JP2644948B2 - 被洗浄物の水分分離方法 - Google Patents

被洗浄物の水分分離方法

Info

Publication number
JP2644948B2
JP2644948B2 JP4194828A JP19482892A JP2644948B2 JP 2644948 B2 JP2644948 B2 JP 2644948B2 JP 4194828 A JP4194828 A JP 4194828A JP 19482892 A JP19482892 A JP 19482892A JP 2644948 B2 JP2644948 B2 JP 2644948B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
boiling point
liquid
cleaned
boiling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4194828A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH067611A (ja
Inventor
正英 内野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JAPAN FUIIRUDO KK
Original Assignee
JAPAN FUIIRUDO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JAPAN FUIIRUDO KK filed Critical JAPAN FUIIRUDO KK
Priority to JP4194828A priority Critical patent/JP2644948B2/ja
Publication of JPH067611A publication Critical patent/JPH067611A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2644948B2 publication Critical patent/JP2644948B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Extraction Or Liquid Replacement (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、水系洗浄液にて洗浄し
た、電子部品、プリント基板、機械部品等の被洗浄物に
付着している水分を、確実に除去するための被洗浄物の
水分分離方法に係るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、水系洗浄液により洗浄した被洗浄
物に付着している水分の水切り方法としては、遠心分離
機に被洗浄物を挿入し、遠心力で被洗浄物に付着した水
分を除去する方法がある。
【0003】また、水と比重の異なる水分分離液中に、
水分の付着した被洗浄物を浸漬することにより、水分を
除去する方法がある。
【0004】また、更には被洗浄物に熱風を吹き付け
て、水分を蒸発させることにより水分を除去する方法が
用いられている。
【0005】また、アルコールのような親水性溶剤に水
分を溶解させて、水切りする方法が知られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
方法には、いずれも満足し得ない欠点がある。
【0007】まず、被洗浄物の水分を遠心分離方法で除
去するものにあっては、被洗浄物が凹部等を有する複雑
な形状の場合には、その凹部の中に水分が残留してしま
い、完全に水分を除去することが出来ないものとなって
いる。
【0008】また、水と比重の異なる水分分離液中に被
洗浄物を浸漬して、水分を分離除去する方法にあって
は、水分分離液をベースにして水との比重差で分離した
り、水分分離液中に界面活性剤を加えて、水の表面張力
を小さくし、被洗浄物に付着している水分を除去し易く
する方法がある。
【0009】そして、上記の界面活性剤を用いない比重
差だけによる水分の除去は、被洗浄物から完全に水分を
除去できない欠点を有している。また、この水分分離液
中に界面活性剤を加えたものは、水の表面張力を弱める
ことができるため、良好な水分除去ができることにな
る。
【0010】 しかし、その水分分離液としては、一般
的にフロン113、1.1.1.トクロロエタン等が利
用されており、これらの水分分離液はオゾン破壊物質で
あって、既に使用が困難な状況にある。
【0011】また、界面活性剤を添加した水分分離液
は、被洗浄物に界面活性剤が付着するため、再度この界
面活性剤を除去するための洗浄が必要となり、極めて手
数を要するものとなる。
【0012】また、アルコールのような親水性溶剤で水
分を溶解させて、水切りする方法がに有っては、水分を
含んだアルコールが大量に発生するため、コスト高にな
るとともに、水分を含んだアルコール廃液の処理に多く
の手数を要し、2次的な公害を発生させる可能性があ
る。
【0013】本発明は、上述のごとき課題を解決しよう
とするものであって、被洗浄物が複雑な形状で凹凸等を
要するものであっても、被洗浄物から確実に水分を除去
することができるようにする。
【0014】 また、水分分離液に、フロン113、
1.1.1.トクロロエタン等の有害物質を用いずに被
洗浄物に付着した水分の除去を可能とし、安全な水分分
離作業を可能する。
【0015】また、水分を含んだ廃液処理の問題を生じ
ることがなく、常に水分分離液は初期の状態を保つこと
ができ、極めて消耗を少なくし、経済的な水分分離を可
能にしようとするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、水系洗浄を行い表面に水分を付着し
た被洗浄物を、沸点を水の沸点以上とする高沸点液中に
浸漬するとともに、この高沸点液を水の沸点以上で高沸
点液の沸点以下に加熱し、被洗浄物に付着した水分を沸
騰蒸発させる事により行う事を特徴として成るものであ
る。
【0017】水系洗浄を行い表面に水分を付着した被洗
浄物を、沸点を水の沸点以上とする高沸点液中に、液温
を水の沸点未満の温度として浸漬し、水と高沸点液との
比重差を利用した比重分離方法により第1次水分分離を
行った後、水の沸点以上で高沸点液の沸点以下に加熱し
た高沸点液中に、第1次水分分離を完了した被洗浄物を
浸漬し、被洗浄物に付着した水分を沸騰蒸発させること
により、第2次水分分離を行う事を特徴として成るもの
である。
【0018】第2次水分分離は、第1次水分分離を行っ
た水分分離槽内で、同一高沸点液を、水の沸点以上で高
沸点液の沸点以下に加熱する事により行うものであって
も良い。
【0019】また、第1次水分分離と第2次水分分離と
は、別個の槽で行うものであっても良い。
【0020】また、高沸点液は、沸点が100℃以上の
完全フッ素化液、炭化水素系溶剤、シリコン系溶剤、テ
ルペン系溶剤、高級アルコールであっても良い。
【0021】また、高沸点液の沸点以下で水の沸点以上
の加熱は、常圧条件にて行うものであっても良い。
【0022】また、高沸点液の沸点以下で水の沸点以上
の加熱は、減圧条件にて行うものであっても良い。
【0023】
【作用】本発明は上述のごとく構成したものであって、
水分の付着した被洗浄物の水分を除去するには、まず、
水とは異なる比重の、水よりも高い沸点を有する、高沸
点液中に浸漬する。
【0024】この高沸点液は、適宜の水分分離槽中に充
填し、この高沸点液を水の沸点以上でこの高沸点液の沸
点以下に加熱して使用する。この加熱は、ヒーター等に
より任意に行うことができる。
【0025】また、この高沸点液は、沸点が100℃以
上の、完全フッ素化液体、炭化水素系溶剤、シリコン系
溶剤、テルぺン系溶剤、高級アルコール等を用いること
ができる。
【0026】そして、この高沸点液中に被洗浄物を浸漬
すると、この高沸点液は水の沸点以上に加熱されている
から、被洗浄物に付着した水分を沸騰蒸発させ、被洗浄
物から水分を除去することができる。
【0027】また、水分は上述のごとく沸騰蒸発される
から、従来のアルコールを用いた水分分離のごとく、水
分が高沸点液中に溶解して、新たな廃液を生じるような
こともない。
【0028】また、被洗浄物に付着した水分は、高沸点
液中で蒸発気化されるから、被洗浄物の表面にウォータ
ーマーク等を付けることがなく、外観上もきれいな水分
の除去が可能となる。
【0029】また、異なる発明においては、高沸点液を
加熱することなく常温としたり、洗浄目的に応じて適宜
加熱して、水の沸点未満の温度とし、この水の沸点未満
の温度の高沸点液に水分の付着した被洗浄物を浸漬し、
比重差を利用した水分分離を行う。この第1次水分分離
を行った後に、被洗浄物を加熱した高沸点液中に浸漬し
て確実な水分の除去を行うことができる。
【0030】この水分の分離方法は、被洗浄物に多量の
水分が付着しているような場合に特に有効なものであ
る。この水分分離方法は、まず、水の沸点未満の温度の
高沸点液中に多くの水分が付着した被洗浄物を浸漬す
る。この水の沸点未満の温度の高沸点溶剤中で、被洗浄
物の水分は、高沸点液との比重差を利用した比重分離に
より、大部分の水分を除去することができる。
【0031】そして、この大部分の水分を除去した後の
被洗浄物を、加熱した高沸点液中に浸漬することによ
り、第2次水分分離を行い、確実な水分の除去を行うこ
とができる。
【0032】また、この高沸点液の加熱は、未満の沸点
未満の温度の第1次水分分離を行った、高沸点液を、ヒ
ーター等により加熱することによって行っても良い。
【0033】また、他の方法では、この常温の高沸点液
とは別個に設けた水分分離槽に、別個の高沸点液を充填
し、被洗浄物の水分の除去を行うものとしても良い。
【0034】また、水の沸点未満の温度による、高沸点
液と水の比重差を利用した水分の除去方法、及び加熱し
た高沸点液による、被洗浄物の水分の除去方法を、同一
の水分分離槽内において行う場合には、まず、水分分離
槽に水の沸点未満の温度の高沸点液を充填する。そし
て、この水の沸点未満の温度の高沸点液中に、水分の比
較的多く付着した被洗浄物を浸漬し、水分と高沸点液の
比重差を利用した水分の除去を行う。
【0035】次に、この水の沸点未満の温度の高沸点液
をヒーター等により加熱し、水の沸点よりも高く、高沸
点液の沸点よりも低い温度に高沸点液を加熱する。そし
て、比重差のみでは分離できなかった、被洗浄物に残留
している少量の水分を、沸騰蒸発させることにより、被
洗浄物に残留付着している水分を除去することができ
る。
【0036】この方法による水分の除去は、水分分離槽
がひとつであるから、被洗浄物を移動する等の手間がな
く、装置も小型で、廉価な水分の除去を行うことができ
る。
【0037】 しかし、常温による水分の除去の後で、
高沸点液を加熱し、水分の除去を行うまで、高沸点液の
温度上昇を待たなければならないため、作業効率上は必
ずしも好ましいものではない。また、一度加熱した高沸
点液は常温まで冷却するのに相当の時間を必要とするか
ら、比重差を利用した第1次水分分離を行うことを前提
する、被洗浄物の水分除去を行おうとする場合には必
ずしも適当なものではない。
【0038】また、第2の発明においては、水の沸点未
満の高沸点液と、加熱した高沸点液とを分離して、水分
分離槽中に位置させる。そして、上記の高沸点液中に多
くの水分を付着させた被洗浄物を浸漬する。
【0039】この常温の高沸点液中で、被洗浄物に付着
した水分を、高沸点液との比重差を利用した比重分離方
法によって、大部分を除去する。そして、この水の沸点
未満の温度の高沸点液により、水分の大部分の除去を行
った被洗浄物を、水の沸点以上に加熱した別個の高沸点
液中に浸漬して、残留している被洗浄物の水分を蒸発除
去するものである。
【0040】 上記の方法は、水分分離槽を2つ使用す
るため装置を高価とし、大きな設置面積を要する欠点が
有る。しかし、水の沸点未満の温度の高沸点液による比
重分離方法を用いた水分の分離と、水の沸点以上に加熱
した高沸点液による水分の分離とを、連続的に行うこと
が可能なる。そのため、作業効率を向上し多量の被洗浄
物の水分分離を行うのに好都合である。
【0041】また、第3の発明においては、被洗浄物が
プラスチック等の耐熱性の低い、熱によって材質が変形
し易い被洗浄物の洗浄を行う場合は、加熱する高沸点液
を充填した水分分離槽を密閉状態とし、真空ポンプに接
続して水分分離槽内を減圧状態とする。
【0042】 この減圧状態において、高沸点液を加熱
すれば、高沸点液及び水は常圧下における場合よりも沸
点が下がるから、減圧条件を調整し、被洗浄物の材質変
形等を生じない沸点まで減圧を行い、被洗浄物に付着し
た水分の除去を、100℃以下の低温で行うことが可能
となる。
【0043】
【実施例】以下本発明の一実施例を図1に於いて説明す
れば、(1)は水分分離槽で、水とは異なる比重の、水よ
りも高い沸点の高沸点液(2)を充填している。この高沸
点液(2)は、水の沸点以上でこの高沸点液(2)の沸点以
下にヒーター(3)で加熱して使用する。
【0044】また、この高沸点液(2)は、沸点が100
℃以上の、完全フッ素化液体、炭化水素系溶剤、シリコ
ン系溶剤、テルぺン系溶剤、高級アルコール等を用い
る。
【0045】そして、この高沸点液(2)中に被洗浄物
(4)を浸漬すると、この高沸点液(2)は水の沸点以上に
加熱されているから、被洗浄物(4)に付着した水分を沸
騰蒸発させ、被洗浄物(4)から水分を除去することがで
きる。
【0046】 また、水分は上述の如く沸騰蒸発される
から、従来のアルコールを用いた水分分離のごとく、水
がアルコール中に溶解して、新たな廃液を生じるよう
なこともない。
【0047】また、被洗浄物(4)に付着した水分は、高
沸点液(2)中で蒸発気化されるから、被洗浄物(4)の表
面にウォーターマーク等を付けることがなく、外観上も
きれいな水分の除去が可能となる。
【0048】また、第2の実施例に於いては、高沸点液
(2)を加熱することなく常温とするか、適宜加熱して水
の沸点未満の温度とした高沸点液(2)に、水分の付着し
た被洗浄物(4)を浸漬し、比重差を利用した水分分離を
行う。この第1次水分分離を行った後に、加熱した高沸
点液(2)中に、被洗浄物(4)を浸漬して確実な水分の除
去を行う。
【0049】この高沸点液(2)の加熱は、常温の第1次
水分分離を行った高沸点液(2)を、ヒーター(3)により
加熱して行う。まず、水分分離槽(1)に、常温または水
の沸点未満の高沸点液(2)を充填する。そして、この常
温または水の沸点未満の高沸点液(2)中に、水分の比較
的多く付着した被洗浄物(4)を浸漬し、水分と高沸点液
(2)の比重差を利用した水分の除去を行う。
【0050】次に、この常温または水の沸点未満の高沸
点液(2)をヒーター(3)により加熱し、水の沸点よりも
高く、高沸点液(2)よりも低い温度に高沸点液(2)を加
熱する。そして、第1次水分分離時に被洗浄物(4)から
分離した水分ととともに被洗浄物(4)の残留水分を、沸
騰蒸発させ、水分を除去することができる。
【0051】また、他の実施例では、図2に示すごと
く、常温または水の沸点未満の高沸点液(2)を充填した
水分分離槽(1)とは、仕切り壁(5)を介して別個に設け
た水分分離槽(1)に、別個の高沸点液(2)を充填し、被
洗浄物(4)の水分の除去を行うものである。
【0052】上記の方法は、水分分離槽(1)を2つ使用
するため、装置を高価とし、大きな設置面積を要する
が、常温または水の沸点未満の高沸点液(2)による比重
分離方法を用いた水分の分離と、水の沸点以上に加熱し
た高沸点液(2)による水分の分離とを、連続的に行うこ
とが可能なる。そのため、作業効率を向上することがで
き、多量の被洗浄物(4)の水分分離を行うのに好都合で
ある。
【0053】また、第3の実施例においては、被洗浄物
(4)がプラスチック等の耐熱性が低い、熱によって材質
が変形し易いものである場合は、図3に示すごとく、水
分分離槽(1)を密閉状態とし、この水分分離槽(1)を真
空ポンプ(6)に接続して水分分離槽(1)内を減圧状態と
する。
【0054】 この減圧状態において、高沸点液(2)及
び水を加熱すれば、常圧における場合よりも沸点が低く
なるから、被洗浄物(4)の材質変形等を生じない沸点ま
で減圧を行い、被洗浄物(4)に付着した水分の除去を行
うことが可能となる。
【0055】また、この図3に示す実施例および前記の
図2に示す実施例のごとく、水分分離槽(1)を二つに分
割し、常温による高沸点液(2)で、比重差を利用した水
分分離を行う場合に於いて、この高沸点液(2)が水分よ
りも比重の重い場合は、液面に浮上した水分をオーバー
フローにより、隣接する、水分(7)の貯留槽(8)に分離
するものとしても良い。
【0056】
【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したものであ
るから、水の沸点以上に加熱した高沸点液中に被洗浄物
を浸漬すれば、被洗浄物に付着した水分を沸騰蒸発さ
せ、被洗浄物から水分を除去することができる。
【0057】 そして、従来のアルコールを用いた水分
分離のごとく、水分がアルコール中に溶解して、新たな
廃液を生むようなこともない。
【0058】また、被洗浄物に付着した水分は、高沸点
液中で蒸発気化されるから、被洗浄物の表面にウォータ
ーマーク等を付けることがなく、外観上もきれいな水分
の除去が可能となる。
【0059】また、水分の付着した被洗浄物を、水の沸
点未満の温度の高沸点液に浸漬し、比重差による水分分
離を行った後に、水の沸騰以上で高沸点液の沸騰以下に
加熱した高沸点液中に浸漬すれば、被洗浄物に多量の水
分が付着しているような場合でも、第1次水分分離によ
り大部分の水分を分離し、少量の水分が残留している被
洗浄物を、加熱した高沸点液に浸漬するから、高沸点液
のエネルギー消費を少なくし、経済的な水分除去を可能
とする。
【0060】 また、水分分離槽内を減圧状態として高
沸点液を加熱すれば、高沸点液及び水は常圧下における
場合よりも沸点が下がるから、被洗浄物が耐熱性の低い
材質で形成されている場合も、被洗浄物の材質変形等を
生じないで、被洗浄物に付着した水分の除去を行うこと
が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】水分分離槽を一つの槽とした状態の断面図であ
る。
【図2】水分分離槽を二槽とした状態の断面図である。
【図3】水分分離槽を減圧状態で使用する場合の断面図
である。
【符号の説明】
1 水分分離槽 2 高沸点液 4 被洗浄物

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水系洗浄を行い表面に水分を付着した被
    洗浄物を、沸点を水の沸点以上とする高沸点液中に浸漬
    するとともに、この高沸点液を水の沸点以上で高沸点液
    の沸点以下に加熱し、被洗浄物に付着した水分を沸騰蒸
    発させる事により行う事を特徴とする被洗浄物の水分分
    離方法。
  2. 【請求項2】 水系洗浄を行い表面に水分を付着した被
    洗浄物を、沸点を水の沸点以上とする高沸点液中に、液
    温を水の沸点未満の温度として浸漬し、水と高沸点液と
    の比重差を利用した比重分離方法により第1次水分分離
    を行った後、水の沸点以上で高沸点液の沸点以下に加熱
    した高沸点液中に、第1次水分分離を完了した被洗浄物
    を浸漬し、被洗浄物に付着した水分を沸騰蒸発させるこ
    とにより、第2次水分分離を行う事を特徴とする被洗浄
    物の水分分離方法。
  3. 【請求項3】 第2次水分分離は、第1次水分分離を行
    った水分分離槽内で、同一高沸点液を、水の沸点以上で
    高沸点液の沸点以下に加熱する事により行う事を特徴と
    する請求項2記載の被洗浄物の水分分離方法。
  4. 【請求項4】 第1次水分分離と第2次水分分離とは、
    別個の水分分離槽で行う事を特徴とする請求項2記載の
    被洗浄物の水分分離方法。
  5. 【請求項5】 高沸点液は、沸点が100℃以上の完全
    フッ素化液、炭化水素系溶剤、シリコン系溶剤、テルペ
    ン系溶剤、高級アルコールである事を特徴とする請求項
    1、2、3または4記載の被洗浄物の水分分離方法。
  6. 【請求項6】 高沸点液の沸点以下で水の沸点以上の加
    熱は、常圧条件にて行うことを特徴とする請求項1、
    2、3または4記載の被洗浄物の水分分離方法。
  7. 【請求項7】 高沸点液の沸点以下で水の沸点以上の加
    熱は、減圧条件にて行うことを特徴とする請求項1、
    2、3または4記載の被洗浄物の水分分離方法。
JP4194828A 1992-06-29 1992-06-29 被洗浄物の水分分離方法 Expired - Fee Related JP2644948B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4194828A JP2644948B2 (ja) 1992-06-29 1992-06-29 被洗浄物の水分分離方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4194828A JP2644948B2 (ja) 1992-06-29 1992-06-29 被洗浄物の水分分離方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH067611A JPH067611A (ja) 1994-01-18
JP2644948B2 true JP2644948B2 (ja) 1997-08-25

Family

ID=16330940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4194828A Expired - Fee Related JP2644948B2 (ja) 1992-06-29 1992-06-29 被洗浄物の水分分離方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2644948B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4575513B1 (ja) * 2009-08-26 2010-11-04 ジャパン・フィールド株式会社 被乾燥物の乾燥方法及びその装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5129911B2 (ja) * 2001-08-08 2013-01-30 新オオツカ株式会社 水分除去装置
JP5494263B2 (ja) * 2010-06-11 2014-05-14 旭硝子株式会社 水切り乾燥方法および水切り乾燥システム

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5570382A (en) * 1978-11-23 1980-05-27 Daikin Ind Ltd Washing drying method and its device
JPS56155603A (en) * 1980-04-03 1981-12-01 Daikin Ind Ltd Method and apparatus for removing water adhered to surface of article
JPH02184302A (ja) * 1989-01-09 1990-07-18 Taisei Shokai:Kk 物品の水切り方法
JPH0342002A (ja) * 1989-07-07 1991-02-22 Taisei Shokai:Kk 物品の洗浄・水切り方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4575513B1 (ja) * 2009-08-26 2010-11-04 ジャパン・フィールド株式会社 被乾燥物の乾燥方法及びその装置
JP2011047570A (ja) * 2009-08-26 2011-03-10 Japan Field Kk 被乾燥物の乾燥方法及びその装置
CN102472576A (zh) * 2009-08-26 2012-05-23 日本原野株式会社 被干燥物的干燥方法及其装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH067611A (ja) 1994-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5361789A (en) Washing/drying method and apparatus
US5593507A (en) Cleaning method and cleaning apparatus
KR910010639A (ko) 압력차에 의해 제품의 표면에서 오염입자를 제거시키는 방법 및 장치
JP2644948B2 (ja) 被洗浄物の水分分離方法
JP2000008095A (ja) 洗浄方法及び装置
US6939408B1 (en) Method for surface preparation of workpieces utilizing fluid separation techniques
GB2104104A (en) Cleaning of chemically treated articles
JPH08290128A (ja) 超臨界および亜臨界流体を用いた洗浄方法
JP3569980B2 (ja) 水切り乾燥方法
JPH0985197A (ja) 洗浄装置
JPH06296941A (ja) 精密洗浄方法及びその装置
JPH06252115A (ja) 被洗浄物の洗浄方法
JP2951862B2 (ja) 洗浄方法
JP2019099601A (ja) W/oエマルジョン洗浄液を使用する洗浄方法
JP2544057B2 (ja) 被洗浄物の濯ぎ方法およびその装置
JPH04110483A (ja) 水溶性洗剤を用いた部品洗浄方法
KR0146271B1 (ko) 평판 디스플레이 세척방법
JPS6227003A (ja) 水切り洗浄方法及び装置
JP3541590B2 (ja) 純水を用いた洗浄方法
JP3602598B2 (ja) 洗浄乾燥方法
JP3439243B2 (ja) 洗浄方法および洗浄装置
JPS6310528A (ja) 乾燥方法
JPH02111011A (ja) 水切り方法及びその装置
JP3379019B2 (ja) ワーク洗浄装置
JPH08103601A (ja) 水すすぎ後の乾燥方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080502

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502

Year of fee payment: 15

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees