JP2890344B2 - 基板薬液処理用カセット - Google Patents
基板薬液処理用カセットInfo
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Description
ス基板、半導体のウエハ基板等、各種エレクトロニクス
製品の基板（以下、基板という）を薬液処理する際に基
板を支持させるカセットに関するものである。
するための薬液処理においては、基板を薬液に浸漬する
処理を効率よく行うため、多数の基板を適当間隔でまと
めて支持することのできる支持具が使われる。カセット
と呼ばれるこの支持具の一例は特開平４−１３９７４１
号公報に記載されていて、多数の基板を適当間隔で支持
するための、等間隔で削設された多数の溝等を有する基
板支持部材が、金属製フレームに固定されている。多く
の薬液が腐食性の強いものであるため、基板支持部材も
金属製フレームも、耐食性の良い合成樹脂で被覆されて
いる。
れ、カセットごと薬液に浸漬されて所定の処理を受ける
ことになる。
ス基板のように高度の均一性と平滑性を備えたものに仕
上げなければならないものの薬液処理においては、カセ
ットに支持させた基板を薬液処理槽に浸漬しその後ひき
上げるときに生じる薬液液面の波立ちすら、基板表面の
処理むらを招くことが判明した。
びている部分が液面から離れるとき液滴を落下させるた
め最も顕著に生じる。また、板状部分を持つカセットの
場合はその板状部分に凹凸があるとそれらが波立ち原因
となる。
る際の薬液波立ちが従来のカセットよりも少なく、それ
により従来のカセットを用いた場合よりも均一性におい
て優れた処理結果が得られるカセットを提供することを
目的とするものである。
基板薬液処理用カセットは、フッ素樹脂で被覆された金
属棒よりなる軸組構造のフレームにフッ素樹脂で被覆さ
れた棒状の基板支持部材を固定し、上記フレームを構成
する部材および基板支持部材のうち基板支持領域にある
水平な部材の上下両側に、突き出し幅が上記水平な部材
の一端から他端に向かって漸増するフッ素樹脂製フィン
を垂直配置で固着したことを特徴とするものである。
の垂直、水平、または上下とは、基板を支持したカセッ
トが薬液処理槽に浸漬されるときの姿勢についてのもの
である。
支持部材に基板を支持させた状態において基板の上端に
接する水平面よりも下で基板の下端に接する水平面より
も上になる全領域のことを言う。
部材は、嵌合、螺合、ネジ留め等、任意の接合手段によ
り相互に接合される。接合部も、接合完了後にフッ素樹
脂で完全に被覆される。
ンの丸棒が耐食性にすぐれ且つ軽量なので好ましいが、
ほかにもステンレス鋼など、耐食性のよい金属からなる
ものを用いることができる。
うときは、公知のカセットと同様に基板支持部材により
基板を支持させ、カセットごと薬液処理槽に浸漬する。
所定の時間の薬液処理が終ったあとカセットを引き上げ
ると、基板支持領域にあるフレームの水平部材が基板上
端と共に液面に現れるのに先立って、その水平部材の上
側に固着されたフィンが液面に現れる。フィンは、その
突き出し幅が最も大きい端部から現れ、その後ひき上げ
が進むにつれて徐々に全体が液面上に現れる。
に水平部材の下側に固着されたフィンが液面上に現れ
る。下側のフィンも突き出し幅が一定ではないから、液
面から離れるとき下側端部が一挙に液面から離れるので
はなく、突き出し幅の小さい部分から大きい部分へと、
少しずつ離れる。それにより、水平部材やフィンに付着
して空気中に出た薬液は、下側フィンの下端から液滴と
なって落下せずに下り勾配になっている突き出し幅が大
きい方向にフィンの下端を流れ、一部はフィンの下端か
ら直接、残りはフレームの垂直な部材に移ってから、順
次処理槽中の薬液に流れ込む。
面を通過して波立ちを起こし易い水平部材が、それと一
体のフィンがあることにより、ずっと長い時間を費やし
て液面を通過することになると共に液滴を落下させなく
なり、著しく速度を下げて静かに引き上げたのと同じ効
果がもたらされる。
水性のよいフッ素樹脂で被覆され且つフレームが金属棒
（特に丸い金属棒）よりなる軸組構造のものである本発
明のカセットは、もともと薬液液面を乱すことが少な
い。
薬液から引き上げられる過程で生じる薬液液面の有害な
波立ちはほぼ完全に防止される。
薬液液面を離れるとき液面を乱しても基板が液面を通過
中ではないので、処理むらの原因にはならず、したがっ
てフィンを付ける必要はない。また、フレームの垂直な
部材は、基板よりも先に上端が液面に現れ基板が液面か
ら離れた後に下端が液面から離れるから、特に対策を施
さなくても有害な波立ちを招くことはない。
る。図１は、本発明の一実施例の斜視図である。フレー
ム１は６本の水平部材２および６本の垂直部材３が接合
されてなり、各部材はいずれも厚さ約１mmのフッ素樹脂
層（たとえばテトラフルオロエチレンパーフルオロアル
キルエーテル共重合体からなるもの）で被覆されたチタ
ンの丸棒からなる。各フレーム構成材間の接合は、接合
する２本の棒材をＴ字状に突き合わせ、突き合わされた
ほうの棒材には貫通孔を、突き合わせたほうの棒材には
ネジ穴を、それぞれ設けて貫通孔側からネジ留めする方
法による。
には、基板下部支持部材４が架け渡され、また、フレー
ム１の垂直部材３間および間には基板側部支持部材５が
架け渡されている。これらの部材はいずれも前記フレー
ム構成材と同様にチタンの丸棒とフッ素樹脂被覆層から
なり、フレーム構成材との接合方法は前述のフレーム構
成材間の接合方法と同様である。
板側部支持部材５の芯材であるチタン丸棒同士のすべて
の接合部は、接合完了後のフッ素樹脂被覆処理により完
全に被覆されている。
図２に現れているように、チタン丸棒６上のフッ素樹脂
被覆層７が厚く、そこに上下方向に伸びる断面Ｖ字形の
溝８が等間隔で削設されている。
に、フッ素樹脂製フィン９が垂直配置で固着され、それ
らの水平方向端部はフレーム１の垂直部材３のフッ素樹
脂被覆層にも固着されている。フィン９は、基板側部支
持部材５からの突き出し幅ｄが一定ではなく、基板側部
支持部材５の一端から他端に向かって、直線的に突き出
し幅が増加しているから、その先端は、基板側部支持部
材５の長手方向に傾斜している。
ト全体を薬液処理のため搬送するとき搬送装置のフック
１０を引っかける掛合部材１１（フッ素樹脂製）が固着
されている。
板側部支持部材５の溝８に入り込み下端を基板下部支持
部材４に受け止められることにより一定間隔で、且つ面
に平行な方向の位置ずれも防止された状態で、カセット
に収容される。図３は、上述のようにして基板１１枚を
収容した状態を示す略側面図であって、基板は鎖線Ｇで
表示されている。
の部分で搬送装置のフック１０に引掛けて搬送し、基板
全体が薬液に浸漬されるまで薬液処理槽に降ろす。処理
が終わってカセット全体を引き上げると、図４のａ図に
示したように、基板側部支持部材５が液面に現れる前に
その上側に固着されたフィン９ａが、その突き出し幅ｄ
が最も大きい端部ｓから始まって少しずつ液面Ｌ上に現
れる。その後、基板側部支持部材５が液面に現れ、続い
て、基板側部支持部材５の下側に固着されたフィン９ｂ
が、突き出し幅の小さい端部ｔから順に、液面Ｌ上に現
れる（図４のｂ図）。
ａ，９ｂに付着して空気中に出た薬液は、ｂ図に矢印で
示したように、下り勾配になっている突き出し幅が大き
い方向にフィン９ｂの下端ｍを流れ、一部はフィン９ｂ
の下端ｍから直接、残りはフレーム１の垂直部材３に移
ってから、順次処理槽中の薬液に流れ込む。したがっ
て、下側フィン９ｂの下端ｍから液滴が落下して液面を
波立たせることはない。
に接しているが、それがカセット引き上げに伴い液面か
ら離れるとき基板はすでに液面を離れているので、基板
下部支持部材４に波立ち防止用のフィンは付けてない。
材２は基板側部支持部材５だけであったが、水平なフレ
ーム構成材もあるときは、それにもフィン９を設ける必
要がある。
る水平な部材の上下両側に、突き出し幅が漸増するフッ
素樹脂製フィンを垂直配置で固着した本発明のカセット
は、薬液処理槽から引き上げる際の薬液波立ちが従来の
カセットよりも少なく、それにより、従来のカセットを
用いた場合よりも均一性において優れた処理結果が得ら
れるという特長がある。また、薬液を波立たせないので
薬液処理槽から速く引き上げることができ、処理能率の
向上を可能にする。
ようとすると全体が非常に重くなってしまい、取り扱い
が困難になるが、芯材にチタンの丸棒を用いたものは特
に軽量で取り扱い性に優れており、耐薬品性においても
全く問題がない。
す側面図である。
明図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 フッ素樹脂で被覆された金属棒よりなる
軸組構造のフレームにフッ素樹脂で被覆された棒状の基
板支持部材を固定し、上記フレームを構成する部材およ
び基板支持部材のうち基板支持領域にある水平な部材の
上下両側に、突き出し幅が上記水平な部材の一端から他
端に向かって漸増するフッ素樹脂製フィンを垂直配置で
固着したことを特徴とする基板薬液処理用カセット。 - 【請求項２】 金属棒がチタンの丸棒である請求項１記
載の基板薬液処理用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8866895A JP2890344B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 基板薬液処理用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8866895A JP2890344B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 基板薬液処理用カセット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08259271A JPH08259271A (ja) | 1996-10-08 |
| JP2890344B2 true JP2890344B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=13949208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8866895A Expired - Fee Related JP2890344B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 基板薬液処理用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2890344B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-23 JP JP8866895A patent/JP2890344B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08259271A (ja) | 1996-10-08 |
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