板、１４、２７…矩形状のガラス板、２１、
２２…側板、２４1 〜２４6 …支持棒、２６1〜２６6
…鋸形状をなす薄板。
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理板を支持する治具において、傾斜
辺を有する一対の薄板を備え、前記被処理板の外側の縁
に前記一方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面に直交ま
たはほぼ直交するように当接させ、かつ前記被処理板の
外側の縁に前記他方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面
を中心にして前記一方の薄板に対して対称的になるよう
に当接させると共に、前記一対の薄板を互いに所望距離
隔てて配置することを特徴とする被処理板用支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3526893U JPH0728954Y2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 被処理板用支持治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3526893U JPH0728954Y2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 被処理板用支持治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077789U JPH077789U (ja) | 1995-02-03 |
| JPH0728954Y2 true JPH0728954Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=12437055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3526893U Expired - Lifetime JPH0728954Y2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 被処理板用支持治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0728954Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100817715B1 (ko) * | 2003-12-18 | 2008-03-27 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 반송장치 |
| CN106458433B (zh) * | 2014-06-30 | 2018-10-23 | 泰拉半导体株式会社 | 晶舟 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP3526893U patent/JPH0728954Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077789U (ja) | 1995-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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