CN100542700C - 玻璃基板清洗用载具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种玻璃基板清洗用载具，其由一框架组成，该框架的内部设有用于放置玻璃基板的载置台，该载置台的上下分别有一上盖板和一下盖板，该上盖板和下盖板由经过框架上梁的至少二根履带相互连接，在清洗液中该上盖板浮起，该下盖板向下移动，在空气中该上盖板在重力作用下向载置台的方向移动，在履带的作用下该下盖板向上移动，形成对载置台的上下盖合，保证清洗后的玻璃基板不会被重新污染。
Description
【技术领域】
本发明是关于一种玻璃基板清洗用载具。
【背景技术】
玻璃清洗为光学镀膜制程的第一步，为提高镀膜的品质，如何完整清洗成为重要的课题。玻璃基板上的污染多来自于研磨液及环境粉尘附着。为节省无尘室温湿度的控制成本，玻璃基板清洗通常建立在非无尘室或者无尘室等级较差的环境中，但如此则导致清洗后的玻璃基板会重新受环境及设备内部粉尘的污染。
请参照图1，是一种现有技术玻璃基板清洗用载具1。其由一框架11组成，该框架11内部设有一载置台111，该载置台111用于放置玻璃基板13。清洗时先将玻璃基板13置于载置台111，之后将框架11浸入清洗液(图未示)，按照既定时间清洗后将该框架11从清洗液中捞出即可。由于玻璃基板13清洗是在非无尘室或者无尘室等级较差的环境中进行，虽可节省成本，但也容易导致清洗后的玻璃基板13会重新受环境及设备内部粉尘的污染。
【发明内容】
为克服现有技术的玻璃基板清洗用载具容易使清洗后的玻璃基板重新被污染的问题，本发明提供一种清洗后的玻璃基板不会被重新污染的玻璃基板清洗用载具。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是：提供一种玻璃基板清洗用载具，其由一框架组成，该框架的内部设有用于放置玻璃基板的载置台，该载置台的上下分别有一上盖板和一下盖板，该上盖板和下盖板由经过框架上梁的至少二根履带相互连接，在清洗液中该上盖板浮起，该下盖板向下移动，在空气中该上盖板在重力作用下向载置台的方向移动，在履带的作用下该下盖板向上移动。
相较于现有技术，由于本发明玻璃基板清洗用载具的载置台的上下分别有一上盖板和一下盖板，该上盖板和下盖板由经过框架上梁的至少二根履带相互连接，在清洗液中该上盖板浮起，该下盖板向下移动，在空气中该上盖板在重力作用下向载置台的方向移动，在履带的作用下该下盖板向上移动，形成对载置台的上下盖合，保证清洗后的玻璃基板不会被重新污染。
【附图说明】
图1是现有技术玻璃基板清洗用载具的立体示意图。
图2是本发明第一实施方式玻璃基板清洗用载具在空气中的立体示意图。
图3是本发明第一实施方式玻璃基板清洗用载具在清洗液中的立体示意图。
图4是本发明第二实施方式玻璃基板清洗用载具在清洗液中的立体示意图。
【具体实施方式】
请参阅图2和图3，分别是本发明第一实施方式玻璃基板清洗用载具在空气中的立体示意图和在清洗液中的立体示意图。该玻璃基板清洗用载具3包括一框架31，该框架31的内部设有用于放置玻璃基板33的载置台311，该载置台311上方设有可上下移动的一上盖板313，载置台311的下方设有可上下移动的一下盖板315，该上盖板313和该下盖板315由经过框架31上梁31a的至少两根履带317相互连接。该上盖板313由可浮于清洗液的材料制成，因清洗液的不同，上盖板313的材料也不尽相同。本实施例中，该上梁31a有两根，且分别位于该框架31的左右两侧，该履带317有两根，分别在该框架31的左右两侧，位于该框架31左侧的履带317经过左侧的上梁31a，位于该框架31右侧的履带317经过该框架31右侧的上梁31a，且上盖板313的左侧与下盖板315的左侧由经过该框架31左侧上梁31a的履带317相互连接，上盖板313的右侧与下盖板315的右侧由经过该框架31右侧上梁31a的另一根履带317相互连接。当然，也可以每侧至少有一根履带317，一般采用每侧两根的排列方式。为减少履带317的阻力，可以在框架31的上梁31a设置滚轮。根据所要清洗的玻璃基板的尺寸大小，该载置台311上可以放置一个或多个玻璃基板33，在清洗尺寸较小的玻璃基板33时可以在载置台311上放置多个玻璃基板33，在清洗尺寸较大的玻璃基板33时可放置一个玻璃基板33。
清洗前将玻璃基板33置于载置台311上，将载有玻璃基板33的玻璃基板清洗用载具3放入清洗液槽A中清洗，此时上盖板313在清洗液浮力的作用下向上移动，下盖板315在重力作用下向下移动，即上盖板313和下盖板315均远离载置台311，此举有利于玻璃基板33的清洗，按照既定时间清洗后，将玻璃基板清洗用载具3从清洗液中捞出，此时上盖板313在重力作用下向下移动，下盖板315在履带317的带动下向上移动，即上盖板313和下盖板315均向玻璃基板33靠近并封住玻璃基板33，以此保护清洗后的玻璃基板33不会被重新污染。
请参阅图4，是本发明第二实施方式玻璃基板清洗用载具在清洗液中的立体示意图。该玻璃基板清洗用载具5包括一框架51，该框架51的内部设有用于放置玻璃基板53的载置台511，该载置台511上方设有可上下移动的一上盖板513，载置台511的下方设有可上下移动的一下盖板515，该上盖板513和该下盖板515由经过框架51上梁51a的至少两根履带517相互连接。将玻璃基板清洗用载具5放入清洗液槽B中清洗时，其动作原理和第一实施方式大致相同，其不同点在于，该载置台511的周围设有侧盖板5111。上盖板513、下盖板515及侧盖板5111形成一密封空间，保护其内的玻璃基板53，此举可以更有效保护清洗过的玻璃基板53不会被重新污染。
Claims (4)
1.一种玻璃基板清洗用载具，其包括一框架，该框架的内部设有一用于放置玻璃基板的载置台，其特征在于：该框架具有一上梁，该载置台的上方具有可上下移动的由可浮于清洗液的材料制成的上盖板，该载置台的下方具有可上下移动的下盖板，该上盖板和该下盖板由经过框架上梁的履带相互连接，在清洗液中该上盖板在浮力作用下向上浮起，该下盖板向下移动，在空气中该上盖板在重力作用下向载置台的方向移动，并通过履带使下盖板向上移动，形成对载置台的上下盖合。
2.如权利要求1所述的玻璃基板清洗用载具，其特征在于：进一步包括另一根上梁和另一根履带，该两根上梁分别位于该框架的左右两相对侧，该两根履带分别位于该框架的左右两相对侧，且该两根履带分别经过两根上梁，该上盖板的左侧与下盖板的左侧由经过位于该框架左侧上梁的一根履带相互连接，该上盖板的右侧与下盖板的右侧由经过位于该框架右侧上梁的另一根履带相互连接。
3.如权利要求1所述的玻璃基板清洗用载具，其特征在于：该框架的上梁设有滚轮，用于减少履带的摩擦力。
4.如权利要求1所述的玻璃基板清洗用载具，其特征在于：该载置台的周围设有侧盖板。
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