JP2000008095A

JP2000008095A - 洗浄方法及び装置

Info

Publication number: JP2000008095A
Application number: JP10179416A
Authority: JP
Inventors: Michinori Yokozawa; 道則横澤; Hideaki Kikuchi; 秀明菊地
Original assignee: Du Pont Mitsui Fluorochemicals Co Ltd
Current assignee: Chemours Mitsui Fluoroproducts Co Ltd
Priority date: 1998-06-25
Filing date: 1998-06-25
Publication date: 2000-01-11
Anticipated expiration: 2018-06-25
Also published as: JP5013562B2

Abstract

(57)【要約】【課題】電子部品、プリント基板等の、溶剤による洗
浄作業に際して、汚れ成分を効率的に除去でき、溶剤の
ロスが少なく、また引火性の危険のない安全な洗浄方法
の提供。【解決手段】洗浄槽１、すすぎ槽２、汚れ除去槽３から
なる洗浄装置を用い、被洗浄物品を、ハイドロフルオロ
カーボン或はハイドロフルオロエーテルもしくはその両
者の混合物（第１溶剤）と、沸点がそれらより５０℃以
上高い有機液体（第２溶剤）とからなる洗浄剤を入れた
洗浄槽中で洗浄して汚れを除去し、次いで第１溶剤を入
れたすすぎ槽で被洗浄物品に付着した第２溶剤をすすい
で除去するとともに、洗浄槽及びすすぎ槽中の内容液を
連続的に汚れ除去槽に送り、汚れ除去槽内の洗浄剤中か
ら汚れ成分を不溶化して除去し、清浄化された洗浄剤を
洗浄槽に戻すことからなる物品の洗浄方法、及び上記洗
浄方法を実施するための上記３つの槽からなる洗浄装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、再汚染を防止でき
る物品の洗浄方法及び装置に関するものである。さらに
詳しくは、ハイドロフルオロカーボン或はハイドロフル
オロエーテルを用いて機械部品、電子部品、プリント基
板等の洗浄作業に際して被洗浄物に付着した汚れ成分を
素早く有効に除去すると共に、被洗浄物に洗浄液の汚れ
成分を再付着させない洗浄方法及び装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、機械部品、電子部品、プリント基
板等の被洗浄物に付着した汚れの洗浄方法においては、
トリクロロエタンや１，１，２−トリクロロトリフルオ
ロエタンが広く賞用されていたが、オゾン層保護の観点
から我が国でも生産が中止されている。これらの代替品
として、水洗浄や炭化水素系での洗浄、ジクロロメタン
などの塩素系の洗浄剤が使用されている。しかしながら
水洗浄は排水処理や乾燥に問題を抱え、炭化水素系洗浄
剤は可燃性、又塩素系洗浄剤は毒性等の問題があり、必
ずしも満足がいくものではなかった。

【０００３】これらの問題を解決する方法として、本発
明の出願人は先に、不燃性であり、かつオゾン層破壊の
おそれの少ないハイドロフルオロカーボン（以下ＨＦＣ
という）やハイドロフルオロエーテル（以下ＨＦＥとい
う）と高沸点の有機溶剤とを混合することにより有機溶
剤の引火性を抑え、なおかつ洗浄後の物品表面に付着し
た有機溶剤を、これらＨＦＣあるいはＨＦＥですすぐこ
とにより、安全且つ効率的に洗浄する方法を提案した
（特開平１０−３６８９４号公報）。

【０００４】この方法では、図２に示すように洗浄槽１
とすすぎ槽２ａ、２ｂを設け、物品は洗浄槽でＨＦＣ或
はＨＦＥ（以下ＨＦＣ及びＨＦＥを総称し、「ＨＦＣ／
Ｅと呼ぶ）と高沸点の有機溶剤との混合洗浄液で洗浄さ
れ、次いですすぎ槽内でＨＦＣ／Ｅによりすすぎ、有機
溶剤を除去する。洗浄槽は加熱して、ＨＦＣ／Ｅの蒸気
を発生させ、洗浄槽およびすすぎ槽に満たされた引火性
の有機液体を含有する洗浄剤を、ＨＦＣ／Ｅの飽和蒸気
層９で覆う事により引火の危険性を防ぐことができる。
洗浄槽及びすすぎ槽で発生したＨＦＣ／Ｅ及び有機液体
蒸気は凝縮させ、オーバーフローさせて、すすぎ槽を経
て洗浄槽に戻すことにより洗浄剤の組成が一定に保たれ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この方法はＨＦＣ／Ｅ
のみを用いる方法に比して洗浄力にすぐれているが、従
来のトリクロロエタンや１，１，２−トリクロロトリフ
ルオロエタンを使用した洗浄方法と同じ様に長期間運転
すると、洗浄槽内に汚れが蓄積し、洗浄力が劣化するの
で、連続的に油やフラックス等の汚れを除去し、なおか
つ洗浄剤の組成を一定に保つことが不可能となるため、
洗浄液の再生が必要であった。洗浄剤の再生方法として
は蒸留が一般的であるが、蒸留のためには大きなエネル
ギーが必要であり、又蒸留後排出される汚れ成分廃液に
およそ５０％前後のＨＦＣ／Ｅ洗浄剤が含まれ、これが
廃棄されてロスとなることが避けられないため、コスト
面及び環境面から見ても大きな問題があった。

【０００６】発明者らは、ＨＦＣ／Ｅと高沸点の有機溶
剤との混合溶剤系による洗浄方法における上記のごとき
問題点を解決し、洗浄液再生のためのエネルギ−を節約
し、排出される汚れ成分廃液中に同伴して失われるＨＦ
Ｃ／Ｅ洗浄剤の量を減少するための手段について検討し
た結果、洗浄槽及びすすぎ槽の他に汚れ除去槽を設けた
洗浄装置を用い、洗浄槽及びすすぎ槽中の内容液を連続
的に汚れ除去槽に送り、ここで両者を混合して、洗浄槽
から送られて来た洗浄剤中の油やフラックス等の汚れ成
分を洗浄剤から分離除去し廃棄し、一方、これにより汚
れ成分が除去された清浄な洗浄液を洗浄槽に戻すことに
より、上記問題点を解決し、高い洗浄力を維持し、洗浄
槽内の洗浄液の組成も一定に保たれ、安定な運転が可能
となることを見いだした。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、少な
くとも３つの槽を設けた洗浄装置を用い、被洗浄物品
を、ハイドロフルオロカーボン或はハイドロフルオロエ
ーテルもしくはその両者の混合物（第１溶剤）と、沸点
がそれらより５０℃以上高い有機液体（第２溶剤）とか
らなる洗浄剤を満たした洗浄槽中で洗浄して汚れを除去
し、次いで第１溶剤を満たしたすすぎ槽で被洗浄物品に
付着した第２溶剤をすすいで除去するとともに、洗浄槽
及びすすぎ槽中の内容液を連続的に汚れ除去槽に送り、
汚れ除去槽内の洗浄剤中から汚れ成分を不溶化して除去
し、清浄化された洗浄剤を洗浄槽に戻すことを特徴とす
る物品の洗浄方法である。

【０００８】また本発明は上記洗浄方法を実施するため
の装置であって、物品の汚れ成分を溶解除去する有機洗
浄液と、該洗浄液を溶解するすすぎ液との混合溶剤によ
り物品を洗浄する洗浄槽、上記すすぎ液により有機洗浄
液をすすいで除去するすすぎ槽、汚れ成分を溶解した洗
浄槽中の洗浄液を、すすぎ槽から送られるすすぎ液と混
合して、洗浄液中から汚れ成分を不溶化分離する汚れ除
去槽、洗浄槽及びすすぎ槽から汚れ除去槽への送液管、
及び汚れ除去槽から洗浄槽への清浄洗浄液送液管とを有
する物品の洗浄装置である。

【０００９】

【発明の実施の形態】ここでハイドロフルオロカーボン
（ＨＦＣ）とは、炭化水素の水素原子の一部が弗素原子
のみで置換され、塩素原子を含まない弗素化炭化水素で
あり、ハイドロフルオロエーテル（以下、ＨＦＥとい
う。）とはエーテル類の水素原子の一部が弗素原子のみ
で置換され、塩素原子を含まない弗素化エーテルであ
る。

【００１０】本発明で第１溶剤として用いられるＨＦＣ
またはＨＦＥ液体としては、沸点が３０〜１５０℃のも
のが好ましい。ＨＦＣ／Ｅ液体の沸点が３０℃未満で
は、蒸発ロスが大きく、水の結露の問題もある。また、
ＨＦＣ液体の沸点が１５０℃を越えるとその蒸発エネル
ギーが大きくなり、被洗浄物品を損傷するおそれが生ず
る。

【００１１】また、引火性等、安全面を考慮すると高度
に弗素置換したＨＦＣまたはＨＦＥが好ましい。より具
体的には炭素と結合した原子の過半数が弗素であるも
の、すなわち分子中のＦ／（Ｈ＋Ｆ）原子比が０．５を
超えるものが好ましい。

【００１２】このようなＨＦＣ／Ｅのうち、本発明に好
適に使用できるものとして、ＨＦＣとしては具体的には
1,1,1,2,3,4,4,5,5,5,- デカフルオロペンタン（以下、
ＨＦＣ４３−１０ｍｅｅという。沸点５５℃）、1,1,2,
2,3,3,4,4-オクタフルオロブタン（以下、３３８ｐｃｃ
という。沸点４４℃）などがあり、ＨＦＥとしては1,2,
2,2-テトラフルオロエチル−ヘプタフルオロプロピルエ
ーテル（沸点４０℃）、1,1,1,2,3,3-ヘキサフルオロ−
２−ヘプタフルオロプロピロキシ−３−（1,2,2,2-テト
ラフルオロエトキシ）−プロパン（沸点１０４℃）、ノ
ナフルオロブチル−メチルエーテル（沸点６０℃）、ノ
ナフルオロブチル−エチルエーテル（沸点７８℃）など
を挙げることができる。

【００１３】第１溶剤と混合して用いる有機液体（第２
溶剤）は、その沸点が第１溶剤の沸点よりも５０℃以
上、好ましくは１００℃以上高く、且つ第１溶剤と適度
の相溶性を有するものが好ましい。これよりも沸点が低
い有機液体を使用すると、第１溶剤とともに蒸発し、蒸
気層中に含有され、凝縮管で液化された後、すすぎ槽に
戻るため、第１溶剤でのすすぎ不足を起こし、なおかつ
蒸気層中で被洗浄物に再付着し、シミの原因となる。ま
た引火性の低減という効果が期待できない。

【００１４】第１溶剤と相溶性の小さい有機液体で洗浄
すると、被洗浄物品の表面に付着した有機液体を第１溶
剤ですすぎ落とすことが困難である。適度の相溶性を有
する有機液体を使用することにより、すすぎ槽内では物
品に付着した有機液体をすすぎ落とすことができ、しか
も洗浄槽から送られて来た洗浄液中の油やフラックスを
溶解していた溶液を、汚れ除去槽で第１溶剤と混合した
場合、第１溶剤の比率を増加させることにより油やフラ
ックスが不溶化し分離させることができる。

【００１５】このような有機液体として、沸点が第１溶
剤の沸点よりも５０℃以上高いグリコールエーテル或い
はエステル系化合物が好適であり、また両者の混合物を
用いることもできる。具体的には、グリコールエーテル
としてトリエチレングリコールジメチルエーテル等、エ
ステル系化合物としてコハク酸ジメチル、グルタル酸ジ
メチル、アジピン酸ジメチル、或いはそれらの混合物等
を例示することが出来る。

【００１６】洗浄槽内における第１溶剤と第２溶剤との
混合比率は、両成分の種類、両者の沸点差や、被洗浄物
品の汚れの程度等にもよるが、第１溶剤／第２溶剤（重
量比）＝１０／９０〜７０／３０の範囲で混合するのが
好ましい。第１溶剤に対し第２溶剤の量が少ないと洗浄
力が低下し、また多すぎると引火性が高くなったり、次
工程の第１溶剤による第２溶剤のすすぎ不良となるので
好ましくない。

【００１７】本発明の洗浄方法は、フラックス等の汚れ
の洗浄に好適に使用される。本発明においては、先ず被
洗浄物品を、洗浄槽において第１溶剤と第２溶剤とから
なる洗浄剤を用いて汚れを除去し、次いですすぎ槽にお
いて被洗浄物品に付着した第２溶剤成分を該第１溶剤単
体にてすすぐ。本発明において洗浄槽で用いる洗浄剤
は、強く油やフラックス等の汚れをよく溶解する第２溶
剤と、油やフラックス等の汚れを殆ど溶解しない第１溶
剤とからなるので、このまま長期間運転していると、洗
浄槽内に汚れが蓄積し洗浄力が落ちてくる。

【００１８】そこで本発明においては、洗浄槽内で油や
フラックスを溶解した洗浄剤を汚れ除去槽に送る。ここ
にはすすぎ槽から第１溶剤とが送られてくるので、洗浄
槽内よりも貧溶媒である第１溶剤の比率が高くなり、油
やフラックスは析出分離してくる。汚れ除去槽ではこれ
らの油は液状で、かつ比重が洗浄剤よりも軽いので、洗
浄剤の上部に浮いてくる。その結果洗浄剤は油が除去さ
れ清浄度が高まり、再び洗浄槽に戻せば、洗浄力の回復
した洗浄剤として、部品に付着した油の除去が可能とな
る。一方上に浮いた油は洗浄剤をほとんど含んでいない
ので、蒸留等の操作を行うことなく、そのまま廃棄する
ことができる。従来の方法では廃棄物は５０％程度の洗
浄剤を含んでいたが、本方法では廃棄物はほとんどが汚
れ成分の油である。またフラックスの場合は、固形状で
析出させフィルタ−等で除去することが可能となる。こ
のようにして油やフラックス等の汚れのみを効果的に低
エネルギ−で連続的に排出し、常時洗浄剤を清浄に保つ
ことが可能である。

【００１９】以下本発明に用いる洗浄装置を添付図面に
基づいて具体的に説明する。図１は本発明の洗浄方法に
用いる洗浄装置の一例である。図１において１は洗浄
槽、２はすすぎ槽であり、本発明ではこの他に汚れ除去
槽３を設けている。洗浄槽には第１溶剤と沸点がそれら
より５０℃以上高い第２溶剤との混合物を、またすすぎ
槽には第１溶剤を満たす。洗浄槽及びすすぎ槽は、それ
ぞれ複数個の槽から構成されていても良い。

【００２０】洗浄槽の温度は高い温度であることが洗浄
効果を高める意味で好ましいが、一方、温度が高すぎる
と、被洗浄物が熱による損傷を受ける場合もあるので、
洗浄槽の温度は通常ヒーター４で加熱して、第１溶剤の
沸点と第１、第２溶剤混合物の沸点との間で、且つ被洗
浄物品が熱による損傷を受けない温度で運転する。

【００２１】洗浄槽及びすすぎ槽はいずれも上部が開口
し、その開口部を通じて被洗浄物の出し入れを行えるタ
イプのものであることは、従来の多槽式洗浄装置と同様
である。洗浄槽及びすすぎ槽内の洗浄液はヒーターで加
熱されて蒸気を発生し、両槽の上部側面に取りつけた冷
却部８により凝縮還流する。洗浄槽とすすぎ槽は１つの
構造物内に収容され、第１層とすすぎ槽の上部の空間が
蒸気層９として共有される構造にすることが好ましい。
これにより洗浄槽、すすぎ槽からなる槽群と冷却部８と
の間に第１溶剤の飽和蒸気層９が形成され、有機液体を
含有した洗浄剤の上部を覆う事により引火の危険性を防
いでいる。

【００２２】被洗浄物品はまず洗浄槽の上部開口部より
装置内に導入され、一定時間洗浄槽に浸漬されて第１溶
剤と第２溶剤からなる洗浄液により洗浄され、表面に付
着した油やフラックス等を除去する。洗浄槽には洗浄液
を加熱し、温浴とするためのヒーター４を備え、また洗
浄効率を高めるために、必要に応じて超音波発生器５を
取りつけてもよい。

【００２３】ついで被洗浄物を洗浄槽から取り出してす
すぎ槽に移し、ここでその表面に付着した第２溶剤を第
１溶剤ですすいで除去する。第１溶剤によるすすぎ方法
は如何なる方法でも良く、第１溶剤の沸騰浴または冷浴
のいづれか一方、もしくは双方のすすぎ槽を用い、被洗
浄物品表面の混合液をすすぎ落とせば良いが、図１のよ
うに第１すすぎ槽２ａと第２すすぎ槽２ｂとを設け、第
１すすぎ槽にはヒーター６を備え、加熱して沸騰浴です
すいだ後、超音波発振子が設置されている第２すすぎ槽
２ｂ（冷浴）ですすぎを行うのが最も有効である。また
すすぎ効果を高めるために撹拌機または超音波発生機を
取りつけることもできる。図１では第２すすぎ槽は第１
溶剤の沸点以下の温度に保持され、超音波発振器７を設
置している。

【００２４】すすぎ槽での浸漬によるすすぎが終わった
後、更に第１層とすすぎ槽の上部の第１溶剤飽和蒸気層
９に静置して蒸気洗浄を行った後、被洗浄物品を洗浄装
置の上部開口部より取り出す。最後に被洗浄物品の表面
に付着した第１溶剤単体を気化蒸散させ、洗浄された染
みの無い物品が得られる。

【００２５】一方洗浄液は、洗浄槽からポンプ１０によ
り洗浄液送液管１１を通って、汚れ除去槽３に送液さ
れ、またすすぎ槽からは第１溶剤がオーバーフローによ
りすすぎ液送液管１２を通って汚れ除去槽に洗浄液が送
液される。ここで両者が混合し、相対的に第１溶剤の比
率が多くなるので、油やフラックス等の汚れ成分は析出
し、洗浄剤の上部に浮いてくるので、そのまま廃棄す
る。これにより清浄化された洗浄液は清浄洗浄液送液管
１３により洗浄槽に戻され、循環使用することができ
る。

【００２６】汚れ除去槽における汚れ成分の分離は任意
の方法で行うことができるが、例えば、図１のように、
汚れ除去槽中に、下部が開放されている仕切り板１４を
設け、洗浄槽及びすすぎ槽からの送液管１１及び１２が
仕切り板の一方の側に注入され、一方清浄洗浄液送液管
１３は仕切り板の反対側からオーバーフローにより清浄
洗浄液を戻すように配管すれば、送液管１１及び１２の
注入口付近で、油やフラックス等の汚れ成分１５が浮か
び上って分離され、排出管１７より排出される。また底
部の洗浄液１６は清浄化され、清浄洗浄液送液管１３か
らは常に清浄な洗浄液のみが洗浄槽に戻される。

【００２７】また本発明の第２の発明は、上記洗浄方法
を実施するための、洗浄槽、すすぎ槽、汚れ除去槽の少
なくとも３つの槽と、洗浄槽及びすすぎ槽から汚れ除去
槽への送液管、及び汚れ除去槽から洗浄槽への清浄洗浄
液送液管とを有する物品の洗浄装置である。本発明の装
置は、物品の汚れ成分を溶解除去する有機洗浄液と、該
洗浄液を溶解するすすすぎ液とを用いて洗浄する方法に
広く応用できるが、特に第１の発明のように、すすぎ液
がハイドロフルオロカーボン或はハイドロフルオロエー
テルもしくはその両者の混合物であり、有機洗浄液が該
ハイドロフルオロカーボン或はハイドロフルオロエーテ
ルよりも５０℃以上高い沸点を有する有機液体を用いる
洗浄法に適した装置である。

【００２８】

【実施例】［実施例１］第１溶剤のＨＦＣとして1,1,1,
2,3,4,4,5,5,5,- デカフルオロペンタン（ＨＦＣ４３−
１０ｍｅｅ）、第２溶剤としてジプロピレングリコ−ル
モノメチルエ−テルを用い、各々６０重量％、４０重量
％で混合した混合溶剤を洗浄液として図１の洗浄槽に入
れた。またすすぎ槽には上記ＨＦＣ４３−１０ｍｅｅを
入れた。次に洗浄槽及び第１すすぎ槽を沸騰させ空運転
を行った。洗浄槽は６９℃、第１すすぎ槽は５５℃で安
定した。次に汚れ成分として、冷凍機油（松村石油製５
６Ｓ）を洗浄槽へ５重量％分加えたところ、洗浄液に溶
解した冷凍機油が配管１２を通って汚れ分離槽に送ら
れ、その上部に冷凍機油が浮き排出された。一方汚れ分
離機から洗浄槽への戻りライン中の冷凍機油分を調べた
ところ０．５重量％であった。更に冷凍機油を洗浄液に
対して５重量％分連続的に加えていったところ、汚れ分
離槽から洗浄槽への戻りライン中の冷凍機油分は０．５
重量％で変わらず、また洗浄層中の冷凍機油分も５重量
％で一定のままであった。次に排出された冷凍機油中の
洗浄剤量を調べたところ１０重量％であった。即ち産業
廃棄物中に占める洗浄剤の割合は１０重量％であり、従
来の蒸留によって排出された場合の５０重量％に比べ、
大幅に低減が可能となった。廃棄物量としては４５％の
減少となった。

【００２９】次にこの状態で、表面に該冷凍機油が付着
したステンレス製のソケットを、下記の洗浄サイクルに
より洗浄したところ、油の除去率は９９．５％であっ
た。（１）洗浄槽（混合洗浄液温浴）２分浸漬（２）第１すすぎ槽（第１溶剤沸騰浴）２分浸漬（３）第２すすぎ槽（第１溶剤冷浴）１分浸漬（４）蒸気層中１分静置。

【００３０】［比較例１］図２に示す装置を用いて実施
例と同等の操作をおこなった。即ち、洗浄槽に最初５重
量％分の冷凍機油を入れ、引き続き５重量％分の冷凍機
油を入れた。その結果洗浄槽内の液は２層に分離し、上
部に油が浮遊した状態であった。この状態で実施例と同
様の洗浄試験を行ったところ、油の除去率は５４％であ
った。

【００３１】

【発明の効果】本発明の洗浄液洗浄システムを用いるこ
とにより、汚れを連続的に排出することが可能のため、
蒸留再生を行う必要がなく従ってそれにかかるエネルギ
−を節約することが可能である。又汚れ成分とともに廃
棄される第１溶剤の量も半分近くに減らすことができ、
更に引火性の危険もないので、安全で環境保護の面でも
優れた方法であり、精密部品や光学部品、電子部品等の
金属製プラスチック製の部品等に付着した、油やフラッ
クス除去用洗浄機に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄方法を実施するための装置の１例
である。

【図２】従来の洗浄方法に用いられた装置の１例であ
る。

【符号の説明】

１洗浄槽２すすぎ槽３汚れ除去槽４ヒーター５超音波発生器６ヒーター７超音波発生器８冷却部９飽和蒸気層 10 ポンプ 11 洗浄液送液管 12 すすぎ液送液管 13 清浄洗浄液送液管 14 仕切り板 15 汚れ成分 16 清浄洗浄液 17 排出管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考） // Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４７Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４７ＡＦターム(参考） 3B201 AA02 AA03 AA46 BB02 BB03 BB85 BB92 BB95 CC01 CD22 4H003 BA12 DA14 DA15 DB03 DC02 ED19 ED26 ED29 ED32 FA06 FA23 4H006 AA03 AB70 EA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被洗浄物品を、ハイドロフルオロカーボン
或はハイドロフルオロエーテルもしくはその両者の混合
物（第１溶剤）と、沸点がそれらより５０℃以上高い有
機液体（第２溶剤）とからなる洗浄剤を満たした洗浄槽
中で洗浄して汚れを除去し、次いで第１溶剤を満たした
すすぎ槽で被洗浄物品に付着した第２溶剤をすすいで除
去するとともに、洗浄槽及びすすぎ槽中の内容液を連続
的に汚れ除去槽に送り、汚れ除去槽内の洗浄剤中から汚
れ成分を不溶化して除去し、清浄化された洗浄剤を洗浄
槽に戻すことを特徴とする物品の洗浄方法。
【請求項２】ハイドロフルオロカーボン或はハイドロフ
ルオロエーテルが３０〜１５０℃の沸点を有するもので
あることを特徴とする請求項１記載の洗浄方法。
【請求項３】ハイドロフルオロカーボン或はハイドロフ
ルオロエーテルの分子中のＦ／（Ｈ＋Ｆ）原子比が０．
５を超えるものであることを特徴とする請求項１または
２に記載の洗浄方法。
【請求項４】有機液体がグリコールエーテルまたは有機
酸エステルであることを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載の洗浄方法。
【請求項５】物品の汚れ成分を溶解除去する有機液体洗
浄液と、該有機液体を溶解するすすぎ液との混合溶剤に
より物品を洗浄する洗浄槽、上記すすぎ液により有機液
体をすすいで除去するすすぎ槽、汚れ成分を溶解した洗
浄槽中の洗浄液を、すすぎ槽から送られるすすぎ液と混
合して、洗浄液中から汚れ成分を不溶化分離する汚れ除
去槽、洗浄槽及びすすぎ槽から汚れ除去槽への送液管、
及び汚れ除去槽から洗浄槽への清浄洗浄液送液管とを有
する物品の洗浄装置。
【請求項６】すすぎ液がハイドロフルオロカーボン或は
ハイドロフルオロエーテルもしくはその両者の混合物で
あり、有機液体が該ハイドロフルオロカーボン或はハイ
ドロフルオロエーテルよりも５０℃以上高い沸点を有す
る有機液体であることを特徴とする請求項５記載の洗浄
装置。
【請求項７】洗浄槽の蒸気層とすすぎ槽の蒸気層が占め
る空間が共有されていることを特徴とする請求項５また
は６に記載の洗浄装置。